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Detection efficiency characteristics of free-running InGaAs/InP single photon detector using passive quenching active reset IC 被引量:1
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作者 郑福 王超 +1 位作者 孙志斌 翟光杰 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第1期460-464,共5页
InGaAs/InP avalanche photodiodes (APD) are rarely used in a free-running regime for near-infrared single photon detection. In order to overcome the detrimental afterpulsing, we demonstrate a passive quenching active... InGaAs/InP avalanche photodiodes (APD) are rarely used in a free-running regime for near-infrared single photon detection. In order to overcome the detrimental afterpulsing, we demonstrate a passive quenching active reset integrated circuit. Taking advantage of the inherent fast passive quenching process and active reset to reduce reset time, the integrated circuit is useful for reducing afterpulses and is also area-efficient. We investigate the free-running single photon detector's afterpulsing effect, de-trapping time, dark count rate, and photon detection efficiency, and also compare with gated regime operation. After correction for deadtime and afterpulse, we find that the passive quenching active reset free-running single photon detector's performance is consistent with gated operation. 展开更多
关键词 single photon detector free-running passive quenching active reset
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Surface passivation in n-type silicon and its application in silicon drift detector
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作者 吴怡清 陶科 +2 位作者 姜帅 贾锐 黄也 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2020年第3期406-411,共6页
Based on the surface passivation of n-type silicon in a silicon drift detector(SDD), we propose a new passivation structure of SiO2/Al2O3/SiO2 passivation stacks. Since the SiO2 formed by the nitric-acid-oxidation-of-... Based on the surface passivation of n-type silicon in a silicon drift detector(SDD), we propose a new passivation structure of SiO2/Al2O3/SiO2 passivation stacks. Since the SiO2 formed by the nitric-acid-oxidation-of-silicon(NAOS)method has good compactness and simple process, the first layer film is formed by the NAOS method. The Al2O3 film is also introduced into the passivation stacks owing to exceptional advantages such as good interface characteristic and simple process. In addition, for requirements of thickness and deposition temperature, the third layer of the SiO2 film is deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition(PECVD). The deposition of the SiO2 film by PECVD is a low-temperature process and has a high deposition rate, which causes little damage to the device and makes the SiO2 film very