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State-space approach to vibration of gold nano-beam induced by ramp type heating 被引量:1
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作者 Hamdy M.Youssef Khaled A.Elsibai 《Nano-Micro Letters》 SCIE EI CAS 2010年第3期139-147,共9页
In the nanoscale beam,two effects become domineering.One is the non-Fourier effect in heat conduction and the other is the coupling effect between temperature and strain rate.In the present study,a generalized solutio... In the nanoscale beam,two effects become domineering.One is the non-Fourier effect in heat conduction and the other is the coupling effect between temperature and strain rate.In the present study,a generalized solution for the generalized thermoelastic vibration of gold nano-beam resonator induced by ramp type heating is developed.The solution takes into account the above two effects.State-space and Laplace transform methods are used to determine the lateral vibration,the temperature,the displacement,the stress and the strain energy of the beam.The effects of the relaxation time and the ramping time parameters have been studied. 展开更多
关键词 Thermoelasticity Euler-Bernoulli equation Gold nano-beam Ramp type heating
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原子力显微镜-扫描电子显微镜共定位表征系统的研发与应用
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作者 蔡蕊 万鹏 +2 位作者 徐强 吕天明 孙智广 《分析测试技术与仪器》 CAS 2024年第1期53-57,共5页
微纳加工过程中,常有样品需要进行聚焦离子束(FIB)溅射、切割,扫描电子显微镜(SEM)以及原子力显微镜(AFM)表征,而这三类仪器都需要将样品固定在样品台上才可测试,固定不佳会影响表征结果.但固定好的样品在不同仪器之间转移、拆卸、再固... 微纳加工过程中,常有样品需要进行聚焦离子束(FIB)溅射、切割,扫描电子显微镜(SEM)以及原子力显微镜(AFM)表征,而这三类仪器都需要将样品固定在样品台上才可测试,固定不佳会影响表征结果.但固定好的样品在不同仪器之间转移、拆卸、再固定的过程中极易受到破坏.基于以上问题,设计了AFM-SEM-FIB样品共定位系统,可实现样品在此三种仪器之间的无损转移及共定位,避免珍贵样品破坏及目标丢失,以及解决AFM扫描无法控制方向、迅速调整位点等问题.在微纳表征中有优异的表现,系统已被开发成产品并量产销售. 展开更多
关键词 共定位系统 原子力显微镜 扫描电子显微镜 聚焦离子束 微纳表征
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纳米隔热材料在板坯加热炉水梁中的应用研究
3
作者 江华 《工业加热》 CAS 2024年第1期38-42,共5页
