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Development of an Ultrasonic Motor That Uses an Inchworm Shaped Deformation of a Metallic Plate
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作者 Akihiro Naganawa Kazumi Komatsu Hisashi Ito 《World Journal of Engineering and Technology》 2016年第3期100-106,共7页
At the present time, ultrasonic motors have been developed for a variety of purposes such as linear motion drives and rotational drives. The elaboration of an ultrasonic motor is time-consuming, because it is develope... At the present time, ultrasonic motors have been developed for a variety of purposes such as linear motion drives and rotational drives. The elaboration of an ultrasonic motor is time-consuming, because it is developed adapting on its application. In this study, a new ultrasonic motor structure that combines a piezoelectric element and a metallic plate is elaborated. The driving principle of this motor is that the metal plate is bent to an inchworm shape and rotates the rotor when the piezoelectric element is stretched. The objective of this study is to verify the functioning of the new motor experimentally. 展开更多
关键词 Ultrasonic motor Piezoelectric Element Metallic Plate inchworm-Shaped Deformation
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尺蠖式压电陶瓷电机的双模式驱动器开发与研究
2
作者 韩硕 杨晓峰 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第4期562-569,共8页
尺蠖式压电陶瓷电机具有小尺寸,长行程,纳米级定位和大推力的特性,被广泛应用于集成电路装备和精密运动平台中。然而目前受其驱动器约束,难以实现长行程运动时高精度定位、位移可控和速度可控,因而无法应用到具有高推力、高速度和长行... 尺蠖式压电陶瓷电机具有小尺寸,长行程,纳米级定位和大推力的特性,被广泛应用于集成电路装备和精密运动平台中。然而目前受其驱动器约束,难以实现长行程运动时高精度定位、位移可控和速度可控,因而无法应用到具有高推力、高速度和长行程纳米级精度定位的集成电路7 nm工艺IC芯片检测装备中。提出并开发了一种双模式驱动器,基于电荷效应和应力效应原理分别建立了位移-电压和速度-频率的控制模型。采用滑模控制的方法解决了在双模式驱动器大电压输出时的纹波问题,提高了尺蠖式压电陶瓷电机输出的位移分辨率。通过实验对双模式驱动器进行了硬件性能和控制模式验证,同时验证了尺蠖式压电陶瓷电机的运动特性。 展开更多
关键词 尺蠖式压电陶瓷电机 双模式驱动器 滑模控制 大电压低纹波
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磁控形状记忆合金蠕动型直线电机研究 被引量:23
3
作者 王凤翔 张庆新 +2 位作者 吴新杰 李文君 井路生 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2004年第7期140-144,共5页
磁控形状记忆合金(MSM)是一种新型具有形状记忆功能的合金材料,不仅变形率大,易于控制,动态响应速度高,而且功率密度大和机电能量转换效率高,特别适合于制造高精度的运动与位置控制执行器。该文首先介绍MSM材料在磁场作用下的变形机理... 磁控形状记忆合金(MSM)是一种新型具有形状记忆功能的合金材料,不仅变形率大,易于控制,动态响应速度高,而且功率密度大和机电能量转换效率高,特别适合于制造高精度的运动与位置控制执行器。该文首先介绍MSM材料在磁场作用下的变形机理与磁控特性,然后分析利用仿生学蠕动原理将MSM小步距的位移累加形成直线电机所需要的大行程的工作原理,而后论述蠕动型MSM直线电机的设计与控制方法,最后给出样机的试验结果。 展开更多
关键词 蠕动型直线电机 磁控形状记忆合金 磁控特性 励磁绕组