suitable for serving as the third passivation layer. The passivation approach of stacks can saturate dangling bonds at the interface between stacks and the silicon substrate, and provide positive charge to optimize the field passivation of the n-type substrate.The passivation method ultimately achieves a good combination of chemical and field passivations. Experimental results show that with the passivation structure of SiO2/Al2O3/SiO2, the final minority carrier lifetime reaches 5223 μs at injection of 5×10^(15) cm^(-3). When it is applied to the passivation of SDD, the leakage current is reduced to the order of nA. 展开更多
关键词 SiO2/Al2O3/SiO2 STACKS CHEMICAL passivATION field passivATION silicon DRIFT detector
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Evaluation of the passivation effect and the first-principles calculation on surface termination of germanium detector
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作者 Sha-Sha Lv Yuan-Yuan Liu +3 位作者 Wei-You Tang Li He Xiu-Xia Li Jian-Ping Cheng 《Nuclear Science and Techniques》 SCIE EI CAS CSCD 2021年第9期40-51,共12页
The point-contact high-purity germanium detector(HPGe)has the advantages of low background,low energy threshold,and high energy resolution and can be applied in the detection of rare-event physics.However,the performa... The point-contact high-purity germanium detector(HPGe)has the advantages of low background,low energy threshold,and high energy resolution and can be applied in the detection of rare-event physics.However,the performance of HPGe must be further improved to achieve superior energy resolution,low noise,and long-term reliability.In this study,we combine computational simulations and experimental comparisons to deeply understand the passivation mechanism of Ge.The surface passivation effect is calculated and inferred from the band structure and density of interface states,and further con-firmed by the minority carrier lifetime.The first-principles method based on the density functional theory was adopted to systematically study the lattice structure,band structure,and density of state(DOS)of four different systems:Ge–H,Ge–Ge-NH 2,Ge-OH,and Ge-SiO_(x).The electronic char-acteristics of the Ge(100)unit cell with different passi-vation groups and Si/O atomic ratios were compared.This shows that H,N,and O atoms can effectively reduce the surface DOS of the Ge atoms.The passivation effect of the SiO_(x) group varied with increasing O atoms and Si/O atomic ratios.Experimentally,SiO and SiO_(2) passivation films were fabricated by electron beam evaporation on a Ge substrate,and the valence state of Si and resistivity was measured to characterize the film.The minority carrier lifetime of Ge-SiO_(2) is 21.3 ls,which is approximately quadruple that