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High-Efficiency Wide-Band Cross-Polarization Conversion Using Bi-layered Metal Hole Pairs 被引量:1
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作者 Yong Zhang Xian-Ke Li Cheng-Ping Huang 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2018年第10期40-43,共4页
We present a polarization converter composed of bi-layered metal films perforated with rectangle hole pairs in each film. The proposed converter can convert the polarization of an incident linearly-polarized electroma... We present a polarization converter composed of bi-layered metal films perforated with rectangle hole pairs in each film. The proposed converter can convert the polarization of an incident linearly-polarized electromagnetic wave to its orthogonal direction with high efficiency and large bandwidth in the infrared or microwave regions.To make sure of the mechanism of polarization conversion, the current and electric-field distributions at different resonant frequencies are analyzed. It is found that the cross-polarized transmission is due to the near-field coupling between hole pairs in neighboring metal films. Finally, a prototype of the proposed converter is fabricated and measured in the microwave region. Good agreement between the experimental and simulated results is obtained. 展开更多
关键词 High-Efficiency Wide-Band Cross-Polarization Conversion Using Bi-layered metal hole Pairs
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Mode splitting transmission effect of surface wave excitation through a metal hole array 被引量:8
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作者 Lin Chen Yiming Zhu +4 位作者 Xiaofei Zang Bin Cai Zhou Li Le Xie Songlin Zhuang 《Light(Science & Applications)》 SCIE EI CAS 2013年第1期192-196,共5页
The resonant frequencies of the excited surface waves on a metal hole array with respect to the incident angle were studied in the terahertz region.The experimental and theoretical results demonstrate that the resonan... The resonant frequencies of the excited surface waves on a metal hole array with respect to the incident angle were studied in the terahertz region.The experimental and theoretical results demonstrate that the resonant peak of surface wave excitation splits into two when transmitted through a metal hole array off-normally.The high-order mode with resonant frequency above the cutoff frequency fc(plasma frequency effect)has a shorter attenuation length than that of the low-order mode whose resonant frequency is below fc.The reason is that the high-order mode is a coupled mode consisting of surface wave and hole modes,while the low-order mode is just an excited surface wave(which can be considered as the spoof surface plasmons).Our investigation may open a door to distinguish the spoof surface plasmons and the coupled modes of surface waves and hole modes. 展开更多
