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Application of Micro Electro Mechanical System(MEMS)Technology in Photoacoustic Imaging
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作者 Lixia Bao Xiaoying Tang Zhenqi Jiang 《Journal of Beijing Institute of Technology》 EI CAS 2022年第3期238-250,共13页
Photoacoustic imaging(PAI)is a new biomedical imaging technology that provides a mixed contrast mechanism and excellent spatial resolution in biological tissues.It is a non-invasive technology that can provide in vivo... Photoacoustic imaging(PAI)is a new biomedical imaging technology that provides a mixed contrast mechanism and excellent spatial resolution in biological tissues.It is a non-invasive technology that can provide in vivo anatomical and functional information.This technology has great application potential in microscopic imaging and endoscope system.In recent years,the devel-opment of micro electro mechanical system(MEMS)technology has promoted the improvement and miniaturization of the photoacoustic imaging system,as well as its preclinical and clinical appli-cations.This paper introduces the research progress of MEMS technology in photoacoustic micro-scope systems and the miniaturization of photoacoustic endoscope ultrasonic transducers,and points out the shortcomings of existing technology and the direction of future development. 展开更多
关键词 photoacoustic imaging photoacoustic microscope photoacoustic endoscope micro elec-tro mechanical system(mems) ultrasonic transducer
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Design of portable and intelligent infuser device for rapid fluid transfusion based on micro-electro-mechanical system 被引量:1
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作者 WANG Qing CHONG Yinbao +1 位作者 ZHAO An LIU Jiuling 《Journal of Medical Colleges of PLA(China)》 CAS 2013年第2期100-106,共7页
Objective:A novel portable and intelligent fluid resuscitation infuser is proposed in this paper. It satisfies the demands of long time use in harsh environment, such as traffic accident, natural disaster, battlefield... Objective:A novel portable and intelligent fluid resuscitation infuser is proposed in this paper. It satisfies the demands of long time use in harsh environment, such as traffic accident, natural disaster, battlefield, evacuation, pre-hospital emergency and so on. Methods:Miniature linear motor and liquid blood cartridge compose the pump body. It's based on the biological impedance method to measure and control, which resolve the disadvantage of traditional infuser device:large power dissipation, big size, AC power supply