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大行程纳米级步距压电电动机 被引量:17
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作者 赵美蓉 温丽梅 +1 位作者 林玉池 张玉祥 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第8期119-122,共4页
介绍了一种基于尺蠖运动原理的大行程纳米级步距压电电动机。在结构设计方面,变传统单驱动器结构为双驱动器结构,采用新颖的推-拉接力运动原理,配以适当的四路驱动信号,实现了压电电动机的连续匀速运动。通过试验对电动机的性能进行了测... 介绍了一种基于尺蠖运动原理的大行程纳米级步距压电电动机。在结构设计方面,变传统单驱动器结构为双驱动器结构,采用新颖的推-拉接力运动原理,配以适当的四路驱动信号,实现了压电电动机的连续匀速运动。通过试验对电动机的性能进行了测试,结果表明:电动机的运动位移是线性的,运动速度在驱动电压为300 V时可达12μm/s,最小步距小于6nm,行程大于10mm。 展开更多
关键词 压电电动机 尺蠖运动 纳米驱动 纳米定位 结构设计 纳米技术
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被动箝位蠕动直线压电驱动器数学模型及仿真 被引量:5
5
作者 曲建俊 郭文峰 +1 位作者 胡志勇 王培明 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第18期13-19,共7页
基于蠕动式直线驱动器的工作原理,引入三角放大结构,设计一款单向直线被动箝位压电驱动器。该驱动器由驱动和保持箝位体、驱动体和导轨等组成,其箝位体采用三角放大结构,有效提高箝位体压电叠堆的输出位移,箝位体在通电状态下可解除对... 基于蠕动式直线驱动器的工作原理,引入三角放大结构,设计一款单向直线被动箝位压电驱动器。该驱动器由驱动和保持箝位体、驱动体和导轨等组成,其箝位体采用三角放大结构,有效提高箝位体压电叠堆的输出位移,箝位体在通电状态下可解除对导轨的箝位,在断电状态下可自锁导轨。利用机械振动能量法,建立驱动器主要结构的数学模型,研究驱动体和箝位体结构参数对等效刚度和响应频率的影响,借助于有限元仿真分析和试验,验证数学模型所设计的结构参数的有效性,测试驱动器负载特性以及不同载荷下的动态响应频率。 展开更多
关键词 蠕动式 被动箝位 压电驱动器
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压电超声直线马达驱动电路的研究 被引量:2
6
作者 吴慎山 刘小萍 董蜀湘 《河南师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 1994年第4期25-28,共4页
本文介绍了压电超声直线马达的结构和工作原理,分析了清华大学超声研究室研制的超声振子箝位,压电驱动的直线蠕动马达的特点及其驱动电路和信号波形.
关键词 蠕动马达 箝位振子 驱动 压电超声马达
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箝位体刚度平衡对被动箝位压电驱动器性能的影响 被引量:2
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作者 郭文峰 曲建俊 +1 位作者 曲华杰 汪骏雄 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第3期738-744,共7页
基于前期研制的被动箝位直线压电驱动器,研究了带有三角放大结构的箝位体的刚度平衡对其有效输出位移和驱动器性能的影响。实验和有限元仿真分析显示:刚度不平衡时,箝位体结构产生的偏转位移会导致三角放大结构水平输出位移降低,箝位体... 基于前期研制的被动箝位直线压电驱动器,研究了带有三角放大结构的箝位体的刚度平衡对其有效输出位移和驱动器性能的影响。实验和有限元仿真分析显示:刚度不平衡时,箝位体结构产生的偏转位移会导致三角放大结构水平输出位移降低,箝位体对导轨放松程度较小,驱动器性能较低。文中提出用增加刚度平衡板的方法使箝位压电叠堆两侧等效拉伸刚度相等,并利用有限元仿真确定了刚度平衡板尺寸。实施上述方法后的实验结果表明:增加刚度平衡板后,箝位体水平运动位移增加,从而提高了箝位体动态响应频率和箝位体对导轨的释放程度,显著提高了驱动器性能。刚度平衡后,驱动器动态响应频率为450Hz,最大驱动力为7N,最大空载运行速度为1.49mm/s。 展开更多
关键词 压电蠕动驱动器 刚度平衡 箝拉体 压电驱动 三角放大
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大负载精密驱动超磁致伸缩直线电机动力学建模与仿真 被引量:6
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作者 许文秉 杨斌堂 +1 位作者 孟光 吕扬名 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第3期480-486,492,共8页
