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Preparation of Electrode Array by Electrochemical Etching Based on FEM
1
作者 Minghuan WANG Di ZHU Lei WANG 《Journal of Materials Science & Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2008年第6期845-849,共5页
Process technology of multiple cylindrical micro-pins by wire-electrical discharge machining (wire-EDM) and electrochemical etching was presented. A row of rectangular micro-columns were machined by wire-EDM and the... Process technology of multiple cylindrical micro-pins by wire-electrical discharge machining (wire-EDM) and electrochemical etching was presented. A row of rectangular micro-columns were machined by wire-EDM and then machined into cylindrical shape by electrochemical etching. However, the shape of the multiple electrodes and the consistent sizes of the electrodes row are not easy to be controlled. In the electrochemical process, the shape of the cathode electrode determines the current density distribution on the anode and so the forming of multiple electrodes. This paper proposes a finite element method (FEM) to accurately optimize the electrode profile. The microelectrodes row with uniformity diameters with size from hundreds micrometers to several decades could be fabricated, and mathematical model controlling the shape and diameter of multiple microelectrodes was provided. Furthermore, a good agreement between experimental and theoretical results was confirmed. 展开更多
关键词 Electrode array Electrochemical etching Finite element method fem micro-electrodes
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Numerical simulation and response analysis of microspherical focused logging in inclined micro-fractured formation
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作者 Nan Zeyu Fu Weishu Liu Zhiyuan 《Energy Geoscience》 2023年第2期113-116,共4页
Tight and unconventional reservoirs have become the focus with the progress of petroleum exploration and development.Micro-fractures in these reservoirs can effectively improve reservoir permeability,and well-develope... Tight and unconventional reservoirs have become the focus with the progress of petroleum exploration and development.Micro-fractures in these reservoirs can effectively improve reservoir permeability,and well-developed micro-fractures can serve to directly improve