关键词 angular dependence cutoff frequency metal hole arrays surface waves TERAHERTZ
原文传递
Heptad Phase Vortex Array in Extremely Deep Fresnel Diffraction Region Generated by Asymmetrical Metal Subwavelength Holes Film
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作者 姜淑娜 李杏 +3 位作者 马力 高雅茹 桂维玲 程传福 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2015年第10期63-67,共5页
We report a heptad vortex array structure in the wave fields in an extremely deep Fresnel diffraction region by asymmetrical subwavelength holes in a metal film illuminated with linearly polarized light. A Mach Zehnde... We report a heptad vortex array structure in the wave fields in an extremely deep Fresnel diffraction region by asymmetrical subwavelength holes in a metal film illuminated with linearly polarized light. A Mach Zehnder interferometer with a microscopic objective is used to record the wave fields at different distance& and the phase maps are extracted by Fourier transform of the interference intensities. We study the evolutions of the heptad vortex array with distance from the sample to the object plane. To explain the formations and the evolutions of the vortex array, we calculate the diffracted wave fields with Kirchhoff's diffraction theory. The calculations are basically consistent with the experimental results, and the properties of the heptad vortex array structure are reasonably explained. 展开更多
关键词 Heptad Phase Vortex Array in Extremely Deep Fresnel Diffraction Region Generated by Asymmetrical metal Subwavelength holes Film
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Development of a biliary multi-hole self-expandable metallic stent for bile tract diseases: A case report 被引量:1
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作者 Makoto Kobayashi 《World Journal of Clinical Cases》 SCIE 2019年第11期1323-1329,共7页
BACKGROUND Uncovered stents used for malignant obstructions in the biliary tree, especially in the hilar area, are prone to obstruction by tumor ingrowths. In comparison, however, covered stents may block bile duct br... BACKGROUND Uncovered stents used for malignant obstructions in the biliary tree, especially in the hilar area, are prone to obstruction by tumor ingrowths. In comparison, however, covered stents may block bile duct branches and are at risk of migration. We have developed a multi-hole self-expandable