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A two-dimensional analytical model for channel potential and threshold voltage of short channel dual material gate lightly doped drain MOSFET 被引量:1
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作者 Shweta Tripathi 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第11期620-625,共6页
An analytical model for the channel potential and the threshold voltage of the short channel dual-material-gate lightly doped drain (DMG-LDD) metal-oxide-semiconductor field-effect transistor (MOSFET) is presented... An analytical model for the channel potential and the threshold voltage of the short channel dual-material-gate lightly doped drain (DMG-LDD) metal-oxide-semiconductor field-effect transistor (MOSFET) is presented using the parabolic approximation method. The proposed model takes into account the effects of the LDD region length, the LDD region doping, the lengths of the gate materials and their respective work functions, along with all the major geometrical parameters of the MOSFET. The impact of the LDD region length, the LDD region doping, and the channel length on the channel potential is studied in detail. Furthermore, the threshold voltage of the device is calculated using the minimum middle channel potential, and the result obtained is compared with the DMG MOSFET threshold voltage to show the improvement in the threshold voltage roll-off. It is shown that the DMG-LDD MOSFET structure alleviates the problem of short channel effects (SCEs) and the drain induced barrier lowering (DIBL) more efficiently. The proposed model is verified by comparing the theoretical results with the simulated data obtained by using the commercially available ATLASTM 2D device simulator. 展开更多
关键词 dual-material-gate MOSFET lightly doped drain short channel effect threshold voltage
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Controlling Ion Conductance and Channels to Achieve Synapticlike Frequency Selectivity 被引量:1
2
作者 Siheng Lu Fei Zeng +3 位作者 Wenshuai Dong Ao Liu Xiaojun Li Jingting Luo 《Nano-Micro Letters》 SCIE EI CAS 2015年第2期121-126,共6页
Enhancing ion conductance and controlling transport pathway in organic electrolyte could be used to modulate ionic kinetics to handle signals. In a Pt/Poly(3-hexylthiophene-2,5-diyl)/Polyethylene?Li CF3SO3/Pt hetero-j... Enhancing ion conductance and controlling transport pathway in organic electrolyte could be used to modulate ionic kinetics to handle signals. In a Pt/Poly(3-hexylthiophene-2,5-diyl)/Polyethylene?Li CF3SO3/Pt hetero-junction, the electrolyte layer handled at high temperature showed nano-fiber microstructures accompanied with greatly improved salt solubility. Ions with high mobility were confined in the nano-fibrous channels leading to the semiconducting polymer layer,which is favorable for modulating dynamic doping at the semiconducting polymer/electrolyte interface by pulse frequency.Such a device realized synaptic-like frequency selectivity, i.e., depression at low frequency stimulation but potentiation at high-frequency stimulation. 展开更多
