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Simulation Investigation on Particle Transmission Characteristics of Two Different Ion Barrier Films
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作者 李野 付申成 +3 位作者 向嵘 王国政 端木庆铎 田景全 《Defence Technology(防务技术)》 SCIE EI CAS 2008年第4期268-271,共4页
The simulation calculation and analysis of electron transmittance and ion stopping power for ion barrier films (IBFs) of Al2O3 and SiO2 are performed by Monte Carlo methods. The interaction model between particles and... The simulation calculation and analysis of electron transmittance and ion stopping power for ion barrier films (IBFs) of Al2O3 and SiO2 are performed by Monte Carlo methods. The interaction model between particles and solids are described. It is found that at the same conditions,the electron transmittance for SiO2 IBF is relatively higher than that of Al2O3 IBF,and the ion stopping power of SiO2 IBF is relatively lower than that of Al2O3 by Monte Carlo simulations. It is also indicated that SiO2 is one of the ideal materials for fabricating IBFs. 展开更多
关键词 真空电子学 电子物理学 光电子学 激光
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微通道板BeO防离子反馈膜粒子阻透率的模拟研究
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作者 鲁蓝霜 王国政 +2 位作者 夏加 张益博 杨继凯 《半导体光电》 CAS 北大核心 2023年第3期400-403,共4页
带有防离子反馈膜的微通道板是第三代微光像增强器件中的核心部件。文章阐述了防离子反馈膜的电子透过、离子阻止特性,利用Monte-Carlo模拟方法计算了氧化铍和三氧化二铝防离子反馈膜电子透过率和离子阻止率在不同条件下的变化曲线。模... 带有防离子反馈膜的微通道板是第三代微光像增强器件中的核心部件。文章阐述了防离子反馈膜的电子透过、离子阻止特性,利用Monte-Carlo模拟方法计算了氧化铍和三氧化二铝防离子反馈膜电子透过率和离子阻止率在不同条件下的变化曲线。模拟结果表明,氧化铍薄膜比三氧化二铝薄膜的电子透过特性好,而三氧化二铝薄膜比氧化铍薄膜的离子阻止本领好,证实了氧化铍作为防离子反馈膜的可行性。 展开更多
关键词 防离子反馈膜 蒙特卡罗模拟 电子透过率 离子阻止率
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微通道板离子壁垒膜及其对入射离子的阻止作用 被引量:4
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作者 姜德龙 刘庆飞 +6 位作者 李野 王国政 高延军 吴奎 付申成 端木庆铎 田景全 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期1015-1020,共6页
