精确可控气氛渗氮系统的改进

介绍了用比例阀和转子流量计代替质量流量控制器对精确可控气氛渗氮系统工艺气体流量测量和控制的方法,阐述了该方法实际的应用效果。采用该方法后,避免了因为质量流量器的损坏造成的停车,提高了精确可控气氛渗氮系统的稳定性。