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Surface roughness classification using light scattering matrix and deep learning
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作者 SUN Hao TAN Wei +2 位作者 RUAN YiXiao BAI Long XU JianFeng 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第2期520-535,共16页
High-quality optical components have been widely used in various applications;thus,extremely high beam quality is required.Moreover,surface roughness is a key indicator of the surface quality.In this study,the angular... High-quality optical components have been widely used in various applications;thus,extremely high beam quality is required.Moreover,surface roughness is a key indicator of the surface quality.In this study,the angular distribution of light scattering field intensity was obtained for surfaces having different roughness profiles based on the finite difference time domain(FDTD)method,and the results were compared with those obtained using the generalized Harvey-Shack(GHS)theory.It was shown that the FDTD approach can be used for an accurate simulation of the scattered field of a rough surface,and the superposition of results obtained from many surfaces that have the same roughness level was in good agreement with the result given by the analytic GHS model.A light scattering matrix(LSM)method was proposed based on the FDTD simulation results that could obtain rich surface roughness information.The classification effect of LSM was compared with that of the single-incidence scattering distribution(SISD)based on a ResNet-50 deep learning network.The classification accuracy of the model trained with the LSM dataset was obtained as 95.74%,which was 23.40%higher than that trained using the SISD dataset.Moreover,the effects of different noise types and filtering methods on the classification performance were analyzed,and the LSM was also shown to improve the robustness and generalizability of the trained surface roughness classifier.Overall,the proposed LSM method has important implications for improving the data acquisition scheme of current light scattering measurement systems,and it also has the potential to be used for detection and characterization of surface defects of optical components. 展开更多
关键词 surface roughness FDTD simulation GHS theory deep learning light scattering matrix
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Difference scattering field properties between periodic defect particles and three-dimensional slightly rough optical surface
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作者 葛城显 吴振森 +1 位作者 白靖 巩蕾 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第6期140-147,共8页