of Ge-SiO.The passivation effect and mechanism are discussed in terms of hopping conduction and surface defect density.This study builds a relationship between the passivation effect and different termination groups,and provides technical support for the potential passivation layer,which can be applied in Ge detectors with ultralow energy thresholds and especially in HPGe for rare-event physics detection experiments in future. 展开更多
关键词 Germanium detector passivATION Surface termination
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Wet etching and passivation of GaSb-based very long wavelength infrared detectors
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作者 许雪月 蒋俊锴 +10 位作者 陈伟强 崔素宁 周文广 李农 常发冉 王国伟 徐应强 蒋洞微 吴东海 郝宏玥 牛智川 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第6期132-136,共5页
The etching and passivation processes of very long wavelength infrared(VLWIR)detector based on the InAs/GaSb/AlSb type-II superlattice have been studied.By studying the effect of each component in the citric acid solu... The etching and passivation processes of very long wavelength infrared(VLWIR)detector based on the InAs/GaSb/AlSb type-II superlattice have been studied.By studying the effect of each component in the citric acid solution(citric acid,phosphoric acid,hydrogen peroxide,deionized water),the best solution ratio is obtained.After comparing different passivation materials such as sulfide+SiO_(2),Al_(2)O_(3),Si_(3)N_(4) and SU8,it is found that SU8 passivation can reduce the dark current of the device to a greater degree.Combining this wet etching and SU8 passivation,the of VLWIR detector with a mesa diameter of 500μm is about 3.6Ω·cm^(2) at 77 K. 展开更多
关键词 InAs/GaSb/AlSb superlattice very long wavelength infrared(VLWIR)detector wet etching passivATION
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无源射线煤质检测系统的设计及调试
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作者 高楠 《山西化工》 CAS 2024年第4期90-92,共3页
为解决传统灼烧称重法检测煤质灰分周期长、成本高以及结果滞后的问题,在对煤质灰分检测技术进行简单概述的基础上完成了无源射线煤质检测系统的总体结构设计,并对其中关键模块的作用进行分析,重点对光电倍增管、信号处理单元和探测器... 为解决传统灼烧称重法检测煤质灰分周期长、成本高以及结果滞后的问题,在对煤质灰分检测技术进行简单概述的基础上完成了无源射线煤质检测系统的总体结构设计,并对其中关键模块的作用进行分析,重点对光电倍增管、信号处理单元和探测器进行选型设计,并完成了无源射线煤质检测系统的标定和验证。 展开更多
关键词 无源射线煤质检测 灼烧称重法 光电倍增管 探测器 煤质灰分
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Analysis of Te and TeO<sub>2</sub>on CdZnTe Nuclear Detectors Treated with Hydrogen Bromide and Ammonium-Based Solutions
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作者 Mebougna L. Drabo Stephen U. Egarievwe +3 位作者 Ifechukwude O. Okwechime Dominique E. Jones Anwar Hossain Ralph B. James 《Journal of Materials Science and Chemical Engineering》 2017年第4期9-18,共10页
