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背面Ar^+轰击对n-MOSFET低频噪声的影响 被引量:1
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作者 黄美浅 李观启 +1 位作者 李斌 曾绍鸿 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期307-311,共5页
研究了低能量背面Ar+轰击对n沟MOSFET低频噪声的影响 .用低能量 ( 5 5 0eV)的氩离子束轰击n沟MOSFET芯片的背面 ,能改善其饱和区和线性区的低频噪声频谱密度 .饱和区低频噪声的减小可用载流子迁移率模型解释 ,而线性区低频噪声的减小可... 研究了低能量背面Ar+轰击对n沟MOSFET低频噪声的影响 .用低能量 ( 5 5 0eV)的氩离子束轰击n沟MOSFET芯片的背面 ,能改善其饱和区和线性区的低频噪声频谱密度 .饱和区低频噪声的减小可用载流子迁移率模型解释 ,而线性区低频噪声的减小可用载流子数模型解释 ;其变化的原因可能与氩离子束背面轰击后反型层电子的有效迁移率、二氧化硅中的固定电荷密度以及硅 二氧化硅界面的界面态密度的变化有关 . 展开更多
关键词 n-mosfet 背面Ar^+轰击 低频噪声 迁移率 界面态
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超薄栅n-MOSFETs热载流子寿命预测模型
2
作者 穆甫臣 许铭真 +1 位作者 谭长华 段小蓉 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第10期1306-1309,共4页
对氧化层厚度为 4和 5 nm的 n- MOSFETs进行了沟道热载流子应力加速寿命实验 ,研究了饱和漏电流在热载流子应力下的退化 .在饱和漏电流退化特性的基础上提出了电子流量模型 ,此模型适用于氧化层厚度为 4— 5
关键词 热载流子效应 n-mosfet 寿命预测 场效应晶体管
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1/f~γ Noise Characteristics of an n-MOSFET Under DC Hot Carrier Stress
3
作者 刘宇安 余晓光 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第7期1263-1267,共5页
The 1/fγ noise characteristic parameter Sfγ model in an n-MOSFET under DC hot carrier stress is studied. A method characterizing the MOSFET abilities of an anti-hot carrier with noise parameter Sfγ is presented. Th... The 1/fγ noise characteristic parameter Sfγ model in an n-MOSFET under DC hot carrier stress is studied. A method characterizing the MOSFET abilities of an anti-hot carrier with noise parameter Sfγ is presented. The hot carrier degradation effect of n-MOSFET in high-,mid-,and low gate stresses and its 1/fγ noise feature are studied. Experimental results agree well with the developed model. 展开更多
关键词 n-mosfet hot carrier 1/fγ noise
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热载流子应力感应n-MOSFETsGIDL特性退化的机理
4
作者 徐静平 黎沛涛 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第12期1087-1092,共6页
对不同栅氧化物n-MOSFETs 的GIDL(Gate-Induced Drain Leakage)特性在不同热载流子应力下的退化行为进行了研究.发现GIDL的漂移对栅电压十分敏感,在VG= 0.5VD 的应力条件下呈现... 对不同栅氧化物n-MOSFETs 的GIDL(Gate-Induced Drain Leakage)特性在不同热载流子应力下的退化行为进行了研究.发现GIDL的漂移对栅电压十分敏感,在VG= 0.5VD 的应力条件下呈现最大.通过对漏极附近二维电场及载流子分布的模拟,引入“亚界面陷阱”概念,对所涉及的机理提出了新见解,认为:在应力期间,亚界面和体氧化物空穴陷阱的解陷分别相应于VG= 0.5VD 和VG= VD 两种典型应力下GIDL的漂移.实验还观察到N2O氮化,特别是N2O 退火NH3 氮化的n-MOSFETs比常规热氧化n-MOSFETs 有小得多的GIDL漂移,表明这种氮化氧化物能大大抑制亚界面和体空穴陷阱. 展开更多
关键词 n-mosfetS GIDL 热载流子应力 退化
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SiO_2/SiC界面对4H-SiC n-MOSFET反型沟道电子迁移率的影响 被引量:4
5
作者 徐静平 吴海平 +1 位作者 黎沛涛 韩弼 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期200-205,共6页
提出了一种基于器件物理的 4 H- Si C n- MOSFET反型沟道电子迁移率模型 .该模型包括了界面态、晶格、杂质以及表面粗糙等散射机制的影响 ,其中界面态散射机制考虑了载流子的屏蔽效应 .利用此模型 ,研究了界面态、表面粗糙度等因素对迁... 提出了一种基于器件物理的 4 H- Si C n- MOSFET反型沟道电子迁移率模型 .该模型包括了界面态、晶格、杂质以及表面粗糙等散射机制的影响 ,其中界面态散射机制考虑了载流子的屏蔽效应 .利用此模型 ,研究了界面态、表面粗糙度等因素对迁移率的影响 ,模拟结果表明界面态和表面粗糙度是影响沟道电子迁移率的主要因素 .其中 ,界面态密度决定了沟道电子迁移率的最大值 ,而表面粗糙散射则制约着高场下的电子迁移率 .该模型能较好地应用于器件模拟 . 展开更多