针对新型纳米绝热保温材料在高温板坯加热炉的应用,开展了传统水梁包扎方式与新型纳米隔热包扎方式的对比研究。通过数值仿真分析对不同方案隔热效果及温度分布进行了预测,并搭建水冷实验系统对采用不同包扎方式的水梁散热量进行测试分... 针对新型纳米绝热保温材料在高温板坯加热炉的应用,开展了传统水梁包扎方式与新型纳米隔热包扎方式的对比研究。通过数值仿真分析对不同方案隔热效果及温度分布进行了预测,并搭建水冷实验系统对采用不同包扎方式的水梁散热量进行测试分析。测试结果表明随着炉温逐步升高,纤维隔热材料的导热系数快速上升,常规纤维隔热水梁散热快速增加,而纳米隔热材料的导热系数增加较小,故此纳米隔热水梁的散热增加较为缓慢,两种方案散热量的差距随着炉温升高而逐渐增大。在此基础上开展了工程应用,应用效果与数值仿真及实验研究数据吻合良好。工程应用对比结果表明,纳米隔热水梁相对传统水梁包扎方案可实现水梁区域能耗降低25%,具有较好的经济和生态效益。 展开更多
关键词 步进梁式加热炉 纳米隔热材料 数值模拟 传热实验
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一维纳米准晶层合梁的非局部振动、屈曲与弯曲研究
4
作者 原庆丹 郭俊宏 《应用数学和力学》 CSCD 北大核心 2024年第2期208-219,共12页
基于非局部理论,建立了一维纳米准晶层合简支深梁模型,研究了其自由振动、屈曲行为及其弯曲变形问题.采用伪Stroh型公式,导出了纳米梁的控制方程,并通过传递矩阵法获得简支边界条件下纳米准晶层合梁固有频率、临界屈曲载荷及弯曲变形广... 基于非局部理论,建立了一维纳米准晶层合简支深梁模型,研究了其自由振动、屈曲行为及其弯曲变形问题.采用伪Stroh型公式,导出了纳米梁的控制方程,并通过传递矩阵法获得简支边界条件下纳米准晶层合梁固有频率、临界屈曲载荷及弯曲变形广义位移和广义应力的精确解.通过数值算例,分析了高跨比、层厚比、叠层顺序及非局部效应对一维纳米准晶层合简支梁固有频率、临界屈曲载荷和弯曲变形的影响.结果表明:固有频率和临界屈曲载荷随着非局部参数增大而减小;外层准晶弹性常数更高时,固有频率和临界屈曲载荷更大;叠层顺序对纳米准晶梁的力学行为有较大影响.所得的精确解可为纳米尺度下梁结构的各种数值方法和实验结果提供参考. 展开更多
关键词 纳米准晶 简支梁 自由振动 屈曲 弯曲 非局部效应
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“后摩尔时代”芯片互连方法简析
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作者 张墅野 初远帆 +6 位作者 李振锋 鲍俊辉 张雨杨 刘一甫 易庆鸿 崔澜馨 何鹏 《材料导报》 CSCD 北大核心 2023年第15期121-130,共10页
随着半导体制程接近工艺物理极限,半导体工业进入“后摩尔时代”,集成技术成为继续提高电子产品性能的重要途径。现存的实现高度集成的关键技术都对更小尺寸的连接提出了要求。同时随着连接尺寸的减小,封装体在连接工艺中受到的影响导... 随着半导体制程接近工艺物理极限,半导体工业进入“后摩尔时代”,集成技术成为继续提高电子产品性能的重要途径。现存的实现高度集成的关键技术都对更小尺寸的连接提出了要求。同时随着连接尺寸的减小,封装体在连接工艺中受到的影响导致器件在使用温度下失效的问题越来越严重。封装内的互连部分是芯片热传导、电气连接的重要结构,也是器件失效的重要部位,在互连接头尺寸不断减小的背景下,互连部分的失效在器件整体失效的情况中占据着越来越重要的地位,研究高导热、低工艺影响的微纳连接技术有望解决高功率密度器件的可靠性问题。本文总结了微纳连接技术在新型焊料、能量传递方式两方面的发展,简单介绍了表面活化技术并讨论其应用在电子封装中的可能性,在此基础上讨论了微纳连接技术的发展方向。 展开更多
关键词 微纳连接 表面活化键合 低温焊料 纳米焊料 电子束辐照 超声连接
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高灵敏度ZnO纳米梁谐振式加速度计 被引量:1
6
作者 许文元 唐彬 +1 位作者 赵宝林 谢晋 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2023年第8期78-80,84,共4页
针对谐振式加速度计灵敏度较低的问题,设计了一种基于化学气相沉积(CVD)法制备的ZnO纳米线作谐振梁的谐振式加速度计,采用了双谐振梁的差分结构,利用混频检测方式进行谐振梁的激振和拾振。实现了超高灵敏度加速度检测。使用COMSOL Multi... 针对谐振式加速度计灵敏度较低的问题,设计了一种基于化学气相沉积(CVD)法制备的ZnO纳米线作谐振梁的谐振式加速度计,采用了双谐振梁的差分结构,利用混频检测方式进行谐振梁的激振和拾振。实现了超高灵敏度加速度检测。使用COMSOL Multiphysics软件建立加速度计结构原型,仿真得到谐振梁的谐振频率分别为1926.480 kHz和1926.499 kHz;在±5 gn的量程范围内,单根梁的检测灵敏度为40.218 kHz/gn,差分检测灵敏度达到80.437 kHz/gn;分析了加速度计的温度特性,差分输出模式有效抑制加速度计的零点漂移,灵敏度随温度变化为2.424 Hz/(gn·K^(-1))。 展开更多
