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CMP抛光液中SiO_(2)磨料分散稳定性的研究进展
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作者 程佳宝 石芸慧 +6 位作者 牛新环 刘江皓 邹毅达 占妮 何潮 董常鑫 李鑫杰 《微纳电子技术》 CAS 2024年第2期25-35,共11页
对SiO_(2)磨料在化学机械抛光(CMP)抛光液中的应用以及影响抛光液分散稳定性的因素进行了阐述,重点从SiO_(2)磨料分散稳定性的角度介绍了SiO_(2)磨料质量分数和粒径、抛光液pH值、表面活性剂种类和表面改性等对抛光液稳定性的影响,通过... 对SiO_(2)磨料在化学机械抛光(CMP)抛光液中的应用以及影响抛光液分散稳定性的因素进行了阐述,重点从SiO_(2)磨料分散稳定性的角度介绍了SiO_(2)磨料质量分数和粒径、抛光液pH值、表面活性剂种类和表面改性等对抛光液稳定性的影响,通过分析Zeta电位绝对值的范围、凝胶时间的长短、粒径随时间的变化和接触角等,总结了小粒径(35 nm左右)SiO_(2)磨料在抛光液中的分散机理,同时探讨了弱碱性环境对磨料Zeta电位的影响,阳离子、阴离子和非离子表面活性剂对磨料表面的作用机理和复配使用的效果,以及表面疏水化或亲水化改性对磨料分散稳定性的影响。最后对该领域未来的发展方向进行了展望。 展开更多
关键词 化学机械抛光(CMP) sio_(2)磨料 表面活性剂 分散稳定性 PH值
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高分散Cu/SiO_(2)逆水煤气变换反应催化剂研究 被引量:1
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作者 刘宁 曹忠 +2 位作者 崔莎 刘辉 王路辉 《化学试剂》 CAS 北大核心 2023年第8期40-46,共7页
逆水煤气变换(RWGS)反应可以有效的将CO_(2)转化为更具有价值的CO,被认为是最具有应用前景的反应之一。将Cu/SiO2催化剂用于RWGS反应,考察了在浸渍过程中添加尿素对催化剂结构和性能的影响。采用包括H2-TPR、XRD和TEM等对催化剂进行表征... 逆水煤气变换(RWGS)反应可以有效的将CO_(2)转化为更具有价值的CO,被认为是最具有应用前景的反应之一。将Cu/SiO2催化剂用于RWGS反应,考察了在浸渍过程中添加尿素对催化剂结构和性能的影响。采用包括H2-TPR、XRD和TEM等对催化剂进行表征,并且在400~750℃的温度范围内进行RWGS性能测试。结果表明,与Cu/SiO_(2)催化剂相比,尿素辅助法制备的Cu/SiO_(2)-N催化剂在逆水煤气变换反应中具有较高的催化活性,并且对CO具有100%的选择性,尿素的引入可以有效地减小活性金属Cu的粒径,使其具有高分散性,Cu/SiO_(2)-N催化剂金属分散度达到26.5%,催化剂的活性得到了显著提高。 展开更多
关键词 逆水煤气变换反应 CO_(2) Cu/sio_(2)催化剂 尿素 高分散
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高度分散WO_(x)/SiO_(2)催化剂的制备及烯烃歧化反应性能 被引量:1
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作者 张强 谭昊轩 +3 位作者 崔宇超 王焕 张晓彤 宋丽娟 《辽宁石油化工大学学报》 CAS 2022年第5期32-37,共6页
通过对WO_(x)/SiO_(2)催化剂载体的筛选和WO_(x)负载量的考察,成功筛选出一种性能优异的国产SiO_(2)载体,运用氮气物理吸附、XRD、Raman光谱和TEM/EDS对催化剂结构进行表征,考察了WO_(x)物种在载体上的分散情况和乙烯与丁烯歧化制丙烯... 通过对WO_(x)/SiO_(2)催化剂载体的筛选和WO_(x)负载量的考察,成功筛选出一种性能优异的国产SiO_(2)载体,运用氮气物理吸附、XRD、Raman光谱和TEM/EDS对催化剂结构进行表征,考察了WO_(x)物种在载体上的分散情况和乙烯与丁烯歧化制丙烯的催化反应性能,并与国外某商业催化剂的性能进行了对比。结果表明,当国产载体S-SiO_(2)的WO_(x)负载量阈值为8%时,催化剂显示出最佳催化活性和选择性;与商业催化剂的催化性能相比,其催化活性高近10%,且稳定性和选择性相当;关联结构表征结果证实,WO_(x)物种在载体上的分散特征是影响催化性能的关键因素,SiO_(2)载体和负载量也是影响WO_(x)物种分散状态的关键。本研究可为高效烯烃歧化反应WO_(x)/SiO_(2)催化剂的国产化,尤其是国产SiO_(2)载体的选择提供依据。 展开更多
关键词 WO_(x)/sio_(2)催化剂 载体 烯烃歧化反应 负载量 分散特征
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纳米SiO_(2)在提高采收率与降压增注中的应用进展 被引量:11
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作者 李啸南 冯青 +4 位作者 高平 黄子俊 宫汝祥 陈先超 李军 《科学技术与工程》 北大核心 2021年第20期8291-8300,共10页