only and can't be use in field. The whole device weights 250 gram and sizes as two mobile phone together. Results:Model device experiment shows:six number 7 standard AAA size alkaline batteries will run the pump for approximately 8-10 h at 6 liters per hour; IV bag can be placed at any position of patient, even under the stretcher. Conclusion:It provides accurate and reliable intravenous infusion for first-aid treatment in 展开更多
关键词 输液装置 便携式 微机电系统 智能 注入器 输血 流体 设计
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基于微形变分析的电容式MEMS加速度计温漂误差精密估计方法
3
作者 齐兵 程建华 +1 位作者 赵砚驰 汪籽粒 《系统工程与电子技术》 EI CSCD 北大核心 2024年第7期2437-2445,共9页
针对传统的电容式微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)加速度计(capacitive MEMS accelerometers,CMA)温漂误差(temperature drift error,TDE)补偿方法存在非精准溯源TDE致使TDE估计精度低、反复尝试估计模型构型导致构... 针对传统的电容式微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)加速度计(capacitive MEMS accelerometers,CMA)温漂误差(temperature drift error,TDE)补偿方法存在非精准溯源TDE致使TDE估计精度低、反复尝试估计模型构型导致构建过程复杂繁琐的问题,提出基于微形变分析的CMA TDE精密补偿方法。首先,通过微形变分析内部结构精准溯源TDE,基于径向基函数神经网络(radial basis function neural network,RBFNN)构建改进型TDE精密估计模型;其次,基于专家经验和模糊理论提出Expert-Fuzzy辅助决策下TDE估计模型辨识方法,为改进模型提供有效的构型指导;然后,设计升温试验测试CMA,构建传统模型和改进模型并通过对比其输出偏置稳定性评估TDE估计性能。实验结果表明,改进模型构建过程大大简化,补偿后CMA偏置稳定性提升约35%。本方法能够更加精准地估计TDE,有效解耦硅基材料的温度依赖性并提升CMA的环境适应性。 展开更多
关键词 微机电系统 温漂误差估计 微形变分析 Expert-Fuzzy辅助决策 径向基函数神经网络
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基于改进LSTM网络的无人机MEMS-IMU零偏在线标定方法
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作者 程向红 吴昕怡 +1 位作者 刘丰宇 钟志伟 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2024年第3期213-218,共6页
针对在卫星信号拒止、视觉系统退化场景中无人机MEMS-IMU零偏无法准确估计并补偿导致导航误差迅速发散的问题,提出一种基于改进长短时记忆(LSTM)网络的零偏在线标定方法。首先,为解决MEMS-IMU零偏数据非线性强、传统循环时间网络训练效... 针对在卫星信号拒止、视觉系统退化场景中无人机MEMS-IMU零偏无法准确估计并补偿导致导航误差迅速发散的问题,提出一种基于改进长短时记忆(LSTM)网络的零偏在线标定方法。首先,为解决MEMS-IMU零偏数据非线性强、传统循环时间网络训练效果差的问题,设计序列到序列的LSTM神经网络结构,引入教师强迫机制,提高了网络特征学习能力。然后,在导航过程中使用训练后的网络对MEMS-IMU零偏在线标定,补偿后的IMU量测与视觉信息联合优化,保证了导航定位精度。实验结果表明,在纯惯性导航实验中,所提方法的绝对位置误差比传统LSTM方法减小了6.5%;在EUROC数据集下进行的视觉惯性组合导航实验中,所提方法的平均绝对位置误差比传统LSTM方法减小了15%。 展开更多
关键词 无人机导航定位 微惯性测量单元 在线标定 长短时记忆神经网络
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金属氧化物半导体MEMS气体传感器研究进展 被引量:1
5
作者 尹嘉琦 沈文锋 +3 位作者 吕大伍 赵京龙 胡鹏飞 宋伟杰 《材料导报》 EI CSCD 北大核心 2024年第1期30-43,共14页
随着物联网的快速发展,各领域对气体监测的需求越来越大,基于先进微机电系统(Micro-electro-mechanical systems, MEMS)技术的金属氧化物半导体(Metal oxide semiconductor, MOS)气体传感器在过去几十年里取得了很大发展。MEMS微热板的... 随着物联网的快速发展,各领域对气体监测的需求越来越大,基于先进微机电系统(Micro-electro-mechanical systems, MEMS)技术的金属氧化物半导体(Metal oxide semiconductor, MOS)气体传感器在过去几十年里取得了很大发展。MEMS微热板的多样化设计、MOSs纳米结构的多样化以及机器学习算法的出现为MEMS的传感性能以及智能传感系统的构建提供了很大助力。本文从MEMS气体传感器的分类、制备和应用以及传感器阵列的构建等方面综述了金属氧化物半导体MEMS气体传感器的最新研究进展,并对MEMS基气体传感器的发展前景进行了总结和展望。 展开更多