metallic stent (MHSEMS), with a hole in each cell, to prevent the obstruction of bile duct branches. In addition, the holes may prevent migration due to small ingrowths by reducing the tension of the membrane. CASE SUMMARY MHSEMS were placed in five patients with a malignant obstruction and one with post-endoscopic sphincterotomy bleeding. Each MHSEMS was successfully deployed in all cases. Patients showed no complications. Two cases were reviewed. Case 1: A 74-year-old male presented with jaundice and was diagnosed with a sigmoid colon cancer and giant liver metastases in the right liver lobe. A MHSEMS was placed in the left bile duct. The jaundice improved and peroral cholangioscopy was performed. Case 2: A 90-year-old female was admitted to hospital for jaundice and diagnosed with cholangiocarcinoma. A MHSEMS was placed in the left bile duct but after 8 months the stent became obstructed by tumor ingrowth. We treated the patient by ablation therapy. A silicone cover separated the internal bile duct from the surrounding tissue, protecting the latter from thermal injury during treatment by endobiliary ablation of the reobstruction. CONCLUSION A MHSEMS is a new choice of stent for biliary tract diseases. 展开更多
关键词 Multi-hole self-expandable metallic stent Malignant BILIARY STRICTURE Benign BILIARY STRICTURE HILAR BILIARY OBSTRUCTION Distal BILIARY OBSTRUCTION Endobiliary radiofrequency ablation Case report
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孔金属化设计对高温共烧陶瓷基板热阻的影响
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作者 刘林杰 李杰 郝跃 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第9期867-872,共6页
高温共烧陶瓷(HTCC)基板广泛应用于电子封装领域,其热阻是一个重要指标。围绕Al_(2)O_(3)和AlN陶瓷基板,探究在不同金属化孔间距和布局下的热阻规律。建立了陶瓷基板热传递有限元模型,并对其热阻进行仿真。制备了两种陶瓷基板,测试了其... 高温共烧陶瓷(HTCC)基板广泛应用于电子封装领域,其热阻是一个重要指标。围绕Al_(2)O_(3)和AlN陶瓷基板,探究在不同金属化孔间距和布局下的热阻规律。建立了陶瓷基板热传递有限元模型,并对其热阻进行仿真。制备了两种陶瓷基板,测试了其在不同功率负载下的热阻。测试结果表明,相同规格的AlN陶瓷基板的热阻约为Al_(2)O_(3)的25%;Mo孔金属化对Al_(2)O_(3)陶瓷基板的散热能力有明显提升作用,孔密度越大,基板热阻越低;而不同W金属化孔密度下的AlN基板热阻没有显著差异。仿真结果与实测结果基本吻合,为陶瓷基板的热设计提供了参考。 展开更多
关键词 陶瓷基板 高温共烧陶瓷(HTCC) 热阻 热设计 孔金属化
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关于铬族元素双原子基元中六重键作用的讨论 被引量:1
6
作者 田林翰 芦昌盛 《大学化学》 CAS 2024年第8期395-402,共8页
铬族元素的Cr_(2)、Mo_(2)、W_(2)基团具有相对稳定性,科学家对此做了实验验证和理论计算,试图找出原因。本文梳理了相关研究脉络及最新进展,从“它们的成键方式如何?”以及“可以怎样被进一步稳定?”两个问题出发,对铬族元素中的双原... 铬族元素的Cr_(2)、Mo_(2)、W_(2)基团具有相对稳定性,科学家对此做了实验验证和理论计算,试图找出原因。本文梳理了相关研究脉络及最新进展,从“它们的成键方式如何?”以及“可以怎样被进一步稳定?”两个问题出发,对铬族元素中的双原子基团六重键作用进行了分析、归纳和讨论。作者认为,Cr_(2)、Mo_(2)、W_(2)基团的不稳定性来源于两原子间密集电子的斥力;因此,各种稳定该基团的方法本质上都是从减小电子密度、解决电子斥力入手。 展开更多
关键词 金属多重键 铬族元素 σ-空穴
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通孔型泡沫金属用于换热器的研究综述与展望
