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Modeling and Analysis of Low Frequency Noise in Ion-Field-Effect Transistors Sensors
1
作者 Jihen Chermiti Sawsen Azzouzi +2 位作者 Mounir Ben Ali Mhamed Trabelsi Abdelhamid Errachid 《Modeling and Numerical Simulation of Material Science》 2014年第3期119-127,共9页
Ions Sensitive Field Effect Transistors (ISFETs) are becoming the platform sensors for important chemical and biomedical applications. However, the accuracy of ISFET output measurement is greatly affected by the prese... Ions Sensitive Field Effect Transistors (ISFETs) are becoming the platform sensors for important chemical and biomedical applications. However, the accuracy of ISFET output measurement is greatly affected by the presences of low-frequency noise, drift and slow response of the device. This requires more safety in measured results and the tools of analysis. In this paper, we present fundamental limits on the sensitivity of ISFETs micro-sensors, arising from intrinsic and extrinsic noise sources. We developed an algorithm in MATLAB in order to model the frequency analysis of the 1/f noise in ISFET sensor using Hooge theory. We have shown that the 1/f noise of the ISFETs sensors is due to both the electrochemical system (pH solution) and the MOS component (canal size, insulator thickness). The temperature effect on the ISFET noise and the signal conditioning are also performed. 展开更多
关键词 Top-Spice Modeling Ion sensitive field effect transistor LOW-FREQUENCY Noise
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Study on the Carbon Nanotube Separative Structure for the Extended Gate H^+-Ion Sensitive Field Effect Transistor 被引量:1
2
作者 Yi-Hung Liao Jung-Chuan Chou 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第A03期225-227,共3页
We use the carbon nanotube (CNT) as the material of the pH sensing layer of the separative structure for the extended gate H^+-ion sensitive field effect transistor (EGFET) device.The CNT paste was prepared with CNT p... We use the carbon nanotube (CNT) as the material of the pH sensing layer of the separative structure for the extended gate H^+-ion sensitive field effect transistor (EGFET) device.The CNT paste was prepared with CNT powder,Ag powder,silicagel,the di-n-butyl phthalate and the toluene solvents by appropriate ratio,then immobilized on the silicon substrate to form the carbon nanotube sensing layer.We measured theⅠ_(DS)-Ⅴ_G curves of the carbon nanotube separative structure EGFET device in the different pH buffer solutions by the Keithley 236Ⅰ-Ⅴmeasurement system.According to the experimental results,we can obtain the pH sensitivities of the carbon nanotube separative structure EGFET device,which is 62.54mV/pH from pH1 to pH13. 展开更多