productivity.Compared with the centered electrical well logging method,the Micro Spherical Focused Logging(MSFL)is more suitable for microfracture identification due to its high resolution and near borehole wall measuring method.In this study,an anisotropic model is used to depict micro-fractured formation.First,a forward model with microfractured formation,borehole,logging instrument and surrounding rock is established.Subsequently,MSFL responses under different micro-fracture porosity,resistivity,dip angle and borehole radius,are calculated based on the finite element method(FEM).Finally,the MSFL responses under different microfracture parameters are analyzed with the response laws clarified. 展开更多
关键词 micro-fracture evaluation micro Spherical Focused Logging(MSFLS) Forward simulation Finite Element Method(fem)
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Influence of tool deflection on micro channel pattern of 6:4 brass with rectangular tool 被引量:1
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作者 Tae-Jin JE Kang-Won LEE +4 位作者 Sang-Cheon PARK Jae-Gu KIM Doo-Sun CHOI Kyoung-Taik PARK Kyung-Hyun WHANG 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 2009年第B09期164-170,共7页
Machining experiment of micro channel structure with 6:4 brass was carried out by shaping process using a single crystal diamond tool. FEM simulation using solid cantilever beam model was analyzed. In result of experi... Machining experiment of micro channel structure with 6:4 brass was carried out by shaping process using a single crystal diamond tool. FEM simulation using solid cantilever beam model was analyzed. In result of experiment, tool deflection is observed as machining characteristics through result of experiments such as surface roughness, cutting force and burr formations. And the influence of tool deflection is experimentally proved. 展开更多
关键词 金刚石工具 挠度 通道模式 黄铜 矩形 实验证明 加工特性 有限元模拟
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刀具微织构对6061铝合金切削性能的影响 被引量:1
4
作者 李媛媛 于晓 +1 位作者 岳修杰 韩双凤 《兵器材料科学与工程》 CAS CSCD 北大核心 2023年第2期24-28,共5页
为探索刀具微织构对6061铝合金切削性能的影响规律,借助有限元软件对该合金进行两种刀具的切削仿真研究,得到工件温度场、应力场、主切削力和切削温度的变化规律。结果表明:刀具的微织构特征可减小切屑与刀具前刀面的摩擦,进而减少摩擦... 为探索刀具微织构对6061铝合金切削性能的影响规律,借助有限元软件对该合金进行两种刀具的切削仿真研究,得到工件温度场、应力场、主切削力和切削温度的变化规律。结果表明:刀具的微织构特征可减小切屑与刀具前刀面的摩擦,进而减少摩擦热,降低切削温度。在降低主切削力方面,微织构特征对切削速度较敏感,对进给量不敏感。通过对两种刀具实测验证,误差均在合理范围。 展开更多