关键词 Ions migration Nano-channels Frequency selectivity Semiconducting polymer Organic electrolyte Dynamic doping
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Channel Pre-emphasis Equalization for a 270km 40×40 Gbit/s WDM System with Cascaded EDFAs/Raman Amplifiers
3
作者 杨爱英 孙雨南 《Journal of Beijing Institute of Technology》 EI CAS 2008年第3期330-334,共5页
Optical channel pre-emphasis equalization is experimentally researched for a 270 km 40 × 40 Gbit/s wavelength division multiplexing (WDM) transmission system with three Erbium-doped fiber amplifiers (ED- FAs)... Optical channel pre-emphasis equalization is experimentally researched for a 270 km 40 × 40 Gbit/s wavelength division multiplexing (WDM) transmission system with three Erbium-doped fiber amplifiers (ED- FAs) and Raman amplifiers concatenated as booster amplifier. The channel imbalance of the overall system changes with different sets of power launched into EDFAs. By appropriately choosing the power input to concatenated EDFAs, the output spectrum of 40 channel signal can be equalized to the most extent. The merit of benefit can be around 5.5 dB by this pre-emphasis equalization. The requirement for the gain equalizer is therefore greatly released. Then the gain imbalance of the overall system and the power imbalance of 40 channels are compared and the two almost matches, but the significant difference lies on some channels. Finally, the pump power into Raman amplifier is also optimized, and another 1.3 dB improvement of channel equaliza- tion can be further achieved. 展开更多
关键词 wavelength division multiplexing (WDM) Erbium-doped fiber amplifier (EDFA) channel im-balance optical signal to noise ratio gain equalizer
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双包层Er^(3+)/Yb^(3+)共掺光纤放大器动态特性研究 被引量:9
4
作者 占生宝 赵尚弘 +2 位作者 董淑福 方绍强 张虎 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2005年第10期729-732,共4页
基于速率方程的离散算法,实现了对双包层Er3+/Yb3+光纤放大器动态特性的分析。研究了不同信号和泵浦功率下单信道的瞬态功率、脉冲序列输出功率与增益随时间的变化以及多信道异步转移模式下输出功率和增益随时间的变化。结果表明:对于... 基于速率方程的离散算法,实现了对双包层Er3+/Yb3+光纤放大器动态特性的分析。研究了不同信号和泵浦功率下单信道的瞬态功率、脉冲序列输出功率与增益随时间的变化以及多信道异步转移模式下输出功率和增益随时间的变化。结果表明:对于单个脉冲,在相同的泵浦功率下,输出脉冲的峰值功率取决于输入脉冲的峰值功率;在不同的泵浦功率下,输出脉冲的峰值功率取决于泵浦功率。对于脉冲序列,在达到稳定的输出前,将经历一个输出功率和增益由高到低的变化过程。对于异步转移模式的多信道脉冲,脉冲重叠时的功率和增益变化要快于非重叠时功率和增益的变化。 展开更多
关键词 ER^3+/YB^3+共掺 双包层光纤放大器 单信道 多信道 脉冲信号