关键词 carbon nanotube extended gate field effect transistor pH sensitivity buffer solution
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Study on the Drift Effect of Potassium Ion Sensing Based on the Extended Gate Field Effect Transistor
3
作者 Jung-Chuan Chou Ching-Hsiang Hsu 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第A03期259-260,共2页
The advantages of the extended gate field effect transistor (EGFET) compared with the ion sensitive field effect transistor (ISFET) are easy package,easy preservation,insensitive light effect,and better stability.Al... The advantages of the extended gate field effect transistor (EGFET) compared with the ion sensitive field effect transistor (ISFET) are easy package,easy preservation,insensitive light effect,and better stability.Although EGFET has above advantages,there are still some non-ideal effects such as drift etc..The drift behavior exists during the measurement process and results in the variation of the output voltage with time.We can obtain the drift value by immersing EGFET into the pH solution for 12 hours and measure the rate of the output voltage versus time after S hours.This study analyzes the sensitivity, stability,and drift effect of the EGFET based on the structure of the ruthenium oxide/silicon (RuO_x/Si) wafer for measuring the potassium ion.The fabrication of the potassium ion sensor can be widely employed in medical detection. 展开更多
关键词 potassium ion extended gate field effect transistor RuO_x/Si wafer sensitivity DRIFT
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基于ISFET的尼古丁传感器的研究 被引量:2
4
作者 李先文 杨伯伦 《分析科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期234-236,共3页
报道了一种测定尼古丁的新方法。用二苦胺作电活性物质 ,将离子敏感场效应晶体管与药物敏感膜相结合 ,制成尼古丁传感器 ,测定尼古丁的线性范围为 1 .0×1 0 - 2 ~ 3.0× 1 0 - 5mol/L,适宜的 p H值范围为 5 .0~ 8.5 ,传感器... 报道了一种测定尼古丁的新方法。用二苦胺作电活性物质 ,将离子敏感场效应晶体管与药物敏感膜相结合 ,制成尼古丁传感器 ,测定尼古丁的线性范围为 1 .0×1 0 - 2 ~ 3.0× 1 0 - 5mol/L,适宜的 p H值范围为 5 .0~ 8.5 ,传感器灵敏度为 5 8.0 m V/pc。用该传感器分析烟草中的尼古丁含量 。 展开更多
关键词 isfet
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STUDY OF FEASIBILITY OF USING Ag-AgCl ELECTRODE AS REFERENCE ELECTRODE OF THE ISFET
5
作者 何杏君 王守琦 《Journal of Electronics(China)》 1990年第3期285-288,共4页
The preparation,principle and measurement results of the complex ISFET withAg-AgCl reference electrode are presented in this paper.Through experiment and theory weendeavor to show the feasibility of using the Ag-AgCl ... The preparation,principle and measurement results of the complex ISFET withAg-AgCl reference electrode are presented in this paper.Through experiment and theory weendeavor to show the feasibility of using the Ag-AgCl electrode which is without solution contactas reference electrode and the way of overcoming its instability;it gives a rational explanationfor phenomenon of the ion sensitive field effect transistor which does not conform to Nernstianresponse,when we measured cations of Na<sup>+</sup>, Ca<sup>++</sup>,etc.with the Ag-AgCl reference electrode. 展开更多