Based on the practical situation of nondestructive examination, the calculation model of the composite scattering is established by using a three-dimensional half-space finite difference time domain, and the Monte Car... Based on the practical situation of nondestructive examination, the calculation model of the composite scattering is established by using a three-dimensional half-space finite difference time domain, and the Monte Carlo method is used to solve the problem of the optical surface with roughness in the proposed scheme. Moreover, the defect particles are observed as periodic particles for a more complex situation. In order to obtain the scattering contribution of defects inside the optical surface, a difference radar cross section is added into the model to analyze the selected calculations on the effects of numbers, separation distances, different depths and different materials of defects. The effects of different incident angles are also discussed. The numerical results are analyzed in detail to demonstrate the best position to find the defects in the optical surface by detecting in steps of a fixed degree for the incident angle. 展开更多
关键词 light scattering difference scattering field periodic particles rough optical surface
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Study on optical wave scattering from slightly Gaussian rough surface of layered medium 被引量:15
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作者 任新成 郭立新 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2007年第10期605-608,共4页
The optical wave scattering from the slightly rough surface of three-layer medium is studied. The formulaes of the scattering coefficients for different polarizations are derived using the small perturbation method. A... The optical wave scattering from the slightly rough surface of three-layer medium is studied. The formulaes of the scattering coefficients for different polarizations are derived using the small perturbation method. A Gaussian rough surface is presented for describing rough surface of layered medium, the influence of the permittivity of layered medium, the mean layer thickness of intermediate medium, the surface roughness parameters and the incident wavelength on the bistatic scattering coefficient of HH polarization are obtained and discussed by numerical implementation. 展开更多
关键词 light polarization light scattering Surface roughness
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花岗岩表面双向反射分布函数实验研究 被引量:21
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作者 谢鸣 徐辉 +2 位作者 邹勇 阮立明 谈和平 《工程热物理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期683-685,共3页
本文介绍了双向反射分布函数(BRDF)的概念及测量方法。首先对典型建筑材料中的某种花岗岩表面进行了表面粗糙度的测量,并在现有条件内通过转动样片和探测器,实现了空间BRDF的测量,测量波段分别为0.6328 μm和1.34 μm,分析了表面粗糙度... 本文介绍了双向反射分布函数(BRDF)的概念及测量方法。首先对典型建筑材料中的某种花岗岩表面进行了表面粗糙度的测量,并在现有条件内通过转动样片和探测器,实现了空间BRDF的测量,测量波段分别为0.6328 μm和1.34 μm,分析了表面粗糙度对BRDF的影响。 展开更多
关键词 双向反射分布函数 表面粗糙度 光散射
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多层介质薄膜膜层间界面粗糙度及光散射 被引量:9
5
作者 潘永强 吴振森 +1 位作者 杭凌侠 穆亚勇 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2009年第3期433-436,共4页
