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CSRm Ultra-High Vacuum System 被引量:4
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作者 杨晓天 蒙峻 +6 位作者 张军辉 张喜平 胡振军 侯生军 张新俊 郝斌干 吴慧敏 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2005年第5期3021-3024,共4页
The new accelerator project ( HIRFL-CSR ) constructed at the Heavy Ion Research Facility in Lanzhou (HIRFL) is approaching completion. It is a multipurpose cooler-storage-ring system, consisting of a maim ring (C... The new accelerator project ( HIRFL-CSR ) constructed at the Heavy Ion Research Facility in Lanzhou (HIRFL) is approaching completion. It is a multipurpose cooler-storage-ring system, consisting of a maim ring (CSRm), an experimental ring (CSRe) and two transfer beam lines. The UHV system of CSRm is the most representative subsystem in the project. To minimize the beam loss due to charge exchange of the heavy ions with the residual gas molecules, the pressure of the CSRm vacuum system should reach 3.5 × 10^-9 Pa (N2 equivalent) and the pressure of 8 × 10^-10 Pa is expected for very heavy ion such as uranium to make its lifetime longer than 50 s in the ring. Now, the vacuum system of CSRm has been completed and a pressure less than 5 × 10^-10 Pa has been obtained. In this paper the layout of the CSRm vacuum system, the vacuum equipment in CSRm, the treatment method for the CSRm vacuum chambers, and the installation and operation of the system will be reported. 展开更多
关键词 ooling-storage-ring ultra-high vacuum system vacuum degassing bake-out
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Thin relaxed SiGe layer grown on Ar^+ ion implanted Si substrate by ultra-high vacuum chemical vapor deposition
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作者 CHENChang-Chun YUBen-Hai +2 位作者 LIUJiang-Feng CAOJian-Qing ZHUDe-Zhang 《Nuclear Science and Techniques》 SCIE CAS CSCD 2005年第3期149-152,共4页
Thin strain-relaxed Si0.81Ge0.19 films (95 nm) on the Ar+ ion implanted Si substrates with different ener- gies (30 keV,40 keV and 60 keV) at the same implanted dose (3×1015cm-2) were grown by ultra high vacuum c... Thin strain-relaxed Si0.81Ge0.19 films (95 nm) on the Ar+ ion implanted Si substrates with different ener- gies (30 keV,40 keV and 60 