关键词 complex-ion sensitive field effect transistor activity reference ELECTRODE response time
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MEMS工艺制备pH-ISFET/REFET功能膜研究 被引量:2
6
作者 汪祖民 韩泾鸿 +2 位作者 任振兴 杨海钢 夏善红 《电子器件》 CAS 2007年第3期741-744,共4页
微电子技术的快速发展,促使硅基传感器向着集成化、微型化、可批量加工方向发展.对于pH-ISFET集成芯片而言,如何以MEMS工艺制备性能优良的pH功能膜,是其发展的关键.目的:以适合批量加工的MEMS工艺研制pH功能膜;方法:在小尺寸集成芯片的... 微电子技术的快速发展,促使硅基传感器向着集成化、微型化、可批量加工方向发展.对于pH-ISFET集成芯片而言,如何以MEMS工艺制备性能优良的pH功能膜,是其发展的关键.目的:以适合批量加工的MEMS工艺研制pH功能膜;方法:在小尺寸集成芯片的基础上,以MEMS工艺分别制备Ta2O5材料的pH敏感膜,PTFE材料的pH钝化膜;结果:在pH1~12范围内,Ta2O5膜pH-ISFET对H+的灵敏度达56mV/pH,PTFE膜REFET对H+的响应仅为0.13mV/pH;结论:采用MEMS工艺,可对以标准CMOS技术加工的ISFET集成芯片系统,进行后续加工,从而实现传感器芯片系统的全过程批量加工. 展开更多
关键词
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参比场效应晶体管(REFET)及其与ISFET集成化的研究 被引量:1
7
作者 王东红 武士香 +2 位作者 虞惇 王贵华 沈汉平 《传感技术学报》 CAS CSCD 1989年第1期19-23,共5页
本文介绍为实现带有参比电极的ISFET测量探头微型化而研制成的一种新型探头。采用等离子聚合方法在ISFET敏感栅上覆盖一层聚苯烯薄膜(PPS),使其成为对H^+不敏感的参比场效应晶体管(REFET)。而后采用IC艺,将ISFET,REFET和伪参比电极集成... 本文介绍为实现带有参比电极的ISFET测量探头微型化而研制成的一种新型探头。采用等离子聚合方法在ISFET敏感栅上覆盖一层聚苯烯薄膜(PPS),使其成为对H^+不敏感的参比场效应晶体管(REFET)。而后采用IC艺,将ISFET,REFET和伪参比电极集成化,得到可用于微量溶液测量的微型探头,将探头中的ISFET和REFET按差分对管方式连接于差放线路中,由于两管对溶液中pH值响应不同,可输出随pH值变化的差模信号。研制的REFET在pH4~pH11范围内几乎无响应,表明了PPS膜具有较少的表面态及良好的H^+掩蔽性。用集成化探头测量pH值,灵敏度可达55mV/pH。 展开更多
关键词 PH
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基于壳聚糖膜的ISFET麻黄碱传感器的研究 被引量:1
8
作者 李先文 杨伯伦 《传感技术学报》 CAS CSCD 2003年第3期332-334,共3页
以硅钨酸为电活性物质 ,用壳聚糖代替传统的聚氯乙烯 (PVC)作为成膜物质 ,制成药物敏感膜。将其与离子敏感场效应晶体管 (ISFET)相结合 ,制成药物敏感传感器。传感器对麻黄碱有良好的响应 ,能斯特范围为 5 0× 10 - 5~ 1 0× ... 以硅钨酸为电活性物质 ,用壳聚糖代替传统的聚氯乙烯 (PVC)作为成膜物质 ,制成药物敏感膜。将其与离子敏感场效应晶体管 (ISFET)相结合 ,制成药物敏感传感器。传感器对麻黄碱有良好的响应 ,能斯特范围为 5 0× 10 - 5~ 1 0× 10 - 2 mol·L- 1 ,响应的灵敏度为 5 8 3mV/pC(C的单位为mol·L- 1 ) ,适宜的pH范围是 3 5~ 8 0。利用该传感器分析麻黄碱片剂含量 。 展开更多
关键词 isfet
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新型pH-ISFET芯片系统研究
9
作者 汪祖民 任振兴 +3 位作者 韩泾鸿 边超 杨海钢 夏善红 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2007年第10期2525-2528,共4页
该文研究设计一种新型ISFET/REFET/PRE传感器与信号检测电路集成于一体的芯片系统。采用商业标准CMOS工艺实现了基础集成芯片,探索研究与集成芯片兼容的敏感薄膜制备技术及其相关后续工艺,着重研究电聚合法制备的H^+敏感PPy膜;与采用低... 该文研究设计一种新型ISFET/REFET/PRE传感器与信号检测电路集成于一体的芯片系统。采用商业标准CMOS工艺实现了基础集成芯片,探索研究与集成芯片兼容的敏感薄膜制备技术及其相关后续工艺,着重研究电聚合法制备的H^+敏感PPy膜;与采用低温Ta_2O_5敏感薄膜技术研制的集成芯片进行了比较。集成芯片具有灵敏度54mV/pH,响应时间0.1s,在pH1~12范围内线性相关系数99.99%的优良性能。 展开更多
关键词
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STUDY OF F^--ISFET
10
作者 何杏君 《Journal of Electronics(China)》 1992年第1期83-87,共5页