Surface defects caused during cutting and polishing in the fabrication of cadmium zinc telluride (CdZnTe) nuclear detectors limit their spectral performance. Chemical treatments are often used to remove surface damage... Surface defects caused during cutting and polishing in the fabrication of cadmium zinc telluride (CdZnTe) nuclear detectors limit their spectral performance. Chemical treatments are often used to remove surface damages and defects. In this paper, we present the analysis of Te and TeO2 species on the surfaces of CdZnTe nuclear detectors treated with hydrogen bromide and ammonium-based solutions. The CdZnTe wafers were chemo-mechanically polished in a mixture of hydrogen bromide in hydrogen peroxide and ethylene glycol, followed by a chemical passivation in a mixture of ammonium fluoride and hydrogen peroxide solution. X-ray photoelectron spectroscopy showed significant conversion of Te to TeO2, thus producing a more chemically stable surface. The resistivity of the CdZnTe samples is in the order of 1010 ohms-cm. The current for a given applied voltage increased following the passivation and decreased after a 3-hour period. Results from spectral response measurements showed that the 59.5-keV gamma-peak of Am-241 was stable under the same channel for the surface treatment processes. 展开更多
关键词 CDZNTE Chemical Treatment Nuclear detectors Surface passivATION XPS
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一种低检测阈值的高速主被动混合淬火电路设计
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作者 谢海情 陆俊霖 +3 位作者 曹武 陈振华 陈泳全 尹赵欣 《电子设计工程》 2023年第5期89-93,共5页
基于标准CMOS工艺,设计了一种用于单光子探测器的高速、低功耗主被动混合淬火电路。采用电流镜结构,设计一种低阈值快速比较器,将雪崩电流与阈值电流进行比较,以实现雪崩电流检测;比较器输出信号控制雪崩光电二极管的阳极电压,从而实现... 基于标准CMOS工艺,设计了一种用于单光子探测器的高速、低功耗主被动混合淬火电路。采用电流镜结构,设计一种低阈值快速比较器,将雪崩电流与阈值电流进行比较,以实现雪崩电流检测;比较器输出信号控制雪崩光电二极管的阳极电压,从而实现淬灭与恢复。采用Cadence软件,根据SPAD的SPICE模型,完成电路设计与仿真。结果表明,该淬火电路的淬灭时间为0.5 ns,恢复时间为1.34 ns,整体的死区时间为13.4 ns,检测阈值为1.3μA,功耗小于0.046 mW。 展开更多
关键词 淬火电路 单光子探测器 主被动混合 低阈值
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AlAsSb的外延再生长对InAs/GaSb红外探测器暗电流抑制效果研究
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作者 严定钰 沈祥 +3 位作者 王庶民 石张勇 张焱超 张凡 《宁波大学学报(理工版)》 CAS 2023年第3期87-93,共7页
采用分子束外延(MBE)技术外延再生长AlAsSb,对InAs/GaSb Ⅱ类超晶格(T2SLs)长波红外探测器的表面缺陷进行钝化,实现了暗电流的显著降低.首先,研究了湿法腐蚀浅台面的最佳腐蚀液配比,获得了低横向腐蚀、光滑的侧壁以及均匀的腐蚀界面.随... 采用分子束外延(MBE)技术外延再生长AlAsSb,对InAs/GaSb Ⅱ类超晶格(T2SLs)长波红外探测器的表面缺陷进行钝化,实现了暗电流的显著降低.首先,研究了湿法腐蚀浅台面的最佳腐蚀液配比,获得了低横向腐蚀、光滑的侧壁以及均匀的腐蚀界面.随后,使用AlAsSb/AlAs/GaAs、AlAsSb/GaSb两种不同的外延再生长组合和单一的SiO_(2)薄层分别对刻蚀后的台面进行钝化,同时保留一个没有钝化的样品作为对照,最后对4种不同钝化条件下探测器的暗电流特性进行了测量.结果发现,使用AlAsSb/GaSb外延再生长钝化层的器件暗电流得到了进一步降低,使用SiO_(2)钝化层的效果次之,而使用AlAsSb/AlAs/GaAs外延再生长钝化层的性能相对较差.上述结果表明,外延再生长钝化技术是降低长波红外探测器暗电流的一种有效方法. 展开更多
关键词 外延再生长 表面钝化 InAs/GaSbⅡ类超晶格 长波红外探测器 湿法刻蚀
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一种具有高能量分辨率Al_(2)O_(3)钝化结区的PIN探测器
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作者 孙熙晨 林旭梅 《半导体光电》 CAS 北大核心 2023年第6期857-862,共6页