关键词 微织构 切削刀具 铝合金 切削性能 有限元
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基于MQL的微切削Inconel 718残余应力优化研究 被引量:1
5
作者 吴淑晶 林靖朋 +2 位作者 安庆龙 李长河 王大中 《工具技术》 北大核心 2022年第7期26-33,共8页
镍基高温合金(Inconel 718)因具有良好的机械性能和抗氧化性能而被广泛应用于航空航天等领域。Inconel 718合金存在加工硬化等问题,使其成为一种难加工材料。残余应力是影响Inconel 718合金工件尺寸稳定性的主要因素之一,采用微量润滑(M... 镍基高温合金(Inconel 718)因具有良好的机械性能和抗氧化性能而被广泛应用于航空航天等领域。Inconel 718合金存在加工硬化等问题,使其成为一种难加工材料。残余应力是影响Inconel 718合金工件尺寸稳定性的主要因素之一,采用微量润滑(MQL)进行加工,可有效控制切削温度及切削力,降低残余应力。本研究通过MQL微切削理论、仿真及实验等方法,探讨切削速度、进给量、背吃刀量等因素对残余应力变化的影响,揭示MQL微切削Inconel 718合金残余应力分布变化规律,并基于田口法提出MQL微切削Inconel 718合金残余应力的优化方案,具有一定的科学意义和实用价值。 展开更多
关键词 Inconel 718 微量润滑(MQL) 残余应力 微切削 有限元法(fem)
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双压电膜驱动微小型机器人建模与实验测试
6
作者 吴善强 陈海初 +1 位作者 朱银法 毛傥生 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2013年第3期376-378,382,共4页
该文分析了基于双压电膜驱动微小机器人的惯性冲击式运动原理,建立了机器人压电振子的等效电学模型,采用有限元法对双压电膜驱动器进行模态分析,确定了微小型机器人运动的激励信号频率,并求解了双压电膜等效电学模型中的电学参数。在此... 该文分析了基于双压电膜驱动微小机器人的惯性冲击式运动原理,建立了机器人压电振子的等效电学模型,采用有限元法对双压电膜驱动器进行模态分析,确定了微小型机器人运动的激励信号频率,并求解了双压电膜等效电学模型中的电学参数。在此基础上对该微小机器人进行了实验测试,结果表明,机器人最高速度为200mm/min,最大输出力为0.1N。 展开更多
关键词 双压电膜 微小型机器人 有限元(fem)法 惯性冲击原理(IDM)
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Suppressing the mechanical quadrature error of a quartz double-H gyroscope through laser trimming 被引量:2
7
作者 赵克 冯立辉 +4 位作者 王茜蒨 刘明智 王本国 崔芳 孙雨南 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第11期622-628,共7页
In this paper, we introduce a z-axis quartz gyroscope using a double-H tuning fork, which has a high sensitivity. However, it also causes a large mechanical quadrature error. The laser trimming method is used to suppr... In this paper, we introduce a z-axis quartz gyroscope using a double-H tuning fork, which has a high sensitivity. However, it also causes a large mechanical quadrature error. The laser trimming method is used to suppress this error at quartz level. The trimming law is obtained through the finite element method (FEM). A femtosecond laser processing system is used to trim the gold balancing masses on the beams, and experimental results are basically consistent with the simulated ones. The mechanical quadrature error is suppressed by 96%, from 26.3° s-1 to 1.1° s-1. Nonlinearity changes from 1.48% to 0.30%, angular random walk (ARW) is reduced from 2.19° h-1/2 to 1.42° h-1/2, and bias instability is improved by a factor of 7.7, from 197.6° h-1 to 25.4° h-1. 展开更多
