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Research on the technology of femtosecond laser micromachining based on image edge tracing 被引量:1
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作者 Zhang DongShi Chen Feng +4 位作者 Liu HeWei Wang XianHua Du Kai Si JinHai Hou Xun 《Chinese Science Bulletin》 SCIE EI CAS 2010年第9期879-883,共5页
Aiming at fabrication of complex microstructures and micro-patterns, a kind of femtosecond laser micromachining technology based on the BMP image edge tracing was proposed. We introduced the general principle of this ... Aiming at fabrication of complex microstructures and micro-patterns, a kind of femtosecond laser micromachining technology based on the BMP image edge tracing was proposed. We introduced the general principle of this technology and discussed the implementation of the machining paths extraction, optimization, tracing and the feedback of the machining procession in detail. On the basis of this technology, control software for femtosecond laser micromachining was developed. Furthermore, we have accomplished the fabrication of complicated two-dimensional (2D) micro-patterns on a copper thin film. The results indicate that this technology can be used for digital control micromachining of complex patterns or microstructures at micron and submicron scales by femtosecond laser. 展开更多
关键词 femtosecond laser imagE EDGE detection micromachining micro-pattern
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Automated synthesis of gadopentetate dimeglumine through solid-liquid reaction in femtosecond laser fabricated microfluidic chips
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作者 Difeng Yin Yucen Li +6 位作者 Lingling Xia Wenbo Li Wei Chu Jianping Yu Miao Wu Ya Cheng Ming Hu 《Chinese Chemical Letters》 SCIE CAS CSCD 2022年第2期1077-1080,共4页
Despite the continuously increased requirement on automated synthesis of medicines for distributed manufacturing and personal care, it remains a challenge to realize automated synthesis which requires solid-liquid pha... Despite the continuously increased requirement on automated synthesis of medicines for distributed manufacturing and personal care, it remains a challenge to realize automated synthesis which requires solid-liquid phase reactions. In this work, we demonstrated an automated solid-liquid synthesis for gadopentetate dimeglumine, the most widely used magnetic resonance imaging(MRI) contrast agent. The high-efficiency reaction was performed in a 3D microfluidic chip which was fabricated by femtosecond laser micromachining. The structure of the chip realized 3D shear flow which was essential for highly efficient mixing and movement of the solid-liquid mixtures. Ultraviolet visible(UV-vis) spectrometer was employed for in-line analysis to help automation of this system. Comparing with the round-bottom flask system, this synthetic system showed significantly higher reaction rate, indicating the advantage of the3D microfluidic technology in micro chemical engineering. 展开更多
关键词 Automated synthesis femtosecond laser micromachining MICROFLUIDICS MRI imaging UV–vis absorption spectrum
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飞秒激光多脉冲烧蚀过程中飞秒时间分辨电子状态的观测研究 被引量:1
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作者 王谦豪 赵华龙 +2 位作者 杨小君 温文龙 李益 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第24期1-11,共11页
为研究飞秒激光加工硬脆透明材料时存在的“微裂纹”与“诱导条纹”等共性工艺问题,利用飞秒时间分辨泵浦探测阴影成像技术,对飞秒激光多脉冲烧蚀石英玻璃过程中的电子动力学过程进行成像,分析了激光脉冲电离材料初期(700 fs之前)等离... 为研究飞秒激光加工硬脆透明材料时存在的“微裂纹”与“诱导条纹”等共性工艺问题,利用飞秒时间分辨泵浦探测阴影成像技术,对飞秒激光多脉冲烧蚀石英玻璃过程中的电子动力学过程进行成像,分析了激光脉冲电离材料初期(700 fs之前)等离子体丝的演化情况。多脉冲诱导微结构的存在使成丝区域分布在微结构的两侧与光脉冲传播的轴线方向,前者主要是由微结构侧壁对光脉冲的折射造成的,而后者则是由微结构底面与侧壁形貌不同导致的光程差引起的。实验结果揭示了多脉冲加工过程中脉冲串诱导微结构对后续光场的重塑效应,该效应影响了等离子体成丝区域与能量沉积的分布,这是共性工艺问题产生的核心机制。 展开更多
关键词 激光技术 飞秒激光微加工 泵浦探测阴影成像 多脉冲烧蚀 等离子体
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飞秒激光制备多晶金刚石微结构阵列 被引量:14
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作者 黄建衡 梁国文 +1 位作者 李冀 郭宝平 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第3期99-105,共7页
飞秒激光加工是一种冷加工技术,能克服热效应的影响,使加工材料的边缘非常整齐和精确,对高熔点和硬脆材料的微细加工具有显著优势。为制备一种由金属靶和金刚石构成的X射线源微结构阵列阳极,提出采用飞秒激光加工技术加工金刚石微结构阵... 飞秒激光加工是一种冷加工技术,能克服热效应的影响,使加工材料的边缘非常整齐和精确,对高熔点和硬脆材料的微细加工具有显著优势。为制备一种由金属靶和金刚石构成的X射线源微结构阵列阳极,提出采用飞秒激光加工技术加工金刚石微结构阵列,通过实验研究了飞秒脉冲激光加工多晶金刚石材料的工艺参量,重点分析了激光聚焦物镜、激光脉冲能量、重复扫描次数对金刚石微结构形貌和尺寸的影响,得到了符合制作要求的加工参量,并依据加工参量制作出了槽宽为20μm,槽深达45μm的高质量多晶金刚石微结构阵列,测得其表面可承受电子束轰击的最大功率密度为12 W/mm^2。该阵列将可用于制备微阵列阳极X射线源,为实现X射线大视场相衬成像提供关键的光源器件。 展开更多
关键词 激光技术 X射线光学 多晶金刚石微结构 飞秒激光微加工 X射线相衬成像
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全内反射显微技术探测亚表面缺陷新方法研究 被引量:12
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作者 崔辉 刘世杰 +3 位作者 赵元安 杨俊 刘杰 刘文文 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第6期123-129,共7页
亚表面缺陷的检测和去除对于提高光学元件的激光损伤阈值至关重要。结合全内反射显微技术和数字图像处理技术获得光学元件亚表面缺陷信息的新方法,利用显微镜系统的有限焦深,对亚表面缺陷沿深度方向扫描,可以获得不同离焦量下的散射图像... 亚表面缺陷的检测和去除对于提高光学元件的激光损伤阈值至关重要。结合全内反射显微技术和数字图像处理技术获得光学元件亚表面缺陷信息的新方法,利用显微镜系统的有限焦深,对亚表面缺陷沿深度方向扫描,可以获得不同离焦量下的散射图像,通过数字图像处理技术,建立缺陷散射图像清晰度评价值与离焦量的关系,通过清晰度曲线得到亚表面缺陷的深度位置及深度尺寸。模拟全内反射显微平台的成像过程,讨论微调焦过程中全内反射显微成像的特点。缺陷深度位置及深度尺寸的测量精度主要由载物台精密调焦机构的精度以及显微镜的焦深决定,一般可达微米量级。利用飞秒激光加工技术制备尺寸和位置已知的微结构,使用该方法准确获得了微结构信息,验证了该方法的有效性。 展开更多
关键词 测量 亚表面缺陷 全内反射显微法 清晰度评价 微调焦 成像模拟 飞秒刻写
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