提出了一种Al_(2)O_(3)钝化结区的PIN探测器,与传统PIN探测器不同的是,在器件正面的pn结和背面的高低结处沉积了10 nm厚的Al_(2)O_(3)薄膜。经TCAD仿真结果表明,该探测器具有更低的漏电流和保护环处的电子电流密度,能对高能粒子射线入... 提出了一种Al_(2)O_(3)钝化结区的PIN探测器,与传统PIN探测器不同的是,在器件正面的pn结和背面的高低结处沉积了10 nm厚的Al_(2)O_(3)薄膜。经TCAD仿真结果表明,该探测器具有更低的漏电流和保护环处的电子电流密度,能对高能粒子射线入射产生良好的响应。设计了两种探测器的制备步骤并制备了器件,通过薄膜少子寿命的表征、器件的暗态I-V测试和^(241)Am元素能谱测试对其进行了评估。测试结果表明,与传统的PIN探测器相比,Al_(2)O_(3)钝化结区的PIN探测器的少子寿命提升至1 061μs,漏电流降低至5 nA,能量分辨率提升至521 eV,表现出更好的探测性能。 展开更多
关键词 Al_(2)O_(3)钝化层 PIN探测器 TCAD仿真 暗态漏电流 能量分辨率
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Performance of passive decoy-state quantum key distribution with mismatched local detectors
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作者 喻凯 张春辉 +1 位作者 周星宇 王琴 《Communications in Theoretical Physics》 SCIE CAS CSCD 2022年第1期40-45,共6页
In quantum key distribution(QKD),the passive decoy-state method can simplify the intensity modulation and reduce some of side-channel information leakage and modulation errors.It is usually implemented with a heralded... In quantum key distribution(QKD),the passive decoy-state method can simplify the intensity modulation and reduce some of side-channel information leakage and modulation errors.It is usually implemented with a heralded single-photon source.In Wang et al 2016(Phys.Rev.A 96032312),a novel passive decoy-state method is proposed by Wang et al,which uses two local detectors to generate more detection events for tightly estimating channel parameters.However,in the original scheme,the two local detectors are assumed to be identical,including the same detection efficiency and dark count rate,which is often not satisfied in the realistic experiment.In this paper,we construct a model for this passive decoy-state QKD scheme with two mismatched detectors and explore the effect on QKD performance with certain parameters.We also take the finite-size effect into consideration,showing the performance with statistical fluctuations.The results show that the efficiencies of local detectors affect the key rate more obviously than dark count rates. 展开更多
关键词 quantum key distribution passive decoy state heralded single-photon source detector mismatch
原文传递
128×1线列InGaAs短波红外焦平面的研究 被引量:14
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作者 吕衍秋 徐运华 +6 位作者 韩冰 孔令才 亢勇 庄春泉 吴小利 张永刚 龚海梅 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期333-337,共5页
报道了用分子束外延(MBE)方法生长的掺杂InGaAs吸收层PIN InP/InGaAs/InP双异质结外延材料,通过干法刻蚀和湿法腐蚀相结合制作台面、硫化和聚酰亚胺钝化、电极生长等工艺,制备了128×1台面正照射InGaAs探测器阵列.测试了器件的变温... 报道了用分子束外延(MBE)方法生长的掺杂InGaAs吸收层PIN InP/InGaAs/InP双异质结外延材料,通过干法刻蚀和湿法腐蚀相结合制作台面、硫化和聚酰亚胺钝化、电极生长等工艺,制备了128×1台面正照射InGaAs探测器阵列.测试了器件的变温I-V、响应光谱和探测率,在278K时平均峰值探测率为1.03×1012cmHz1/2W-1.实现了128元InGaAs探测器阵列与CTIA结构L128读出电路相互连,经封装后,在室温(291K)时成功测出128元响应信号.焦平面响应的不均匀性为18.3%,并对不均匀性产生的原因进行了分析. 展开更多