7
作者 侯晨雨 邵雪 张珊珊 《辽宁工业大学学报(自然科学版)》 2024年第3期169-176,共8页
考虑到通孔型泡沫金属具有流通性强、导热性好、可塑性强,以及良好的吸音性、支撑性、轻量性等特性,将泡沫材料填充于换热单元和热源之间空隙的做法,被广泛地应用于换热设备。为了充分研究和深入开发利用通孔型泡沫金属在换热器中的潜... 考虑到通孔型泡沫金属具有流通性强、导热性好、可塑性强,以及良好的吸音性、支撑性、轻量性等特性,将泡沫材料填充于换热单元和热源之间空隙的做法,被广泛地应用于换热设备。为了充分研究和深入开发利用通孔型泡沫金属在换热器中的潜在价值,对国内、外应用泡沫金属在换热器中的理论研究、数值研究及实验研究进行概述;鉴于固体导热性、流体传热性以及流体流动性是换热器中必须考虑且兼顾的3个特性,系统地梳理了胞体模型参数、介质流速、介质压降、对流换热系数等关键参数的协同关系;分析了泡沫金属胞体建模以及填充于换热器中的布置形式;用综合性能指标评价了泡沫金属传热与压降的关系式;提出了未来进一步研究的方向和建议。 展开更多
关键词 通孔型泡沫金属 胞体模型 流动特性 传热特性 性能指标
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适用于GIS金属腔体环境的稠密地图构建方法
8
作者 姚泰旸 罗振耘 +2 位作者 孙志民 钟羽中 佃松宜 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2024年第10期32-36,41,共6页
金属腔体环境中存在的反光现象严重影响巡检机器人的环境感知能力,从而导致构建地图出现大面积孔洞现象。因此,提出一种适用于金属腔体环境的稠密地图构建方法。该方法联合深度图和灰度图估计空间点距离,抑制深度图中无效像素和噪点;利... 金属腔体环境中存在的反光现象严重影响巡检机器人的环境感知能力,从而导致构建地图出现大面积孔洞现象。因此,提出一种适用于金属腔体环境的稠密地图构建方法。该方法联合深度图和灰度图估计空间点距离,抑制深度图中无效像素和噪点;利用优化后的深度信息和关键帧位姿计算点云面片,通过滑动窗口约束面片集大小,降低点云搜索时间成本;采用三角剖分和最小二乘曲面拟合对面片集孔洞进行修复,提高每帧面片完整度;最终融合法线相近的相邻面片输出利于机器人导航规划的点云地图。所提方法在公开数据集和实际金属腔体场景进行了验证,结果表明,所提方法高效修复点云孔洞,显著提升模型完整度且满足实时SLAM的应用需要。 展开更多
关键词 金属腔体 视觉SLAM 稠密重建 孔洞修复 三角剖分
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窄孔内壁激光金属沉积Stellite6合金耐磨层组织及性能研究
9
作者 王红顺 张峰 +4 位作者 黄兆亮 王艳 庞义斌 周智文 高俊杰 《电焊机》 2024年第7期68-75,共8页
为解决窄孔内壁堆焊的可达性差和提高304L不锈钢的耐磨性能,采用激光金属沉积的方式在深30 mm、直径14 mm的304L窄孔内壁制备了一层约2.5 mm厚、致密度为99.9981%、无裂纹、未熔合等缺陷的stellite6耐磨层。通过微纳CT、XRD、金相、硬... 为解决窄孔内壁堆焊的可达性差和提高304L不锈钢的耐磨性能,采用激光金属沉积的方式在深30 mm、直径14 mm的304L窄孔内壁制备了一层约2.5 mm厚、致密度为99.9981%、无裂纹、未熔合等缺陷的stellite6耐磨层。通过微纳CT、XRD、金相、硬度测试和摩擦磨损试验等方法,系统研究了耐磨层的组织、相组成、硬度分布和耐磨性能。结果表明,Stellite6耐磨层致密无缺陷,其显微组织从底部到顶部依次为平面晶、胞状晶、树枝晶和等轴晶。相组成主要为γ-Co、M_(23)C_(6)、CoCx及(Cr,Fe)_(7)C_(3)等。熔合线附近各种元素均匀分布,未出现明显聚集。耐磨层的显微硬度平均值是基体304L的2.38倍,且窄孔不同高度位置的显微硬度值相对稳定。耐磨层的磨损率较304L基体降低了29.3%,显示出优异的耐磨性能。该研究为大深宽比内孔壁激光金属沉积耐磨层在核电、能源动力等行业的应用提供了依据。 展开更多
关键词 激光金属沉积 窄孔内壁 Stellite6合金 组织性能 耐磨层
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具有压接功能高纵横比盲孔的PCB工艺开发
10
作者 荀宗献 纪瑞琦 +2 位作者 肖坤红 房鹏博 黄德业 《印制电路信息》 2024年第1期6-9,共4页
主要介绍了高纵横比金属化盲孔实现器件压接功能的产品工艺开发。通过金属化盲孔压合后电荷耦合器件(CCD)控深钻孔的工艺,控制同一个孔前、后两次钻孔的对位精度,使金属化盲孔满足压接信号模组器件的设计要求,解决了传统压接孔设计只能... 主要介绍了高纵横比金属化盲孔实现器件压接功能的产品工艺开发。通过金属化盲孔压合后电荷耦合器件(CCD)控深钻孔的工艺,控制同一个孔前、后两次钻孔的对位精度,使金属化盲孔满足压接信号模组器件的设计要求,解决了传统压接孔设计只能是通孔而无法实现金属化盲孔压接的技术难题。 展开更多
关键词 纵横比 金属化盲孔 压接孔
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含孔纤维增强镁合金层合板制备和拉伸时渐进损伤模式研究
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作者 林中照 盛冬发 +2 位作者 方雨汀 刘琳 李忠君 《航空制造技术》 CSCD 北大核心 2024年第10期122-130,共9页
