计及边缘效应的扭转微镜的动态特性分析

基于计及边缘效应的矩形平行板的静电力计算公式,建立了扭转微镜的动力学模型,采用Rom-berg数值积分法计算驱动力,并借助迭代修正齐次扩容精细积分法求解非线性动力方程。数值计算结果表明:电压、微镜和电极的几何尺寸等参数都会影响微镜的边缘效应,从而使微镜的动态响应产生较大的误差,在分析微镜力学性能时应考虑边缘效应的影响。