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Fabrication of Superhydrophobic Micro Post Array on Aluminum Substrates Using Mask Electrochemical Machining 被引量:4
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作者 Jing Sun Wei Cheng +7 位作者 Jin-Long Song Yao Lu Yan-Kui Sun Liu Huang Xin Liu Zhu-Ji Jin Claire J-Carmalt Ivan P-Parkin 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第4期110-116,共7页
Surfaces with controllable micro structures are significant in fundamental development of superhydrophobicity. However,preparation of superhydrophobic surfaces with array structures on metal substrates is not effectiv... Surfaces with controllable micro structures are significant in fundamental development of superhydrophobicity. However,preparation of superhydrophobic surfaces with array structures on metal substrates is not effective using existing methods. A new method was presented to fabricate super-hydrophobic post arrays on aluminum(Al) substrates using mask electrochemical machining and fluoridation. Electrochemical etching was first applied on Al plates with pre-prepared photoresist arrays to make the post array structures. Surface modification was subsequently applied to reduce the surface energy, followed by interaction with water to realize superhydrophobicity. Simulation and experimental verification were conducted to investigate how machining parameters affect the array structures. Analysis of the water contact angle was implemented to explore the relationship between wettability and micro structures.The results indicate that superhydrophobic surfaces with controllable post structures can be fabricated through this proposed method, producing surfaces with high water static contact angles. 展开更多
关键词 SUPERHYDROPHOBICITY Aluminum substrates mask electrochemical machining micro post arrays
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Method Investigation for Fabricating Micro-Optical Elements by Use of Half Tone Masks
2
作者 Tong-Kai Zhao Qin Feng 《Journal of Electronic Science and Technology》 CAS 2010年第2期131-134,共4页