利用泰勒霍普森相关相干表面轮廓粗糙度仪(Talysurf CCI)分别对基底和采用电子束热蒸发技术沉积的15层二氧化钛(TiO2)和二氧化硅(SiO2)为膜料的介质高反膜的膜层间的界面粗糙度进行了研究,并对不同工艺下沉积的薄膜界面粗糙度以及不同... 利用泰勒霍普森相关相干表面轮廓粗糙度仪(Talysurf CCI)分别对基底和采用电子束热蒸发技术沉积的15层二氧化钛(TiO2)和二氧化硅(SiO2)为膜料的介质高反膜的膜层间的界面粗糙度进行了研究,并对不同工艺下沉积的薄膜界面粗糙度以及不同基底粗糙度上沉积的薄膜的表面粗糙度进行了比较。实验结果表明:TiO2薄膜对基底或下表面粗糙度有较好的平滑作用,随着TiO2和SiO2膜层的交替镀制,膜层间表面粗糙度呈现出低高交替的现象,随着膜层层数的增加,膜层间界面粗糙度低高变化范围减小;采用离子束辅助沉积工艺时,膜层间界面粗糙度低高变化范围较小。总散射损耗的理论计算表明:中心波长处完全非相关模型下的总散射损耗小于完全相关模型下的总散射损耗。实验结果表明:界面粗糙度的相关度约为0.4。 展开更多
关键词 界面粗糙度 白光干涉轮廓仪 均方根粗糙度 光散射
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光学表面散射模型探索 被引量:9
6
作者 田来科 刘芳 +1 位作者 高昕 滕霖 《激光杂志》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第3期154-156,159,共4页
文章讨论了光散射模型和表面粗糙度的统计特征.由数值解得到:入射角在决定散射曲线的行为中起着重要的作用。
关键词 光散射 反射 表面粗糙度
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基于杂散光抑制要求的光学表面粗糙度控制方法研究 被引量:6
7
作者 宋延松 杨建峰 +2 位作者 李福 马小龙 王红 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第19期69-77,共9页
光学表面加工误差引起的散射是影响光学系统成像性能的重要因素.描述表面总散射能量的均方根粗糙度是评定光学表面粗糙度的通用指标,但因其未能体现散射能量的空间分布,在表征光学表面散射对具体光学系统杂散光性能影响时存在准确度不... 光学表面加工误差引起的散射是影响光学系统成像性能的重要因素.描述表面总散射能量的均方根粗糙度是评定光学表面粗糙度的通用指标,但因其未能体现散射能量的空间分布,在表征光学表面散射对具体光学系统杂散光性能影响时存在准确度不足的局限.本文基于全积分散射及双向散射分布函数理论,针对杂散光抑制要求提出一种光学表面粗糙度控制的新方法.首先通过分析确定光学表面纹理中影响系统杂散光的空间频率范围,然后度量该频率带限范围内的表面均方根粗糙度,作为控制光学表面粗糙度的指标.以太阳磁场望远镜(MFT)为例进行方法验证,确定主镜表面纹理有效频率范围为0—18 mm^(-1),分析了主镜表面带限均方根粗糙度对MFT杂散光性能的影响.结果表明,带限均方根粗糙度与MFT杂散光性能之间的关系稳定性能大幅提高,由此验证了采用带限均方根粗糙度描述光学表面粗糙度,能更为准确地控制其对具体光学系统杂散光性能的影响. 展开更多
关键词 表面粗糙度 杂散光 全积分散射 双向散射分布函数
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银薄膜对光学基底表面粗糙度及光散射的影响 被引量:7
8
作者 潘永强 吴振森 杭凌侠 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期1197-1201,共5页
为了研究金属银薄膜与光学基底表面粗糙度和光散射的关系,提出了通过对光学薄膜矢量散射公式积分来获得界面粗糙度完全相关模型和完全非相关模型下其表面的总反射散射的方法.理论计算了光学基底上两种模型在不同厚度银膜下的总反射散射... 为了研究金属银薄膜与光学基底表面粗糙度和光散射的关系,提出了通过对光学薄膜矢量散射公式积分来获得界面粗糙度完全相关模型和完全非相关模型下其表面的总反射散射的方法.理论计算了光学基底上两种模型在不同厚度银膜下的总反射散射和双向反射分布函数.结果表明,当沉积在光学基底上的银薄膜的厚度大于80nm后,两种模型下计算的银薄膜的表面总反射散射都等于基底的总积分散射,银薄膜能较好地复现出基底的粗糙度轮廓.实验研究表明为了复现基底的粗糙度,银薄膜的最佳厚度应在80~160nm之间. 展开更多
关键词 银薄膜 光散射 表面粗糙度 完全相关 完全非相关
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晶片表面Haze值研究 被引量:5
9
作者 张伟才 宋晶 +1 位作者 杨洪星 赵权 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第9期681-683,共3页
介绍了晶片表面Haze值的定义和理论依据,通过对SSIS系统的原理分析,揭示了Haze是一种间接反映晶片表面状态的光学信号。通过对不同表面状态抛光片的光学扫描,研究了晶片表面粗糙度与Haze值的关系;通过对Si抛光片和砷化镓抛光片的扫描对... 介绍了晶片表面Haze值的定义和理论依据,通过对SSIS系统的原理分析,揭示了Haze是一种间接反映晶片表面状态的光学信号。通过对不同表面状态抛光片的光学扫描,研究了晶片表面粗糙度与Haze值的关系;通过对Si抛光片和砷化镓抛光片的扫描对比,研究了晶片本体反射系数对Haze值的影响。研究结果表明,同种材料的Haze值随着表面粗糙度的增大而增大,而不同的材料即使拥有相似的表面粗糙度,Haze值也会因本体反射系数的不同而呈现很大差异。通过对Haze扫描图的特征分析,研究了Haze值分布与晶片表面均匀性的关系,成功地利用Haze值分布将表面性状化,为化学机械抛光和湿法清洗工艺提供了一个新的反馈手段。 展开更多
关键词 Haze值 光散射 表面粗糙度 一致性 扫描表面检查系统
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大粗糙度表面激光散射特性实验研究 被引量:7
10
作者 韩香娥 吴振森 张向东 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 1997年第3期151-155,共5页
本文利用激光散射自动测量系统,对经喷丸处理后的钢基粗糙表面及其喷漆表面的后向激光雷达散射截面(LRCS)进行了测量。测量波长分别为λ=633nm和λ=904nm。在λ=904nm,利用粗糙面电磁散射理论的基尔霍夫方法... 本文利用激光散射自动测量系统,对经喷丸处理后的钢基粗糙表面及其喷漆表面的后向激光雷达散射截面(LRCS)进行了测量。测量波长分别为λ=633nm和λ=904nm。在λ=904nm,利用粗糙面电磁散射理论的基尔霍夫方法对上述样片进行了理论计算,其中将粗糙表面视为双尺度模型,根据驻留相位法和标量近似法理论计算双尺度模型随机粗糙表面的散射强度角分布。 展开更多
