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题名8nm基区宽度负阻双异质结晶体管的设计与研制
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作者
郭维廉
张世林
王伊钿
毛陆虹
谢生
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机构
天津大学电子信息工程学院
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出处
《纳米技术与精密工程》
CAS
CSCD
2014年第1期32-36,共5页
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基金
国家自然科学基金资助项目(50935001
51275559)
工信部科技重大专项资助项目(2011ZX04014-071)
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文摘
本文利用分子束外延(MBE)技术能精确控制外延层厚度的特点,与选择性腐蚀技术相结合,实现了纳米级超薄基区宽度.利用集电极电压VCE调制中性基区宽度可以改变基极电阻,从而产生微分负电阻(NDR),根据这一物理机制,设计并研制成功性能优良的8 nm基区n-InGaP/P+-GaAs/n-InGaP负阻双异质结晶体管(NDRDHBT).该器件显示出基极电压VBE调制的"∧"型负阻集电极电流IC-集电极电压VCE特性,电流峰谷比(PVCR)趋于无穷大;表征基极电压调制电流能力的峰值电流跨导ΔIP/ΔVBE高达11.2 ms;击穿电压达到12 V,可用于高频振荡调制和高速数字电路.
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关键词
双异质结晶体管
微分负电阻
INGAP
分子束外延
纳米级器件
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Keywords
double heterojunction bipolar transistor
differential negative resistance effect
InGaP
mo-lecular beam epitaxy
nanometer scale device
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分类号
TN322.8
[电子电信—物理电子学]
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题名非掺杂区对GaAs隧道结的优化
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作者
张曦
韩颖
杨建业
师巨亮
夏英杰
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机构
中国电子科技集团公司第十三研究所
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出处
《微纳电子技术》
北大核心
2016年第6期369-373,共5页
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文摘
有效提高隧道结的峰值隧道电流密度(J_p)是提高多结太阳电池(MJSC)聚光倍数和光电转换效率的关键。根据有限表面源扩散原理求解Fick扩散方程得到了隧道结界面处杂质扩散浓度分布,发现隧道结界面处的杂质扩散会增加空间电荷区宽度,导致隧道结的J_p降低。通过在隧道结中间加入非掺杂区(Ⅰ区)的方法对隧道结结构进行优化,分析得出厚度合适的Ⅰ区可以减小界面处杂质扩散带来的不利影响。基于该分析设计了一系列GaAs隧道结结构,采用分子束外延(MBE)技术获得了外延样品,结果表明在生长温度和掺杂浓度不变的情况下,隧道结中加入合适厚度的Ⅰ区可以提高J_p。
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关键词
隧道结
峰值隧道电流密度
非掺杂区
杂质扩散
分子束外延(mbe)
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Keywords
tunnel junction
peak tunneling current density
undoped region
impurity diffusion
mo lecular beam epitaxy(mbe)
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分类号
TN304.054
[电子电信—物理电子学]
TN304.23
[电子电信—物理电子学]
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