给出了三代微光像管中微通道板离子壁垒膜对入射正离子阻止作用的描述,引进了核阻止本领、电子阻止本领和平均射程的概念。结合Tomas-Fermi屏蔽势进行了分析讨论和Monte-Carlo模拟计算,给出Al2O3和SiO2薄膜对不同能量垂直入射时的核、... 给出了三代微光像管中微通道板离子壁垒膜对入射正离子阻止作用的描述,引进了核阻止本领、电子阻止本领和平均射程的概念。结合Tomas-Fermi屏蔽势进行了分析讨论和Monte-Carlo模拟计算,给出Al2O3和SiO2薄膜对不同能量垂直入射时的核、电子阻止的定量结果。得出了Al2O3薄膜阻止本领比SiO2阻止本领高的结论。证实了选用Al2O3离子壁垒膜的科学性和可行性。 展开更多
关键词 微通道板 离子壁垒膜 核阻止 电子阻止 蒙特卡罗模拟
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微通道板SiO_2防离子反馈膜技术研究 被引量:4
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作者 李野 姜德龙 +7 位作者 向嵘 付申成 王国政 吴奎 王新 端木庆铎 富丽晨 田景全 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第12期2400-2404,共5页
本文利用射频磁控溅射方法,在微通道板输入面上成功地制备出二氧化硅防离子反馈膜.通过对二氧化硅防离子反馈膜的电子透过特性测试,给出了特性曲线.利用蒙特卡罗模拟方法对二氧化硅和三氧化二铝两种防离子反馈膜的电子透过和离子阻止能... 本文利用射频磁控溅射方法,在微通道板输入面上成功地制备出二氧化硅防离子反馈膜.通过对二氧化硅防离子反馈膜的电子透过特性测试,给出了特性曲线.利用蒙特卡罗模拟方法对二氧化硅和三氧化二铝两种防离子反馈膜的电子透过和离子阻止能力进行了分析和比较,得出了二氧化硅薄膜比三氧化二铝薄膜对电子的透过特性稍好,而后者比前者对离子的阻止能力较优越的结论. 展开更多
关键词 微通道板 二氧化硅 防离子反馈膜 蒙特卡罗模拟
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基于BCG-MCP的四代微光像增强技术 被引量:6
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作者 姜德龙 吴奎 +4 位作者 王国政 李野 富丽晨 端木庆铎 田景全 《红外技术》 CSCD 北大核心 2003年第6期45-48,共4页
介绍了Ⅲ代微光像管中的防离子反馈膜技术 ,阐述了美国Litton公司基于BCG MCP的Ⅳ代像管的近期发展及应用概况 ,给出了实际应用中的对比情况 ,指出了BCG MCP。
关键词 BCG-MCP 自动门控电源 无晕技术 体导电玻璃微通道板 BCGMCP 四代微光像管 离子反馈 晕光效应
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微通道板离子壁垒膜及其特性 被引量:2
6
作者 姜德龙 吴奎 +5 位作者 王国政 李野 高延军 端木庆铎 富丽晨 田景全 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期737-742,共6页
介绍了微光像管中微通道板离子壁垒膜及其形成技术,研究了其粒子(电子和离子)透过特性。给出了死电压概念、死电压曲线、死电压与膜厚关系曲线以及半视场对比测试结果;给出采用X射线光电子能谱(XPS)进行成分分析的结果。介绍了离子壁垒... 介绍了微光像管中微通道板离子壁垒膜及其形成技术,研究了其粒子(电子和离子)透过特性。给出了死电压概念、死电压曲线、死电压与膜厚关系曲线以及半视场对比测试结果;给出采用X射线光电子能谱(XPS)进行成分分析的结果。介绍了离子壁垒膜的离子透过特性,给出了表征膜层对离子阻止能力的离子透过率的概念,提出了离子透过率测试的原理方案和相关技术等问题。 展开更多
关键词 微通道板 离子壁垒膜 免污染成膜工艺 死电压 离子透过率
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ZnO薄膜在微光像增强器中的潜在应用 被引量:2
7
作者 王新 孙瑶 +1 位作者 李野 端木庆铎 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第1期151-154,共4页