关键词 探测器 焦平面 INGAAS 钝化
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碲镉汞光伏型探测器的氢化处理研究 被引量:5
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作者 乔辉 周文洪 +2 位作者 叶振华 李向阳 龚海梅 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期326-328,共3页
利用氢等离子体方法研究了氢化处理对碲镉汞光伏型红外探测器性能的影响,发现对ZnS介质层钝化的器件进行氢化处理后,器件的信噪比和零偏电阻有显著的改善.通过采取在氢化过程中进行光刻胶保护的方法,发现氢化作用主要发生在注入区域之外... 利用氢等离子体方法研究了氢化处理对碲镉汞光伏型红外探测器性能的影响,发现对ZnS介质层钝化的器件进行氢化处理后,器件的信噪比和零偏电阻有显著的改善.通过采取在氢化过程中进行光刻胶保护的方法,发现氢化作用主要发生在注入区域之外的P区一侧;通过SIMS测试分析发现氢化过程中H离子可以穿过ZnS层到达ZnS与碲镉汞的界面处.分析认为氢离子对ZnS和碲镉汞的界面产生钝化,降低了界面态密度,减弱了P型区的表面漏电,提高了PN结的击穿电压和结电阻,从而改善了器件的性能. 展开更多
关键词 氢化 钝化 光伏探测器 碲镉汞
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不同钝化结构的HgCdTe光伏探测器暗电流机制 被引量:8
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作者 孙涛 陈文桥 +3 位作者 梁晋穗 陈兴国 胡晓宁 李言谨 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期143-147,共5页
在同一HgCdTe晶片上制备了单层ZnS钝化和双层 (CdTe +ZnS)钝化的两种光伏探测器 ,对器件的性能进行了测试 ,发现双层钝化的器件具有较好的性能 .通过理论计算 ,分析了器件的暗电流机制 ,发现单层钝化具有较高的表面隧道电流 .通过高分辨... 在同一HgCdTe晶片上制备了单层ZnS钝化和双层 (CdTe +ZnS)钝化的两种光伏探测器 ,对器件的性能进行了测试 ,发现双层钝化的器件具有较好的性能 .通过理论计算 ,分析了器件的暗电流机制 ,发现单层钝化具有较高的表面隧道电流 .通过高分辨X射线衍射中的倒易点阵技术研究了单双层钝化对HgCdTe外延层晶格完整性的影响 ,发现单层ZnS钝化的HgCdTe外延层产生了大量缺陷 。 展开更多
关键词 HGCDTE 光伏探测器 钝化 倒易点阵 暗电流
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256元InGaAs线列红外焦平面及扫描成像 被引量:5
14
作者 吕衍秋 韩冰 +6 位作者 白云 徐萌 唐恒敬 孔令才 李雪 张永刚 龚海梅 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期7-11,共5页
报道了用分子束外延(MBE)方法生长掺杂InGaAs的PIN InP/InGaAs/InP外延材料,通过台面制作、硫化处理、ZnS/聚酰亚胺双层钝化、电极生长等工艺,制备了256元正照射台面InGaAs线列探测器,278K时平均峰值探测率为1.33×1012cmHz1/2W-1.... 报道了用分子束外延(MBE)方法生长掺杂InGaAs的PIN InP/InGaAs/InP外延材料,通过台面制作、硫化处理、ZnS/聚酰亚胺双层钝化、电极生长等工艺,制备了256元正照射台面InGaAs线列探测器,278K时平均峰值探测率为1.33×1012cmHz1/2W-1.测试了不同钝化方式探测器典型I-V曲线和探测率,硫化可以减小探测器暗电流,ZnS/聚酰亚胺双层钝化效果最好.并对ZnS/聚酰亚胺双层钝化InGaAs探测器进行了电子辐照研究.256元InGaAs探测器阵列与两个CTIA结构128读出电路互连并封装,在室温时,焦平面响应率不均匀性为19.3%.成功实现了室温扫描成像,图像比较清晰. 展开更多
关键词 探测器 焦平面 INGAAS 钝化 扫描成像
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碲镉汞光伏型探测器的变面积氢化研究 被引量:4
15
作者 乔辉 周文洪 +2 位作者 叶振华 李向阳 龚海梅 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期425-428,共4页
利用氢等离子体对碲镉汞光伏型探测器进行了变面积氢化处理研究,发现随着氢化面积的变大,器件的电流-电压(I-V)特性得到明显改善,表现在器件的暗电流变小,零偏电阻R0变大,同时器件的电流噪声也随着氢化面积的扩大而逐渐降低.通过对比实... 利用氢等离子体对碲镉汞光伏型探测器进行了变面积氢化处理研究,发现随着氢化面积的变大,器件的电流-电压(I-V)特性得到明显改善,表现在器件的暗电流变小,零偏电阻R0变大,同时器件的电流噪声也随着氢化面积的扩大而逐渐降低.通过对比实验结果和数值拟合结果,认为氢化工艺对器件性能的改善机制与氢化区域有关,当氢化区域限于N型区时,氢化的效果主要表现在降低注入损伤导致的少子复合中心从而提高少子寿命;当氢化区域扩大到P型区时,氢化的效果主要表现在使表面耗尽区中的陷阱中心减少,主要通过降低间接隧道电流来改善器件性能,这说明了实验中注入成结的光伏器件为N+P结. 展开更多
关键词 氢化 变面积 钝化 光伏探测器 碲镉汞
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Hg_(1-x)Cd_xTe长波光伏探测器的低频噪声研究 被引量:5
16
作者 孙涛 梁晋穗 +2 位作者 陈兴国 胡晓宁 李言谨 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期273-276,共4页
