期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
微纳测量机测头弹性结构的参数设计
被引量:
10
1
作者
陈晓怀
陈贺
+2 位作者
王珊
李瑞君
高伟
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第10期2587-2593,共7页
根据微纳米三坐标测量机对测头各项指标的要求,提出了4种测头弹性结构的设计方案。通过力学分析建立测头弹性结构三维刚度模型,应用有限元分析软件ANSYS分别对4种弹性结构的刚度进行仿真计算;然后,分析讨论了4种弹性结构的性能特点。综...
根据微纳米三坐标测量机对测头各项指标的要求,提出了4种测头弹性结构的设计方案。通过力学分析建立测头弹性结构三维刚度模型,应用有限元分析软件ANSYS分别对4种弹性结构的刚度进行仿真计算;然后,分析讨论了4种弹性结构的性能特点。综合考虑测量刚度、灵敏性及结构紧凑稳定等多种因素,选择十字型结构作为微纳米测量机测头的弹性结构,并对其进行了结构参数的优化和测头刚度各向同性设计。搭建了高精度三维微位移测试平台,对测头的测量范围、线性、位移误差进行了实验验证。仿真分析和实验结果表明,测头的弹性结构满足测量范围40μm×40μm×20μm、测量刚度小于0.5mN/μm及刚度各向同性的要求,整体测量误差小于100nm。
展开更多
关键词
坐标测量机
微纳米测量
接触扫描测头
弹性结构设计
有限元分析
下载PDF
职称材料
微纳米测量机测头结构的参数设计及分析
被引量:
8
2
作者
陈贺
陈晓怀
+2 位作者
王珊
杨桥
李瑞君
《计量学报》
CSCD
北大核心
2013年第5期401-405,共5页
设计了一种高精度的接触扫描式测头,提出了4种测头弹性结构的设计方案。根据测头的测量范围、测量灵敏性、测量稳定性、各向同性的要求,选择了最优的设计结构。对选择的结构进行了参数设计、力学分析和有限元分析,分析结果表明设计...
设计了一种高精度的接触扫描式测头,提出了4种测头弹性结构的设计方案。根据测头的测量范围、测量灵敏性、测量稳定性、各向同性的要求,选择了最优的设计结构。对选择的结构进行了参数设计、力学分析和有限元分析,分析结果表明设计的测头测量范围达到40μm×40μm×20μm,测量刚度小于0.5mN/μm,各向同性也符合设计要求。
展开更多
关键词
计量学
接触扫描式测头
微纳米测量机
力学分析
弹性结构设计
下载PDF
职称材料
题名
微纳测量机测头弹性结构的参数设计
被引量:
10
1
作者
陈晓怀
陈贺
王珊
李瑞君
高伟
机构
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第10期2587-2593,共7页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.51275148)
国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2008AA042409)
文摘
根据微纳米三坐标测量机对测头各项指标的要求,提出了4种测头弹性结构的设计方案。通过力学分析建立测头弹性结构三维刚度模型,应用有限元分析软件ANSYS分别对4种弹性结构的刚度进行仿真计算;然后,分析讨论了4种弹性结构的性能特点。综合考虑测量刚度、灵敏性及结构紧凑稳定等多种因素,选择十字型结构作为微纳米测量机测头的弹性结构,并对其进行了结构参数的优化和测头刚度各向同性设计。搭建了高精度三维微位移测试平台,对测头的测量范围、线性、位移误差进行了实验验证。仿真分析和实验结果表明,测头的弹性结构满足测量范围40μm×40μm×20μm、测量刚度小于0.5mN/μm及刚度各向同性的要求,整体测量误差小于100nm。
关键词
坐标测量机
微纳米测量
接触扫描测头
弹性结构设计
有限元分析
Keywords
Coordinate Measuring Machine(CMM)
micro and nano measurement
,
contact scanning probe
,
elastic structure design
,
finite element analysis
分类号
TH72 [机械工程—精密仪器及机械]
TH112 [机械工程—机械设计及理论]
下载PDF
职称材料
题名
微纳米测量机测头结构的参数设计及分析
被引量:
8
2
作者
陈贺
陈晓怀
王珊
杨桥
李瑞君
机构
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2013年第5期401-405,共5页
基金
国家自然科学基金(51275148)
863计划重点项(2008AA042409)
文摘
设计了一种高精度的接触扫描式测头,提出了4种测头弹性结构的设计方案。根据测头的测量范围、测量灵敏性、测量稳定性、各向同性的要求,选择了最优的设计结构。对选择的结构进行了参数设计、力学分析和有限元分析,分析结果表明设计的测头测量范围达到40μm×40μm×20μm,测量刚度小于0.5mN/μm,各向同性也符合设计要求。
关键词
计量学
接触扫描式测头
微纳米测量机
力学分析
弹性结构设计
Keywords
Metrology
contact scanning probe
micro
-
nano
CMM
Mechanical
analysis
elastic structure design
分类号
TB921 [机械工程—测试计量技术及仪器]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微纳测量机测头弹性结构的参数设计
陈晓怀
陈贺
王珊
李瑞君
高伟
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
10
下载PDF
职称材料
2
微纳米测量机测头结构的参数设计及分析
陈贺
陈晓怀
王珊
杨桥
李瑞君
《计量学报》
CSCD
北大核心
2013
8
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部