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单室沉积本征微晶硅薄膜及其在电池中的应用
被引量:
6
1
作者
王光红
张晓丹
+7 位作者
孙福河
许盛之
岳强
魏长春
孙建
耿新华
熊绍珍
赵颖
《光电子.激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第5期637-641,共5页
为获得单室沉积高效微晶硅(μc-Si)太阳电池,首先采用甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术制备了不同沉积条件下的本征μc-Si薄膜。通过对材料的结构和电学输运特性的研究,借鉴分室沉积的器件质量级μc-Si材料的经验,选取合...
为获得单室沉积高效微晶硅(μc-Si)太阳电池,首先采用甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术制备了不同沉积条件下的本征μc-Si薄膜。通过对材料的结构和电学输运特性的研究,借鉴分室沉积的器件质量级μc-Si材料的经验,选取合适的本征层和p种子层处理B污染的技术,在单室中制备出光电转换效率为6.23%(1cm2)的单结μc-Si电池。
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关键词
单室
甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)
本征微晶硅(
μc-si
)
太阳电池
原文传递
题名
单室沉积本征微晶硅薄膜及其在电池中的应用
被引量:
6
1
作者
王光红
张晓丹
孙福河
许盛之
岳强
魏长春
孙建
耿新华
熊绍珍
赵颖
机构
南开大学光电子薄膜器件与技术研究所
出处
《光电子.激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第5期637-641,共5页
基金
国家高技术研究发展规划资助项目(2007AA05Z436)
国家重点基础研究发展规划资助项目(2006CB202602
+4 种基金
2006CB202603)
国家自然科学基金资助项目(60506003)
科技部国际合作重点资助项目(2006DFA62390)
教育部新世纪人才计划的资助项目
南开大学博士启动基金资助项目(J02031)
文摘
为获得单室沉积高效微晶硅(μc-Si)太阳电池,首先采用甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术制备了不同沉积条件下的本征μc-Si薄膜。通过对材料的结构和电学输运特性的研究,借鉴分室沉积的器件质量级μc-Si材料的经验,选取合适的本征层和p种子层处理B污染的技术,在单室中制备出光电转换效率为6.23%(1cm2)的单结μc-Si电池。
关键词
单室
甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)
本征微晶硅(
μc-si
)
太阳电池
Keywords
single-chamber
very high frequency plasma enhanced chemical vapor deposition(VHF- PECVD)
intrinsic microerystalline silicon(μc-si)
solar cells
分类号
TN304.1 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
单室沉积本征微晶硅薄膜及其在电池中的应用
王光红
张晓丹
孙福河
许盛之
岳强
魏长春
孙建
耿新华
熊绍珍
赵颖
《光电子.激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
6
原文传递
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