在同一Hg1-xCdxTe晶片上(x=0.217)制备了单层ZnS钝化和双层(CdTe+ZnS)钝化的两种器件,对器件的低频噪声和暗电流进行了测试.发现单层钝化的器件在反偏较高时具有较高的低频噪声,在对器件的暗电流拟合计算中发现,单层钝化的器件具有较大... 在同一Hg1-xCdxTe晶片上(x=0.217)制备了单层ZnS钝化和双层(CdTe+ZnS)钝化的两种器件,对器件的低频噪声和暗电流进行了测试.发现单层钝化的器件在反偏较高时具有较高的低频噪声,在对器件的暗电流拟合计算中发现,单层钝化的器件具有较大的表面隧道电流,而这正是单层钝化器件具有较高低频噪声的原因.并通过高分辨X射线衍射中的倒易点阵技术RSM(reciprocalspacemapping)研究了两种钝化对HgCdTe外延层晶格完整性的影响,发现单层ZnS钝化的HgCdTe外延层产生了大量缺陷,而这些缺陷正是单层钝化器件具有较高的低频噪声和表面隧道电流的原因. 展开更多
关键词 HGCDTE 光伏探测器 钝化 倒易点阵 暗电流
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谐振型SAW无线无源传感器的测试系统研究 被引量:7
17
作者 王睿 张万里 +3 位作者 彭斌 邓森洋 邓言文 姜建英 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2016年第4期566-569,共4页
采用一种低成本、高效率的电路系统实现对谐振型无线无源声表面波(SAW)传感器的测试。该电路利用直接数字频率合成(DDS)技术产生不同频率的射频信号用以激励SAW传感器。在接收端采用功率探测器检测回波信号的包络,通过包络的变化得到待... 采用一种低成本、高效率的电路系统实现对谐振型无线无源声表面波(SAW)传感器的测试。该电路利用直接数字频率合成(DDS)技术产生不同频率的射频信号用以激励SAW传感器。在接收端采用功率探测器检测回波信号的包络,通过包络的变化得到待测物理化学参量的变化。该测试系统产生的激励信号功率最高可达10dBm,测试时间约为0.5s,与矢网测试结果相比,其测试相对误差仅为0.002 4%。实验结果表明,该系统能够稳定、可靠地实现谐振型SAW传感器的快速检测。 展开更多
关键词 谐振型声表面波(SAW)传感器 无线无源 直接数字频率合成 功率探测器
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碲镉汞红外焦平面器件表面复合膜层钝化技术 被引量:5
18
作者 韩福忠 耿松 +4 位作者 史琪 袁授章 杨伟声 蒋俊 汤金春 《红外技术》 CSCD 北大核心 2015年第10期864-867,共4页
碲镉汞(Hg1-xCdxTe)红外器件的制备过程中,表面钝化工艺对于器件性能具有很大影响。通过实验,研究了溅射功率、靶基距、基片摆动角度等工艺参数对碲镉汞衬底上制备的CdTe/ZnS复合钝化膜层质量的影响。实验结果表明,当CdTe与ZnS溅射靶功... 碲镉汞(Hg1-xCdxTe)红外器件的制备过程中,表面钝化工艺对于器件性能具有很大影响。通过实验,研究了溅射功率、靶基距、基片摆动角度等工艺参数对碲镉汞衬底上制备的CdTe/ZnS复合钝化膜层质量的影响。实验结果表明,当CdTe与ZnS溅射靶功率分布为140 W与350 W,靶基距为40cm,基片摆动角度为±30°时,中心2英寸区域膜层非均匀性达到±3%以内,同时钝化膜层表面粗糙度与附着能力获得了较大改善。 展开更多
关键词 碲镉汞 红外探测器 表面钝化 膜层非均匀性
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正照射与背照射InGaAs探测器的性能对比研究 被引量:2
19
作者 唐恒敬 吕衍秋 +3 位作者 吴小利 张可锋 李雪 龚海梅 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2007年第B09期938-940,共3页
首先介绍了InGaAs台面探测器的研究进展,然后为了验证利用台面结制作背照射器件的可行性,利用分子束外延(MBE)方法生长的掺杂InGaAs吸收层PIN InP/InGaAs/InP双异质结外延材料,通过台面制作、钝化、电极生长、背面抛光等工艺,制备了8元... 首先介绍了InGaAs台面探测器的研究进展,然后为了验证利用台面结制作背照射器件的可行性,利用分子束外延(MBE)方法生长的掺杂InGaAs吸收层PIN InP/InGaAs/InP双异质结外延材料,通过台面制作、钝化、电极生长、背面抛光等工艺,制备了8元台面InGaAs探测器,并测试了正照射和背照射时,器件的I-V、信号和响应光谱。测试结果表明,正照射和背照射情况下,器件的响应信号差别不大,正照射下器件的平均峰值探测率为4.1×1011cm.Hz1/2.W-1,背照射下器件的平均峰值探测率为4.0×1011cm.Hz1/2.W-1,但背照射情况下器件的响应光谱在短波方向有更好的截止。 展开更多
关键词 探测器 INGAAS 探测率 钝化
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光导型碲镉汞探测器的氢化研究 被引量:2
20
作者 乔辉 周文洪 +2 位作者 叶振华 李向阳 龚海梅 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2008年第2期261-264,共4页
为了提高碲镉汞红外探测器的性能,对ZnS钝化的碲镉汞光导型探测器进行了氢化处理研究,发现处理效果与氢等离子体密度和ZnS钝化层的厚度密切相关。对于ZnS层厚度固定的器件,通过改变氢等离子体密度发现低等离子体密度条件氢化处理更有利... 为了提高碲镉汞红外探测器的性能,对ZnS钝化的碲镉汞光导型探测器进行了氢化处理研究,发现处理效果与氢等离子体密度和ZnS钝化层的厚度密切相关。对于ZnS层厚度固定的器件,通过改变氢等离子体密度发现低等离子体密度条件氢化处理更有利于提高器件的性能,表现在处理后器件响应信号提高且噪声下降,从光谱响应上表现为器件短波方向的响应抬高;对于同样的氢化处理条件,通过改变ZnS钝化层的厚度,发现具有较大厚度ZnS层的器件的氢化效果更好。SIMS测试发现氢化过程中氢离子可以穿过ZnS层到达ZnS与碲镉汞的界面处,分析认为氢离子对界面态起到了钝化作用,降低了界面态密度,提高了器件的性能。 展开更多
关键词 氢化 钝化 碲镉汞 光导探测器
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