关键词 SIC n—M0sFET SiO2/SiC界面 迁移率
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氮化感应致n-MOSFETsSi/SiO_2界面应力的研究 被引量:1
6
作者 徐静平 黎沛涛 李斌 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第2期49-51,共3页
本文借助氩离子 (Ar+)背表面轰击技术研究不同氮化处理所导致的n MOSFETsSi/SiO2 界面附近剩余机械应力 .结果表明 :NH3氮化及N2 O生长的氧化物 硅界面附近均存在较大的剩余应力 ,前者来自过多的界面氮结合 ,后者来自因为初始加速生长阶... 本文借助氩离子 (Ar+)背表面轰击技术研究不同氮化处理所导致的n MOSFETsSi/SiO2 界面附近剩余机械应力 .结果表明 :NH3氮化及N2 O生长的氧化物 硅界面附近均存在较大的剩余应力 ,前者来自过多的界面氮结合 ,后者来自因为初始加速生长阶段 .N2 O氮化的氧化物表现出小得多的剩余应力 。 展开更多
关键词 MOSFET 氮化 界面 应力
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Utilizing a shallow trench isolation parasitic transistor to characterize the total ionizing dose effect of partially-depleted silicon-on-insulator input/output n-MOSFETs 被引量:1
7
作者 彭超 胡志远 +5 位作者 宁冰旭 黄辉祥 樊双 张正选 毕大炜 恩云飞 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第9期154-160,共7页
we investigate the effects of 60^Co γ-ray irradiation on the 130 nm partially-depleted silicon-on-isolator (PDSOI) input/output (I/O) n-MOSFETs. A shallow trench isolation (STI) parasitic transistor is responsi... we investigate the effects of 60^Co γ-ray irradiation on the 130 nm partially-depleted silicon-on-isolator (PDSOI) input/output (I/O) n-MOSFETs. A shallow trench isolation (STI) parasitic transistor is responsible for the observed hump in the back-gate transfer characteristic curve. The STI parasitic transistor, in which the trench oxide acts as the gate oxide, is sensitive to the radiation, and it introduces a new way to characterize the total ionizing dose (TID) responses in the STI oxide. A radiation enhanced drain induced barrier lower (DIBL) effect is observed in the STI parasitic transistor. It is manifested as the drain bias dependence of the radiation-induced off-state leakage and the increase of the DIBL parameter in the STI parasitic transistor after irradiation. Increasing the doping concentration in the whole body region or just near the STI sidewall can increase the threshold voltage of the STI parasitic transistor, and further reduce the radiation-induced off-state leakage. Moreover, we find that the radiation-induced trapped charge in the buried oxide leads to an obvious front-gate threshold voltage shift through the coupling effect. The high doping concentration in the body can effectively suppress the radiation-induced coupling effect. 展开更多
关键词 partially depleted silicon-on-isolator n-mosfet sidewall implant shallow trench isolation totalionizing dose
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New aspects of HCI test for ultra-short channel n-MOSFET devices
8
作者 马晓华 郝跃 +2 位作者 王剑屏 曹艳荣 陈海峰 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2006年第11期2742-2745,共4页