keV) at the same implanted dose (3×1015cm-2) were grown by ultra high vacuum chemi- cal vapor deposition (UHVCVD). Rutherford backscattering/ion channeling (RBS/C),Raman spectra as well as atomic force microscopy (AFM) were used to characterize these SiGe films. Investigations by RBS/C demonstrate that these thin Si0.81Ge0.19 films were epitaxially grown on the Ar+ ion implanted Si substrates,although there existed lots of crystal defects. The relaxation extent of Si0.81Ge0.19 films on the Ar+ implanted Si substrates is larger than that in the unimplanted case,which were verified by Raman spectra. Considering the relaxation extent of strain,surface roughness and crystal defects in these SiGe films,the thin relaxed SiGe film on the 30 keV Ar+ implanted Si substrate is optimal. 展开更多
关键词 约束松弛 真空化学蒸气沉积 离子注入 锗化硅 半导体薄膜
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XiPAF重离子同步加速器超高真空系统设计
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作者 范永山 杜畅通 +7 位作者 张化一 郑曙昕 姚红娟 邢庆子 王学武 闫逸花 王敏文 王忠明 《工程科学与技术》 北大核心 2025年第1期339-346,共8页
在重离子同步加速器运行过程中需要维持超高真空,降低束流与残余气体的碰撞概率,从而提高束流寿命。具体要求一般为:真空管道内的平均真空度达到超高真空度(10^(–10)Pa量级),并且管道内各处真空度均优于设计值。本文研究了重离子同步... 在重离子同步加速器运行过程中需要维持超高真空,降低束流与残余气体的碰撞概率,从而提高束流寿命。具体要求一般为:真空管道内的平均真空度达到超高真空度(10^(–10)Pa量级),并且管道内各处真空度均优于设计值。本文研究了重离子同步加速器中超高真空系统的实现方法,即使真空泵不能均匀分布在束线上,也可以实现真空管道内各处真空度均优于设计指标。采用的主要技术路线是,降低束流管道材料的比放气率,同时增大真空泵组的抽速。具体实施方案是:通过在真空管道内表面镀非蒸发型吸气剂(NEG)薄膜及高温烘烤真空管道降低束流管道材料的比放气率;设计使用大抽速钛升华泵(TSP)以增加真空泵抽速。其中,NEG镀膜技术既可以阻隔真空管道内壁的放气,又有吸气的效果,可以提高真空管道内各处的真空度。以上超高真空系统实现方法已应用于西安200 MeV质子应用装置(XiPAF)重离子升级工程中的重离子同步加速器的真空系统设计。真空管道内表面的NEG薄膜的吸速为0.5 L/(s·cm^(2));在重离子同步加速器上配置36台钛升华泵,每台钛升华泵对氢气的有效抽气量为2200 L/s;应用Molflow+软件模拟XiPAF重离子同步加速器真空管道内部的真空度分布。通过设计优化,计算表明该加速器在运行时预计平均真空度可以小于5×10^(–10)Pa,沿环形管道各处的真空度也均小于5×10^(–10)Pa,满足同步环物理设计要求。 展开更多
关键词 重离子同步加速器 超高真空系统 钛升华泵 比放气率 NEG薄膜
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超高真空环境下TC4钛合金和ZrO_(2)陶瓷的出气性能研究
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作者 焦纪强 蒙峻 +5 位作者 谢文君 刘建龙 魏宁斐 罗成 郭方准 王润成 《材料导报》 北大核心 2025年第1期281-285,共5页