关键词 ZNO纳米线 纳米谐振梁 混频检测 加速度计 高灵敏度
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掺纳米SiO_(2)和矿粉的混凝土梁冻损试验研究
7
作者 闫思璐 宋辉 +1 位作者 周艳华 张伟伟 《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2023年第9期41-47,共7页
为研究掺纳米SiO_(2)和矿粉的高性能混凝土梁冻损规律,开展了快速水冻水融、电镜扫描和梁弯曲等试验,探讨了冻损后抗压强度折减指标和梁受弯承载力的退化规律。结果表明:随冻融循环次数n的增加,质量损失率和动弹性模量损伤度H呈非线性... 为研究掺纳米SiO_(2)和矿粉的高性能混凝土梁冻损规律,开展了快速水冻水融、电镜扫描和梁弯曲等试验,探讨了冻损后抗压强度折减指标和梁受弯承载力的退化规律。结果表明:随冻融循环次数n的增加,质量损失率和动弹性模量损伤度H呈非线性增大趋势;冻融循环并未改变高性能混凝土梁的受弯破坏类型;随n的增加,中性轴位置逐渐下移,极限弯矩逐渐降低;掺入纳米SiO_(2)和矿粉可有效减缓混凝土梁冻损后抗弯承载力的退化;建议采用H作为表征和评价高性能混凝土梁冻损后弯曲性能退化的指标。 展开更多
关键词 高性能混凝土梁 冻融损伤 受弯特性 纳米SiO_(2)
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基于DMT模型的金刚石表面纳米摩擦学研究
8
作者 杨欣 杨宁 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2023年第8期136-144,共9页
基于DMT接触模型,在理论上计算金刚石表面纳米摩擦的摩擦力和摩擦因数;采用原子力显微镜,以金刚石探针和片状金刚石试件作为摩擦副,在大气环境下分别研究机械抛光和聚焦离子束(FIB)刻蚀的金刚石试件的摩擦学特性,并比较实验结果和DMT接... 基于DMT接触模型,在理论上计算金刚石表面纳米摩擦的摩擦力和摩擦因数;采用原子力显微镜,以金刚石探针和片状金刚石试件作为摩擦副,在大气环境下分别研究机械抛光和聚焦离子束(FIB)刻蚀的金刚石试件的摩擦学特性,并比较实验结果和DMT接触模型计算结果。结果表明:金刚石试件的摩擦因数均随着载荷的增加而减小,这与以往对金刚石微观摩擦的研究结果相符合;DMT接触模型计算结果与机械抛光表面试验结果吻合较好,而略高于FIB刻蚀表面试验结果,验证了DMT模型在金刚石纳米摩擦研究中的适用性。通过表面粗糙度和碳原子化学状态分析,得出粗糙表面对探针滑动的阻碍作用和FIB刻蚀过程中生产的非晶碳的减摩作用是DMT模型应用于上述2种加工表面产生差异的原因。 展开更多
关键词 DMT接触模型 金刚石 纳米摩擦 聚焦离子束刻蚀
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聚焦激光束:从科研到教学的应用
9
作者 吕俊鹏 高磊 +2 位作者 刘琳 章琦 刘宏微 《物理实验》 2023年第9期16-21,共6页
列举了聚焦激光束在光镊、显微激光改性和显微测量等科研领域中的典型应用实例,设计了荧光检测以及激光微纳加工系统一体化的教学实验.通过显微光谱检测系统获得了红宝石的光致发光信号,并分析了光谱的产生机理.教师通过指导学生搭建聚... 列举了聚焦激光束在光镊、显微激光改性和显微测量等科研领域中的典型应用实例,设计了荧光检测以及激光微纳加工系统一体化的教学实验.通过显微光谱检测系统获得了红宝石的光致发光信号,并分析了光谱的产生机理.教师通过指导学生搭建聚焦激光光路,实现微纳加工和热光学性质测试,强化了学生在激光应用技术方面的知识与技能. 展开更多
关键词 聚焦激光束 微纳操控 微纳加工 光致发光
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亚波长多功能微纳米结构制造及性能分析
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作者 王少强 陈智利 +2 位作者 毕倩 惠迎雪 刘卫国 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第6期25-38,共14页
利用等效介质理论计算出区熔硅微纳米结构的几何尺寸,然后在有限元模拟的基础上建立了光学模型。研究了在长波红外(8~12μm)范围内的抗反射效果,并分别分析了表面形貌和结构特征尺寸对透射率的影响。通过自由基等离子源刻蚀技术和低能... 利用等效介质理论计算出区熔硅微纳米结构的几何尺寸,然后在有限元模拟的基础上建立了光学模型。研究了在长波红外(8~12μm)范围内的抗反射效果,并分别分析了表面形貌和结构特征尺寸对透射率的影响。通过自由基等离子源刻蚀技术和低能量离子束刻蚀技术联合制备的方式,在硅表面形成了具有抗反射自清洁功能的微纳米复合结构。测得其透射率为78%,静态接触角为125.77°,并对所得结构进一步分析,实验结果表明:在长波红外范围微纳米复合结构的抗反射性能优于仅存在单一微米结构时,且纳米级别的微结构对红外波段减反射作用并不明显,微米结构是提升硅材料表面长波红外范围透射率的主要因素;具有微纳复合结构的材料表面张力大于单一微/纳米结构,与理论模拟结果一致,表明微纳米结构的存在能够有效改善硅表面的疏水能力。 展开更多