通过试验和数值模拟仿真的方法研究了玻璃纤维/环氧树脂增强镁合金层合板在不同孔径影响下的损伤演化和最终损伤模式,利用扫描电子显微镜分析了试件断口微观损伤模式。同时改进了纤维增强镁合金层合板的制备流程。结果表明,通过对AZ31... 通过试验和数值模拟仿真的方法研究了玻璃纤维/环氧树脂增强镁合金层合板在不同孔径影响下的损伤演化和最终损伤模式,利用扫描电子显微镜分析了试件断口微观损伤模式。同时改进了纤维增强镁合金层合板的制备流程。结果表明,通过对AZ31镁合金层板进行表面处理能够有效减少分层效应,试件抗拉强度为347.62 MPa,相较于未处理过的试件提升了11.33%,微观层间结合形貌更为紧密、均匀。随着孔径的增大,试件拉伸剩余强度逐渐降低。纤维增强镁合金层合板在渐进损伤失效过程中,呈现从“X形状”逐渐向“漏斗形状”扩展。层合板失效模式为金属层韧脆性断裂、纤维层拉伸断裂和层间分层为主的复杂混合失效模式。试验和有限元数值仿真结果吻合较好,验证了数值仿真模型的有效性,能够为工程实际上的应用提供参考。 展开更多
关键词 纤维金属层合板 失效准则 数值模拟 孔径 剩余强度 渐进损伤模式
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复杂地层深孔岩心钻探关键技术应用研究
12
作者 王奎 《世界有色金属》 2024年第7期193-195,共3页
复杂地层深孔岩心钻探工作具有一定的难度和危险性,其对钻探施工技术与工艺具有更高的要求,需要施工单位具备丰富的钻探施工经验,加强岩心钻探关键技术的应用。本文将以深孔岩心钻探关键技术为研究对象,分析其设备结构组成及技术优势,... 复杂地层深孔岩心钻探工作具有一定的难度和危险性,其对钻探施工技术与工艺具有更高的要求,需要施工单位具备丰富的钻探施工经验,加强岩心钻探关键技术的应用。本文将以深孔岩心钻探关键技术为研究对象,分析其设备结构组成及技术优势,并通过阐述复杂地层深孔岩心钻探技术的影响因素及应用,加强对深孔岩心钻探技术的研究与创新。 展开更多
关键词 复杂地层 关键技术 深孔岩心钻探 有色金属矿
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高掺杂低位错p型GaN材料生长研究
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作者 高楠 房玉龙 +4 位作者 王波 韩颖 张志荣 尹甲运 刘超 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第8期702-707,共6页
对采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)法在SiC衬底上生长的p型GaN材料进行了研究。p型GaN材料通常采用Mg掺杂来实现,但Mg有效掺杂量的增加会导致材料的空穴浓度提高,表面粗糙度变大、位错密度增加。采用Delta掺杂方式,在Cp_(2)Mg通入量一... 对采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)法在SiC衬底上生长的p型GaN材料进行了研究。p型GaN材料通常采用Mg掺杂来实现,但Mg有效掺杂量的增加会导致材料的空穴浓度提高,表面粗糙度变大、位错密度增加。采用Delta掺杂方式,在Cp_(2)Mg通入量一定的情况下,通过对温度、压力以及Delta掺杂过程中TMGa通入时间的调控实现了对p型GaN材料掺杂浓度与表面粗糙度和位错密度之间的平衡优化。结果显示,生长温度1150℃、生长压力400 mbar(1 mbar=100 Pa)、TMGa通入时间40 s的样品均方根表面粗糙度为0.643 nm,(002)晶面半高宽(FWHM)为176.8 arcsec,空穴迁移率为11.8 cm^(2)/(V·s),空穴浓度为1.02×10^(18)cm^(-3),实现了电学性能与晶体质量的平衡。 展开更多
关键词 金属有机化学气相沉积(MOCVD) Delta掺杂 P型GAN 空穴浓度 半高宽(FWHM)
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金属矿山开采无切割井拉槽技术与应用
14
作者 向伟华 卢宏建 +1 位作者 赵笛 牟超 《工程爆破》 CSCD 北大核心 2024年第4期79-85,共7页
如何高效安全地形成切割拉槽是金属矿山开采过程中的关键环节。以典型铁矿山为工程背景,针对有切割井切割平巷拉槽法不能保证切割井施工爆破一次成井的问题,提出了以切割平巷为首爆自由面,利用多排扇形深孔逐次爆破,形成与上水平充分贯... 如何高效安全地形成切割拉槽是金属矿山开采过程中的关键环节。以典型铁矿山为工程背景,针对有切割井切割平巷拉槽法不能保证切割井施工爆破一次成井的问题,提出了以切割平巷为首爆自由面,利用多排扇形深孔逐次爆破,形成与上水平充分贯通切割立槽的无切割井拉槽法技术,并对该技术的施工方案、爆破方案和安全经济性进行分析。结果表明:扇形深孔炮孔梯形起爆顺序能减少爆破形成的碎块的抛掷作用,加强爆落岩石之间的碰撞挤压,提高了爆破破碎质量,为后续大量落矿创造条件;无切割井拉槽法较原有切割井切割平巷拉槽法,平均每爆落1 t矿石,节省炸药0.05 kg;无切割井拉槽法将切割巷道作为初始补偿空间,避免由于不同的岩石条件、穿孔误差及爆破操作等因素造成切割井无法一次成井的问题,提升了切割立槽的形成速度;可实现人员在巷道内装药,避免在采空区下作业带来的安全风险。无切割井拉槽法施工简单,成槽效果较好,实现了本质安全,为矿山降本增效提供了技术保证。 展开更多
关键词 金属矿山 无切割井拉槽 矿房切割 扇形深孔爆破
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印制电路板孔金属化及其工艺改进途径 被引量:21
15
作者 郑雅杰 龚竹青 +2 位作者 陈白珍 易丹青 李新海 《材料导报》 EI CAS CSCD 2003年第4期11-13,20,共4页
综述了印制电路板(PCB)孔金属化技术及其发展趋势,根据目前PCB孔金属化工艺存在的主要问题,指出了孔金属化工艺改进的途径和研究的方向。
关键词 印刷电路板 孔金属化 工艺改进 镀前处理 化学镀铜 电镀铜
