二维和三维微/纳高效精密加工中的纳立体刻印工艺(英文)

双光子聚合(TPP)是通过光敏剂中的非线性双光子吸收过程所引发的,其作为一种新工艺,自问世以来,已在二雏和三维加工聚合应用领域中得到广泛研究．对于二维纳米图案的加工,纳复制工艺已经演变为体素模板扫描方法．该方法用黑白双色2块图作为设计图案,并转排成体素模板以控制聚焦激光素的开关．复杂的三维微结构也可以采用多重断面分层叠加的方法进行加工,各断面的扫描数据从三维CAD数据中得到．在聚合反应后,没有固化的液态树脂,其采用在树脂上浇注类似于酒精之类溶剂的方法去除,从而显露出聚合的微结构．在前期的工作中,已经成功地加工出了高空间分辨力的三维微光学器件,分辨力约为100nm．微机械器件和光子晶体等的近期研究工作提高了其TPP的效率和精度．介绍了近来开发的基于TPP的一些微加工工艺．