关键词 气体传感器 金属氧化物半导体 微机电系统 传感器阵列 智能传感系统
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高频压电MEMS微镜设计与仿真
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作者 张浩 汪洋 武震宇 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第2期76-80,共5页
阵列化微镜设计可以实现微镜的高频工作。本文采用将驱动器隐藏在六边形镜面下方的设计方案来实现微镜阵列单元的制备,减小了微镜尺寸。在镜面内部引入了柔性结构匀散应力,降低微镜应力断裂风险,提高了微镜的可靠性,采用六边形密排的方... 阵列化微镜设计可以实现微镜的高频工作。本文采用将驱动器隐藏在六边形镜面下方的设计方案来实现微镜阵列单元的制备,减小了微镜尺寸。在镜面内部引入了柔性结构匀散应力,降低微镜应力断裂风险,提高了微镜的可靠性,采用六边形密排的方式可以实现大于90%的占空比。所设计的微镜可以实现倾斜、偏转和活塞3种工作自由度,工作频率达到了23 000 Hz以上,共振偏转角度可以达到6.5°。对比传统的微镜阵列设计,本文设计提高了空间利用率和致动效率。 展开更多
关键词 微机电系统 压电驱动 微镜阵列 高频
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Chaos in a fractional-order micro-electro-mechanical resonator and its suppression 被引量:3
7
作者 Mohammad Pourmahmood Aghababa 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第10期159-167,共9页
The present paper investigates the existence of chaos in a non-autonomous fractional-order micro-electromechanical resonator system(FOMEMRS).Using the maximal Lyapunov exponent criterion,we show that the FOMEMRS exh... The present paper investigates the existence of chaos in a non-autonomous fractional-order micro-electromechanical resonator system(FOMEMRS).Using the maximal Lyapunov exponent criterion,we show that the FOMEMRS exhibits chaos.Strange attractors of the system are plotted to validate its chaotic behavior.Afterward,a novel fractional finite-time controller is introduced to suppress the chaos of the FOMEMRS with model uncertainties and external disturbances in a given finite time.Using the latest version of the fractional Lyapunov theory,the finite time stability and robustness of the proposed scheme are proved.Finally,we present some computer simulations to illustrate the usefulness and applicability of the proposed method. 展开更多
关键词 micro-electro-mechanical resonator chaotic behavior fractional calculus fractional finite-time controller
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基于螺旋弹簧的引信用低g值MEMS惯性开关
8
作者 秦浩 蒋小华 《太赫兹科学与电子信息学报》 2024年第4期459-466,共8页
微机电系统(MEMS)惯性开关在引信领域有广阔的应用前景,但可用于引信工作环境的低g值型MEMS惯性开关较少。对此,为低发射过载的弹药引信提出一种低闭合阈值的MEMS惯性开关设计方案,满足引信识别低g值冲击信号的功能需求,实现稳定接通引... 微机电系统(MEMS)惯性开关在引信领域有广阔的应用前景,但可用于引信工作环境的低g值型MEMS惯性开关较少。对此,为低发射过载的弹药引信提出一种低闭合阈值的MEMS惯性开关设计方案,满足引信识别低g值冲击信号的功能需求,实现稳定接通引信电源的功能,同时具备抵抗引信工作环境中高过载的能力,提高引信可靠性。依据触发信号特征和引信工作环境提出设计要求,对惯性开关的振荡模型进行理论分析,阐明惯性开关结构尺寸对开关性能的影响规律,给出开关整体设计方案,并应用ANSYS有限元软件对设计结果进行仿真验证。仿真结果表明,所设计的惯性开关能够监测幅值为20g、脉宽为1 ms的冲击信号,开关响应时间小于1 ms,电极接触时间长于30μs,抗过载性能达到12 000g,满足性能指标要求。 展开更多
关键词 低g值 微机电系统 惯性开关 螺旋弹簧