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复合型金属孔周期阵列的THz透射特性 被引量:2
16
作者 熊伟 姚军 +3 位作者 李伟 张铁军 沈京玲 李宾宾 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第1期32-35,共4页
利用微细加工技术,制作出金属矩形孔阵列,从实验和理论上研究了金属矩形孔阵在THz波段的透射极大值和极小值产生的规律.并利用透射极大值频率随矩形孔长度增大而向低频移动的特性,在同一层金属上,利用不同尺寸的金属孔结构形成复合金属... 利用微细加工技术,制作出金属矩形孔阵列,从实验和理论上研究了金属矩形孔阵在THz波段的透射极大值和极小值产生的规律.并利用透射极大值频率随矩形孔长度增大而向低频移动的特性,在同一层金属上,利用不同尺寸的金属孔结构形成复合金属孔阵列,设计出中心频率可调节、频率拓宽的频率选择器件和频率拓宽器件.此研究为太赫兹滤波器等无源器件提供了新的设计思路和加工方法,对太赫兹波技术的发展具有重要意义. 展开更多
关键词 金属阵列 THZ 滤波 复合周期结构
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二维金属亚波长孔阵列的强透射特性研究进展 被引量:5
17
作者 肖功利 姚翔 +3 位作者 纪新明 周嘉 包宗明 黄宜平 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期161-167,共7页
光通过二维金属亚波长孔(孔的直径不超过入射光波长的一半)阵列(TDMSHA)时,由于入射光与金属表面自由电子的电荷密度波发生共振耦合作用,会在特定的波长内表现出窄带透射增强。TDMSHA对光具有的透射增强与滤波特性在纳米光学、光电子、... 光通过二维金属亚波长孔(孔的直径不超过入射光波长的一半)阵列(TDMSHA)时,由于入射光与金属表面自由电子的电荷密度波发生共振耦合作用,会在特定的波长内表现出窄带透射增强。TDMSHA对光具有的透射增强与滤波特性在纳米光学、光电子、化学传感和生物物理上都有着十分重要的潜在应用。文中回顾了该特性的研究历史,详细地阐述了其发生的物理机理,对近十年来该特性在机理、材料、结构等方面的研究进展作了总结,对其前沿研究热点和应用前景分别进行了分析与展望。 展开更多
关键词 表面光学 强透射 滤波 金属亚波长孔阵列 表面等离子体
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基于金属孔阵列的聚酰亚胺薄膜太赫兹探测 被引量:2
18
作者 董凯 赖伟恩 +2 位作者 孙丹丹 文岐业 张怀武 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期1479-1482,共4页
优化设计了多种不同孔径和形状的太赫兹波段的亚波长金属孔阵列结构,结合超薄低折射率的聚酰亚胺(PI)薄膜,探索了太赫兹时域光谱技术对超薄低折射率的探测灵敏性。利用飞秒微加工技术制备了一系列亚波长金属孔阵列结构,利用太赫兹时域... 优化设计了多种不同孔径和形状的太赫兹波段的亚波长金属孔阵列结构,结合超薄低折射率的聚酰亚胺(PI)薄膜,探索了太赫兹时域光谱技术对超薄低折射率的探测灵敏性。利用飞秒微加工技术制备了一系列亚波长金属孔阵列结构,利用太赫兹时域光谱技术测试了阵列结构的反射波谱,获得了强烈的反射共振现象。然后在亚波长金属孔阵列结构背面叠加PI薄膜,结果表明太赫兹反射峰出现了显著低频移动现象。利用这一现象,实现了低至10μm的PI薄膜的有效探测,说明亚波长金属孔阵列结构在太赫兹传感领域对检测超薄低折射率薄膜材料有极强敏感性。 展开更多
关键词 太赫兹 金属孔阵列 超薄聚酰亚胺薄膜 低折射率
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采用过电铸工艺制造金属微细阵列网板 被引量:6
19
作者 胡洋洋 朱荻 李寒松 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第8期1793-1800,共8页
针对制作尺度<10μm的超小微细阵列网板非常困难的问题,提出了采用过电铸工艺制造超小尺寸微细阵列网板的方法。建立了过电铸工艺过程的电场模型,利用有限元分析技术对过电铸工艺过程进行模拟仿真。选取优化的工艺参数(烘胶120℃/60m... 针对制作尺度<10μm的超小微细阵列网板非常困难的问题,提出了采用过电铸工艺制造超小尺寸微细阵列网板的方法。建立了过电铸工艺过程的电场模型,利用有限元分析技术对过电铸工艺过程进行模拟仿真。选取优化的工艺参数(烘胶120℃/60min,曝光3000mJ/cm2,显影2min等)利用光刻制作了高度为50μm、直径为50μm的AZEXP125nXT-10A光刻胶群柱结构,以此胶膜结构作为模具进行了过电铸工艺实验,并与仿真结果进行对比,结果证明了有限元仿真的正确性。最后,通过过电铸缩孔2h获得了厚度达70μm,孔径为4μm的微细阵列网板结构。实验表明,过电铸工艺是一种低廉、安全、可批量生产的制作超小阵列网板的方法。 展开更多
关键词 光刻 AZ胶 金属微细阵列网板 过电铸
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超声波振动切削在双金属孔加工中的应用研究 被引量:3
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作者 吕彦明 曲晓霞 《中国机械工程》 CAS CSCD 北大核心 1995年第5期36-38,共3页
在分析普通方法加工双金属孔时精度难以保证的原因的基础上,根据超声切削刚性化效应及室温切削效应,提出应用超声精镗双金属孔的设想。在自行研制的超声精镗装置上进行了铝合金-铸钢组成的双金属孔的镗削试验,结果令人满意。
关键词 超声波加工 镗削 双金属孔 精加工
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