Several approaches to fabricate micro optical elements by use of half tone masks are studied and compared. It is shown that half tone masks employed in filtering image systems can obtain gray patterns with considerabl... Several approaches to fabricate micro optical elements by use of half tone masks are studied and compared. It is shown that half tone masks employed in filtering image systems can obtain gray patterns with considerably high precision, but it is hard to operate from the viewpoint of operation. The method using contacting lithography technology or laser ablation can be easily operated with the cost of reducing fabrication precision and the trouble of choosing appropriate materials. For all of these methods, the coding of half tone masks with corrections for the nonlinear characteristics of coding, imaging and photoresist is recommended. 展开更多
关键词 Index Terms --Contacting lithography half tone masks micro-optical elements optical filtering systems.
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基于修正Mask R-CNN算法的继电室机器人微小特征识别
3
作者 陆颖杰 苏淼 黄超 《机械制造与自动化》 2022年第4期169-172,共4页
为研究继电室机器人对继电室的实时监控效果,在继电室机器人上搭载实时监控模块并对开关柜进行智能检测。开关柜上有锁孔和开关两个微小特征需要识别,结合深度学习和双目视觉技术,对Mask R-CNN模型进行算法修正,实现继电室机器人对继电... 为研究继电室机器人对继电室的实时监控效果,在继电室机器人上搭载实时监控模块并对开关柜进行智能检测。开关柜上有锁孔和开关两个微小特征需要识别,结合深度学习和双目视觉技术,对Mask R-CNN模型进行算法修正,实现继电室机器人对继电室中开关柜上微小特征的识别。 展开更多
关键词 mask R-CNN 双目视觉 微小特征识别 继电室机器人
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微齿轮模具的兆声射流协同辅助掩膜电解加工定域性
4
作者 杜立群 程浩浩 +3 位作者 于明新 王丰来 张策 李董 《微纳电子技术》 CAS 2024年第12期146-156,共11页
在微齿轮模具的掩膜电解加工(TMEMM)中,金属的各向同性刻蚀属性导致了在加工过程中难以避免的侧蚀现象,从而显著降低了加工的定域性和精度。为解决这一问题,提出了一种兆声射流协同辅助掩膜电解加工(MJ-TMEMM)方法。建立了兆声射流协同... 在微齿轮模具的掩膜电解加工(TMEMM)中,金属的各向同性刻蚀属性导致了在加工过程中难以避免的侧蚀现象,从而显著降低了加工的定域性和精度。为解决这一问题,提出了一种兆声射流协同辅助掩膜电解加工(MJ-TMEMM)方法。建立了兆声射流协同辅助掩膜电解加工的仿真模型,对加工中的声-电-流多能场进行了仿真分析。仿真结果表明,兆声射流协同辅助方法显著提高了掩膜电解加工的定域性。基于仿真分析进行了兆声射流协同辅助掩膜电解加工微齿轮模具实验。实验结果表明,兆声射流协同辅助掩膜电解加工相较于传统掩膜电解加工,微齿轮模具的加工定域性提高了95%。最终,在仿真和实验研究的基础上,采用优选后的工艺参数制备了齿数16、模数0.15 mm且符合设计要求的微齿轮模具。与传统掩膜电解加工相比,采用兆声射流协同辅助掩膜电解加工方法制作的微齿轮模具齿顶圆刻蚀因子从1.19提高至2.6,齿根圆刻蚀因子从1.36提高至3.74。 展开更多
关键词 掩膜电解加工(TMEMM) 微齿轮模具 射流 兆声 定域性
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蒙古蒿挥发油面膜乳液的美白和祛痘作用
5
作者 吴苏要乐 王青虎 +3 位作者 赵朝梁 包文林 宋亚伟 包文强 《香料香精化妆品》 CAS 2024年第2期67-71,共5页
利用微量肉汤稀释法和兔耳痤疮模型试验考察添加蒙古蒿挥发油面膜乳液的祛痘功效,并采用体外生物化学法检测其美白作用。结果显示,该面膜乳液对痤疮丙酸杆菌和金黄色葡萄球菌具有良好的抑制作用,对兔耳痤疮模型具有良好的治疗和修复皮... 利用微量肉汤稀释法和兔耳痤疮模型试验考察添加蒙古蒿挥发油面膜乳液的祛痘功效,并采用体外生物化学法检测其美白作用。结果显示,该面膜乳液对痤疮丙酸杆菌和金黄色葡萄球菌具有良好的抑制作用,对兔耳痤疮模型具有良好的治疗和修复皮损效果。美白验证试验结果表明该面膜乳液对DPPH自由基和酪氨酸酶具有较强的抑制作用。因此,蒙古蒿挥发油面膜乳液在化妆品市场上具有潜在的开发利用价值。 展开更多
关键词 药理学 蒙古蒿 面膜乳液 微量肉汤稀释法 体外生物化学法 挥发油