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ELECTRO-MECHANICAL COUPLING ANALYSIS OF MEMS STRUCTURES BY BOUNDARY ELEMENT METHOD 被引量:1
9
作者 张恺 崔云俊 +2 位作者 熊春阳 王丛舜 方竞 《Acta Mechanica Sinica》 SCIE EI CAS CSCD 2004年第2期185-191,共7页
In this paper,we present the applications of Boundary Element Method(BEM) to simulate the electro-mechanical coupling responses of Micro-Electro-Mechanical systems(MEMS). The algorithm is programmed in our research gr... In this paper,we present the applications of Boundary Element Method(BEM) to simulate the electro-mechanical coupling responses of Micro-Electro-Mechanical systems(MEMS). The algorithm is programmed in our research group based on BEM modeling for electrostatics and elastostatics.Good agreement is shown while the simulation results of the pull-in voltages are compared with the theoretical/experimental ones for some examples. 展开更多
关键词 mems boundary element method(BEM) electro-mechanical coupling
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集成差分电容式MEMS微型电场传感器设计与研制
10
作者 黄国平 陈锦荣 +1 位作者 王跃强 廖峰 《电子器件》 CAS 2024年第1期79-83,共5页
在继电保护实际运行中,屏柜内部一些隐性故障将造成压板投退失效,严重威胁着电网的安全可靠运行。为了能够可靠、有效地监测出口压板的带电状态或电气导通性,设计了一种SOI差分电容式MEMS电场传感器。所设计的传感器以微机械元件物理设... 在继电保护实际运行中,屏柜内部一些隐性故障将造成压板投退失效,严重威胁着电网的安全可靠运行。为了能够可靠、有效地监测出口压板的带电状态或电气导通性,设计了一种SOI差分电容式MEMS电场传感器。所设计的传感器以微机械元件物理设计为基础,构造出可靠的运行结构,并且依靠一个低噪声、高动态范围的接口IC来完成操作。所设计的接口集成电路在应对脉冲式的间歇性操作的同时,组织互补设备阵列以感应各种不同的测量信号。通过COMSOL Multiphysics仿真实验可以看出,所设计的传感器能够很好地满足压板状态监测的需求。 展开更多
关键词 继电保护 电场传感器 mems 硬压板
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Study of Piezoresistive Micro Electro-Mechanical Accelerometer Design Platform
11
作者 张菁华 石庚辰 《Journal of Beijing Institute of Technology》 EI CAS 2005年第3期289-292,共4页
According to the inland micro electro-mechanical system (MEMS) process technique level, a design platform of piezoresistive micro electro-mechanical accelerometer is given. This platform is much more adaptable to th... According to the inland micro electro-mechanical system (MEMS) process technique level, a design platform of piezoresistive micro electro-mechanical accelerometer is given. This platform is much more adaptable to the inland designer compared with the current MEMS CAD software. The design flow is presented in detail, and the key techique in the platform is analyzed amply. The structure design methodology is exemplified in the design of a piezoresistive accelerometer, and the accelerometer is the optimized structure for the given performance requirements. The accelerometer is now being manufactured. 展开更多
关键词 micro electro-mechanical system SENSOR computer aided design