纳米技术现已广泛应用于生物、医药、材料等多个领域,在石油勘探开发领域也具有诸多潜在应用价值。综述了纳米颗粒在石油开发领域中提高采收率及降压增注的应用进展,石油开发所使用的纳米颗粒可分为金属纳米颗粒、有机纳米颗粒、无机纳... 纳米技术现已广泛应用于生物、医药、材料等多个领域,在石油勘探开发领域也具有诸多潜在应用价值。综述了纳米颗粒在石油开发领域中提高采收率及降压增注的应用进展,石油开发所使用的纳米颗粒可分为金属纳米颗粒、有机纳米颗粒、无机纳米颗粒;针对表面改性后纳米SiO_(2)分散性变差的问题介绍了新型生物表面活性剂等纳米材料分散方法;纳米SiO_(2)提高采收率的主要机理是楔形挤压、润湿反转、降低界面张力及其他提采机理;纳米SiO_(2)降压增注机理为进入地层后形成的疏水膜能改变润湿性、防止黏土膨胀,对于吸附纳米颗粒能否增大孔道半径存在争议。建议今后从纳米SiO_(2)地层匹配性、降压增注解析模型、数值模拟模型以及生物基表面活性剂开展相关的技术研究。 展开更多
关键词 纳米颗粒 sio_(2) 分散剂 提高采收率 降压增注
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SiO_(2)纳米粒子对UV固化涂层硬度及耐磨性的影响 被引量:1
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作者 潘文轩 毛兴健 +2 位作者 刘仁 罗静 孙冠卿 《涂料工业》 CAS CSCD 北大核心 2022年第8期20-28,共9页
为了探究SiO_(2)纳米粒子对UV固化涂层硬度及耐磨性的影响,通过Stöber法制备了粒径为40 nm的SiO_(2)纳米粒子,并使用硅烷偶联剂KH570对其表面进行改性,以提高其在UV固化树脂中的分散性。系统研究了SiO_(2)纳米粒子的添加状态及硅... 为了探究SiO_(2)纳米粒子对UV固化涂层硬度及耐磨性的影响,通过Stöber法制备了粒径为40 nm的SiO_(2)纳米粒子,并使用硅烷偶联剂KH570对其表面进行改性,以提高其在UV固化树脂中的分散性。系统研究了SiO_(2)纳米粒子的添加状态及硅烷偶联剂添加量对其在UV固化涂层中分散性的影响。结果表明:使用SiO_(2)纳米粒子与UV固化活性稀释剂组成的分散液能够在UV固化树脂中得到良好的分散,并且随着硅烷偶联剂添加量的增加,其在UV固化树脂中的分散性逐渐提高。此外添加SiO_(2)纳米粒子后涂层的双键转化率仍然维持在70%,光固化速率基本没有变化。随着SiO_(2)纳米粒子的添加量达到10%,不同配方的光固化涂层的铅笔硬度都有1~2个等级的提升,且耐磨性有所提高。 展开更多
关键词 UV固化涂层 分散性 硬度 耐磨性 sio_(2)纳米粒子
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Improved activity of Ni-Mo/SiO_(2) bimetallic catalyst synthesized via sol-gel method for methylcyclohexane cracking
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作者 Jun Zhang Ting Chen +5 位作者 Yi Jiao Mei Cheng Lin-Lin Wang Jian-Li Wang Xiang-Yuan Li Yao-Qiang Chen 《Petroleum Science》 SCIE CAS CSCD 2021年第5期1530-1542,共13页
To improve the cracking behavior of hydrocarbon,Ni-Mo/SiO_(2) bimetallic catalysts were synthesized by different preparation methods(sol-gel,co-impregnation and single-impregnation) and added the additives(citric acid... To improve the cracking behavior of hydrocarbon,Ni-Mo/SiO_(2) bimetallic catalysts were synthesized by different preparation methods(sol-gel,co-impregnation and single-impregnation) and added the additives(citric acid,polyethylene glycol and cetyltrimethylammonium bromide) based on the most suitable method above.The cracking reaction of methylcyclohexane under supercritical conditions was performed as the probe reaction to estimate the catalytic performance,and the properties of Ni-Mo/SiO_(2) catalyst were characterized by N_(2) absorption-desorption,XRD,XPS,H_(2)-TPR,NH_(3)-TPD,in-situ IR of NH_(3) desorption,HRTEM and STEM-mapping so as to study the structure-activity relationship.The catalyst synthesized via sol-gel method showed the best conversion and heat sink,being 81.8% and 3.81 