ZnO薄膜是一种新型的宽带隙透明氧化物薄膜材料,具有优良的物理和化学特性。在微光像增强器中具有多方面的潜在应用。通过对ZnO材料晶格参数等的研究,发现可以作为制备高质量GaN紫外光电阴极的缓冲层。通过对ZnO能带的研究,发现ZnO本身... ZnO薄膜是一种新型的宽带隙透明氧化物薄膜材料,具有优良的物理和化学特性。在微光像增强器中具有多方面的潜在应用。通过对ZnO材料晶格参数等的研究,发现可以作为制备高质量GaN紫外光电阴极的缓冲层。通过对ZnO能带的研究,发现ZnO本身还可以独立的作为负电子亲和势光电阴极材料,一旦p型ZnO制备获得成功,将更有利于形成负电子亲和势光电阴极。此外,采用蒙特卡罗模拟的方法发现ZnO薄膜比传统的Al2O3防离子反馈膜对碳等正离子具有更强的阻挡作用,有可能取代Al2O3薄膜用于制备三代微光器件防离子反馈膜。ZnO薄膜还具有较高的二次电子发射系数和适合的电阻率,可以用来制备Si微通道板打拿极。 展开更多
关键词 ZNO薄膜 微光像增强器 光电阴极 防离子反馈膜 打拿极
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微光像增强管离子阻挡膜质量测试技术研究 被引量:1
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作者 贺英萍 张太民 +2 位作者 石峰 朱宇峰 拜晓锋 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2009年第3期482-485,共4页
鉴于通常制作的离子阻挡膜存在通孔,在阴极低电压下,经MCP电子倍增在荧光屏上显示为亮孔,为测试出规则与不规则亮孔的大小和数量,提出了一种像管的离子阻挡膜质量测试方法。该方法是在规定电压和光阴极照度的条件下,使像管光阴极接收约... 鉴于通常制作的离子阻挡膜存在通孔,在阴极低电压下,经MCP电子倍增在荧光屏上显示为亮孔,为测试出规则与不规则亮孔的大小和数量,提出了一种像管的离子阻挡膜质量测试方法。该方法是在规定电压和光阴极照度的条件下,使像管光阴极接收约2lx的光照射,给像管各极施加电压使像管荧光屏上离子阻挡膜亮孔清晰可见,用10倍显微镜或相机拍照,观察荧光屏所成的离子阻挡膜通孔图像。试验结果表明:在相同的测试条件下,离子阻挡膜的制作工艺不同,离子阻挡膜质量亦不同。 展开更多
关键词 微光像管 微通道板 离子阻挡膜 膜质量测试
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微通道板离子阻挡膜对三代像管分辨率的影响 被引量:3
9
作者 闫金良 向世明 《应用光学》 CAS CSCD 1997年第6期24-26,43,共4页
分析传统的微通道板离子阻挡膜对三代像管分辨率的影响,指出离子阻挡膜衰减碰撞通道壁的一次电子数及其工艺引起的通道内壁碳污染是导致带膜三代像管分辨率下降的主要原因,提出降低离子阻挡膜对三代像管分辨率影响的主要技术途径。
关键词 离子阻挡膜 三代像管 分辨率 微通道板 MCP
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微通道板离子壁垒膜粒子阻透特性的蒙特卡罗模拟(英文) 被引量:1
10
作者 姜德龙 房立峰 +2 位作者 那延祥 李野 田景全 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第8期816-820,共5页
在三代微光像管中,微通道板(MCP)输入面上覆盖一层超薄离子壁垒膜(IBF),目的是保护光电阴极,延长像管使用寿命。为了深入研究离子壁垒膜的特性,本文对Al2O3和SiO2两种离子壁垒膜的粒子阻透能力进行了蒙特卡罗模拟,结果表明:5 nm厚Al2O3... 在三代微光像管中,微通道板(MCP)输入面上覆盖一层超薄离子壁垒膜(IBF),目的是保护光电阴极,延长像管使用寿命。为了深入研究离子壁垒膜的特性,本文对Al2O3和SiO2两种离子壁垒膜的粒子阻透能力进行了蒙特卡罗模拟,结果表明:5 nm厚Al2O3和SiO2离子壁垒膜的死电压分别为230~240 V和220~230 V之间;输入能量0.24 keV时背散射电子数最高达19%左右;输入能量0.8 keV时,Al2O3膜电子透过率为87.16%,SiO2膜为88.12%,电子透过的极限膜厚前者为15 nm,后者为16 nm;对于输入能量0.26 keV的C+、N+、O+离子,Al2O3膜的离子阻当率为95%~99%;Al2O3离子壁垒膜在厚度5 nm时具有较好的电子透过率和较高的离子阻挡率。 展开更多
关键词 微通道板 离子壁垒膜 蒙特卡罗模拟 电子透过 离子阻止
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防离子反馈膜粒子阻透率随环境温度变化的模拟研究 被引量:1
11
作者 付申成 李野 +2 位作者 端木庆铎 桑文玲 孙擘 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第1期129-132,共4页