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镀铬层表面微坑阵列PDMS掩膜电解加工研究
6
作者 刘金玲 张庆良 +1 位作者 张磊 曲宁松 《电加工与模具》 北大核心 2024年第4期33-39,共7页
以聚二甲基硅氧烷(PDMS)为掩膜的微细电解加工能高效地加工出群微坑阵列,从而改善表面摩擦学性能,提高零件使用寿命,但因电场边缘效应,得到的微坑阵列尺寸均匀性较差。针对这一现象,采用厚层PDMS模板并利用高压静液进行掩膜电解加工,探... 以聚二甲基硅氧烷(PDMS)为掩膜的微细电解加工能高效地加工出群微坑阵列,从而改善表面摩擦学性能,提高零件使用寿命,但因电场边缘效应,得到的微坑阵列尺寸均匀性较差。针对这一现象,采用厚层PDMS模板并利用高压静液进行掩膜电解加工,探究工艺参数对铬层表面的微坑阵列尺寸与加工精度的影响,并在耐磨的镀铬层表面进行加工以进一步验证铬层表面摩擦学性能,分析微坑尺寸对镀铬层表面摩擦性能的影响。结果表明,在占空比100%、直流电压30 V、加工时间30 s时,可加工出平均直径和深度分别为106.23μm和15.33μm的微坑阵列,在此基础上探究加工的减磨效果,发现不同直径的微坑阵列均在5μm的深度时达到最佳减磨效果。 展开更多
关键词 掩膜电解加工 镀铬层 微坑阵列
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钛合金表面椭圆微坑阵列模板电解加工试验研究
7
作者 严政 王天明 +1 位作者 李寒松 房晓龙 《电加工与模具》 北大核心 2024年第2期31-37,共7页
针对离子推进器织构化流道高效精密加工需求,开展TC4钛合金表面椭圆形微坑阵列模板电解加工试验研究。通过电场有限元仿真,发现随着加工进行,微坑逐渐由矩形变为椭圆并最终变为近似圆形,而且微坑在椭圆短轴方向上增量要大于长轴方向。... 针对离子推进器织构化流道高效精密加工需求,开展TC4钛合金表面椭圆形微坑阵列模板电解加工试验研究。通过电场有限元仿真,发现随着加工进行,微坑逐渐由矩形变为椭圆并最终变为近似圆形,而且微坑在椭圆短轴方向上增量要大于长轴方向。通过设计一种辅助支撑压紧装置以抑制非加工表面杂散腐蚀,研究了加工时间、占空比对微坑尺寸的影响。研究表明,在加工电压30 V、频率2 kHz、时间60 s、占空比8%的优选参数下,可以实现椭圆形微坑阵列的高效高一致性加工,得到的平均深度为98.04μm,长轴和短轴平均宽度分别为198.25μm和186.84μm。 展开更多
关键词 模板电解加工 钛合金 阵列结构 椭圆形微坑 杂散腐蚀
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中粗化微蚀药水引起化学镀镍/金不良的探讨
8
作者 唐小侠 徐卫祥 刘清 《印制电路信息》 2024年第9期19-24,共6页
中粗化微蚀药水可以增加铜面粗糙度,改善阻焊油墨等在铜面的附着力。但在使用中发现,某款中粗化微蚀药水后直接印刷阻焊油墨,存在化镍金沉积不良问题。通过讨论中粗化微蚀药水引起化镍金沉积不良问题的机理,并经过测试验证,确定了化镍... 中粗化微蚀药水可以增加铜面粗糙度,改善阻焊油墨等在铜面的附着力。但在使用中发现,某款中粗化微蚀药水后直接印刷阻焊油墨,存在化镍金沉积不良问题。通过讨论中粗化微蚀药水引起化镍金沉积不良问题的机理,并经过测试验证,确定了化镍金沉积不良问题的改善方案。 展开更多
关键词 中粗化微蚀药水 阻焊油墨 化镍金沉积不良
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气管切开病人使用微雾喷雾面罩给氧的临床研究 被引量:16
9
作者 徐玲芬 陈慧敏 +2 位作者 钟玉英 钟瑞英 谢波 《护士进修杂志》 北大核心 2006年第3期200-202,共3页
目的提高气管切开病人的给氧效果、缩短气管套管的带管时间、减少医疗费用、提高病人的生存质量。方法采用由美国哈德森呼吸监护器材公司生产的带有延长管道和雾化面罩的成人微雾喷雾器代替鼻导管法于气管切开处雾化吸氧,比较两组在吸... 目的提高气管切开病人的给氧效果、缩短气管套管的带管时间、减少医疗费用、提高病人的生存质量。方法采用由美国哈德森呼吸监护器材公司生产的带有延长管道和雾化面罩的成人微雾喷雾器代替鼻导管法于气管切开处雾化吸氧,比较两组在吸氧效果、拔管时间上的差异。结果采用成人微雾喷雾器雾化吸氧的效果明显优于鼻导管法吸氧,P<0.01,前者的拔管时间较后者提前48.68±10.63 h,P<0.05,具有显著的统计学意义。结论成人微雾喷雾器予气管切开处雾化吸氧能明显提高血气分析中的氧分压,并能有效缩短病人的带管时间,减少医疗费用,提高病人的生存质量。 展开更多
关键词 气管切开 微雾面罩 吸氧 护理
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用掩模分离法制备微型红外滤光片列阵的工艺研究 被引量:11
10
作者 程实平 张凤山 严义埙 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1994年第2期109-112,共4页
介绍了在研制微型红外滤光片中将半导体器件制作工艺与基本PVD方法结合而成的掩模分离方法,及其制备微型滤光片和将几种滤光片集成在一起的工艺方法,报道了阶段性研究结果.