基于一种新型的精密大负载超磁致伸缩直线电机进行了整机动力学建模和仿真,尝试分析巨磁致伸缩直线电机的频率特性和负载特性,提供了一种对于尺蠖运动超磁致伸缩直线电机进行整机建模和性能分析的有效方法.在建模过程中,采用Jiles-Ather... 基于一种新型的精密大负载超磁致伸缩直线电机进行了整机动力学建模和仿真,尝试分析巨磁致伸缩直线电机的频率特性和负载特性,提供了一种对于尺蠖运动超磁致伸缩直线电机进行整机建模和性能分析的有效方法.在建模过程中,采用Jiles-Atherton磁滞模型以补偿磁滞回对直线电机输出的影响,并提出了直线电机驱动大负载时的滚动摩擦修正.通过建模与仿真,验证了直线电机结构设计方案的可行性.仿真和实验对比结果表明,该动力学模型实现了超磁致伸缩直线电机的变激励、变负载运动的准确模拟. 展开更多
关键词 直线电机 超磁致伸缩 尺蠖运动 精密定位 动力学建模
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国内压电超声马达研究的现状和发展 被引量:13
9
作者 赵淳生 熊振华 《振动.测试与诊断》 EI CSCD 1997年第2期1-7,共7页
近几十年来,世界上许多国家对压电超声马达进行了大量的研究。我国自80年代以来也进行了一些压电超声马达的理论探索和研制的实践工作。本文根据近十几年来国内的有关文献资料,综述了压电超声马达在国内的发展情况,列举了行波型压... 近几十年来,世界上许多国家对压电超声马达进行了大量的研究。我国自80年代以来也进行了一些压电超声马达的理论探索和研制的实践工作。本文根据近十几年来国内的有关文献资料,综述了压电超声马达在国内的发展情况,列举了行波型压电超声马达、驻波型压电超声马达、微动压电马达等典型例子,并指出了今后的研究方向。 展开更多
关键词 压电超声马达 压电微动马达 行波 中国
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基于开关电源的蠕动式压电驱动电源研究 被引量:1
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作者 郭文峰 曲建俊 刘畅 《微特电机》 北大核心 2014年第8期71-75,共5页
研制了一台被动箝位蠕动式直线压电驱动器专用驱动电源。电源电路主要由信号发生电路、升压电路和斩波电路组成。信号发生电路采用51单片机作为核心元件,实现3路频率可调的控制信号。升压电路基于反激式开关电源的工作原理将低压直流转... 研制了一台被动箝位蠕动式直线压电驱动器专用驱动电源。电源电路主要由信号发生电路、升压电路和斩波电路组成。信号发生电路采用51单片机作为核心元件,实现3路频率可调的控制信号。升压电路基于反激式开关电源的工作原理将低压直流转换为高压直流,实现输出电压的连续调节。斩波电路采用半桥斩波的方法将升压电路的输出电压进行斩波,产生驱动器控制电压,实现驱动器的运动控制。 展开更多
关键词 压电驱动 开关电源 蠕动式驱动器
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旋转尺蠖压电电机钳位机构设计及动力学分析 被引量:1
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作者 邢继春 顾勇飞 +1 位作者 李冲 许立忠 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2015年第20期150-154,160,共6页
提出旋转尺蠖压电电机,该电机具有结构简单、定位精度高、输出力矩大、能实现微动压电电机大行程等优点。分析其驱动原理及关键部件钳位机构设计方案;考虑杠杆位移放大梁及长柔梁弯曲、扭转振动变形,建立钳位机构动力学模型,获得前8阶... 提出旋转尺蠖压电电机,该电机具有结构简单、定位精度高、输出力矩大、能实现微动压电电机大行程等优点。分析其驱动原理及关键部件钳位机构设计方案;考虑杠杆位移放大梁及长柔梁弯曲、扭转振动变形,建立钳位机构动力学模型,获得前8阶固有频率及模态函数;讨论钳位机构结构参数对固有频率影响规律,并实验验证理论分析的正确性。 展开更多
关键词 尺蠖原理 压电电机 钳位机构 自由振动
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纳米级压电微动台的设计研究 被引量:1
12
作者 齐永岳 林玉池 +1 位作者 张立 赵美蓉 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2009年第6期53-55,58,共4页
提出了一种新颖的"推—拉"接力运动原理,并将其应用于纳米级步距压电微动台的设计中。该原理变传统的单驱动器结构为双驱动器结构,避免了运动过程中的悬空状态,配以适当的四路驱动信号,使压电微动台能够实现连续、平稳的运动... 提出了一种新颖的"推—拉"接力运动原理,并将其应用于纳米级步距压电微动台的设计中。该原理变传统的单驱动器结构为双驱动器结构,避免了运动过程中的悬空状态,配以适当的四路驱动信号,使压电微动台能够实现连续、平稳的运动。根据使用要求设计了驱动控制系统,通过C8051F单片机产生四路驱动信号,以保证压电微动台在不同频率和电压下进行工作,并实现了整个系统的闭环控制。 展开更多
关键词 尺蠖运动 压电马达 微驱动 微定位
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一种大推力的蠕动式压电直线电机 被引量:1