关键词 femtosecond laser trimming micro-electro-mechanical system (MEMS) gyroscope finite elementmethod fem simulation
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两级位移放大微夹持器的研究 被引量:8
8
作者 陈海初 王振华 +1 位作者 李满天 孙立宁 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2005年第3期300-302,共3页
微夹持器是完成微操作、微装配作业任务的重要工具,其体积、质量、张合量、微夹持力等是微夹持器设计过程中的重要指标。利用压电陶瓷作为微驱动元件设计了一种具有两级位移放大的微夹持器,并采用有限元软件对其进行张合量、微夹持力的... 微夹持器是完成微操作、微装配作业任务的重要工具,其体积、质量、张合量、微夹持力等是微夹持器设计过程中的重要指标。利用压电陶瓷作为微驱动元件设计了一种具有两级位移放大的微夹持器,并采用有限元软件对其进行张合量、微夹持力的分析。经实验测试,验证了所设计的微夹持器的合理性和实用性。 展开更多
关键词 微操作 微夹持器 压电陶瓷 有限元法 有限元分析
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医用微型机器人蠕动肠道中的驱动力计算及实验研究 被引量:7
9
作者 何斌 杨灿军 +1 位作者 周银生 陈鹰 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期43-45,共3页
:提出了一种新型的可进入人体内腔和血管的微型机器人驱动机构。此种微型机器人能够在充满液体的弯曲的人体肠道内运行。当机器人在充满液体的微型管道内运行时 ,在其周围会自动形成一层液体动压润滑膜 ,此润滑膜能避免机器人与管道壁... :提出了一种新型的可进入人体内腔和血管的微型机器人驱动机构。此种微型机器人能够在充满液体的弯曲的人体肠道内运行。当机器人在充满液体的微型管道内运行时 ,在其周围会自动形成一层液体动压润滑膜 ,此润滑膜能避免机器人与管道壁发生直接接触。结合人体肠道的蠕动方程和N- S方程利用有限元分析计算了此种微型机器人在蠕动肠道中的驱动力和运行速度 ,进行了机器人的运行实验 ,结果表明 ,机器人能以较快速度在肠道内悬浮运行。 展开更多
关键词 微型机器人 肠道 驱动机构 有限元 蠕动 医用机器人 驱动力
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不同长度微种植体支抗应力差异的三维有限元研究 被引量:45
10
作者 王震东 王林 +1 位作者 倪晓宇 马俊青 《口腔医学》 CAS 2005年第2期96-97,共2页
目的 分析不同长度微型种植体在承载不同方向4 0 0g正畸力时的应力分布和大小。方法 利用三维有限元软件ANSYS建立不同长度的微型支抗种植体-骨有限元非线性分析模型,在加载侧方力(与种植体长轴成4 5°和90°)的条件下进行分... 目的 分析不同长度微型种植体在承载不同方向4 0 0g正畸力时的应力分布和大小。方法 利用三维有限元软件ANSYS建立不同长度的微型支抗种植体-骨有限元非线性分析模型,在加载侧方力(与种植体长轴成4 5°和90°)的条件下进行分析计算。结果 ①在两种加载条件下,不同长度的微型种植体应力值(包括单元应力和节点应力)呈规则分布,均显示8mm长度时,应力值最小,并且随着微种植体长度的增加或减小,应力值都呈增加趋势;②种植体颈部为应力集中区。结论 在承受非轴向力的作用下,8mm微种植体颈部的应力值最低,并且随微种植体长度的变化,应力都呈上升趋势。 展开更多
关键词 应力 长度 微种植体支抗 三维有限元
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O型MEMS平面微弹簧弹性系数研究 被引量:1
11
作者 吴鹏飞 张国俊 +2 位作者 钟志亲 戴丽萍 王姝娅 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2011年第10期660-663,共4页
对封闭O型MEMS平面微弹簧建立力学分析模型,用卡氏第二定律和胡克定律推导出这种平面微弹簧弹性系数的计算公式,并用ANSYS进行有限元仿真,仿真结果表明,两者的相对误差低于2%。在计算公式和仿真的基础上,研究了各种结构参数对弹性系数... 对封闭O型MEMS平面微弹簧建立力学分析模型,用卡氏第二定律和胡克定律推导出这种平面微弹簧弹性系数的计算公式,并用ANSYS进行有限元仿真,仿真结果表明,两者的相对误差低于2%。在计算公式和仿真的基础上,研究了各种结构参数对弹性系数的影响规律,结果表明,弹性系数随节数和弯半径的增大而减小,随梁宽和厚度的增大而增大。研究结果为其他封闭结构的MEMS平面微弹簧的分析和设计提供了一定的借鉴。 展开更多
关键词 微机电系统(MEMS) 平面微弹簧 卡氏第二定律 弹性系数 有限元方法(fem)