Hot carriers injection (HCI) tests for ultra-short channel n-MOSFET devices were studied. The experimental data of short channel devices (75-90 nm), which does not fit formal degradation power law well, will bring... Hot carriers injection (HCI) tests for ultra-short channel n-MOSFET devices were studied. The experimental data of short channel devices (75-90 nm), which does not fit formal degradation power law well, will bring severe error in lifetime prediction. This phenomenon usually happens under high drain voltage (Vd) stress condition. A new model was presented to fit the degradation curve better. It was observed that the peak of the substrate current under low drain voltage stress cannot be found in ultra-short channel device. Devices with different channel lengths were studied under different Vd stresses in order to understand the relations between peak of substrate current (/sub) and channel length/stress voltage. 展开更多
关键词 HCI n-mosfet short channel
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带超薄HfO2栅介质和多晶硅栅的n-MOSFET的热载流子可靠性
9
《电子产品可靠性与环境试验》 2003年第6期70-70,共1页
关键词 超薄HfO2栅介质 多晶硅栅 n-mosfet 热载流子 可靠性
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FDS3572:N-MOSFET
10
《世界电子元器件》 2005年第1期42-42,共1页
飞兆半导体公司日前推出具有组合性能优势的SO-8封装的80V N沟道MOSFET FDS3572,它能在DC/DC转换器初级边和同步整流开关电源次级边设计中提供良好的系统整体效率。FDS3572的米勒电荷(Qgd)为7.5nnC,比有相似Rds(on)额定数值的产品要... 飞兆半导体公司日前推出具有组合性能优势的SO-8封装的80V N沟道MOSFET FDS3572,它能在DC/DC转换器初级边和同步整流开关电源次级边设计中提供良好的系统整体效率。FDS3572的米勒电荷(Qgd)为7.5nnC,比有相似Rds(on)额定数值的产品要低38%。该器件的低米勒电荷和低导通电阻Rds(on)(16mΩ)降低了噪音(FOM=Rds(on)×Qgd)。 展开更多
关键词 n-mosfet SO-8封装 开关电源 N沟道 飞兆半导体公司 低导通电阻 FOM 体效率 FDS 产品
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超薄栅氧化层n-MOSFET软击穿后的导电机制 被引量:13
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作者 王彦刚 许铭真 +1 位作者 谭长华 段小蓉 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第8期3884-3888,共5页
研究了恒压应力下超薄栅氧化层n型金属-氧化物-半导体场效应晶体管(n-MOSFET)软击穿后的导电机制.发现在一定的栅电压Vg范围内,软击穿后的栅电流Ig符合Fowler-Nordheim隧穿公式,但室温下隧穿势垒b的平均值仅为0·936eV,远小于Si/S... 研究了恒压应力下超薄栅氧化层n型金属-氧化物-半导体场效应晶体管(n-MOSFET)软击穿后的导电机制.发现在一定的栅电压Vg范围内,软击穿后的栅电流Ig符合Fowler-Nordheim隧穿公式,但室温下隧穿势垒b的平均值仅为0·936eV,远小于Si/SiO2界面的势垒高度3·15eV.研究表明,软击穿后,处于Si/SiO2界面量子化能级上的电子不隧穿到氧化层的导带,而是隧穿到氧化层内的缺陷带上.b与缺陷带能级和电子所处的量子能级相关;高温下,激发态电子对隧穿电流贡献的增大导致b逐渐降低. 展开更多
关键词 超薄栅氧化层 n-mosfet 导电机制 软击穿 SI/SIO2 半导体场效应晶体管 势垒高度 量子能级 隧穿电流 氧化物 压应力 栅电流 平均值 量子化 电子对 激发态 界面 缺陷
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短沟道n-MOSFET亚阈值电流模拟计算分析 被引量:1
12
作者 王洪涛 王茺 +3 位作者 胡伟达 杨洲 熊飞 杨宇 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第4期311-315,共5页
本文基于亚阈值电流和表面势模型的基础上,采用商用器件模拟软件,建立了短沟道n-MOSFET的结构和物理模型,对器件的亚阈值电流进行了2-D数值模拟。计算了不同沟道掺杂浓度、氧化层厚度以及沟道长度对器件亚阈值电流的影响,并对模拟结果... 本文基于亚阈值电流和表面势模型的基础上,采用商用器件模拟软件,建立了短沟道n-MOSFET的结构和物理模型,对器件的亚阈值电流进行了2-D数值模拟。计算了不同沟道掺杂浓度、氧化层厚度以及沟道长度对器件亚阈值电流的影响,并对模拟结果进行了系统的理论分析,数值模拟结果和解析模型能够在亚阈值区很好的吻合。 展开更多
关键词 短沟道n-mosfet 亚阈值电流 解析模型 数值模拟
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4H-SiC n-MOSFET的高温特性分析 被引量:10
13
作者 徐静平 李春霞 吴海平 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期2918-2923,共6页
通过考虑迁移率和阈值电压随温度的变化关系,模拟分析了4H-SiCn-MOSFET高温下的电学特性,模拟结果与实验有较好的符合.并进一步讨论了主要结构参数和工艺参数对高温电特性的影响及其最佳取值.