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作者 于云霞 李文卓 《微特电机》 北大核心 2001年第5期29-31,共3页
介绍了一种新型大输出推力的压电直线电机———微脊式蠕动直线电机 ,该电机采用微脊式箝位结构 ,极大地提高了电机的输出推力 ,其输出推力可达 5 0 0N。这种微脊式直线电机有可能成为今后压电直线电机的商品化市场的新产品方向。
关键词 蠕动式压电直线电机 推力 微脊式箱位结构 工作原理
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旋转尺蠖压电电机驱动机构自由振动分析 被引量:1
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作者 邢继春 张楠 李冲 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第15期1996-2002,共7页
提出了一种新型旋转尺蠖压电电机。考虑旋转尺蠖压电电机驱动机构为连续系统,建立了驱动机构动力学模型;利用该动力学模型求解了样机驱动机构的固有频率和模态函数。分析了系统参数对驱动机构固有频率的影响规律,为旋转尺蠖压电电机的... 提出了一种新型旋转尺蠖压电电机。考虑旋转尺蠖压电电机驱动机构为连续系统,建立了驱动机构动力学模型;利用该动力学模型求解了样机驱动机构的固有频率和模态函数。分析了系统参数对驱动机构固有频率的影响规律,为旋转尺蠖压电电机的设计打下了理论基础。 展开更多
关键词 旋转尺蠖 驱动机构 模态分析 压电电机
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纳米级步距压电电动机的精密驱动电源 被引量:3
15
作者 赵美蓉 胡长德 林玉池 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2007年第2期158-160,共3页
介绍了一种基于尺蠖运动原理的纳米级步距压电电动机,提出了一种新型的压电陶瓷驱动电源,并给出了详细的电路原理图。对压电陶瓷进行的动态驱动实验表明,在输入三角波、方波、正弦波等动态信号时,该驱动电源可以很好地跟随输入波形... 介绍了一种基于尺蠖运动原理的纳米级步距压电电动机,提出了一种新型的压电陶瓷驱动电源,并给出了详细的电路原理图。对压电陶瓷进行的动态驱动实验表明,在输入三角波、方波、正弦波等动态信号时,该驱动电源可以很好地跟随输入波形的变化,实现了输入电压为0~5V时,输出电压在0~200V内连续可调,具有40mV的高分辨率和较为理想的静特性。纹波电压小于±10mV,电源在100kHz范围内具有良好的频响特性。 展开更多
关键词 尺蠖运动 压电陶瓷 驱动电源 纹波 电动机
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尺蠖型压电直线电动机制作及性能测试 被引量:2
16
作者 李全松 《微特电机》 北大核心 2014年第6期21-24,共4页
为了实现机械元件的高精密驱动,设计和研究了一种应用自然界中尺蠖原理的压电驱动直线电动机,完成压电直线电动机的样机制作并对其进行了试验测试。试验结果表明,制作和测试的尺蠖型压电直线电动机工作行程20 mm,最大驱动力38 N,在驱动... 为了实现机械元件的高精密驱动,设计和研究了一种应用自然界中尺蠖原理的压电驱动直线电动机,完成压电直线电动机的样机制作并对其进行了试验测试。试验结果表明,制作和测试的尺蠖型压电直线电动机工作行程20 mm,最大驱动力38 N,在驱动电压200 V时,具有最大的运动步长35.15μm,步长稳定性误差小于3%,在驱动电压为10 V时,实现最小的运动步长20 nm。电机在无负载状态,驱动频率30 Hz,驱动电压200 V时达到的最大驱动速度484.2μm/s。该电机具备良好的工作性能,在精密驱动领域具有广泛的应用前景。 展开更多
关键词 精密驱动 压电叠堆 直线电动机 尺蠖运动
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大行程纳米级步距压电马达驱动电源的研究
17
作者 胡长德 赵美蓉 李咏强 《装备指挥技术学院学报》 2009年第1期96-100,共5页
针对基于尺蠖运动原理的大行程纳米级步距压电电动机的运动特点,研制了一种压电陶瓷微位移驱动器驱动电源。对压电陶瓷进行动态驱动实验表明,在输入三角波、方波、正弦波等动态信号时,该驱动电源可很好地跟随输入波形的变化,实现了输入... 针对基于尺蠖运动原理的大行程纳米级步距压电电动机的运动特点,研制了一种压电陶瓷微位移驱动器驱动电源。对压电陶瓷进行动态驱动实验表明,在输入三角波、方波、正弦波等动态信号时,该驱动电源可很好地跟随输入波形的变化,实现了输入电压为0-5 V时,输出电压在0-280 V内连续可调,具有40 mV的高分辨率和较为理想的静特性。同时对压电陶瓷的驱动实验还表明:压电陶瓷在0-280 V的电压范围内,微位移变化是线性的。 展开更多
关键词 压电马达 尺蠖运动 压电陶瓷 驱动电源
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离合器箝位型尺蠖驱动器研究及发展 被引量:2
18
作者 张兆成 胡泓 《微电机》 北大核心 2009年第7期61-64,共4页