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斜齿微线段齿轮刚度研究 被引量:7
12
作者 黄康 赵韩 赵小勇 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期119-122,共4页
介绍了斜齿微线段齿轮刚度的定义,并首次使用有限元法进行了斜齿微线段齿轮刚度计算,初步得出了斜齿微线段齿轮的刚度要好于相应的渐开线齿轮的结论。提出了利用人工神经网络的非线性映射能力,训练一个可以预测不同参数斜齿微线段齿轮... 介绍了斜齿微线段齿轮刚度的定义,并首次使用有限元法进行了斜齿微线段齿轮刚度计算,初步得出了斜齿微线段齿轮的刚度要好于相应的渐开线齿轮的结论。提出了利用人工神经网络的非线性映射能力,训练一个可以预测不同参数斜齿微线段齿轮刚度的人工神经网络,使其可以方便地代入到有关的计算程序中,其中重点介绍的是人工神经网络的教师样本构造问题。 展开更多
关键词 斜齿微线段齿轮 人工神经网络 非线性映射能力 渐开线齿轮 刚度计算 有限元法 计算程序
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泡孔微结构对弹性泡沫材料宏观压缩力学性能的影响分析 被引量:10
13
作者 范志庚 陈常青 +1 位作者 胡文军 万强 《机械强度》 CAS CSCD 北大核心 2015年第5期892-897,共6页
弹性泡沫材料是一类典型的非均质多孔材料,其宏观力学特性取决于基体材料特性和细观组成。通过构造一系列泡孔规则分布、朝向随机的椭圆形泡孔模型,以及随机分布圆形泡孔模型,采用有限元方法分析了弹性泡沫材料细观变形机制,以及泡孔形... 弹性泡沫材料是一类典型的非均质多孔材料,其宏观力学特性取决于基体材料特性和细观组成。通过构造一系列泡孔规则分布、朝向随机的椭圆形泡孔模型,以及随机分布圆形泡孔模型,采用有限元方法分析了弹性泡沫材料细观变形机制,以及泡孔形状、泡孔分布以及孔隙率等因素对弹性泡沫材料宏观压缩力学性能的影响规律。细观力学模型计算结果表明,弹性泡沫材料的单向压缩应力—应变曲线表现出泡沫材料共有的三阶段变形特性;与椭圆形泡孔模型相比,圆形泡孔模型具有较长的压缩平台段和稳定的力学性能;制备规则分布的球形泡孔结构是弹性泡沫材料微结构设计的优选方案。研究结果可用于指导弹性泡沫微结构设计。 展开更多
关键词 弹性泡沫材料 泡孔结构 宏观压缩性能 细观力学模型 有限元方法
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基于MEMS技术的微操作三维力传感器研究 被引量:10
14
作者 荣伟彬 王家畴 +2 位作者 赵玉龙 陈立国 孙立宁 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期692-698,共7页
针对微操作过程中对微力觉信号的需求,以压阻检测技术为基础结合MEMS加工工艺,设计了一种用于微操作的三维力传感器,建立传感器的数学模型并用有限元分析软件对敏感弹性元件进行分析。利用悬臂梁受力弯曲变形的原理结合显微视觉技术,实... 针对微操作过程中对微力觉信号的需求,以压阻检测技术为基础结合MEMS加工工艺,设计了一种用于微操作的三维力传感器,建立传感器的数学模型并用有限元分析软件对敏感弹性元件进行分析。利用悬臂梁受力弯曲变形的原理结合显微视觉技术,实现对传感器的标定,并给出了传感器的信号处理方法。实验证明,该传感器具有耦合小、测量分辨率高、线性度好、标定简单的优点,满足了预计的设计要求。传感器最大量程为10mN,X向与Y向的分辨率均为2.4μN,Z向的分辨率为4.2μN。 展开更多
关键词 三维微力传感器 压阻检测技术 有限元分析 标定实验
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新型药型罩温压扭成形模拟与实验研究 被引量:4
15
作者 李萍 章凯 +1 位作者 薛克敏 王晓溪 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第4期437-442,共6页
高压扭转工艺可以显著提高金属粉末的固结效果,有效细化晶粒并改善组织分布的均匀性。以薄壁锥形件为研究对象,采用MSC.Marc软件对铜粉锥形件温压扭成形进行了有限元模拟及实验研究,分析了其变形行为和致密化规律。结果表明:温压扭铜粉... 高压扭转工艺可以显著提高金属粉末的固结效果,有效细化晶粒并改善组织分布的均匀性。以薄壁锥形件为研究对象,采用MSC.Marc软件对铜粉锥形件温压扭成形进行了有限元模拟及实验研究,分析了其变形行为和致密化规律。结果表明:温压扭铜粉锥形件等效应力、等效应变及相对密度的轴向分布规律相似,均是由口部到锥部递减;剪切应变为靠近模壁的区域较大;同一水平位置的相对密度总是外壁大于内壁。实验制备的铜粉锥形件相对密度达到0.960 5,与模拟结果接近;不同部位晶粒细化程度在52%~66%之间,组织分布均匀性较好;显微硬度HV0.1为70~116.实验与模拟结果具有较好的一致性,验证了有限元模型的可靠性。 展开更多
关键词 机械制造工艺与设备 铜粉 高压扭转 药型罩 锥形件 有限元模拟 显微组织 显微硬度
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一种MEMS热微执行器的设计与制作 被引量:4
16