内衬超薄壁真空腔体是离子加速器真空系统的核心元件,为了获得超高真空环境,对内衬材料的出气性能有较高要求。基于新型双通道出气率实验装置,完成了TC4钛合金和ZrO_(2)陶瓷在常温抽气、不同烘烤温度及烘烤结束后不同温度下的出气率实验... 内衬超薄壁真空腔体是离子加速器真空系统的核心元件,为了获得超高真空环境,对内衬材料的出气性能有较高要求。基于新型双通道出气率实验装置,完成了TC4钛合金和ZrO_(2)陶瓷在常温抽气、不同烘烤温度及烘烤结束后不同温度下的出气率实验;通过数值拟合方法获得了材料在不同加热温度下的出气率表达式;搭建了钛合金内衬超薄壁真空腔体压力实验装置,通过实验和仿真对比分析了不同工况下的压力分布。结果表明,烘烤温度越高,最终出气率越低,250℃烘烤时出气率较150℃时降低了约21%。经过高温烘烤后,当材料温度从50℃升高至210℃时,两种材料的出气率呈指数增加趋势,但钛合金的出气率低于陶瓷的出气率。常温抽气和烘烤过程中真空腔体压力梯度较小,对其进行升温时中间位置压力变化幅度较大,当温度为100℃,中间位置压力从初始值1.41×10^(-9)Pa升高至4.51×10^(-9)Pa;压力仿真结果和实验结果一致,平均相对偏差为6.86%。以上结果填补了钛合金和陶瓷出气率数据库,能够预测及评估真空腔体不同工况下的极限压力,为超高、极高真空获取提供数据支撑。 展开更多
关键词 离子加速器 超高真空 TC4钛合金 ZrO_(2)陶瓷 出气率 压力分布
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基于洁净真空的半导体测试设备的研发
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作者 唐榕 卢少波 韩永超 《真空》 2025年第1期62-66,共5页
半导体设备的洁净度对器件性能极为重要,真空环境下悬浮颗粒和残余气体含量低,更接近于真正的清洁真空。洁净真空环境的获得与保持是半导体工业生产的关键,涉及多种学科和技术。本文从腔室材料选择、腔室设计和制造、内表面清洗和检测... 半导体设备的洁净度对器件性能极为重要,真空环境下悬浮颗粒和残余气体含量低,更接近于真正的清洁真空。洁净真空环境的获得与保持是半导体工业生产的关键,涉及多种学科和技术。本文从腔室材料选择、腔室设计和制造、内表面清洗和检测技术、包装和转运等方面详细介绍了洁净真空系统工艺设备的研制过程。所研发的设备在带载情况下可快速获得1×10^(-4)Pa工作真空度,残余气体和颗粒度指标均满足工艺要求。 展开更多
关键词 洁净真空 半导体 颗粒度 超高真空
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基于^(7)Li冷原子操控的超高真空测量
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作者 成永军 董猛 +5 位作者 孙雯君 吴翔民 张亚飞 贾文杰 冯村 张瑞芳 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第22期63-72,共10页
国际单位制的重新定义促进真空计量体系向量子化转变,真空参数的量子化是国际真空测量学领域目前最具引领性、前瞻性和颠覆性的研究方向之一,量子真空测量是基于微观粒子体系的量子效应,利用光学手段和量子力学理论实现真空参数的精密测... 国际单位制的重新定义促进真空计量体系向量子化转变,真空参数的量子化是国际真空测量学领域目前最具引领性、前瞻性和颠覆性的研究方向之一,量子真空测量是基于微观粒子体系的量子效应,利用光学手段和量子力学理论实现真空参数的精密测量.本文通过自主研制的冷原子真空测量装置操控^(7)Li原子,利用锂冷原子在磁光阱和磁阱中的逃逸损失特性开展了超高真空测量实验研究,结果表明,针对N_(2),Ar,He,H2四种真空常用气体分子,在3×10^(-8)-4×10^(-5)Pa真空范围,^(7)Li冷原子真空测量的不确定度最大为7.6%-6.0%(k=2),^(7)Li冷原子的真空反演结果与传统电离真空计的测量结果具有良好的一致性,其相对灵敏度因子的最大偏差小于8%,验证了冷原子量子真空测量的准确性和可靠性,研究成果对促进全新跨代真空测量技术发展,满足空间科学探测、超精密测量与高端装备制造等需求具有重要意义. 展开更多
关键词 超高真空测量 冷原子 磁光阱 磁阱
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AlGaAs光电阴极表面清洗技术研究
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作者 陈鑫龙 王震 +5 位作者 杨炳辰 贾子昕 徐智 崔佳华 张晶 周翔 《光电子技术》 CAS 2024年第3期195-202,共8页
针对高Al组分AlGaAs光电阴极设计了不同清洗方法,通过XPS对不同清洗条件下的材料表面元素成分进行了测试分析,并结合SEM和高倍显微镜对光电阴极材料表面缺陷进行了分析研究。在超高真空腔体中进行了透射式AlGaAs光电阴极及其像增强管的... 针对高Al组分AlGaAs光电阴极设计了不同清洗方法,通过XPS对不同清洗条件下的材料表面元素成分进行了测试分析,并结合SEM和高倍显微镜对光电阴极材料表面缺陷进行了分析研究。在超高真空腔体中进行了透射式AlGaAs光电阴极及其像增强管的制备,测试了器件的光谱响应曲线和图像质量。结果表明,采用H_(2)SO_(4)/H_(2)O_(2)/H_(2)O溶液和HCl/H_(2)O溶液的化学清洗工艺,结合等离子体物理清洗工艺,可有效去除AlGaAs表面的氧化物、有机颗粒和杂质C,提升器件的光谱灵敏度和图像质量。 展开更多