关键词 4H-SIC 迁移率 阈值电压 高温电特性 MOSFET制备工艺
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飞兆半导体公司推出一种新型双路N-MOSFET器件FDC6000NZ
14
作者 章从福 《半导体信息》 2005年第1期17-17,共1页
该器件组合了飞兆的Power Trench MOSFET硅技术和SuperSOT-6 FLMP封装。器件功率开关的小尺寸(高度小于0.8 mm)、小占位面积(最大为9.0 mm2)的封装能给锂离子电池盒保护提供严格的电性能和热性能。FDC6000NZ的耗散功率为1.6 W。
关键词 FDC6000NZ n-mosfet 功率开关 飞兆半导体 锂离子电池 占位面积 热性 稳态电流 耗散功率 移动通信设备
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Clear correspondence between gated-diode R-G current and performance degradation of SOI n-MOSFETs after F-N stress tests
15
作者 何进 马晨月 +4 位作者 王昊 陈旭 张晨飞 林信南 张兴 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第12期30-32,共3页
A clear correspondence between the gated-diode generation-recombination (R-G) current and the performance degradation of an SOI n-channel MOS transistor after F-N stress tests has been demonstrated. Due to the incre... A clear correspondence between the gated-diode generation-recombination (R-G) current and the performance degradation of an SOI n-channel MOS transistor after F-N stress tests has been demonstrated. Due to the increase of interface traps after F-N stress tests, the R-G current of the gated-diode in the SOI-MOSFET architecture increases while the performance characteristics of the MOSFET transistor such as the saturation drain current and sub-threshold slope are degraded. From a series of experimental measurements of the gated-diode and SOI-MOSFET DC characteristics, a linear decrease of the drain saturation current and increase of the threshold voltage as well as a like-line rise of the sub-threshold swing and a corresponding degradation in the trans-conductance are also observed. These results provide theoretical and experimental evidence for us to use the gated-diode tool to monitor SOI-MOSFET degradation. 展开更多
关键词 MOSFET degradation F-N stress interface traps gated-diode method SOI technology
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N型MOSFET器件总剂量效应通用测试系统设计
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作者 郭荣 梁润成 +6 位作者 李国栋 郑智睿 孙丹 韩毅 郝焕锋 陈法国 闫学文 《核电子学与探测技术》 CAS 北大核心 2024年第4期622-630,共9页
抗辐照电机驱动器研发需要准确获取电桥电路金属-氧化物半导体场效应晶体管(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor,MOSFET)器件的总剂量效应失效阈值,电流-电压、电容-电压等离线测试方法,无法真实反映器件开关性能随累... 抗辐照电机驱动器研发需要准确获取电桥电路金属-氧化物半导体场效应晶体管(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor,MOSFET)器件的总剂量效应失效阈值,电流-电压、电容-电压等离线测试方法,无法真实反映器件开关性能随累积剂量增加的连续变化过程。因此,针对MOSFET器件总剂量效应的在线测试需求,设计了基于高速信号采集及存储的通用化测试系统,具备被测样品驱动、高频信号采集、高速数据存储、数据模块管理等功能。利用典型商用MOSFET器件开展了总剂量效应测试,结果显示,当吸收剂量达598.08±41.54 Gy(Si)时,样品采集方波波形开始出现异常,低电平电压升高至0.82 V,高电平电压始终正常;随着累积剂量的增大,低电平电压持续性升高至1.08 V,并进一步升高至1.24 V,但器件开关功能保持正常;当累积剂量达1775.41±219.68 Gy(Si)时,采集波形跳变为2.93 V的直线,无方波信号输出,经判断MOSFET开关功能完全受损。 展开更多