关键词 掩模 微型滤光片 列阵 滤光片
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屏蔽膜板随动式微细电铸技术基础研究 被引量:3
11
作者 曾永彬 朱荻 +1 位作者 明平美 胡洋洋 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第16期1891-1895,共5页
提出了屏蔽膜板随动式微细电铸技术,屏蔽阳极膜板随电沉积层的增加而微量移动,从而可以用厚度有限的屏蔽层制造出原理上高度不受限制的三维金属微结构。针对该工艺的特点研制了试验装置,利用紫外光刻制作的屏蔽阳极膜板开展了两种随动... 提出了屏蔽膜板随动式微细电铸技术,屏蔽阳极膜板随电沉积层的增加而微量移动,从而可以用厚度有限的屏蔽层制造出原理上高度不受限制的三维金属微结构。针对该工艺的特点研制了试验装置,利用紫外光刻制作的屏蔽阳极膜板开展了两种随动方式的研究,分别得到了侧壁陡直的微齿轮和具有倾斜轮廓的微十字结构。 展开更多
关键词 微细加工 电铸 屏蔽膜板 微结构
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微加工厚光刻胶掩膜电镀工艺研究 被引量:3
12
作者 姜政 丁桂甫 +1 位作者 汪红 黎莉 《电镀与涂饰》 CAS CSCD 2005年第7期16-17,41,共3页
介绍了溢出电镀二次涂覆薄层光刻胶再光刻的工艺流程:磁控溅射法电镀种子层-涂覆光刻胶-溢出电镀-光刻胶二次涂覆-再光刻-电镀。电镜照片表明,通过此方法可以消除微加工过程中在光刻胶掩膜与电镀结构间产生的深沟壑,从而获得了平整性和... 介绍了溢出电镀二次涂覆薄层光刻胶再光刻的工艺流程:磁控溅射法电镀种子层-涂覆光刻胶-溢出电镀-光刻胶二次涂覆-再光刻-电镀。电镜照片表明,通过此方法可以消除微加工过程中在光刻胶掩膜与电镀结构间产生的深沟壑,从而获得了平整性和连贯性良好的镀层。 展开更多
关键词 微加工 光刻胶 掩膜 溢出电镀
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微坑阵列掩膜电解加工试验研究微坑阵列掩膜电解加工试验研究 被引量:6
13
作者 王阳 傅秀清 +1 位作者 王清清 张震 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2018年第6期896-902,共7页
为了解决机械零件表面织构的加工问题,并充分利用电解加工的优势,本文基于COMSOL Multiphisics软件进行了微坑阵列掩膜电解加工过程的仿真分析,开展了电解加工零件表面微织构的工艺试验研究,得到了具有微米级别直径与深度的表面阵列微坑... 为了解决机械零件表面织构的加工问题,并充分利用电解加工的优势,本文基于COMSOL Multiphisics软件进行了微坑阵列掩膜电解加工过程的仿真分析,开展了电解加工零件表面微织构的工艺试验研究,得到了具有微米级别直径与深度的表面阵列微坑,总结了普通直流加工电压与加工时间、脉冲电流加工频率与占空比、不同掩膜孔直径对微坑加工的工艺规律。试验结果表明:在加工时间12 s,脉冲电压12 V,占空比30%,脉冲频率3 000 Hz,掩膜孔径200μm的参数下,能得出表面质量最优的微坑。 展开更多
关键词 微坑阵列 掩膜电解加工 仿真分析 工艺试验
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果子狸细小病毒性肠炎首次诊断及防治初探 被引量:4
14
作者 段文武 朱开明 +2 位作者 李立 姜卫星 向秀成 《经济动物学报》 CAS 2001年第1期34-38,共5页
1999年 9~ 1 0月 ,湖南某果子狸驯养场发生一起以下痢、便血为主要症状的急性病毒性传染病 ,60d内造成 1 87只果子狸发病 ,1 56只果子狸死亡 ,尤其是当年生仔狸的发病率和死亡率很高 ,分别为 66 0 %和 96 2 %。根据流行病情况、临床症... 1999年 9~ 1 0月 ,湖南某果子狸驯养场发生一起以下痢、便血为主要症状的急性病毒性传染病 ,60d内造成 1 87只果子狸发病 ,1 56只果子狸死亡 ,尤其是当年生仔狸的发病率和死亡率很高 ,分别为 66 0 %和 96 2 %。根据流行病情况、临床症状、病理变化和血清学检验 ,以及病原体分离、电镜检查和生物学试验证实 ,此疫情为细小病毒感染。用此病毒与细小病毒抗体血清做交叉血清学检测反应为阳性 ,因此证明此病毒与犬细小病毒有共同抗原关系。通过对健康狸进行紧急脏器疫苗接种和用犬细小病毒弱毒疫苗加强免疫 ,以及采取其他综合防治措施 。 展开更多
关键词 果子狸 细小毒病性肠炎 诊断 防治 症状
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活动屏蔽膜板高深宽比微细电铸技术研究 被引量:5
15
作者 曾永彬 朱荻 +1 位作者 曲宁松 胡洋洋 《中国机械工程》 CAS CSCD 北大核心 2008年第12期1457-1461,共5页