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一种X波段三叉H型低电压RF MEMS开关设计
12
作者 南敬昌 高飞 +3 位作者 李德润 翟雷应 李朝启 刘世泽 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第9期812-818,共7页
针对射频电路系统所需要的低电压,高隔离度,低插入损耗的应用需求,通过对开关正对面积对驱动电压产生的影响进行探究,设计了一款应用于X波段三叉H型的RF MEMS开关。开关具有六条悬臂梁作为支撑,通过增大上极板面积来降低开关的开启电压... 针对射频电路系统所需要的低电压,高隔离度,低插入损耗的应用需求,通过对开关正对面积对驱动电压产生的影响进行探究,设计了一款应用于X波段三叉H型的RF MEMS开关。开关具有六条悬臂梁作为支撑,通过增大上极板面积来降低开关的开启电压。分别使用HFSS和COMSOL对开关的射频性能和机械性能进行仿真,开关最终优化后,在8-12 GHz内,插入损耗为0.26~0.57 dB,隔离度大于31.30 dB。在10.1 GHz达到最优值,插入损耗为0.40 dB,隔离度为50.25 dB。开关电压在11V时就能够实现状态转换,开关的响应时间为18μs。此开关可与射频可重构器件结合,应用于新一代射频微波领域。 展开更多
关键词 射频微机械开关 ANSOFT HFSS COMSOL
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一种Iridium机会信号/MEMS-INS组合定位技术
13
作者 秦红磊 杜岩松 《导航定位学报》 CSCD 2023年第3期45-52,共8页
针对铱星(Iridium)系统作为一种天基机会信号源可以实现载体静态定位功能,但是其可见星较少,无法实现独立动态定位的问题,提出一种Iridium机会信号/MEMS-INS组合定位技术:分析Iridium信号体制及Iridium多普勒观测量提取算法;然后建立基... 针对铱星(Iridium)系统作为一种天基机会信号源可以实现载体静态定位功能,但是其可见星较少,无法实现独立动态定位的问题,提出一种Iridium机会信号/MEMS-INS组合定位技术:分析Iridium信号体制及Iridium多普勒观测量提取算法;然后建立基于扩展卡尔曼滤波(EKF)的Iridium/惯导(INS)动态组合定位模型,并提出一种基于新息的自适应抗差EKF算法(AR-EKF);最后搭建微机电惯导(MEMS-INS)与Iridium信号组合定位系统。实验结果表明,提出的Iridium/INS组合定位AR-EKF算法相比EKF算法定位精度可提高40%以上,相比单INS定位精度可提高90%以上,可为GNSS失效场景下动态定位提供参考。 展开更多
关键词 全球卫星导航系统(GNSS)失效 机会信号 铱星 微机电惯导 扩展卡尔曼滤波(EKF) 自适应抗差
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低功耗电阻型MEMS半导体气体传感器研究进展
14
作者 赵利强 向星岩 +2 位作者 王刚 李威 刘建钢 《微电子学》 CAS 北大核心 2023年第4期716-722,共7页
电阻型MEMS半导体气体传感器在环境空气质量监测和有毒有害气体检测等领域得到了广泛应用,但是受限于功耗较高的原因,这类传感器难以广泛应用于便携式气体检测系统。文章综述了近年来低功耗电阻型MEMS半导体气体传感器的研究进展,分别... 电阻型MEMS半导体气体传感器在环境空气质量监测和有毒有害气体检测等领域得到了广泛应用,但是受限于功耗较高的原因,这类传感器难以广泛应用于便携式气体检测系统。文章综述了近年来低功耗电阻型MEMS半导体气体传感器的研究进展,分别从气敏材料、传感器结构和传感器模组的集成电路等方面探讨如何实现低功耗的电阻型MEMS半导体气体传感器的制备,并展望低功耗的电阻型MEMS半导体气体传感器未来的发展方向。 展开更多
关键词 低功耗 微机电系统 半导体气体传感器 脉冲工作模式
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基于MEMS声敏结构的光纤声波传感器
15
作者 王文军 刘钰 +1 位作者 解涛 吴宇 《电声技术》 2023年第4期78-81,共4页
基于微机电系统(Micro Electro Mechanical System,MEMS)工艺加工声波敏感结构,将声波敏感结构与光纤端面构成非本征型光纤法布里-珀罗干涉仪(Extrinsic Fabry-Perot Interferometer,EFPI)感知声波。研究了不同厚度和不同增敏环数的声... 基于微机电系统(Micro Electro Mechanical System,MEMS)工艺加工声波敏感结构,将声波敏感结构与光纤端面构成非本征型光纤法布里-珀罗干涉仪(Extrinsic Fabry-Perot Interferometer,EFPI)感知声波。研究了不同厚度和不同增敏环数的声压敏感薄膜结构对声波探测性能的差异,对比了信噪比测试结果。实验结果表明,针对400 nm和1000 nm厚度的声敏薄膜,在相同的测试条件下,前者的声敏结构位移更大、频率响应的信噪比更高。在相同薄膜厚度条件下,具有增敏结构的MEMS薄膜可以释放薄膜的初始应力,降低薄膜的刚性,相比无增敏结构的MEMS薄膜具有更高的灵敏度。 展开更多
关键词 微机电系统(mems) 氧化硅薄膜 非本征型光纤法布里-珀罗干涉仪(EFPI) 增敏结构
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MEMS传感器在岩溶塌陷物理模拟试验监测中应用研究 被引量:3
16
作者 吴迪 王金晨 +3 位作者 杨彦鑫 吴远斌 娄万鹏 蔺文博 《安全与环境学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第3期800-811,共12页