关键词 区熔硅 疏水性 微纳结构 亚波长 自由基等离子体源 低能离子束
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考虑非局部效应的纳米梁非线性振动 被引量:9
11
作者 刘灿昌 裘进浩 +1 位作者 季宏丽 刘露 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2013年第4期158-162,共5页
以弹性理论为基础,建立考虑非局部效应和轴向非线性伸长的两端固支纳米梁物理模型,推导其动力学方程,计算得到考虑非局部效应和轴向非线性纳米梁的固有频率,研究考虑非局部效应的纳米梁主谐波共振响应。数值结果表明,非局部效应对两端... 以弹性理论为基础,建立考虑非局部效应和轴向非线性伸长的两端固支纳米梁物理模型,推导其动力学方程,计算得到考虑非局部效应和轴向非线性纳米梁的固有频率,研究考虑非局部效应的纳米梁主谐波共振响应。数值结果表明,非局部效应对两端固支纳米梁固有频率和幅频关系均有影响。 展开更多
关键词 非局部效应 纳米梁 非线性模型 多尺度
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聚焦离子束系统原理、应用及进展 被引量:17
12
作者 于华杰 崔益民 王荣明 《电子显微学报》 CAS CSCD 2008年第3期243-249,共7页
聚焦离子束纳米加工系统,具有传统加工工具无可比拟的优势而逐渐成为新一代微纳分析、加工的工具,在微纳米加工、操纵以及器件的研制等方面具有重要应用。本文介绍了聚焦离子束系统的内部结构和工作原理,探讨了该系统的扩展功能、应用... 聚焦离子束纳米加工系统,具有传统加工工具无可比拟的优势而逐渐成为新一代微纳分析、加工的工具,在微纳米加工、操纵以及器件的研制等方面具有重要应用。本文介绍了聚焦离子束系统的内部结构和工作原理,探讨了该系统的扩展功能、应用及发展前景。 展开更多
关键词 聚焦离子柬 微纳加工 双柬纳米工作站
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基于电子隧道效应的纳米梁非线性振动控制 被引量:3
13
作者 姜瑞瑞 刘灿昌 +4 位作者 李磊 秦志昌 万磊 孔维旭 周长城 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2019年第7期28-34,49,共8页
以Euler-Bornoulli梁为振动模型,提出了基于电子隧道效应的纳米梁非线性振动控制方法。隧道效应电流具有高灵敏性、高精确性的特点,可用于检测纳米梁的振动信号。应用位移和速度电压反馈控制器,考虑时滞反馈影响,建立基于隧道效应的纳... 以Euler-Bornoulli梁为振动模型,提出了基于电子隧道效应的纳米梁非线性振动控制方法。隧道效应电流具有高灵敏性、高精确性的特点,可用于检测纳米梁的振动信号。应用位移和速度电压反馈控制器,考虑时滞反馈影响,建立基于隧道效应的纳米梁时滞非线性振动控制方程,应用多尺度方法得到纳米梁主共振的幅频响应方程。研究了直流和交流激励电压、控制增益和时滞等参数与纳米梁振动非线性之间的关系,分析了减弱系统非线性、增强系统稳定性的影响因素。研究结果表明,通过选择合适的控制增益和时滞,适当减小直流和交流激励电压幅值可以降低振动的非线性,提高系统的稳定性。 展开更多
关键词 纳米梁非线性振动 电子隧道效应 时滞 稳定性
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Bending of small-scale Timoshenko beams based on the integral/differential nonlocal-micropolar elasticity theory: a finite element approach 被引量:3
14
作者 M. FARAJI-OSKOUIE A. NOROUZZADEH +1 位作者 R. ANSARI H. ROUHI 《Applied Mathematics and Mechanics(English Edition)》 SCIE EI CSCD 2019年第6期767-782,共16页
