激光光刻成型法在微型机械研究中的应用

本文扼要介绍了现阶段国内外用于研制微型机械的主要方法，着重介绍了激光光刻成型法的基本原理、制作微型机械的工艺途径、技术特色及其应用前景。

微光成型法微细光束紫外光源的研制

简要介绍了光成型法的原理以及在微细加工领域应用所需解决的关键问题。着重就选取经济性好的球形高压汞灯作为光源发光体 ,通过对聚光系统结构和聚光能力 ,导光光路的传导方式和光能传递效率以及缩微光路的成像性质的综合分析 ,并结合各级传输的光束特性进行优化设计 ,选取两平凸透镜聚光系统和光纤导光方式 ,并利用显微物镜的微缩特性 ,研制成紫外光光源。该光源可产生直径为数微米的微细光斑 。

微光成型法图形数据的提取和处理

利用对AutoCAD实体造型模型的等高截交处理 ,获取一系列截交面图形数据 ,再以DXF格式和LDI格式进行提取和保存 ,从而获得便于进一步应用的图形数据。并在此基础上进行了立体模型的再现 。

微光成型法固化成形路径的生成和检验

为了对平面实体进行曝光固化 ,需要同时得到平面图形的轮廓和内部填充的扫描轨迹。为此 ,利用CNC自动编程系统中的“C刀补”功能 ,实现了平面轮廓环扫描路径的自动生成 ;并在此基础上 ,用“辅助直线法”生成了平面实体填充固化所需的“行栅式”扫描路径 ;最后 ,利用VC的编程功能 。

光成型技术及其发展概况

介绍了光成型技术的成型方法和现阶段的研究概况 ,重点介绍了提高加工精度和加工效率的技术手段 ;

微光成形法平面轮廓扫描路径的生成

提出一种基于任意形状平面图形的内、外轮廓数据处理的新方法 ,并针对AutoCAD实体模型的等高截交面轮廓的封闭有向环及内、外环进行判别 ,实现了平面轮廓扫描中的方向判别和轨迹生成的自动化。