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光波导用TiO_2/SiO_2复合薄膜的制备及其性能研究
被引量:
7
1
作者
李小甫
余海湖
姜德生
《光电子技术与信息》
2003年第2期20-25,共6页
用离子自组装成膜技术制备了用作光波导器件的TiO2/SiO2复合薄膜,介绍了薄膜光学常数的测定方法,并研究了光波导的波导特性.结果表明随着TiO2含量的增大。光波导的折射率增加;但同时光波导损耗也将发生变化,一般TiO2占10%时,薄膜的波...
用离子自组装成膜技术制备了用作光波导器件的TiO2/SiO2复合薄膜,介绍了薄膜光学常数的测定方法,并研究了光波导的波导特性.结果表明随着TiO2含量的增大。光波导的折射率增加;但同时光波导损耗也将发生变化,一般TiO2占10%时,薄膜的波导损耗较低.在更高的含量范围内,必须使TiO2分散.
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关键词
离子自组装
纳米薄膜
光波导
光学常数
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职称材料
转移矩阵法的纳米波导导波特性分析
2
作者
肖丙刚
孙润亮
+1 位作者
谢治毅
叶鹏
《中国计量学院学报》
2013年第4期409-414,共6页
一种新型纳米光波导结构,由二氧化硅/硅/空气/硅/二氧化硅五层介质构成,将光能量限制在低介电常数的中间空气狭缝中传输,利用转移矩阵法对其传输特性进行了详细分析,推导出了TM模式的本征色散方程,给出了TM模式电场和磁场分布以及电磁...
一种新型纳米光波导结构,由二氧化硅/硅/空气/硅/二氧化硅五层介质构成,将光能量限制在低介电常数的中间空气狭缝中传输,利用转移矩阵法对其传输特性进行了详细分析,推导出了TM模式的本征色散方程,给出了TM模式电场和磁场分布以及电磁场能量分布的解析表达式.进而利用图解法求解了本证色散方程,分析了硅层和空气层厚度对电磁场能量分布的影响,给出了波导的优化尺寸均在几百纳米左右.对于波导存在一种和两种TM模式的情况进行了分析,单模情况(只存在TM0模)要比多模情况对光能量限制好很多,在多模情况下高阶模要比低价模对光的限制好,这是和一般传统波导不相同的地方;同时光在导波层(低介电常数的介质层)的传播速度要小于光在相应介质中的传播速度,即表现出慢波特性.
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关键词
集成光波导
纳米
转移矩阵
图解法
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职称材料
纳米级铝包覆光波导耦合特性研究
3
作者
陈青梅
冯国英
+4 位作者
孙年春
周国瑞
张一
王建军
马孜
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第2期183-187,共5页
为了研究10nm级铝包覆光波导特征参量对其耦合情况的影响,理论模拟了不同金属层折射率和厚度、不同导波层折射率和厚度情况下的衰减全反射谱,分析了特征参量对耦合情况的影响。通过实验验证了金属层折射率和厚度对其耦合情况的影响,发...
为了研究10nm级铝包覆光波导特征参量对其耦合情况的影响,理论模拟了不同金属层折射率和厚度、不同导波层折射率和厚度情况下的衰减全反射谱,分析了特征参量对耦合情况的影响。通过实验验证了金属层折射率和厚度对其耦合情况的影响,发现纳米级铝膜的复介电常数发生了很大的变化。结果表明,导波层厚度影响激发导模的数目,但对耦合深度影响不大;导波层折射率同时影响激发导模的数目和耦合深度;耦合层金属膜厚度不影响激发导模的模数,但对耦合深度的影响很大;对于相同的耦合层金属膜厚度,金属折射率不同,耦合情况大不相同。研究结果为基于双面金属包覆光波导的脉冲展宽器的制作和设计过程提供了参考。
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关键词
光电子学
纳米级铝包覆光波导
衰减全反射谱
耦合情况
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职称材料
离子自组装成膜技术制备TiO_2/SiO_2薄膜光波导
被引量:
1
4
作者
李小甫
余海湖
姜德生
《光电子.激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第5期478-481,488,共5页
采用离子自组装(ISA)成膜技术制备了TiO2/SiO2复合薄膜光波导,研究了光波导的波导特性。结果表明,随着TiO2含量的增大,光波导的折射率增加,但同时光波导传输损耗增大。一般TiO2占10wt%,此时,光波导中的光损耗较低。在更高的含量范围内,...