关键词 铝镓砷光电阴极 超高真空 光谱响应 化学清洗
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不锈钢管道的比放气率研究
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作者 范永山 杜畅通 +6 位作者 张化一 郑曙昕 邢庆子 王学武 闫逸花 王敏文 王忠明 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第9期797-804,共8页
不锈钢管道的比放气率是超高真空系统设计的关键参数,降低比放气率是提高真空度的有效方法之一。在西安200 MeV质子应用装置(XiPAF)的重离子升级工程中,重离子同步环真空管道内要求达到超高真空度(10−10 Pa量级),要求不锈钢管道的比放... 不锈钢管道的比放气率是超高真空系统设计的关键参数,降低比放气率是提高真空度的有效方法之一。在西安200 MeV质子应用装置(XiPAF)的重离子升级工程中,重离子同步环真空管道内要求达到超高真空度(10−10 Pa量级),要求不锈钢管道的比放气率不超过1.5×10^(−13)Pa·m^(3)/(s·cm^(2))。文章通过研究降低不锈钢管道比放气率的方法,得到一套不锈钢管道处理方案,使得不锈钢管道的比放气率不大于此数值。降低比放气率的方案包括三个关键问题,即不锈钢材料的选取、真空炉高温烘烤方案选择和加热带烘烤方案选择。论文设计了实验方案,定制加工了四根相同尺寸的不锈钢实验管道,304和316L两种材料各两根,四根管道分为两组分别进行真空炉500℃和950℃烘烤,每根管道做四次加热带烘烤实验,烘烤温度依次设定为150℃、200℃、250℃和300℃,并测量每根管道最终的比放气率。为测量不锈钢实验管道的比放气率,搭建了一套比放气率测试平台。测量结果表明,加工厂家提供的304和316L两种不锈钢材料的初始管道比放气率的大小与材料种类无特定规律;实验中真空炉或者加热带的烘烤均能使比放气率降低1~2个数量级;管道依次进行真空炉950℃烘烤和加热带300℃烘烤之后,比放气率可以达到5×10^(−14)Pa·m^(3)/(s·cm^(2))以下,满足XiPAF重离子升级工程要求。 展开更多
关键词 比放气率 超高真空 不锈钢管道 烘烤温度
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长沙至衡阳低真空管道磁浮线路方案动力性能评估
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作者 黄成名 杨文东 +2 位作者 王英杰 鲍慧明 张继鹏 《铁道勘察》 2024年第1期72-78,共7页
低温超高真空管磁悬浮是当前世界各国争相发展的超高速交通方式之一。目前,该研究正处于起步阶段,有必要对其动力性能进行评估。以长沙至衡阳低真空管道磁悬浮试验线为例,建立低温超导电动悬浮制式的车辆-线路耦合模型,分析磁浮车辆通... 低温超高真空管磁悬浮是当前世界各国争相发展的超高速交通方式之一。目前,该研究正处于起步阶段,有必要对其动力性能进行评估。以长沙至衡阳低真空管道磁悬浮试验线为例,建立低温超导电动悬浮制式的车辆-线路耦合模型,分析磁浮车辆通过该段线路时的动力性能。首先,计算得到以1 000 km/h速度运行时的车体垂向和横向加速度、悬浮力及导向力情况。在此基础上,绘制各动力性能指标的频数直方图,分析其在不同区间的分布情况,研究各动力性能指标随曲线半径的变化规律。研究结果表明,磁浮车辆通过长沙至衡阳线路时,计算得到的车体垂向和横向加速度均低于舒适性限值,动力性能满足要求;从车辆动力性能角度来看,缓和曲线长度设置为1 400 m合理;曲线半径20 000 m、车速1 000 km/h与横坡为16°相匹配,各项动力性能指标较优。研究结果可为超高速磁悬浮线路设计提供参考建议。 展开更多
关键词 超高速磁浮系统 低温超导 真空管道 动力学 线路设计
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超高真空光学显微系统的设计
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作者 江虹 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2024年第3期374-378,共5页
电子显微镜等仪器是研究材料微观形貌的重要工具,常工作在真空环境。为了快速瞄准电子显微镜测量的目标区域,有必要引入一种辅助光学显微镜,直接提供样品区域的空间图像。文章介绍了一种用于超高真空环境直接观测的超高真空光学显微系... 电子显微镜等仪器是研究材料微观形貌的重要工具,常工作在真空环境。为了快速瞄准电子显微镜测量的目标区域,有必要引入一种辅助光学显微镜,直接提供样品区域的空间图像。文章介绍了一种用于超高真空环境直接观测的超高真空光学显微系统的设计,光学显微物镜具有21.8mm的长工作距离,实现了40倍的光学放大和实测横向1.28μm,纵向1.59μm的高分辨率成像,足以辅助多种电子显微类仪器装置搜索目标区域。该物镜分为两个镜组,其中前镜组在超高真空内,后镜组在超高真空外,前后镜组距离680mm,并通过真空六维调整架控制整个显微物镜对目标样品进行扫描,对改进电子显微镜的探测效率起到非常明显的效果。此外,该显微镜也可应用于真空机械剥离等其他需要光学辅助的系统。 展开更多