针对岩溶塌陷地下土体位移监测难度大的问题,提出了一种基于微电机系统(Micro-Electro Mechanical Systems,MEMS)传感器的监测方法。采用时域积分算法处理MEMS加速度数据,先去除噪声和直流分量,通过多项式拟合去除趋势项,从而获取位移... 针对岩溶塌陷地下土体位移监测难度大的问题,提出了一种基于微电机系统(Micro-Electro Mechanical Systems,MEMS)传感器的监测方法。采用时域积分算法处理MEMS加速度数据,先去除噪声和直流分量,通过多项式拟合去除趋势项,从而获取位移监测数据,通过定距试验分析算法误差。设计了2组室内模型试验,一组将MEMS传感器集中布设于稳定区,另一组多布设于塌陷区,对不同埋深土体的位移进行监测,结合粒子图像测速设备(Particle Image Velocimetry,PIV)实测数据分析误差,验证利用MEMS传感器监测土体位移的适用性和实用性。结果表明:根据MEMS的加速度时程,通过时域积分算法能有效获得土体的位移,MEMS传感器可用于岩溶塌陷的实时监测;分析得到岩溶塌陷地下土体位移规律,土体位移的变化与塌陷源位置相关,随着土体高度的增加,位移逐渐减小,而处于塌陷源正上方的土体水平位移几乎为0;工程中可针对已经发生的塌陷和有可能发生的塌陷2种工况,分别将MEMS传感器埋设在稳定区和塌陷区,进行实时监测,保障生命财产安全。提出的方法为岩溶塌陷的监测提供了新的思路,也为MEMS传感器在岩土工程中的应用奠定了基础。 展开更多
关键词 安全工程 地面沉陷 模型试验 微电机系统(mems)传感器 位移监测
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Model of Polysilicon Electro-thermal Micro Actuator and Research of Micro Scale Effect 被引量:2
17
作者 张永宇 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2004年第B10期59-62,共4页
A type of crank beam electro-thermal micro actuator was prescribed. Mechanical model of the actuator was established, and the static characteristic was analyzed.Comparing the theoretical analysis with experimental dat... A type of crank beam electro-thermal micro actuator was prescribed. Mechanical model of the actuator was established, and the static characteristic was analyzed.Comparing the theoretical analysis with experimental data, it is found that the thermodynamic character of material in micro actuator has a different variable regularity contrasted to that used in macro scale machines. It is the micro scale effect that results in the deviation between the simulating result and experimental results. The thermodynamic expression of polysilicon, which was fitted by means of the experimental data concerned, was used to modify the mechanical model. The modified model, in which the micro scale thermodynamic characteristic was considered, was more reasonable and could make the optimal design and control strategies analyzing the straight-line micro actuator more feasible. 展开更多
关键词 mems electro-thermal micro actuator micro scale effect thermal expansion coefficient
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BP神经网络结合粒子群优化卡尔曼滤波的MEMS陀螺随机误差补偿方法 被引量:6
18
作者 万芯炜 王晶 +3 位作者 杨辉 李毅 张远再 王路 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第2期556-565,共10页
针对微机电系统(MEMS)陀螺仪随机误差相对较大、影响其精度这一问题,提出一种基于BP神经网络结合具有量子行为的粒子群优化(QPSO)算法优化卡尔曼滤波(KF)的补偿方法。采集MEMS陀螺和转台数据作为样本,采用BP神经网络进行训练,建立误差模... 针对微机电系统(MEMS)陀螺仪随机误差相对较大、影响其精度这一问题,提出一种基于BP神经网络结合具有量子行为的粒子群优化(QPSO)算法优化卡尔曼滤波(KF)的补偿方法。采集MEMS陀螺和转台数据作为样本,采用BP神经网络进行训练,建立误差模型;利用训练好的模型对MEMS陀螺进行误差补偿;利用QPSO算法优化KF,以达到更好的降噪效果。实验结果表明,该方法较BP神经网络优化KF、QPSO优化KF与变分模态分解结合小波阈值去噪等方法去噪处理后的平均绝对误差(MAE)和均方误差(MSE)更小,具有更好的降噪效果。 展开更多