采用离子自组装(ISA)成膜技术制备了TiO2/SiO2复合薄膜光波导,研究了光波导的波导特性。结果表明,随着TiO2含量的增大,光波导的折射率增加,但同时光波导传输损耗增大。一般TiO2占10wt%,此时,光波导中的光损耗较低。在更高的含量范围内,必须使TiO2分散。
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关键词
离子自组装
ISA
成膜技术
TiO2/SiO2薄膜
光波导
折射率
传输损耗
光损耗
原文传递
基于半导体材料微纳波导全光逻辑门的研究进展
被引量:
3
5
作者
翟耀
孙阳
+1 位作者
徐学俊
陈少武
《物理》
CAS
北大核心
2010年第2期130-135,共6页
全光逻辑门是全光计算以及全光信号处理系统中关键的光子器件.随着互补金属氧化物半导体(COMS)工艺的发展,基于半导体材料微纳波导全光逻辑门已经成为集成光学领域中的重要方向;尤其是硅基光子集成器件在近些年成为了国际研究热点.文章...
全光逻辑门是全光计算以及全光信号处理系统中关键的光子器件.随着互补金属氧化物半导体(COMS)工艺的发展,基于半导体材料微纳波导全光逻辑门已经成为集成光学领域中的重要方向;尤其是硅基光子集成器件在近些年成为了国际研究热点.文章主要对基于绝缘体上的硅(SOI)和Ⅲ-Ⅴ族化合物材料不同波导结构(马赫-曾德尔干涉仪(Mach-Zehnder interferometer)微环谐振腔和条形波导结构)的全光逻辑门的研究进展进行了介绍,并且在器件的工作速率和功耗方面,分别对上述基于SOI和Ⅲ-Ⅴ族化合物材料三种不同波导结构的全光逻辑门进行了分析和比较.
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关键词
全光逻辑
微环谐振腔
非线性光学
双光子吸收
半导体微纳波导
原文传递
硅基纳米光子集成回路中的模式转换与耦合
被引量:
1
6
作者
李晨蕾
戴道锌
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2017年第5期34-49,共16页
硅纳米光波导具有超高折射率差与超小横截面,因而具有超强光场限制能力,为实现超高集成度纳米光子回路提供了一种极具吸引力的途径。众所周知,在光子集成回路中,模式转换与耦合是实现各种功能器件的重要基础。对硅光子集成回路中的模式...
硅纳米光波导具有超高折射率差与超小横截面,因而具有超强光场限制能力,为实现超高集成度纳米光子回路提供了一种极具吸引力的途径。众所周知,在光子集成回路中,模式转换与耦合是实现各种功能器件的重要基础。对硅光子集成回路中的模式转换与耦合原理、新结构与新器件进行了详细分析和讨论。研究了硅纳米光波导锥形结构中模式传输及演化过程,揭示了其特有的偏振相关模式转换机制。结果表明,当光波导横截面存在不对称性时,可能在某些特定波导宽度范围内产生偏振模杂化,为实现偏振旋转提供了一种方便的方法。通过调控非对称定向耦合结构中模式转换与耦合的相位匹配条件,为实现超小型偏振分束器、大带宽模式复用-解复用器等关键器件提供重要途径。
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关键词
集成光学
硅纳米光波导
模式耦合
模式转换
偏振
复用
原文传递
题名
光波导用TiO_2/SiO_2复合薄膜的制备及其性能研究
被引量:
7
1
作者
李小甫
余海湖
姜德生
机构
武汉理工大学光纤传感技术研究中心
出处
《光电子技术与信息》
2003年第2期20-25,共6页
基金
湖北省自然科学基金(2001j2015)
文摘
用离子自组装成膜技术制备了用作光波导器件的TiO2/SiO2复合薄膜,介绍了薄膜光学常数的测定方法,并研究了光波导的波导特性.结果表明随着TiO2含量的增大。光波导的折射率增加;但同时光波导损耗也将发生变化,一般TiO2占10%时,薄膜的波导损耗较低.在更高的含量范围内,必须使TiO2分散.