关键词 几何光学 光学显微物镜 超高真空 超长镜筒 反向光学设计
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分子束外延设备国内外进展及展望
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作者 陈峰武 吕文利 +2 位作者 龚欣 薛勇 巩小亮 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2024年第9期1494-1503,共10页
分子束外延(MBE)设备具有超高真空、超高精度、超高均匀性薄膜沉积等特点,是化合物半导体材料、器件制造的核心工艺装备,被广泛用于固态微波射频器件、半导体激光器、探测器等外延薄膜制备。本文在简要介绍MBE设备及技术特点的基础上,... 分子束外延(MBE)设备具有超高真空、超高精度、超高均匀性薄膜沉积等特点,是化合物半导体材料、器件制造的核心工艺装备,被广泛用于固态微波射频器件、半导体激光器、探测器等外延薄膜制备。本文在简要介绍MBE设备及技术特点的基础上,首先详细阐述了Riber、Veeco、DCA等国际知名厂商的MBE设备发展历程及产品现状;接着对中国电科48所(CETC48)、沈阳科仪(SKY)、费勉仪器(FERMI)等国内代表性厂商的MBE设备国产化进展情况进行介绍;最后对MBE技术的未来发展趋势进行了展望,并指出当前MBE设备国产替代恰逢其时,需要抓住机遇,克服挑战,快速推进我国MBE设备的技术迭代和产业化应用,为我国科技自立自强提供重要支撑。 展开更多
关键词 分子束外延设备 化合物半导体 国产化 超高真空
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Development of a high-power and ultra-high-vacuum waveguide coupler working at C/X band 被引量:1
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作者 贺祥 赵风利 王湘鉴 《Chinese Physics C》 SCIE CAS CSCD 2015年第5期117-120,共4页
Waveguide directional couplers working at 5.712/11.9924 GHz are developed. Even holes symmetrical to the structure are drilled along the central line of the narrow-wall of the waveguide, which are used to couple the e... Waveguide directional couplers working at 5.712/11.9924 GHz are developed. Even holes symmetrical to the structure are drilled along the central line of the narrow-wall of the waveguide, which are used to couple the electromagnetic power from the main-waveguide to the sub-waveguide. The final prototypes have achieved satisfactory performances of high-power, ultra-high-vacuum and high-directivity. The microwave measurement results are also qualified. 展开更多
关键词 high-POWER ultra-high-vacuum high-directivity C-BAND X-BAND waveguide coupler
原文传递
真空即食鸭肉制品中致松包细菌的溯源及灭菌条件探讨
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作者 黄惠琳 韦涛 +7 位作者 李鑫 谢耐珍 黄丽姣 李雪梅 王茵 姚海棠 唐雍 唐臻睿 《食品安全质量检测学报》 CAS 2024年第19期122-130,共9页