针对金属微结构器件制造难的问题,提出了活动屏蔽膜板高深宽比微细电铸技术,通过屏蔽膜板动态地限制电沉积的区域,可以用低深宽比的膜板图形加工出高深宽比的金属微结构,并且免除了去胶等难题。在对活动屏蔽膜板微细电铸电场及传质进行... 针对金属微结构器件制造难的问题,提出了活动屏蔽膜板高深宽比微细电铸技术,通过屏蔽膜板动态地限制电沉积的区域,可以用低深宽比的膜板图形加工出高深宽比的金属微结构,并且免除了去胶等难题。在对活动屏蔽膜板微细电铸电场及传质进行分析的基础上,开展试验研究,获得了特征尺寸为500μm,深宽比分别为3和5的微静电梳状驱动器梳齿及微圆柱电极阵列。 展开更多
关键词 微细加工 电铸 活动膜板 高深宽比
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金属薄板微小群孔掩膜电解加工技术研究 被引量:8
16
作者 刘建 朱荻 +1 位作者 曲宁松 李寒松 《电加工与模具》 2008年第3期37-39,63,共4页
介绍了掩膜电解加工微小群孔的技术,深入研究了掩膜厚度、加工电压、电解液种类等参数对微小群孔加工效果的影响。通过对这些参数的优化,提高了微小群孔结构的均匀性和微孔的加工精度。
关键词 微小群孔 掩膜 电解加工
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极坐标激光直写技术制作微结构 被引量:1
17
作者 王多书 罗崇泰 +3 位作者 陈焘 刘宏开 马勉军 黄良甫 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2006年第7期525-528,共4页
简述了极坐标激光直写技术原理,并利用该技术研究了在铬板、光刻胶版表面制作微结构的工艺,制作了光栅、非涅耳透镜、曲面衍射透镜、平面连续微结构衍射透镜掩模以及基于MEMS技术的微型太阳敏感器光学掩模。
关键词 激光直写技术 掩模 微结构 微光学
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磁性液体薄膜微形变的磁控研究 被引量:1
18
作者 刘同冈 郭岩 +1 位作者 邹学壮 吴健 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2014年第4期229-235,共7页
针对磁性液体薄膜在MEMS加工领域作为光刻掩膜的应用,为获得磁性液体薄膜在磁场作用下的微形变规律,设计了一套磁场下磁性液体薄膜微形变的磁控测试实验台,并从磁场强度、磁性液体种类、磁性液体中磁性颗粒质量分数、磁性液体量和磁场... 针对磁性液体薄膜在MEMS加工领域作为光刻掩膜的应用,为获得磁性液体薄膜在磁场作用下的微形变规律,设计了一套磁场下磁性液体薄膜微形变的磁控测试实验台,并从磁场强度、磁性液体种类、磁性液体中磁性颗粒质量分数、磁性液体量和磁场梯度五个方面对其微形变特性进行实验研究。利用磁性液体薄膜形变高度和半径两个参数对其微形变效果进行了评价,实验结果表明:磁性液体薄膜凸起高度与磁场强度平方呈正比;基载液密度低的磁性液体凸起高度大;烃基磁性液体在磁性颗粒质量分数为25%时形变效果最好;磁性液体在达到一定的体积后其凸起高度几乎不变;磁场梯度越大,其凸起高度越明显,形变图形越佳。 展开更多
关键词 磁性液体 薄膜 磁控 光刻掩膜 微形变
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形成连续微光学元件的灰度掩模图形生成方法 被引量:2
19
作者 周礼书 李学民 +2 位作者 杜春雷 霍永峰 张益民 《光电工程》 CAS CSCD 2000年第2期31-34,共4页
针对利用灰度掩模制作连续微光学元件的方法 ,介绍了从元件结构到灰度图形的转换 ,灰度图形的修正 ,灰度图形的数字化以及图形编码等关键步骤。最后给出生成微透镜列阵掩模图形的实例。
关键词 微光学元件 灰度掩模 微型透镜
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新型光刻技术研究进展 被引量:16
20
作者 何立文 罗乐 +2 位作者 孟钢 邵景珍 方晓东 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2019年第1期30-37,共8页
集成电路光刻作为传统光刻技术的典型代表,支撑着集成电路芯片的快速发展。新一代光刻技术具有工艺多样化、光刻精度高、光刻效率高的优点,在研发新型光电子器件、实现3维微纳结构、构建有序纳米孔通道等方面有很大的潜力。回顾了近些... 集成电路光刻作为传统光刻技术的典型代表,支撑着集成电路芯片的快速发展。新一代光刻技术具有工艺多样化、光刻精度高、光刻效率高的优点,在研发新型光电子器件、实现3维微纳结构、构建有序纳米孔通道等方面有很大的潜力。回顾了近些年来涌现的多种新型光刻技术,分析了各自的特征及在新型纳米电子、光子器件、能源、传感等领域中的应用。对未来光刻技术的发展方向进行了展望。 展开更多
关键词 激光技术 光学制造 新型光刻技术 无掩模光刻 掩模光刻 微纳结构
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