关键词 激光雷达截面 粗糙面散射 后向散射 测量 光散射
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测量表面粗糙度的新型光纤传感器 被引量:12
11
作者 田继成 丁志华 尹锑 《计量学报》 CSCD 1993年第3期183-186,共4页
介绍了一种测量表面粗糙度的准直型光纤传感器。该传感器成功地消除了光纤测头到被测表面距离变动和环境的杂散光线对输出的影响,传感器光通量的计算方法可用于位移及其它反射型光纤传感器的特性分析和结构设计。
关键词 表面粗糙度 传感器 光散射 光纤
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建筑材料表面红外双向反射分布函数实验分析 被引量:3
12
作者 谢鸣 黄勇 +2 位作者 王晓春 赵欢欢 谈和平 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期49-53,共5页
为了深入研究建筑物表面红外反射分布特性和散射分布特性,选择建筑外饰面常用的3种典型材料(如花岗岩、铝板和镀膜玻璃),通过自行搭建双向反射分布函数(BRDF)实验台,利用聚四氟乙烯粉压制的标准白板(近似朗伯体)为单一参考试样,分别用0.... 为了深入研究建筑物表面红外反射分布特性和散射分布特性,选择建筑外饰面常用的3种典型材料(如花岗岩、铝板和镀膜玻璃),通过自行搭建双向反射分布函数(BRDF)实验台,利用聚四氟乙烯粉压制的标准白板(近似朗伯体)为单一参考试样,分别用0.632 8、1.340 0和3.390 0μm波段3种激光器,在不同的入射角度下,对各材料表面的BRDF分布进行了测量.结合其表面粗糙度并通过实验数据探讨了其表面反射特性与散射特性,指出了镀膜玻璃表面在近中红外区(入射波长为3.390 0μm)其表观上反射存在多峰值的现象,同时其BRDF分布值较0.632 8和1.340 0μm的有明显提高.该研究结果表明:不同入射波长时镀膜玻璃表面反射具有较大的差异性. 展开更多
关键词 双向反射分布函数 表面粗糙度 光散射 偏镜峰
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LAMOST高分辨率光谱仪杂散光分析 被引量:4
13
作者 张天一 侯永辉 +3 位作者 徐腾 姜海娇 新其其格 朱永田 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2019年第1期278-285,共8页
为了提高LAMOST-HRS (Large Sky Area Multi-Object Fiber Spectroscopy Telescope-High Resolution Spectrograph)光谱分辨率以及光谱仪效率,并建立一套可在仪器概念设计阶段分析杂散光的方法,开展了在不进行BSDF测量的前提下,对系统... 为了提高LAMOST-HRS (Large Sky Area Multi-Object Fiber Spectroscopy Telescope-High Resolution Spectrograph)光谱分辨率以及光谱仪效率,并建立一套可在仪器概念设计阶段分析杂散光的方法,开展了在不进行BSDF测量的前提下,对系统杂散光建模、分析的研究。首先根据粗糙度测量数据计算关键参数,构建Harvey散射模型。接着通过显微镜观察光学面,由MATLAB进行图像处理获取最大颗粒直径,构建颗粒污染散射模型。然后导入光谱仪镀膜、光学元件、机械结构。对机械结构进行简化以提高分析效率。最后预估杂散光背景,分析杂散光路径与组成。结果表明,LAMOST-HRS杂散光主要由光学面散射引起,杂散辐射率为2.55%,信噪比为16.01 d B,达到设计指标要求。 展开更多
关键词 光学工程 杂散辐射率 杂散光分析 散射 表面粗糙度 颗粒测量
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便携式激光表面粗糙度测量仪 被引量:3
14
作者 王世华 周肇飞 +1 位作者 周卫东 迟桂纯 《计量学报》 CSCD 北大核心 1997年第1期28-31,共4页
介绍了一种基于光散射原理的便携式激光表面粗糙度测量仪。它采用半导体激光器为光源,以远心光路结构接收、处理经粗糙表面调制的散射光带,成功地解决了粗糙度测量精度高低与测量范围大小相矛盾的问题。仪器结构简单、操作方便、测量... 介绍了一种基于光散射原理的便携式激光表面粗糙度测量仪。它采用半导体激光器为光源,以远心光路结构接收、处理经粗糙表面调制的散射光带,成功地解决了粗糙度测量精度高低与测量范围大小相矛盾的问题。仪器结构简单、操作方便、测量效率高。 展开更多
关键词 表面粗糙度 测量仪 半导体激光器
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金属基及涂层表面粗糙度的测量方法研究 被引量:3
15
作者 韩香娥 吴振森 《应用光学》 CAS CSCD 1996年第1期38-43,共6页
本文用干涉显微镜法、触针法、总体积分散射法和镜向反射光强法对未抛光铝基、抛光微粗糙铝基、微粗糙不锈钢基、微粗糙钢基和涂漆表面的粗糙度进行了实验测量和对比分析。从粗糙面激光散射角度讨论了各种方法的适用范围和局限性。
关键词 粗糙面 粗糙度测量 光散射 涂层
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利用光散射理论在线检测表面粗糙度 被引量:6
16
作者 张秋佳 白桦 《工具技术》 北大核心 2007年第9期80-82,共3页
提出以光散射理论为基础,利用光学技术实现表面粗糙度的在线测量。该测量系统可对范围在0.02-0.16内的表面粗糙度实现非接触无损检测。
关键词 表面粗糙度 光散射 在线检测 无损检测
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分形表面粗糙度与光散射关系的研究 被引量:1
17
作者 汤晓明 魏赛珍 +2 位作者 毛祖遂 陈晓峰 郑永铭 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 1998年第7期585-589,共5页
用Weielstxass-Mandelbrot函数产生了一维的分形表面,在几何光学适用的范围内研究了这些表面的光散射特性.发现分形线数D越大,通常被认为越粗糙的表面,其光散射的角分布反而比D小的表面更集中.文章最后解释了这种现象的成因.