The fluorine ion sensitive field-effect transistor(F<sup>-</sup>-ISFET)is made by depositingvery thin LaF<sub>3</sub> film on grid of field-effect transistor with sputter method.The operating... The fluorine ion sensitive field-effect transistor(F<sup>-</sup>-ISFET)is made by depositingvery thin LaF<sub>3</sub> film on grid of field-effect transistor with sputter method.The operating principle,measuring method and measured results of F<sup>-</sup>-ISFET are given.The measured results show thatthis kind of sensor has higher sensitivity,shorter response time and better linearity.On the basisof experimental results,the factor of influencing the steadiness and repeatability of F<sup>-</sup>-ISFETare conjectured. 展开更多
关键词 field-effect transistor(FET) FLUORINE ion sensitive-FET Insulated gate-FET
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LPCVD氮化硅膜中的氢含量及其对pH-ISFET敏感特性的影响 被引量:2
11
作者 陈克铭 李国花 +1 位作者 吕惠云 陈朗星 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1991年第12期721-727,共7页
本文利用共振核反应定量地确定了LPCVD氮化硅敏感膜中,氢原子浓度及其分布.我们不仅证实了在825℃温度下,淀积的氮化硅敏感膜内存在氢原子,而且敏感膜表面所存在氢原子浓度为8—16×10^(21)cm^(-3),它高于敏感膜体内,其体内的氢原... 本文利用共振核反应定量地确定了LPCVD氮化硅敏感膜中,氢原子浓度及其分布.我们不仅证实了在825℃温度下,淀积的氮化硅敏感膜内存在氢原子,而且敏感膜表面所存在氢原子浓度为8—16×10^(21)cm^(-3),它高于敏感膜体内,其体内的氢原子浓度为2-3×10^(21)cm^(-3),而且敏感膜表面氢原子浓度大小与膜表面的制备条件密切相关,同时我们还利用傅利叶交换红外透射吸收光谱,确定了LPCVD氨化硅敏感膜中存在Si-O(1106cm^(-1))N-H(1200cm^(-1)),Si-H(2258cm^(-1))和N-H(3349cm^(-1))的化学键配位结构.敏感膜表面氧的存在严重地影响ISFET的能斯特响应和线性范围,而敏感膜表面的Si-H,N-H和N-Si 的化学键结构存在,有利于改善pH-ISFET 的灵敏度和线性范围. 展开更多
关键词 LPCVD
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扑尔敏ISFET化学传感器的研制与应用
12
作者 刘亚强 李先文 黄强 《理化检验(化学分册)》 CAS CSCD 北大核心 2001年第10期459-460,共2页
以苯并 15 冠 5作为电活性物质 ,邻苯二甲酸二辛酯作增塑剂 ,制成了PVC膜药物敏感场效应晶体管化学传感器 ,该传感器对扑尔敏的线性响应范围为 0 .5~ 3.0× 10 - 6mol·L- 1,具有较好的选择性、稳定性和重现性。用该传感器... 以苯并 15 冠 5作为电活性物质 ,邻苯二甲酸二辛酯作增塑剂 ,制成了PVC膜药物敏感场效应晶体管化学传感器 ,该传感器对扑尔敏的线性响应范围为 0 .5~ 3.0× 10 - 6mol·L- 1,具有较好的选择性、稳定性和重现性。用该传感器对扑尔敏进行测定 。 展开更多
关键词 15--5
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硅钨酸-丁氯喘ISFET的研制与应用
13
作者 刘亚强 李先文 +1 位作者 黄西潮 黄强 《分析科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2001年第1期56-59,共4页
以硅钨酸为活性物质 ,邻苯二甲酸二辛酯为增塑剂制成的 5%聚氯乙烯四氢呋喃溶液 ,涂在离子敏感场效应晶体管 ( ISFET)的栅极上 ,形成对药物敏感的场效应晶体管 ( Drug FET)。由该 Drug FET制成的化学传感器对盐酸丁氯喘的线性响应范围为... 以硅钨酸为活性物质 ,邻苯二甲酸二辛酯为增塑剂制成的 5%聚氯乙烯四氢呋喃溶液 ,涂在离子敏感场效应晶体管 ( ISFET)的栅极上 ,形成对药物敏感的场效应晶体管 ( Drug FET)。由该 Drug FET制成的化学传感器对盐酸丁氯喘的线性响应范围为 1 .0 0× 1 0 - 5~ 1 .50× 1 0 - 1mo L/L,斜率为 60 m V/Δpc,适宜的 p H范围为 4.5~8.2 ,检测下限为 8.50× 1 0 - 6 mo L/L。用该传感器分析了丁氯喘片剂的含量 。 展开更多
关键词
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ISFET分析普鲁卡因的研究
14
作者 李先文 黄强 《宝鸡文理学院学报(自然科学版)》 CAS 1999年第1期35-37,共3页
报道了一种分析普鲁卡因的新型离子敏感场效应晶体管传感器。研究了以DM-β-CD、Na-TPB为电活性物质时传感器的性能。以Na-TPB为活性物质时,传感器对普鲁卡因的Nernst响应范围为(1.0×10-1~1.... 报道了一种分析普鲁卡因的新型离子敏感场效应晶体管传感器。研究了以DM-β-CD、Na-TPB为电活性物质时传感器的性能。以Na-TPB为活性物质时,传感器对普鲁卡因的Nernst响应范围为(1.0×10-1~1.5×10-5)mol/L,适宜pH范围为3.0~7.5,响应灵敏度为57.5mV/pC,检出极限为8.5×10-6mol/L。用其分析普鲁卡因注射液含量,结果和药典方法吻合。 展开更多