A novel size-dependent model is developed herein to study the bending behavior of beam-type micro/nano-structures considering combined effects of nonlocality and micro-rotational degrees of freedom. To accomplish this... A novel size-dependent model is developed herein to study the bending behavior of beam-type micro/nano-structures considering combined effects of nonlocality and micro-rotational degrees of freedom. To accomplish this aim, the micropolar theory is combined with the nonlocal elasticity. To consider the nonlocality, both integral (original) and differential formulations of Eringen’s nonlocal theory are considered. The beams are considered to be Timoshenko-type, and the governing equations are derived in the variational form through Hamilton’s principle. The relations are written in an appropriate matrix-vector representation that can be readily utilized in numerical approaches. A finite element (FE) approach is also proposed for the solution procedure. Parametric studies are conducted to show the simultaneous nonlocal and micropolar effects on the bending response of small-scale beams under different boundary conditions. 展开更多
关键词 INTEGRAL MODEL of NONLOCAL ELASTICITY DIFFERENTIAL MODEL of NONLOCAL ELASTICITY MICROPOLAR theory finite element (FE) analysis Timoshenko nano-beam
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电子束辐照制备纳米银(英文) 被引量:4
15
作者 辛立辉 周瑞敏 +1 位作者 爱可可 奥陆克 《辐射研究与辐射工艺学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期69-72,共4页
在水溶液中,常温常压下不加入任何催化剂,用电子加速器辐照作为一种新的方法可以成功制备出纳米银。我们利用XRD、TEM、UV、DSC来分别表征材料的结构、形貌、大小、光学特性以及材料的熔点。TEM图像证明颗粒大小为30nm,这与XRD实验通过S... 在水溶液中,常温常压下不加入任何催化剂,用电子加速器辐照作为一种新的方法可以成功制备出纳米银。我们利用XRD、TEM、UV、DSC来分别表征材料的结构、形貌、大小、光学特性以及材料的熔点。TEM图像证明颗粒大小为30nm,这与XRD实验通过Scherer理论公式计算的结果相一致。 展开更多
关键词 电子束 辐照 纳米银 电子加速器 X射线衍射分析
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纳米二氧化钒薄膜的制备及红外光学性能 被引量:19
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作者 梁继然 胡明 +6 位作者 王晓东 李贵柯 季安 杨富华 刘剑 吴南健 陈弘达 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2009年第8期1523-1529,共7页