目的检测导致真空即食鸭肉制品松包的细菌,探讨致松包菌的灭菌条件,降低松包产品带来的食品安全风险。方法首先对松包和合格产品进行微生物检测,找出导致产品松包的微生物;其次对鸭肉制品原料、不同加工程度的鸭肉制品、生产车间环境、... 目的检测导致真空即食鸭肉制品松包的细菌,探讨致松包菌的灭菌条件,降低松包产品带来的食品安全风险。方法首先对松包和合格产品进行微生物检测,找出导致产品松包的微生物;其次对鸭肉制品原料、不同加工程度的鸭肉制品、生产车间环境、生产工具等环节进行微生物检测,寻找污染源;对本实验分离的植物乳杆菌进行菌液的温度耐受实验,探究植物乳杆菌温度耐受条件及灭活温度条件;并比较在相同的煮制条件下,不同解冻方式和超高压灭菌参数与植物乳杆菌的阳性检出率的相关性。结果松包鸭肉制品中的主要优势菌为植物乳杆菌,该菌来源于鸭肉制品生原料。植物乳杆菌的菌液在60℃,10 min处理后,存活菌落总数急剧减少。进一步的研究发现,静水解冻的鸭肉制品在后续的产品灭菌表现中优于室温空气解冻的鸭肉制品。适合本产品的超高压灭菌最佳参数为600MPa,5min。结论鸭肉制品生原料中的植物乳杆菌,在煮制环节未被完全杀灭是真空即食鸭肉制品松包的主要原因。通过选择合适的解冻方式和超高压灭菌参数,有助于食品中微生物的杀灭,降低松包率。企业应对产品生产流程进行监控,制定相应的防控措施,确保食品安全。 展开更多
关键词 真空即食鸭肉制品 松包 植物乳杆菌 超高压灭菌 质量控制 食品安全
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超超临界高铬转子的工程化制造
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作者 季雪 曹志远 +1 位作者 张建国 时立佳 《大型铸锻件》 2024年第2期35-37,43,共4页
在国内外均使用ESR钢锭生产超超临界机组高铬转子的大环境下,采用VCD冶炼技术,解决了成分偏析、开裂及致密性、晶粒细化及均匀化控制、力学性能等问题,成功交付了四支高铬转子,其化学成分、无损检测及性能完全符合交货要求,实现了小批... 在国内外均使用ESR钢锭生产超超临界机组高铬转子的大环境下,采用VCD冶炼技术,解决了成分偏析、开裂及致密性、晶粒细化及均匀化控制、力学性能等问题,成功交付了四支高铬转子,其化学成分、无损检测及性能完全符合交货要求,实现了小批量稳定制造。 展开更多
关键词 超超临界 双真空 高铬转子 稳定制造
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低真空管道磁悬浮试验园区通信方案研究
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作者 周久斯 《数字通信世界》 2024年第10期56-58,共3页
低真空管道超高速磁悬浮列车具备高速、低能耗、低污染等特点,其应用将推动“超级城市群”的资源优化配置,提高人员及货物流动性,加速经济发展,实现清洁低碳、高效快速出行的新型交通运输方式。在试验线建设过程中,通信设计应满足试验... 低真空管道超高速磁悬浮列车具备高速、低能耗、低污染等特点,其应用将推动“超级城市群”的资源优化配置,提高人员及货物流动性,加速经济发展,实现清洁低碳、高效快速出行的新型交通运输方式。在试验线建设过程中,通信设计应满足试验园区智能化、数字化的统一管理需求,为园区提供安全防护、系统互通互联、实时监控等服务。本项目在试验控制中心设立数据中心,为园区各系统提供统一调度平台。 展开更多
关键词 低真空管道 超高速磁悬浮 园区智慧系统 安防系统 视频监控系统
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高性能多功能超高真空金属二次电子发射特性测试平台 被引量:19
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作者 张娜 曹猛 +1 位作者 崔万照 张海波 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期554-558,共5页
介绍了一套高性能多功能的超高真空金属二次电子发射特性测试平台。该平台包含了超高真空系统、测试系统、原位表面处理系统和控制与数据处理系统四个部分,实现了在10-8Pa的超高真空下准确测试金属材料的二次电子发射特性。该平台采用... 介绍了一套高性能多功能的超高真空金属二次电子发射特性测试平台。该平台包含了超高真空系统、测试系统、原位表面处理系统和控制与数据处理系统四个部分,实现了在10-8Pa的超高真空下准确测试金属材料的二次电子发射特性。该平台采用了偏压电流法和收集极法两种测试二次电子产额的方法,配置了全自动控制的双通道筒镜型电子能谱仪测试二次电子能谱,集成了氩离子清洗和热处理部件研究表面状况对二次电子发射特性的影响。在测试原理及功能介绍的基础上,展示了二次电子发射特性的典型测试结果。 展开更多
关键词 物理电子学 二次电子发射 测试平台 超高真空系统
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空间行波管极高真空的获得与测量 被引量:12
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作者 刘燕文 孟宪展 +5 位作者 田宏 李芬 石文奇 朱虹 谷兵 王小霞 《真空》 CAS 2018年第5期25-28,共4页