作者 杨静 高建忠 +1 位作者 赵玉龙 蒋庄德 《微纳电子技术》 CAS 2005年第4期175-179,共5页
介绍了基于热膨胀效应的V型梁MEMS微执行器并联阵列结构,并对其进行结构设计、仿真和制作;为确定微执行器的结构参数同其位移和驱动力的关系,对V型悬臂梁进行了理论分析;为提高位移和驱动力,运用ANSYS对微执行器进行有限元分析,优化结... 介绍了基于热膨胀效应的V型梁MEMS微执行器并联阵列结构,并对其进行结构设计、仿真和制作;为确定微执行器的结构参数同其位移和驱动力的关系,对V型悬臂梁进行了理论分析;为提高位移和驱动力,运用ANSYS对微执行器进行有限元分析,优化结构参数;根据模拟结果,采用SOI硅片和微细加工DRIE技术制作了这种V型梁微执行器并联阵列。 展开更多
关键词 微机电系统 热微执行器 阵列 有限元
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超声波马达在美国的发展 被引量:19
17
作者 褚祥诚 陈维山 陈在礼 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1999年第1期37-40,共4页
基于参考文献和Internet网络查询,提出超声波马达在美国的最新研究与主要方向。研究包括:微型超声波马达、具有新颖结构的压电驱动器、超声波马达的使用寿命、超声波马达在太空环境中的应用研究等,这些方面已引起学者们的极... 基于参考文献和Internet网络查询,提出超声波马达在美国的最新研究与主要方向。研究包括:微型超声波马达、具有新颖结构的压电驱动器、超声波马达的使用寿命、超声波马达在太空环境中的应用研究等,这些方面已引起学者们的极大关注。这些重要的研究跨及航天、海洋、军事和民用领域。 展开更多
关键词 超声波马达 压电驱动器 微操纵器 固态驱动器
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基于精确建模的微线段齿轮弯曲强度理论分析 被引量:8
18
作者 赵韩 陈奇 黄康 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2010年第7期62-64,共3页
提出了一种微线段齿轮精确建模方法。该方法通过建立齿轮轮廓方程和齿根过渡曲线方程,编程求出微线段全齿廓的坐标点,并利用PRO/E建立微线段齿轮的齿形模型,最后导入到Ansys中进行齿根弯曲强度分析。结果表明,齿根过渡曲线对齿轮齿根的... 提出了一种微线段齿轮精确建模方法。该方法通过建立齿轮轮廓方程和齿根过渡曲线方程,编程求出微线段全齿廓的坐标点,并利用PRO/E建立微线段齿轮的齿形模型,最后导入到Ansys中进行齿根弯曲强度分析。结果表明,齿根过渡曲线对齿轮齿根的弯曲强度大小有直接影响。该文所述方法提高了微线段齿轮齿根弯曲强度计算的准确性。 展开更多
关键词 弯曲强度分析 精确建模 微线段齿轮 齿根过渡曲线 PRO/E 有限元
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压电驱动微位移放大机构的分析与实验 被引量:14
19
作者 万德安 刘春节 汲长志 《机床与液压》 北大核心 2005年第2期12-13,4,共3页
针对航天微型扭杆性能测试装置用到的微小扭矩加载系统中的压电驱动微位移放大机构, 建立了精确的有限元模型, 对微位移放大机构在不同驱动力下的位移输出, 利用有限元分析软件Nastran2001进行了仿真分析, 实验结果验证了仿真分析的准... 针对航天微型扭杆性能测试装置用到的微小扭矩加载系统中的压电驱动微位移放大机构, 建立了精确的有限元模型, 对微位移放大机构在不同驱动力下的位移输出, 利用有限元分析软件Nastran2001进行了仿真分析, 实验结果验证了仿真分析的准确性。结果表明: 利用杠杆原理计算微位移放大机构的放大比会带来较大的误差, 本机构中达到了50 6%, 而有限元分析是行之有效的方法。 展开更多
关键词 压电元件 柔性铰链 微位移放大机构 有限元仿真 实验
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高速微型永磁电机转子护套过盈配合的计算与分析 被引量:2
20
作者 史忠震 张卫 +2 位作者 陈强 杨立 李青青 《微特电机》 北大核心 2014年第4期35-37,40,共4页
通过理论计算出高速微型永磁电动机转子护套与永磁体间过盈量,确定了它们之间的配合公差,并根据计算得到的过盈量,运用ANSYS有限元分析软件对该电动机转子护套过盈进行分析研究,得到了转子护套和永磁体的应力分布云图,等效应力均小于材... 通过理论计算出高速微型永磁电动机转子护套与永磁体间过盈量,确定了它们之间的配合公差,并根据计算得到的过盈量,运用ANSYS有限元分析软件对该电动机转子护套过盈进行分析研究,得到了转子护套和永磁体的应力分布云图,等效应力均小于材料的许用应力,说明该电机转子护套在高转速下能够很好地保护永磁体,同时针对不同过盈量对电动机转子护套和永磁体应力影响进行了分析,提出了过盈量最佳选取范围,为高速微型永磁电动机转子结构设计及护套与永磁体间过盈量的选取提供依据,并对同类电机转子的设计和优化有一定的参考意义。 展开更多
关键词 微型电机 转子护套 过盈配合 有限元
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