MJ/kg,which was closely related to strong mutual effect between active components and SiO_(2) as well as strong acid sites.Besides,the introduction of additives by sol-gel method has an affirmative influence on properties of Ni-Mo/SiO_(2) catalysts,being that the acidity(more L and B acid sites) was modulated and organic groups interact with metal to suppress the aggregation of metal species(Ni and Mo),thereby enhancing the catalytic activity.At 750℃,the conversion(89.3%) as well as heat sink(3.99 MJ/kg) of MCH cracking obtained an optimum over Ni-Mo/SiO_(2) catalyst with addition of citric acid. 展开更多
关键词 Ni dispersion Ni-Mo/sio_(2) Catalytic cracking Citric acid Sol-gel method Acidity modulation
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纳米SiO_(2)分散性对SiO_(2)/LDPE纳米复合材料直流介电性能的影响 被引量:3
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作者 郑昌佶 王博 +1 位作者 杨佳明 赵洪 《复合材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第3期1417-1429,共13页
SiO_(2)/低密度聚乙烯(LDPE)复合材料的介电性能与纳米SiO_(2)在LDPE基体中的分散性密切相关。为研究室温下拉伸处理对纳米SiO_(2)颗粒在LDPE基体中分散性的作用机制,本文选取7 nm粒径的疏水型纳米SiO_(2)与LDPE熔融共混制备SiO_(2)/LDP... SiO_(2)/低密度聚乙烯(LDPE)复合材料的介电性能与纳米SiO_(2)在LDPE基体中的分散性密切相关。为研究室温下拉伸处理对纳米SiO_(2)颗粒在LDPE基体中分散性的作用机制,本文选取7 nm粒径的疏水型纳米SiO_(2)与LDPE熔融共混制备SiO_(2)/LDPE纳米复合材料。将制备好的纳米复合材料经过三次拉伸处理,利用SEM、DSC表征纳米粒子的分散性及复合材料的结晶度,利用热刺激电流法(TSC)测试分析复合材料的陷阱能级和陷阱密度。通过对纳米复合材料的空间电荷,电导电流,直流击穿强度进行实验测试,研究了拉伸对纳米粒子分散性的影响及其所导致的直流介电性能的改变。结果表明室温下拉伸有助于纳米粒子的分散,使纳米SiO_(2)粒子的团聚尺寸从200 nm左右缩减到100 nm左右;但拉伸会破坏LDPE的结晶结构,劣化其性能;通过掺杂纳米SiO_(2)引入深陷阱能级可以改善LDPE的直流介电性能。经过拉伸的SiO_(2)/LDPE的空间电荷积累得到抑制,电导电流的机制发生改变。通过对电导电流的数据进行拟合处理,发现拉伸后的SiO_(2)/LDPE的电导以离子跳跃电导为主,其跳跃距离减少到1.98 nm左右。SiO_(2)/LDPE相比LDPE直流击穿强度提高约43%,室温拉伸处理后SiO_(2)/LDPE击穿强度降低的主要原因是拉伸过程导致的LDPE基体结构缺陷。 展开更多
关键词 sio_(2)/LDPE 室温拉伸 分散性 空间电荷 电导 击穿强度
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分散剂和超剪切对二氧化硅的协同分散作用
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作者 刘雪霆 毛凌峰 +4 位作者 胡芸 彭溪 樊雪梅 陈严磊 刘文魁 《无机盐工业》 CAS CSCD 北大核心 2023年第3期71-77,共7页
为了提高纳米二氧化硅粉体的分散性,拓展其应用领域,以丙烯酸(AA)、丙烯酸丁酯(BA)为主单体,丙烯酰胺(AM)为功能单体,经自由基溶液聚合法合成了一系列三元共聚物分散剂。采用红外光谱、核磁共振氢谱等对分散剂的分子结构进行了表征,验... 为了提高纳米二氧化硅粉体的分散性,拓展其应用领域,以丙烯酸(AA)、丙烯酸丁酯(BA)为主单体,丙烯酰胺(AM)为功能单体,经自由基溶液聚合法合成了一系列三元共聚物分散剂。采用红外光谱、核磁共振氢谱等对分散剂的分子结构进行了表征,验证了其结构。将此分散剂应用于二氧化硅纳米粉体的表面改性以提高其分散性,同时考察了外加超剪切力场对纳米二氧化硅粉体的分散效果,研究了分散剂用量、超剪切力场强度和分散时间等因素对纳米二氧化硅平均粒径的影响,优化了工艺参数。激光粒度和透射电镜分析结果表明,在分散剂用量为二氧化硅质量的1%、超剪切设备转速为18000 r/min、分散时间为30 min条件下,由于分散剂和超剪切的协同作用,纳米二氧化硅悬浮液的分散性能最佳。 展开更多
关键词 丙烯酸 共聚物分散剂 表面改性 超剪切 纳米二氧化硅
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