关键词 mems陀螺 BP神经网络 量子粒子群优化 卡尔曼滤波
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卫星激光通信MEMS快速反射镜可靠性研究进展 被引量:1
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作者 朱伟鸿 汪洋 +2 位作者 王栎皓 刘艺晨 武震宇 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2023年第9期222-234,共13页
快速反射镜(Fast Steering Mirror,FSM)具有响应快、精度高、分辨率高等优势,被广泛应用于卫星激光通信、超分辨率成像、高精度激光瞄准等领域,是捕获、跟踪和瞄准(Acquisition Tracking and Pointing,ATP)系统中的核心部件。传统快反... 快速反射镜(Fast Steering Mirror,FSM)具有响应快、精度高、分辨率高等优势,被广泛应用于卫星激光通信、超分辨率成像、高精度激光瞄准等领域,是捕获、跟踪和瞄准(Acquisition Tracking and Pointing,ATP)系统中的核心部件。传统快反镜主要由压电陶瓷和音圈电机驱动,而基于微机电(Micro Electro Mechanical System,MEMS)技术制备的快反镜具有小型化及批量化等优势,是技术发展的趋势,但其应用于卫星激光通信领域的可靠性尚未进行全面论证。文中介绍了快反镜的工作原理、环境适应性要求以及国内外快反镜的可靠性水平,结合致动原理和结构分析了现有快反镜的失效机理、评估方法和可靠性加固技术,最后指出了高可靠性快反镜的结构和加固技术发展方向,并通过综合分析与仿真验证了MEMS快反镜应用于卫星激光通信的可行性。 展开更多
关键词 卫星激光通信 快速反射镜 微机电系统技术 环境适应性 可靠性
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Capacitance Sensing and Software-Realized Lock-in Amplifier for the Electromagnetically Levitated Micro Gyroscope 被引量:1
20
作者 黄晓刚 陈文元 +2 位作者 刘武 张卫平 吴校生 《Journal of Shanghai Jiaotong university(Science)》 EI 2007年第2期250-256,262,共8页
In the novel prototype of micro-gyroscope structure,the new configured capacitance sensing scheme for the micro gyroscope was analyzed and the virtual instrument based detection scheme was implemented.The digital lock... In the novel prototype of micro-gyroscope structure,the new configured capacitance sensing scheme for the micro gyroscope was analyzed and the virtual instrument based detection scheme was implemented.The digital lock-in amplifier was employed in the capacitance detection to restrain the noise interference.The capacitance analysis shows that 1 fF capacitance variation corresponds to 0.1 degree of the turn angle.The differential capacitance bridge and the charge integral amplifier were used as the front signal input interface.In the implementation of digital lock-in amplifier,a new routine which warranted the exactly matching of the reference phase to signal phase was proposed.The result of the experiment shows that digital lock-in amplifier can greatly eliminate the noise in the output signal.The non linearity of the turn angle output is 2.3% and the minimum resolution of turn angle is 0.04 degrees.The application of the software demodulation in the signal detection of micro-electro-mechanical-system(MEMS)device is a new attempt,and it shows the prospective for a high-performance application. 展开更多
关键词 陀螺仪 容量感觉 惯性传感器 数字放大器
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