采用双离子束溅射方法在Si3N4/SiO2/Si基底表面沉积氧化钒薄膜,在氮气气氛下热处理获得二氧化钒薄膜.利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和X射线光电子能谱(XPS)研究了热处理温度对氧化钒薄膜晶体结构、表面形貌和组分的影响,利... 采用双离子束溅射方法在Si3N4/SiO2/Si基底表面沉积氧化钒薄膜,在氮气气氛下热处理获得二氧化钒薄膜.利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和X射线光电子能谱(XPS)研究了热处理温度对氧化钒薄膜晶体结构、表面形貌和组分的影响,利用傅里叶变换红外光谱(FT-IR)对二氧化钒薄膜的红外透射性能进行了测试分析.结果表明,所制备的氧化钒薄膜以非晶态V2O5和四方金红石结构VO2为主,经400℃、2h热处理后获得了(011)择优取向的单斜金红石结构纳米VO2薄膜,提高热处理温度至450℃,纳米结构VO2薄膜的晶粒尺寸减小.FT-IR结果显示,纳米VO2薄膜透射率对比因子超过0.99,高温关闭状态下透射率接近0.小晶粒尺寸纳米VO2薄膜更适合在热光开关器件领域应用. 展开更多
关键词 双离子束溅射 纳米二氧化钒薄膜 透射率
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扫描电镜测量纳米尺度的影响因素 被引量:6
17
作者 傅志强 贺翠翠 +3 位作者 刘锡贝 郭俊诚 赵江勇 孟凯 《电子显微学报》 CAS CSCD 2012年第3期226-229,共4页
本文从纳米尺度测量、长度标准器选择、扫描电镜参数选取入手,在不同的试验条件下,根据GB/T20307-2006对纳米级尺度进行测量,系统地研究了加速电压、束斑大小、工作距离以及象限位置对纳米级TiO2、ZnO、C纳米管测量结果的影响。通过分... 本文从纳米尺度测量、长度标准器选择、扫描电镜参数选取入手,在不同的试验条件下,根据GB/T20307-2006对纳米级尺度进行测量,系统地研究了加速电压、束斑大小、工作距离以及象限位置对纳米级TiO2、ZnO、C纳米管测量结果的影响。通过分析讨论,提出了提高纳米尺度测量精度的最佳方案。 展开更多
关键词 纳米尺度 扫描电镜 束斑 工作距离
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带孔纳米单晶铜悬臂梁弯曲的分子动力学模拟 被引量:4
18
作者 王玉 刘更 朱世俊 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2006年第9期1045-1048,共4页
应用分子动力学方法模拟了带孔纳米单晶铜悬臂梁的弯曲过程。通过一端固定另一端施加横向作用力驱使原子运动,得到纳米单晶铜悬臂梁弯曲的变形图。对其不同于宏观连续介质理论的位移-载荷曲线进行分析,给出了合理的解释。结果表明:纳米... 应用分子动力学方法模拟了带孔纳米单晶铜悬臂梁的弯曲过程。通过一端固定另一端施加横向作用力驱使原子运动,得到纳米单晶铜悬臂梁弯曲的变形图。对其不同于宏观连续介质理论的位移-载荷曲线进行分析,给出了合理的解释。结果表明:纳米尺度下的微缺陷对纳米单晶铜悬臂梁的性能具有明显的影响;尺寸效应和表面效应的影响,以及位错滑移和弛豫的综合作用,使得纳米单晶铜悬臂梁在纳米尺度下表现出与宏观尺度下不同的力学特性。 展开更多
关键词 分子动力学 纳米单晶铜 悬臂梁
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电子束辐照诱发纳米Al/Al_2O_3复合颗粒中Al非晶化的纳米束斑原位分析 被引量:2
19
作者 杨志卿 金志雄 +3 位作者 陈吉 吴波 贺连龙 叶恒强 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第9期897-899,共3页
在 HF-2000场发射电镜上完成了Al/Al2O3颗粒的辐照诱发Al非晶化转变和原位观察。
关键词 电子束辐照 非晶化 AL/AL2O3复合材料 纳米束斑 原位分析
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一种新型的具有角度限制的电子束投影曝光技术 被引量:4
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作者 顾文琪 张福安 《微纳电子技术》 CAS 2002年第4期37-41,共5页
具有角度限制的电子束投影曝光技术有可能成为21世纪最有潜力的纳米光刻技术之一。通过配备缩小投影透镜、掩模承片台、基片工作台和控制用计算机,我们将一台透射电子显微镜(TEM)改造成一台用于电子束投影曝光的试验装置。利用这台装置... 具有角度限制的电子束投影曝光技术有可能成为21世纪最有潜力的纳米光刻技术之一。通过配备缩小投影透镜、掩模承片台、基片工作台和控制用计算机,我们将一台透射电子显微镜(TEM)改造成一台用于电子束投影曝光的试验装置。利用这台装置完成了有关掩模性能、电子光学特性和图形对准的一系列实验,同时取得了最细线宽为78nm的抗蚀剂图形。 展开更多
关键词 角度限制 电子束投影曝光技术 纳米光刻
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