关键词 N型MOSFET 总剂量效应 失效阈值 测试系统
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Ar+背面轰击对SiOxNy栅介质的n—MOSFET迁移率和跨导的影响 被引量:5
17
作者 李观启 黄美浅 +1 位作者 曾绍鸿 曾旭 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第10期775-779,共5页
用低能量氩离子束轰击芯片背面,能改善以热氮化和快速热氮化SiOxNy为栅介质的n沟MOSFET的特性.结果表明,在能量为550eV和束流密度为0.5mA/cm2时,随着轰击时间的增加,跨导、沟道电导和有效迁移率增大,... 用低能量氩离子束轰击芯片背面,能改善以热氮化和快速热氮化SiOxNy为栅介质的n沟MOSFET的特性.结果表明,在能量为550eV和束流密度为0.5mA/cm2时,随着轰击时间的增加,跨导、沟道电导和有效迁移率增大,然后这些变化趋于减缓,甚至开始呈恶化趋势.快速热氮化SiOxNy为介质的MOSFET的改善效果要比常规热氮化的好.实验证明,上述参数的改善是由于界面态密度和固定电荷密度减小的结果.文中利用杂质吸除和应力补偿的机理进行分析. 展开更多
关键词 氩离子轰击 SiOxNy栅介质 n-mosfet 迁移率 跨导
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用于电路模拟的4H-SiC MOSFET高温沟道电子迁移率模型
18
作者 戴振清 杨瑞霞 杨克武 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第8期1252-1255,共4页
提出了适用于电路模拟的4H-SiCn-MOSFET高温沟道电子迁移率模型.在新模型中,引入了横向有效电场和表面粗糙散射的温度依赖性,电子饱和漂移速度与横向有效电场和温度的关系,以及改进的界面陷阱电荷和固定氧化物电荷库仑散射模型等因素.... 提出了适用于电路模拟的4H-SiCn-MOSFET高温沟道电子迁移率模型.在新模型中,引入了横向有效电场和表面粗糙散射的温度依赖性,电子饱和漂移速度与横向有效电场和温度的关系,以及改进的界面陷阱电荷和固定氧化物电荷库仑散射模型等因素.采用与温度-阈值电压实验曲线拟合的方法,确定了界面态参数和固定氧化物电荷.基于新迁移率模型的模拟结果与实验吻合. 展开更多
关键词 4H-SIC n-mosfet 阈值电压 界面态参数 高温迁移率
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EPR在体测量专用调制磁场驱动装置 被引量:1
19
作者 范凯 郭俊旺 +4 位作者 邹洁芮 丛建波 马蕾 董国福 吴可 《波谱学杂志》 CAS CSCD 北大核心 2017年第3期365-371,共7页
利用电子顺磁共振(electron paramagnetic resonance,EPR)在体测量人牙齿可以实现无损伤地快速评估人体辐射剂量,具有实际应用价值.本文针对EPR在体测量牙齿剂量的应用特点,研制了专用调制磁场驱动装置,包括功率放大器、调制磁场激励线... 利用电子顺磁共振(electron paramagnetic resonance,EPR)在体测量人牙齿可以实现无损伤地快速评估人体辐射剂量,具有实际应用价值.本文针对EPR在体测量牙齿剂量的应用特点,研制了专用调制磁场驱动装置,包括功率放大器、调制磁场激励线圈、调制频率设定模块、感应型调制幅度显示模块等.功率放大器采用脉冲功率放大方式取代传统的线性放大方式,用多N-MOSFET管H桥电路,功率容量大、效率高、结构简单,且调制频率设定自如.实验结果表明:(1)此装置可在大于9 cm磁极间距的中心样品位置产生调制幅度为0~0.9 mT的调制磁场,调制频率为10~100 kHz;(2)用该装置与EPR在体测量谱仪配合使用,可以明显观测到1,1-二苯基-2-三硝基苯肼(1,1-diphenyl-2-picrylhydrazyl,DPPH)样品谱线调制增宽过程以及辐射诱发的整体牙齿中的自由基信号,验证了该装置的高调制效率和实用性. 展开更多
关键词 电子顺磁共振(EPR) 辐射剂量 调制磁场驱动装置 n-mosfet管H桥电路
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基于移动机器人直流电机驱动电路的设计与应用 被引量:14
20
作者 余晓填 杨曦 +2 位作者 陈安 解辉 黄泽毅 《微电机》 北大核心 2011年第11期37-40,共4页
直流电机驱动在移动机器人领域中具有重要意义。针对移动机器人,基于H桥功率驱动电路以及PWM脉宽调制原理,设计并实现了一种直流电机正、反转驱动调速控制电路,满足大功率直流电机驱动控制。实验表明,该驱动电路具有电路简单,抗干扰能力... 直流电机驱动在移动机器人领域中具有重要意义。针对移动机器人,基于H桥功率驱动电路以及PWM脉宽调制原理,设计并实现了一种直流电机正、反转驱动调速控制电路,满足大功率直流电机驱动控制。实验表明,该驱动电路具有电路简单,抗干扰能力强,驱动能力强的特点,可在移动机器人及其他场合得到有效的应用。 展开更多
关键词 移动机器人 直流电机驱动 光耦隔离 H桥 N沟道增强型场效应管
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