覆有防离子反馈膜的微通道板是第三代微光像增强器的核心部件之一。真空高温烘烤除气过程对防离子反馈膜粒子阻透特性会产生破坏性的影响。文中利用分子动力学方法模拟计算并得到Al2O3薄膜的膜层密度随环境温度的变化规律。利用蒙特卡... 覆有防离子反馈膜的微通道板是第三代微光像增强器的核心部件之一。真空高温烘烤除气过程对防离子反馈膜粒子阻透特性会产生破坏性的影响。文中利用分子动力学方法模拟计算并得到Al2O3薄膜的膜层密度随环境温度的变化规律。利用蒙特卡洛方法模拟计算了Al2O3薄膜的电子透过率和离子阻挡率随入射粒子能量的变化曲线。得到Al2O3薄膜的死电压在235 V左右,同时得出防离子反馈膜离子阻挡率在入射离子能量降低后有所增加。在入射离子能量降低为250 eV时,C、N、O离子被Al2O3薄膜阻挡的比率高达96%-99%。综合以上因素分析得出,随着外部温度的升高,电子透过率线性增加,而离子阻挡率非线性的下降。合理优化并调整高温烘烤时间和量值将有助于防离子反馈膜工作性能的改善。 展开更多
关键词 防离子反馈膜 电子透过率 离子阻挡率 环境温度
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低磁控溅射率MCP防离子反馈膜工艺研究 被引量:2
12
作者 朱宇峰 张太民 +1 位作者 聂晶 师宏立 《应用光学》 CAS CSCD 2008年第3期360-363,共4页
为消除反馈正离子对三代微光夜视器件光阴极的有害轰击,提高微光像增强器的工作寿命,开展了低磁控溅射率法沉积微通道板(MCP)Al2O3防离子反馈膜的工艺研究。通过优化制备工艺,获得了制备MCP防离子反馈膜的最佳沉积条件:溅射电压10... 为消除反馈正离子对三代微光夜视器件光阴极的有害轰击,提高微光像增强器的工作寿命,开展了低磁控溅射率法沉积微通道板(MCP)Al2O3防离子反馈膜的工艺研究。通过优化制备工艺,获得了制备MCP防离子反馈膜的最佳沉积条件:溅射电压1000V,溅射气压(4~5)×10^-2Pa,沉积速率0.5nm/min等。研究结果表明:在此工艺条件下,能够制备出均匀、致密且通孔满足质量要求的MCP防离子反馈膜。如果偏离这一最佳工艺条件,制备出的MCP防离子反馈膜膜层疏松、不连续,且通孔不能满足要求。 展开更多
关键词 磁控溅射 微通道板(MCP) 防离子反馈膜
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微通道板离子阻挡膜 被引量:4
13
作者 闫金良 《应用光学》 CAS CSCD 1996年第1期12-14,共3页
微通道板离子阻挡膜在第三代微光像增强器中起着重要作用,本文在分析离子阻挡膜形成原理的基础上,给出了实验方案。最后,测量和分析了带膜微通过板的性能。
关键词 微通道板 离子阻挡膜 微光技术
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热障涂层制备技术研究进展 被引量:26
14
作者 牟仁德 何利民 +1 位作者 陆峰 陶春虎 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2007年第5期1-4,共4页
随着燃气涡轮发动机进口工作温度的提高,热障涂层技术受到了广泛的关注。综述了热障涂层研究及应用中的几种主要制备技术,包括等离子喷涂、电子束物理气相沉积、离子束辅助沉积、化学气相沉积等。介绍了上述几种制备技术的沉积原理,分... 随着燃气涡轮发动机进口工作温度的提高,热障涂层技术受到了广泛的关注。综述了热障涂层研究及应用中的几种主要制备技术,包括等离子喷涂、电子束物理气相沉积、离子束辅助沉积、化学气相沉积等。介绍了上述几种制备技术的沉积原理,分析了各自的特点,并从涂层显微结构、涂层寿命、应用范围等方面进行了对比,认为离子束辅助沉积和化学气相沉积技术在未来高性能新型热障涂层制备中具有较大的发展潜力。 展开更多
关键词 热障涂层 等离子喷涂 离子束辅助沉积 化学气相沉积
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离子刻蚀对磁控溅射氧化铝薄膜的影响 被引量:1
15
作者 林晶 刘壮 +1 位作者 孙智慧 高德 《包装工程》 CAS CSCD 北大核心 2008年第7期9-10,13,共3页
研究了PET薄膜表面经氩离子刻蚀后其物理性能的变化,经氩离子刻蚀后磁控溅射沉积Al2O3薄膜表面的测试结果表明:离子刻蚀使PET基体表面更加洁净;Al2O3与基体的结合强度增大;镀膜表面更加均匀;虽然对阻隔性的影响不大,但由于结合强度的增... 研究了PET薄膜表面经氩离子刻蚀后其物理性能的变化,经氩离子刻蚀后磁控溅射沉积Al2O3薄膜表面的测试结果表明:离子刻蚀使PET基体表面更加洁净;Al2O3与基体的结合强度增大;镀膜表面更加均匀;虽然对阻隔性的影响不大,但由于结合强度的增加,Al2O3膜在使用的过程中,膜层不易脱落,对保持阻隔性有一定的作用。 展开更多