关键词 isfet
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聚合物在pH-ISFET研究中的应用
15
作者 汪祖民 韩泾鸿 +2 位作者 任振兴 陈绍凤 夏善红 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2007年第4期1-3,共3页
聚合物具有许多无机物没有的特性,已被越来越多地应用到pH-ISFET中,主要体现在4个方面,即pH敏感膜、pH钝化膜、结构材料及封装材料。在介绍pH-ISFET工作机理的基础上,分析了其对功能薄膜的要求,总结、比较了各种用于pH-ISFET的聚合物的... 聚合物具有许多无机物没有的特性,已被越来越多地应用到pH-ISFET中,主要体现在4个方面,即pH敏感膜、pH钝化膜、结构材料及封装材料。在介绍pH-ISFET工作机理的基础上,分析了其对功能薄膜的要求,总结、比较了各种用于pH-ISFET的聚合物的特性、制备方法及其应用。 展开更多
关键词
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CMOS兼容的ISFET传感器模型和测量电路研究
16
作者 王阳 刘高平 +1 位作者 郭锋 尹湘源 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2007年第2期19-20,24,共3页
随着CMOS工艺的不断发展,将离子敏场效应晶体管(ISFET)传感器与CMOS技术相结合,以达到提高集成度、降低成本、减小系统尺寸、提高系统可靠性。在对与CMOS工艺兼容的ISFET传感器结构模型分析的基础上,研究了一种测量电路,它具有有利于消... 随着CMOS工艺的不断发展,将离子敏场效应晶体管(ISFET)传感器与CMOS技术相结合,以达到提高集成度、降低成本、减小系统尺寸、提高系统可靠性。在对与CMOS工艺兼容的ISFET传感器结构模型分析的基础上,研究了一种测量电路,它具有有利于消除体效应的影响、减少共模噪声的影响、克服温度漂移等优点。对该测量电路进行模拟仿真,得到输出电压与pH值之间的关系图,结果表明:其结果与理论模型仿真值基本吻合。 展开更多
关键词 isfet传感器 CMOS pH
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全固态AlGaN/GaN ISFET pH传感器的温度特性 被引量:2
17
作者 戴雅琼 黄德佳 +2 位作者 邢洁莹 潘郑州 张佰君 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第10期734-739,共6页
制备了集成式全固态AlGaN/GaN异质结离子敏感场效应晶体管(ISFET)结构pH传感器,并研究了其温度特性。将惰性金属薄膜作为固态参比电极集成到pH传感器主体上,取代传统的外置玻璃参比电极,实现了对微升溶液pH值的测量。将ISFET pH传感... 制备了集成式全固态AlGaN/GaN异质结离子敏感场效应晶体管(ISFET)结构pH传感器,并研究了其温度特性。将惰性金属薄膜作为固态参比电极集成到pH传感器主体上,取代传统的外置玻璃参比电极,实现了对微升溶液pH值的测量。将ISFET pH传感器分别在15,45和75℃下对不同pH值的微升标准溶液进行了测量。实验结果表明,随着温度升高,pH传感器的敏感度增大,其变化趋势与理论相符。当温度为75℃时,器件灵敏度达到50. 9 mV/pH。同时,实验中还观察到传感器的阈值电压随温度升高产生了正向漂移。通过传输线模型测试以及对肖特基圆环进行电容-电压特性测试,发现阈值电压变化的原因在于载流子迁移率随温度升高而明显降低。 展开更多
关键词 ALGAN/GAN 离子敏感场效应晶体管(isfet) PH
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Na TPB修饰ISFET制作Drug FET的研究 被引量:1
18
作者 黄西朝 《微电子技术》 2001年第3期23-25,共3页
用四苯硼钠 (NaTPB)修饰离子敏感效应晶体管 (ISFET)制成药物敏感场效应晶体管(DrugFET) ,具有良好的能斯特响应 ,斜率为 58mV/pC以上 ,线性范围为 1 0× 10 - 1~ 1 0× 10 - 5mol/L ,适宜的pH范围为 3 0~ 5 0。
关键词 DrugFET
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磷钨酸涂覆ISFET制作DrugFET的研究 被引量:1
19
作者 李先文 黄强 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1998年第5期45-46,50,共3页
用磷钨酸涂覆离子敏感场效应晶体管(ISFET)制成药物敏感场效应晶体管(DrugFET)。该器件具有全固态化、易微型化、集成化和多功能化等特点。用其对药物制剂的含量进行测定,所得结果和药典分析结果一致。
关键词 isfet
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基于ISFET的亚硝酸根传感器的研究
20
作者 黄西朝 焦更生 张学英 《微电子技术》 2003年第6期58-59,共2页
本文报道了一种基于ISFET的亚硝酸根传感器。该传感器以四 (十二烷基 )碘化铵为电活性物质 ,测定的线性范围为 1 0× 10 - 1~ 7 0× 10 - 4mol·L- 1,斜率为 54mv/decade (2 1℃ ) ,检测下限为 5 5× 10 - 4mol·L... 本文报道了一种基于ISFET的亚硝酸根传感器。该传感器以四 (十二烷基 )碘化铵为电活性物质 ,测定的线性范围为 1 0× 10 - 1~ 7 0× 10 - 4mol·L- 1,斜率为 54mv/decade (2 1℃ ) ,检测下限为 5 5× 10 - 4mol·L- 1,适宜的pH范围为 4 7~ 6 8。 展开更多
关键词 () isfet
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