空间行波管广泛应用于雷达、卫星通信等方面,在器件制造过程中,真空是空间行波管工作的基础条件。利用极高真空排气设备获得了极限真空优于5×10^(-9)Pa的空间行波管;采用四级质谱计分析了空间行波管的排气过程和极限真空状态下的... 空间行波管广泛应用于雷达、卫星通信等方面,在器件制造过程中,真空是空间行波管工作的基础条件。利用极高真空排气设备获得了极限真空优于5×10^(-9)Pa的空间行波管;采用四级质谱计分析了空间行波管的排气过程和极限真空状态下的残气质谱,并由此确定了空间行波管经济可行的烘烤排气时间。利用四极质谱计对空间行波管进行了检漏实验,结果表明四极质谱计具有很高的灵敏度,非常适合极高真空的检漏。建立了放气量极低的测量空间行波管真空度的测试平台。对空间行波管的老练、高低温实验、存储等过程的真空度进行了测试。空间行波管在进行老练时,管内真空度下降约一个数量级,经过140h老练后,在老练离子泵的抽气作用下,管内真空度上升到5.0×10^(-8)Pa,这时去掉老练离子泵,其真空度基本保持不变。最后进行了高低温冲击实验,并在室温下存储6个月,真空保持良好。这些结果为分析空间行波管质量提供了很好的依据。 展开更多
关键词 空间行波管 极高真空 四极质谱计 残余气体 真空测量
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HIRFL-CSR超高真空烘烤系统 被引量:9
18
作者 张军辉 杨晓天 +4 位作者 蒙峻 胡振军 张喜平 候生军 牛志伟 《真空》 CAS 北大核心 2003年第2期27-30,共4页
为了满足兰州重离子加速器冷却储存环 6× 10 - 9Pa的真空度要求 ,必须建立温度在 2 0 0~ 30 0℃、控制良好的在线烘烤系统。主要从热电偶、加热器及绝热套 ;功率计算及分布 ;烘烤控制 ;样机测试结果等几个方面介绍兰州重离子加速... 为了满足兰州重离子加速器冷却储存环 6× 10 - 9Pa的真空度要求 ,必须建立温度在 2 0 0~ 30 0℃、控制良好的在线烘烤系统。主要从热电偶、加热器及绝热套 ;功率计算及分布 ;烘烤控制 ;样机测试结果等几个方面介绍兰州重离子加速器冷却储存环 (HIRFL- CSR)超高真空烘烤系统。 展开更多
关键词 储存环 超高真空烧烤 加热及绝热夹克 烘烤控制
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CSNS加速器真空控制系统的设计与实现 被引量:4
19
作者 康明涛 黄涛 +8 位作者 张玉亮 何泳成 王金灿 金大鹏 吴煊 郭凤琴 朱鹏 王林 薛康佳 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第8期62-68,共7页
中国散裂中子源(CSNS)加速器真空控制系统负责真空数据采集、设备监控和闸板阀控制与联锁,是设备运行和故障诊断以及超高真空保持的重要保障。本文介绍了加速器真空需求,基于实验物理及工业控制系统EPICS软件框架的真空控制系统设计与实... 中国散裂中子源(CSNS)加速器真空控制系统负责真空数据采集、设备监控和闸板阀控制与联锁,是设备运行和故障诊断以及超高真空保持的重要保障。本文介绍了加速器真空需求,基于实验物理及工业控制系统EPICS软件框架的真空控制系统设计与实现,使用横河可编程逻辑控制器PLC控制与联锁设备,摩莎MOXA工控机监测真空状态,EPICS PV数据直接进入声音报警系统和历史数据库系统,为工作人员及时发现和处理问题、进行后续数据分析和机器研究等提供了便捷途径和可靠保障。目前,该系统已完成现场安装和调试,并已正式投入运行。运行结果表明,该系统具有稳定性好、可靠性高、人机交互友好的特点,很好地满足了加速器真空控制系统运行的需要。 展开更多
关键词 中国散裂中子源 超高真空 真空控制系统 实验物理及工业控制系统
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多断口真空快速隔离开关试验研究 被引量:4
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作者 刘彬 石亲民 +2 位作者 吕玮 杨兵 石巍 《高压电器》 CAS CSCD 北大核心 2018年第2期56-61,共6页
快速隔离开关是混合式直流断路器的关键部件之一,其分合闸时间在数毫秒以内的,常规断路器难以提供如此快速的操作速度。文中在借鉴已有真空开关研制经验的基础上,从分析直流快速隔离开关的需求入手,重点对真空小间隙应用在直流隔离、无... 快速隔离开关是混合式直流断路器的关键部件之一,其分合闸时间在数毫秒以内的,常规断路器难以提供如此快速的操作速度。文中在借鉴已有真空开关研制经验的基础上,从分析直流快速隔离开关的需求入手,重点对真空小间隙应用在直流隔离、无弧分断场合的情况进行有针对性的系列试验,同时借助试验和理论分析,解决了多断口均压问题,使中压真空开关得以扩展到高压直流隔离开关应用领域。研制出一台分闸速度小于3 ms的200 k V直流快速隔离开关,且该方案具有易于向高压扩充的优势,能满足混合式直流断路器的应用需求。 展开更多
关键词 超高速开关 真空灭弧室 多断口 均压 混合式直流断路器
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