关键词 离子刻蚀 磁控溅射 陶瓷薄膜 阻隔性
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电弧离子镀TiC扩散障结构及抗高温氧化性能研究 被引量:5
16
作者 蔡妍 李建平 +2 位作者 陆峰 陶春虎 张鹏飞 《真空》 CAS 北大核心 2010年第5期5-8,共4页
采用电弧离子镀技术(AIP)在NiCrAlY涂层与镍基高温合金(DD3合金)之间沉积TiC薄膜作为扩散障层,研究了TiC对NiCrAlY涂层与基体的元素互扩散的阻碍作用和对涂层氧化动力曲线的影响。对于添加扩散障层前后的试样,进行循环抗氧化试验来评价... 采用电弧离子镀技术(AIP)在NiCrAlY涂层与镍基高温合金(DD3合金)之间沉积TiC薄膜作为扩散障层,研究了TiC对NiCrAlY涂层与基体的元素互扩散的阻碍作用和对涂层氧化动力曲线的影响。对于添加扩散障层前后的试样,进行循环抗氧化试验来评价其抗高温氧化性能,并用扫描电镜(SEM)分析氧化前后试样微观形貌和成分,用X-射线衍射仪分析涂层的相结构。试验结果表明:TiC有效阻滞DD3基体与涂层之间的元素互扩散,提高了NiCrAlY涂层和DD3合金的抗高温氧化性能。 展开更多
关键词 TIC 扩散障 电弧离子镀 抗高温氧化性能
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离子镀TiN膜层的阻扩散性 被引量:1
17
作者 刘德浚 于峰 王介淦 《表面技术》 EI CAS CSCD 1993年第5期189-196,共8页
研究了用离子镀方法沉积 TiN 膜作为高温环境下耐热涂层和基体之间扩散壁障(中间阻挡层)的可行性。结果表明,有 TiN 中间层试样。其高温抗氧化性能明显提高,TiN 层在一定温度范围内有良好的稳定性和阻扩散性。阐述了以Al 为耐热涂层时,T... 研究了用离子镀方法沉积 TiN 膜作为高温环境下耐热涂层和基体之间扩散壁障(中间阻挡层)的可行性。结果表明,有 TiN 中间层试样。其高温抗氧化性能明显提高,TiN 层在一定温度范围内有良好的稳定性和阻扩散性。阐述了以Al 为耐热涂层时,TiN 中间层阻挡 Al 原子扩散的机理。 展开更多
关键词 离子镀 阻扩散性 氮化钛
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微通道板防离子反馈膜运转的有效性
18
作者 闫金良 向世明 《应用光学》 CAS CSCD 1997年第5期26-29,共4页
介绍做通道板Al2O3防离子反馈膜的离子透过特性试验方法及结果。给出描述离子气馈膜运转有效性的理论表达式。
关键词 微通道板 离子反馈膜 像增强器 微光技术
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微通道板防离子反馈膜性能的研究
19
作者 闫金良 姜德龙 《红外技术》 CSCD 北大核心 1997年第6期25-28,共4页
介绍了微通道板(MCP)防离子反馈膜在三代微光象增强器中的作用,测量了防离子反馈膜的电子透过特性和离子透过特性,比较了用带膜MCP做成的二代薄片管和不带膜的MCP做成的二代薄片管的脉冲幅度分布、寿命和阴极灵敏度衰减。... 介绍了微通道板(MCP)防离子反馈膜在三代微光象增强器中的作用,测量了防离子反馈膜的电子透过特性和离子透过特性,比较了用带膜MCP做成的二代薄片管和不带膜的MCP做成的二代薄片管的脉冲幅度分布、寿命和阴极灵敏度衰减。实验发现,非晶态Al2O3防离子反馈膜能有效地透过电子,阻止反馈离子,降低闪烁噪声,延缓阴极灵敏度衰减,延长象管工作寿命。 展开更多
关键词 微通道板 防离子反馈膜 象增强器
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微通道板防离子反馈膜调制传递函数的研究
20
作者 闫金良 《应用光学》 CAS CSCD 1997年第4期20-23,共4页
研究电子与薄膜的相互作用,给出电子通过薄膜后的角度分布表达式。利用弹性散射电子在薄膜中的空间几率分布密度表达式计算微通道板防离子反馈膜的调制传递函数。
关键词 微通道板 防离子反馈膜 调制传递函数 微光
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