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LIGA技术微电铸镍的电化学研究
被引量:
3
1
作者
李永海
丁桂甫
+2 位作者
张永华
曹莹
赵小林
《电镀与环保》
CAS
CSCD
2005年第2期8-10,共3页
微电铸工艺兼具掩膜电镀和厚膜结构电铸的双重特征。采用线性电位扫描和电化学交流阻抗等电化学测量技术 ,对高深宽比掩膜条件下微电铸镍的电极反应动力学过程进行了初步研究。结果显示 ,高深宽比掩膜使扩散传质过程更容易成为电极反应...
微电铸工艺兼具掩膜电镀和厚膜结构电铸的双重特征。采用线性电位扫描和电化学交流阻抗等电化学测量技术 ,对高深宽比掩膜条件下微电铸镍的电极反应动力学过程进行了初步研究。结果显示 ,高深宽比掩膜使扩散传质过程更容易成为电极反应的控制因素 ,并由此导致深层微电铸结构疏松多孔等缺陷。提高电镀过程传质能力的改良工艺能够显著改善微电铸镍结构的整体品质。
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关键词
电铸镍
LIGA技术
电化学研究
电化学交流阻抗
线性电位扫描
电极反应
高深宽比
动力学过程
电铸工艺
测量技术
控制因素
传质过程
改良工艺
电镀过程
膜结构
掩膜
微电铸
多孔
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职称材料
新型板网填料传质性能的研究
被引量:
2
2
作者
龙湘犁
叶永恒
《化学工业与工程》
CAS
1999年第5期253-258,共6页
在500m m 冷模实验塔内对250 Y 型填料进行氧解吸试验,结果表明三层板网复合填料的分离效率明显高于单层板网填料,尤其在液气比低的工况下,效率可以倍增,和广泛应用的金属 Mellapac填料相比,板网复合填料的分...
在500m m 冷模实验塔内对250 Y 型填料进行氧解吸试验,结果表明三层板网复合填料的分离效率明显高于单层板网填料,尤其在液气比低的工况下,效率可以倍增,和广泛应用的金属 Mellapac填料相比,板网复合填料的分离效率能高30% 左右。
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关键词
板网填料
填料塔
传质性能
氧解吸
分离效率
过程分析
传质系数
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职称材料
LiBr吸收器的传热传质强化
被引量:
1
3
作者
沈裕浩
丁力行
黄锟剑
《长沙铁道学院学报》
EI
CSCD
1999年第3期81-85,共5页
扼要地介绍了LiBr吸收式制冷机的吸收器传热传质研究概况,分析了表面活性剂与传热管表面对其产生的影响,并对传热管进行了实验研究.
关键词
吸收式
制冷机
吸收器
传热
传质
强化
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职称材料
题名
LIGA技术微电铸镍的电化学研究
被引量:
3
1
作者
李永海
丁桂甫
张永华
曹莹
赵小林
机构
上海交通大学微纳米技术研究院
出处
《电镀与环保》
CAS
CSCD
2005年第2期8-10,共3页
基金
国家"8 63"计划 (2 0 0 3AA40 414 0 )
国防预研课题 (0 2 413 0 80 5 0 116)
文摘
微电铸工艺兼具掩膜电镀和厚膜结构电铸的双重特征。采用线性电位扫描和电化学交流阻抗等电化学测量技术 ,对高深宽比掩膜条件下微电铸镍的电极反应动力学过程进行了初步研究。结果显示 ,高深宽比掩膜使扩散传质过程更容易成为电极反应的控制因素 ,并由此导致深层微电铸结构疏松多孔等缺陷。提高电镀过程传质能力的改良工艺能够显著改善微电铸镍结构的整体品质。
关键词
电铸镍
LIGA技术
电化学研究
电化学交流阻抗
线性电位扫描
电极反应
高深宽比
动力学过程
电铸工艺
测量技术
控制因素
传质过程
改良工艺
电镀过程
膜结构
掩膜
微电铸
多孔
Keywords
LIGA technique
electrofor
m
ing
high aspect ratio
m
icrostructures
m ass transfer
electroche
m
ical
m
easure
m
ents
分类号
TQ153.43 [化学工程—电化学工业]
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
新型板网填料传质性能的研究
被引量:
2
2
作者
龙湘犁
叶永恒
机构
华东理工大学化工学院
北京化工大学化工学院
出处
《化学工业与工程》
CAS
1999年第5期253-258,共6页
文摘
在500m m 冷模实验塔内对250 Y 型填料进行氧解吸试验,结果表明三层板网复合填料的分离效率明显高于单层板网填料,尤其在液气比低的工况下,效率可以倍增,和广泛应用的金属 Mellapac填料相比,板网复合填料的分离效率能高30% 左右。
关键词
板网填料
填料塔
传质性能
氧解吸
分离效率
过程分析
传质系数
Keywords
m ass transfer
,structured packing,packed colu
m
n
分类号
TQ028 [化学工程]
TQ053.5 [化学工程]
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职称材料
题名
LiBr吸收器的传热传质强化
被引量:
1
3
作者
沈裕浩
丁力行
黄锟剑
机构
长沙铁道学院机电院
出处
《长沙铁道学院学报》
EI
CSCD
1999年第3期81-85,共5页
文摘
扼要地介绍了LiBr吸收式制冷机的吸收器传热传质研究概况,分析了表面活性剂与传热管表面对其产生的影响,并对传热管进行了实验研究.
关键词
吸收式
制冷机
吸收器
传热
传质
强化
Keywords
absorption chillier
absorber
surfactant
heat/
m
ass
-
transfer
enhance
m
ent
分类号
TB616 [一般工业技术—制冷工程]
TB611 [一般工业技术—制冷工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
LIGA技术微电铸镍的电化学研究
李永海
丁桂甫
张永华
曹莹
赵小林
《电镀与环保》
CAS
CSCD
2005
3
下载PDF
职称材料
2
新型板网填料传质性能的研究
龙湘犁
叶永恒
《化学工业与工程》
CAS
1999
2
下载PDF
职称材料
3
LiBr吸收器的传热传质强化
沈裕浩
丁力行
黄锟剑
《长沙铁道学院学报》
EI
CSCD
1999
1
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
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参考文献
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