关键词 分形表面 粗糙度 光散射 计算机模拟 表面粗糙度
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非成像表面的散射分布模型 被引量:2
18
作者 高志山 王青 陈进榜 《南京理工大学学报》 CAS CSCD 1996年第5期457-460,共4页
光学系统杂光分析对航天航空、精细细微分析领域的光学设计有着重要意义,其首要问题是研究光学系统中典型受光表面的散射模型。该文用小镜面细分非成像表面,结合概率论的方法,在考虑表面遮挡因子的基础上,推导了光学系统中均方粗糙... 光学系统杂光分析对航天航空、精细细微分析领域的光学设计有着重要意义,其首要问题是研究光学系统中典型受光表面的散射模型。该文用小镜面细分非成像表面,结合概率论的方法,在考虑表面遮挡因子的基础上,推导了光学系统中均方粗糙度与光波波长之比(σm/λ)>1.0的非成像表面双向反射分布函数的数学模型,把表面特征参数与表面散射分布显式地联系起来。最后制做样品,进行实验,并将实验分析与理论分析相比较。 展开更多
关键词 散射 粗糙表面 非成象表面 光学系统 杂光分析
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内表面粗糙度在线测量仪 被引量:2
19
作者 徐彧 徐继麟 周肇飞 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2002年第2期52-54,共3页
为满足军工产品的在线测量需要 ,开发了一种基于光散射原理的便携式内表面粗糙度在线测量仪。它利用半导体激光器为光源 ,光电二极管阵列接收与表面粗糙度具有对应关系的散射光带。由于采用了远心光路的设计和对光源进行了电光调制成功... 为满足军工产品的在线测量需要 ,开发了一种基于光散射原理的便携式内表面粗糙度在线测量仪。它利用半导体激光器为光源 ,光电二极管阵列接收与表面粗糙度具有对应关系的散射光带。由于采用了远心光路的设计和对光源进行了电光调制成功地提高了仪器的测量精度和抗干扰性能。仪器的测量范围Ra:0 .0 0 5~ 1.6 μm ,测量相对误差δ<5 % ,测量重复性优于± 2 % ,适合对多种机加工形成的零件的内。 展开更多
关键词 表面粗糙度 在线测量仪 光散射 半导体激光器
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风驱粗糙海面背景下海雾对可见和红外光多次散射特性研究 被引量:1
20
作者 孙贤明 王海华 +1 位作者 类成新 申晋 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第8期2075-2078,共4页
通过测量空间辐射反演海雾气溶胶的微观特性是一种重要的遥感方法,但是海雾对辐射的反射会受到海面背景的影响。该工作研究了海雾与海面的耦合多次散射。利用Mie理论研究了海雾气溶胶的单次散射特性,利用辐射传输理论研究太阳光在无下... 通过测量空间辐射反演海雾气溶胶的微观特性是一种重要的遥感方法,但是海雾对辐射的反射会受到海面背景的影响。该工作研究了海雾与海面的耦合多次散射。利用Mie理论研究了海雾气溶胶的单次散射特性,利用辐射传输理论研究太阳光在无下垫面海雾中传输多次散射特性;在基尔霍夫近似下研究了风驱粗糙海面的散射特性,并考虑了海面的遮蔽效应,得到了风驱海面随风速的反射函数。根据累加法研究了海雾和海面的耦合散射,计算结果表明海雾在有粗糙海面作为背景的情况下,其整体反射有较大增强。 展开更多
关键词 光散射 辐射传输 海雾 粗糙海面
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