关键词
离子自组装
纳米薄膜
光波导
光学常数
Keywords
ionic self-assembly
nanometer
thin film
optical
waveguide
optical
constants
分类号
TN304.055 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
转移矩阵法的纳米波导导波特性分析
2
作者
肖丙刚
孙润亮
谢治毅
叶鹏
机构
中国计量学院信息工程学院
出处
《中国计量学院学报》
2013年第4期409-414,共6页
文摘
一种新型纳米光波导结构,由二氧化硅/硅/空气/硅/二氧化硅五层介质构成,将光能量限制在低介电常数的中间空气狭缝中传输,利用转移矩阵法对其传输特性进行了详细分析,推导出了TM模式的本征色散方程,给出了TM模式电场和磁场分布以及电磁场能量分布的解析表达式.进而利用图解法求解了本证色散方程,分析了硅层和空气层厚度对电磁场能量分布的影响,给出了波导的优化尺寸均在几百纳米左右.对于波导存在一种和两种TM模式的情况进行了分析,单模情况(只存在TM0模)要比多模情况对光能量限制好很多,在多模情况下高阶模要比低价模对光的限制好,这是和一般传统波导不相同的地方;同时光在导波层(低介电常数的介质层)的传播速度要小于光在相应介质中的传播速度,即表现出慢波特性.
关键词
集成光波导
纳米
转移矩阵
图解法
Keywords
optical
integrated
waveguide
nanometer
transfer matrix method
graphical method
分类号
TN252 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
纳米级铝包覆光波导耦合特性研究
3
作者
陈青梅
冯国英
孙年春
周国瑞
张一
王建军
马孜
机构
四川大学电子信息学院
中国工程物理研究院应用电子学研究所
西南技术物理研究所
出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第2期183-187,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(60890200
10976017
+1 种基金
10876022)
固体激光技术国家级重点实验室基金资助项目
文摘
为了研究10nm级铝包覆光波导特征参量对其耦合情况的影响,理论模拟了不同金属层折射率和厚度、不同导波层折射率和厚度情况下的衰减全反射谱,分析了特征参量对耦合情况的影响。通过实验验证了金属层折射率和厚度对其耦合情况的影响,发现纳米级铝膜的复介电常数发生了很大的变化。结果表明,导波层厚度影响激发导模的数目,但对耦合深度影响不大;导波层折射率同时影响激发导模的数目和耦合深度;耦合层金属膜厚度不影响激发导模的模数,但对耦合深度的影响很大;对于相同的耦合层金属膜厚度,金属折射率不同,耦合情况大不相同。研究结果为基于双面金属包覆光波导的脉冲展宽器的制作和设计过程提供了参考。
关键词
光电子学
纳米级铝包覆光波导
衰减全反射谱
耦合情况
Keywords
optoelectronics
nanometer aluminium-cladding optical waveguide
attenuation total reflection spectrum
coupling condition
分类号
TN252 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
离子自组装成膜技术制备TiO_2/SiO_2薄膜光波导
被引量:
1
4
作者
李小甫
余海湖
姜德生
机构
武汉理工大学光纤传感技术研究中心
出处
《光电子.激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第5期478-481,488,共5页
基金
湖北省自然科学基金资助项目(2001j2015)
文摘
采用离子自组装(ISA)成膜技术制备了TiO2/SiO2复合薄膜光波导,研究了光波导的波导特性。结果表明,随着TiO2含量的增大,光波导的折射率增加,但同时光波导传输损耗增大。一般TiO2占10wt%,此时,光波导中的光损耗较低。在更高的含量范围内,必须使TiO2分散。
关键词
离子自组装
ISA
成膜技术
TiO2/SiO2薄膜
光波导
折射率
传输损耗
光损耗
Keywords
ionic self-assembly(ISA)
nanometer
thin film
optical
waveguide
分类号
