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不同靶材制备TaN单层薄膜的晶体结构与力学性能
被引量:
3
1
作者
张学华
曹猛
+2 位作者
杨瑾
刘桐
李德军
《天津师范大学学报(自然科学版)》
CAS
2007年第1期10-12,共3页
以钽氮化物为个体层材料,利用FJL560CI2型超高真空射频磁控与离子束联合溅射系统,制备以TaN和金属Ta为靶材的两种TaN单层薄膜.通过XRD和纳米力学测试系统分析它们的晶体结构和TaN靶材对薄膜机械性能的影响.结果表明,TaN靶材制备的TaN单...
以钽氮化物为个体层材料,利用FJL560CI2型超高真空射频磁控与离子束联合溅射系统,制备以TaN和金属Ta为靶材的两种TaN单层薄膜.通过XRD和纳米力学测试系统分析它们的晶体结构和TaN靶材对薄膜机械性能的影响.结果表明,TaN靶材制备的TaN单层膜的纳米硬度值普遍高于Ta靶材的;当工作气压为0.4 Pa时,TaN单层膜的硬度最大,即35.4 GPa,其结晶出现多元化,使单层膜的硬度、弹性模量以及膜基结合性能均达到最佳.
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关键词
射频磁控溅射
TaN单层膜
TaN靶材
Ta靶材
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职称材料
整体式隧道衬砌的非线性优化设计方法
被引量:
6
2
作者
黄小华
彭立敏
施成华
《现代隧道技术》
EI
2001年第4期48-51,共4页
文章把隧道整体式衬砌的优化设计归结为非线性规划问题,建立了目标函数,采用罚函数法(SUMT)进行求解,并运用该方法对某工程实例进行了分析。
关键词
整体式隧道衬砌
优化设计
目标函数
约束条件
非线性规划
罚函数法
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职称材料
应用蒙特卡罗方法对比研究ADS颗粒靶和块状靶(英文)
被引量:
1
3
作者
陈建琪
张雅玲
+3 位作者
张勋超
闫雪松
李建洋
杨磊
《原子核物理评论》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第3期330-335,共6页
应用蒙特卡罗软件FLUKA对比研究了颗粒靶和块状实体靶在中子、质子泄露,中子、质子流强,能量沉积,残余核活度及Gamma射线剂量率的差异。最终结果显示在靶的轴对称方向,相较块状靶,颗粒靶中的中子流强和能量沉积更加均匀,且侧壁泄露中子...
应用蒙特卡罗软件FLUKA对比研究了颗粒靶和块状实体靶在中子、质子泄露,中子、质子流强,能量沉积,残余核活度及Gamma射线剂量率的差异。最终结果显示在靶的轴对称方向,相较块状靶,颗粒靶中的中子流强和能量沉积更加均匀,且侧壁泄露中子更多而反冲中子较少。除此之外,在散裂产物放射性方面,尽管有部分核素两种靶具有相似的活度,但是颗粒靶总的放射性活度要比块状靶低。因此以上特性使得颗粒靶相较块状实体靶更适合用于ADS的靶。
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关键词
ADS
散裂靶
颗粒靶
块状靶
活度
粒子输运模拟
残余Gamma剂量率
原文传递
题名
不同靶材制备TaN单层薄膜的晶体结构与力学性能
被引量:
3
1
作者
张学华
曹猛
杨瑾
刘桐
李德军
机构
天津师范大学物理与电子信息学院
出处
《天津师范大学学报(自然科学版)》
CAS
2007年第1期10-12,共3页
基金
国家自然科学基金(50472026)
天津市应用基础研究重点项目(043801011)
文摘
以钽氮化物为个体层材料,利用FJL560CI2型超高真空射频磁控与离子束联合溅射系统,制备以TaN和金属Ta为靶材的两种TaN单层薄膜.通过XRD和纳米力学测试系统分析它们的晶体结构和TaN靶材对薄膜机械性能的影响.结果表明,TaN靶材制备的TaN单层膜的纳米硬度值普遍高于Ta靶材的;当工作气压为0.4 Pa时,TaN单层膜的硬度最大,即35.4 GPa,其结晶出现多元化,使单层膜的硬度、弹性模量以及膜基结合性能均达到最佳.
关键词
射频磁控溅射
TaN单层膜
TaN靶材
Ta靶材
Keywords
RF magnetron sputtering
TaN
monolith
ic coating
TaN
target
Ta
target
分类号
TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
整体式隧道衬砌的非线性优化设计方法
被引量:
6
2
作者
黄小华
彭立敏
施成华
机构
长沙铁道学院土木工程系
出处
《现代隧道技术》
EI
2001年第4期48-51,共4页
文摘
文章把隧道整体式衬砌的优化设计归结为非线性规划问题,建立了目标函数,采用罚函数法(SUMT)进行求解,并运用该方法对某工程实例进行了分析。
关键词
整体式隧道衬砌
优化设计
目标函数
约束条件
非线性规划
罚函数法
Keywords
monolith
ic lining
Optimum design
target
function
Constrain condition
分类号
U455.91 [建筑科学—桥梁与隧道工程]
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职称材料
题名
应用蒙特卡罗方法对比研究ADS颗粒靶和块状靶(英文)
被引量:
1
3
作者
陈建琪
张雅玲
张勋超
闫雪松
李建洋
杨磊
机构
中国科学院近代物理研究所
中国科学院大学
出处
《原子核物理评论》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第3期330-335,共6页
基金
Strategic Priority Research Program of Chinese Academy of Sciences(XDA03030100)
National Natural Science Foundation of China(91026005)~~
文摘
应用蒙特卡罗软件FLUKA对比研究了颗粒靶和块状实体靶在中子、质子泄露,中子、质子流强,能量沉积,残余核活度及Gamma射线剂量率的差异。最终结果显示在靶的轴对称方向,相较块状靶,颗粒靶中的中子流强和能量沉积更加均匀,且侧壁泄露中子更多而反冲中子较少。除此之外,在散裂产物放射性方面,尽管有部分核素两种靶具有相似的活度,但是颗粒靶总的放射性活度要比块状靶低。因此以上特性使得颗粒靶相较块状实体靶更适合用于ADS的靶。
关键词
ADS
散裂靶
颗粒靶
块状靶
活度
粒子输运模拟
残余Gamma剂量率
Keywords
ADS
spallation
target
granular
target
monolith target
activity
particle transport simulation
residual gamma dose rate
分类号
O532.33 [理学—等离子体物理]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
不同靶材制备TaN单层薄膜的晶体结构与力学性能
张学华
曹猛
杨瑾
刘桐
李德军
《天津师范大学学报(自然科学版)》
CAS
2007
3
下载PDF
职称材料
2
整体式隧道衬砌的非线性优化设计方法
黄小华
彭立敏
施成华
《现代隧道技术》
EI
2001
6
下载PDF
职称材料
3
应用蒙特卡罗方法对比研究ADS颗粒靶和块状靶(英文)
陈建琪
张雅玲
张勋超
闫雪松
李建洋
杨磊
《原子核物理评论》
CAS
CSCD
北大核心
2016
1
原文传递
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