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不同靶材制备TaN单层薄膜的晶体结构与力学性能 被引量:3
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作者 张学华 曹猛 +2 位作者 杨瑾 刘桐 李德军 《天津师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2007年第1期10-12,共3页
以钽氮化物为个体层材料,利用FJL560CI2型超高真空射频磁控与离子束联合溅射系统,制备以TaN和金属Ta为靶材的两种TaN单层薄膜.通过XRD和纳米力学测试系统分析它们的晶体结构和TaN靶材对薄膜机械性能的影响.结果表明,TaN靶材制备的TaN单... 以钽氮化物为个体层材料,利用FJL560CI2型超高真空射频磁控与离子束联合溅射系统,制备以TaN和金属Ta为靶材的两种TaN单层薄膜.通过XRD和纳米力学测试系统分析它们的晶体结构和TaN靶材对薄膜机械性能的影响.结果表明,TaN靶材制备的TaN单层膜的纳米硬度值普遍高于Ta靶材的;当工作气压为0.4 Pa时,TaN单层膜的硬度最大,即35.4 GPa,其结晶出现多元化,使单层膜的硬度、弹性模量以及膜基结合性能均达到最佳. 展开更多
关键词 射频磁控溅射 TaN单层膜 TaN靶材 Ta靶材
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整体式隧道衬砌的非线性优化设计方法 被引量:6
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作者 黄小华 彭立敏 施成华 《现代隧道技术》 EI 2001年第4期48-51,共4页
文章把隧道整体式衬砌的优化设计归结为非线性规划问题,建立了目标函数,采用罚函数法(SUMT)进行求解,并运用该方法对某工程实例进行了分析。
关键词 整体式隧道衬砌 优化设计 目标函数 约束条件 非线性规划 罚函数法
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应用蒙特卡罗方法对比研究ADS颗粒靶和块状靶(英文) 被引量:1
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作者 陈建琪 张雅玲 +3 位作者 张勋超 闫雪松 李建洋 杨磊 《原子核物理评论》 CAS CSCD 北大核心 2016年第3期330-335,共6页
应用蒙特卡罗软件FLUKA对比研究了颗粒靶和块状实体靶在中子、质子泄露,中子、质子流强,能量沉积,残余核活度及Gamma射线剂量率的差异。最终结果显示在靶的轴对称方向,相较块状靶,颗粒靶中的中子流强和能量沉积更加均匀,且侧壁泄露中子... 应用蒙特卡罗软件FLUKA对比研究了颗粒靶和块状实体靶在中子、质子泄露,中子、质子流强,能量沉积,残余核活度及Gamma射线剂量率的差异。最终结果显示在靶的轴对称方向,相较块状靶,颗粒靶中的中子流强和能量沉积更加均匀,且侧壁泄露中子更多而反冲中子较少。除此之外,在散裂产物放射性方面,尽管有部分核素两种靶具有相似的活度,但是颗粒靶总的放射性活度要比块状靶低。因此以上特性使得颗粒靶相较块状实体靶更适合用于ADS的靶。 展开更多
关键词 ADS 散裂靶 颗粒靶 块状靶 活度 粒子输运模拟 残余Gamma剂量率
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