TN252 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
基于半导体材料微纳波导全光逻辑门的研究进展
被引量:
3
5
作者
翟耀
孙阳
徐学俊
陈少武
机构
中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室
出处
《物理》
CAS
北大核心
2010年第2期130-135,共6页
文摘
全光逻辑门是全光计算以及全光信号处理系统中关键的光子器件.随着互补金属氧化物半导体(COMS)工艺的发展,基于半导体材料微纳波导全光逻辑门已经成为集成光学领域中的重要方向;尤其是硅基光子集成器件在近些年成为了国际研究热点.文章主要对基于绝缘体上的硅(SOI)和Ⅲ-Ⅴ族化合物材料不同波导结构(马赫-曾德尔干涉仪(Mach-Zehnder interferometer)微环谐振腔和条形波导结构)的全光逻辑门的研究进展进行了介绍,并且在器件的工作速率和功耗方面,分别对上述基于SOI和Ⅲ-Ⅴ族化合物材料三种不同波导结构的全光逻辑门进行了分析和比较.
关键词
全光逻辑
微环谐振腔
非线性光学
双光子吸收
半导体微纳波导
Keywords
all-
optical
logic, microring resonator, nonlinear
optic
s, two-photon absorption, micro-
nanometer
semiconductor
waveguide
分类号
TN256 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
硅基纳米光子集成回路中的模式转换与耦合
被引量:
1
6
作者
李晨蕾
戴道锌
机构
浙江大学光电科学与技术学院光及电磁波研究中心
出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2017年第5期34-49,共16页
基金
国家自然科学基金优秀青年基金(61422510)
国家自然科学基金委员会与香港研究资助局联合科研基金(61431166001)
文摘
硅纳米光波导具有超高折射率差与超小横截面,因而具有超强光场限制能力,为实现超高集成度纳米光子回路提供了一种极具吸引力的途径。众所周知,在光子集成回路中,模式转换与耦合是实现各种功能器件的重要基础。对硅光子集成回路中的模式转换与耦合原理、新结构与新器件进行了详细分析和讨论。研究了硅纳米光波导锥形结构中模式传输及演化过程,揭示了其特有的偏振相关模式转换机制。结果表明,当光波导横截面存在不对称性时,可能在某些特定波导宽度范围内产生偏振模杂化,为实现偏振旋转提供了一种方便的方法。通过调控非对称定向耦合结构中模式转换与耦合的相位匹配条件,为实现超小型偏振分束器、大带宽模式复用-解复用器等关键器件提供重要途径。
关键词
集成光学
硅纳米光波导
模式耦合
模式转换
偏振
复用
Keywords
integrated
optic
s
silicon
nanometer
optical
waveguide
mode coupling
mode conversion
polarization
multiplexing
分类号
TN256 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
光波导用TiO_2/SiO_2复合薄膜的制备及其性能研究
李小甫
余海湖
姜德生
《光电子技术与信息》
2003
7
下载PDF
职称材料
2
转移矩阵法的纳米波导导波特性分析
肖丙刚
孙润亮
谢治毅
叶鹏
《中国计量学院学报》
2013
0
下载PDF
职称材料
3
纳米级铝包覆光波导耦合特性研究
陈青梅
冯国英
孙年春
周国瑞
张一
王建军
马孜
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2012
0
下载PDF
职称材料
4
离子自组装成膜技术制备TiO_2/SiO_2薄膜光波导
李小甫
余海湖
姜德生
《光电子.激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
1
原文传递
5
基于半导体材料微纳波导全光逻辑门的研究进展
翟耀
孙阳
徐学俊
陈少武
《物理》
CAS
北大核心
2010
3
原文传递
6
硅基纳米光子集成回路中的模式转换与耦合
李晨蕾
戴道锌
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2017
1
原文传递
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