按箝位方式对尺蠖驱动器进行分类。介绍了尺蠖驱动器箝位机构从主动箝位到楔箝位再到楔辊子箝位以及螺旋楔箝位的发展过程;指出传统主动箝位的不足及楔箝位和楔辊子箝位各自的优缺点;介绍了螺旋楔箝位的特点及需要完善发展的方向,指出... 按箝位方式对尺蠖驱动器进行分类。介绍了尺蠖驱动器箝位机构从主动箝位到楔箝位再到楔辊子箝位以及螺旋楔箝位的发展过程;指出传统主动箝位的不足及楔箝位和楔辊子箝位各自的优缺点;介绍了螺旋楔箝位的特点及需要完善发展的方向,指出离合器箝位型尺蠖驱动器是高性能精密直线驱动器的一个重要发展方向。 展开更多
关键词 尺蠖驱动器 离合器 被动箝位 螺旋楔箝位 直线电机
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大范围纳米驱动定位压电马达的研究
19
作者 诸葛晶昌 李淑清 《自动化与仪表》 2005年第1期11-14,共4页
提出一种基于尺蠖运动(Inchwormmotion)原理的大范围纳米级驱动压电马达,并着重阐述了压电马达的机械结构设计和控制系统的驱动电源等方面的内容。
关键词 压电马达 微驱动 尺蠖运动
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Bionic Stepping Motors Driven by Piezoelectric Materials
20
作者 Shupeng Wang Shihui Zhou +3 位作者 Xiaolong Zhang Pengyun Xu Zhihui Zhang Luquan Ren 《Journal of Bionic Engineering》 SCIE EI CSCD 2023年第3期858-872,共15页
By imitating the behavioral characteristics of some typical animals, researchers develop bionic stepping motors to extend the working range of piezoelectric materials and utilize their high accuracy advantage as well.... By imitating the behavioral characteristics of some typical animals, researchers develop bionic stepping motors to extend the working range of piezoelectric materials and utilize their high accuracy advantage as well. A comprehensive review of the bionic stepping motors driven by piezoelectric materials is presented in this work. The main parts of stepping piezoelectric motors, including the feeding module, clamping module, and other critical components, are introduced elaborately. We classify the bionic stepping piezoelectric motors into inchworm motors, seal motors, and inertia motors depending on their main structure modules, and present the mutual transformation relationships among the three types. In terms of the relative position relationships among the main structure modules, each of the inchworm motors, seal motors, and inertia motors can further be divided into walker type, pusher type, and hybrid type. The configurations and working principles of all bionic stepping piezoelectric motors are reported, followed by a discussion of the advantages and disadvantages of the performance for each type. This work provides theoretical support and thoughtful insights for the understanding, analysis, design, and application of the bionic stepping piezoelectric motors. 展开更多
关键词 Bionic stepping piezoelectric motor inchworm motor Seal motor Inertia motor Walker type Pusher type Hybrid type
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