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改性硅胶除湿轮传热传质性能研究 被引量:6
5
作者 丁云飞 丁静 +1 位作者 方玉堂 杨晓西 《广州大学学报(自然科学版)》 CAS 2006年第3期80-85,共6页
对A l3+掺杂硅胶除湿轮的传热传质性能进行了理论和实验研究,分析了转速、解吸角以及通道尺寸对除湿轮性能的影响,结果显示:蜂窝状通道尺寸优化值为1.34 mm×4.35 mm;当轮厚在0.15~0.30 m范围内,最佳转速为10 rph;对0.2 m厚的转轮,1... 对A l3+掺杂硅胶除湿轮的传热传质性能进行了理论和实验研究,分析了转速、解吸角以及通道尺寸对除湿轮性能的影响,结果显示:蜂窝状通道尺寸优化值为1.34 mm×4.35 mm;当轮厚在0.15~0.30 m范围内,最佳转速为10 rph;对0.2 m厚的转轮,10 rph和90°的解吸角有利于强化除湿轮的传热传质性能. 展开更多
关键词 改性硅胶 除湿轮 旋转速度 通道尺寸 解吸角
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基于含掺杂半导体复合光子晶体的太赫兹多通道滤波器 被引量:2
6
作者 李文胜 张琴 +1 位作者 黄海铭 付艳华 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第3期537-542,共6页
用n型掺杂GaAs和TiO2组成两个相同的光子晶体,并把它们串联成一个复合光子晶体。数值计算表明,复合光子晶体在0.1~6 THz的频段出现了数个相同的透射峰,这些透射峰有如下特征:当n型掺杂GaAs的掺杂浓度>1020/m3并继续增加时,从高频到... 用n型掺杂GaAs和TiO2组成两个相同的光子晶体,并把它们串联成一个复合光子晶体。数值计算表明,复合光子晶体在0.1~6 THz的频段出现了数个相同的透射峰,这些透射峰有如下特征:当n型掺杂GaAs的掺杂浓度>1020/m3并继续增加时,从高频到低频各透射峰的透射率依次下降直至消失。当周期数变化时,透射峰的个数M和周期数N间满足关系式M=N-1,且N一定时,各透射峰的形状和中心间距相同。入射角增加时,各透射峰中心的移动很小,且入射角越大,各透射峰的半峰全宽度越窄。介质的几何厚度增加时,各透射峰的透射率和半峰全宽度不变,仅是其中心位置红移。这些现象为此复合光子晶体实现太赫兹频段的多通道滤波提供了理论指导。 展开更多
关键词 掺杂半导体 复合光子晶体 太赫兹 多通道滤波器
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渠道火花烧蚀法制备In_(2)O_(3)∶Mo透明导电薄膜 被引量:1
7
作者 黄丽 李喜峰 +4 位作者 张群 缪维娜 张莉 章壮健 华中一 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第11期2133-2138,共6页
采用渠道火花烧蚀技术在普通玻璃基板上制备了掺钼氧化铟In2O3∶Mo透明导电薄膜,研究了烧蚀时氧气压强对薄膜光电性能的影响.在基板温度Ts=350℃时,薄膜的电阻率和载流子浓度随氧气压强增大分别呈凹形和凸形的变化趋势.薄膜电阻率最小值... 采用渠道火花烧蚀技术在普通玻璃基板上制备了掺钼氧化铟In2O3∶Mo透明导电薄膜,研究了烧蚀时氧气压强对薄膜光电性能的影响.在基板温度Ts=350℃时,薄膜的电阻率和载流子浓度随氧气压强增大分别呈凹形和凸形的变化趋势.薄膜电阻率最小值是4·8×10-4Ω·cm,载流子浓度为7·1×1020cm-3.载流子迁移率最高可达49·6cm2/(V·s).可见光区域平均透射率大于87%以上,由紫外光电子谱分析得到薄膜的表面功函数为4·6eV.X射线衍射分析表明,薄膜结晶性良好并在(222)晶面择优取向生长.原子力显微镜观察薄膜样品表面得到方均根粗糙度为0·72nm,平均粗糙度为0·44nm,峰谷最大差值为15·4nm. 展开更多
关键词 In2O3:Mo 渠道火花烧蚀 功函数 紫外光电子谱
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沟道掺杂浓度对恒流二极管电学特性的影响 被引量:1
8
作者 刘娇 丁召 +1 位作者 杨发顺 马奎 《电子设计工程》 2015年第6期114-117,共4页
设计了一种基于N-JFET结构的恒流二极管,分析了其沟道掺杂浓度与恒流值、开启电压、击穿电压以及温度特性之间的关系。利用SILVACO仿真软件对恒流二极管沟道掺杂分布进行优化设计,最终得到一个开启电压为2 V,击穿电压大于90 V,恒流值为4... 设计了一种基于N-JFET结构的恒流二极管,分析了其沟道掺杂浓度与恒流值、开启电压、击穿电压以及温度特性之间的关系。利用SILVACO仿真软件对恒流二极管沟道掺杂分布进行优化设计,最终得到一个开启电压为2 V,击穿电压大于90 V,恒流值为40 m A,温度系数为-0.33%/K的恒流二极管。 展开更多
关键词 恒流二极管 沟道掺杂浓度 恒流值 温度特性
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InP基功率HEMT结构材料分子束外延生长研究
9
作者 武一宾 商耀辉 +2 位作者 陈昊 芮振璞 袁秀丽 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期139-141,158,共4页
从 3个层面研究了分子束外延 Al0 .48In0 .52 As/ Ga0 .47In0 .53As/ In P功率 HEMT结构材料生长技术。首先 ,通过观察生长过程的高能电子衍射 (RHEED)图谱 ,确立了 Ga0 .47In0 .53As/ In P结构表面层的 MBE RHEED衍射工艺相图 ,据此生... 从 3个层面研究了分子束外延 Al0 .48In0 .52 As/ Ga0 .47In0 .53As/ In P功率 HEMT结构材料生长技术。首先 ,通过观察生长过程的高能电子衍射 (RHEED)图谱 ,确立了 Ga0 .47In0 .53As/ In P结构表面层的 MBE RHEED衍射工艺相图 ,据此生长的单层 Si-doped Ga0 .47In0 .53As(40 0 nm) / In P室温迁移率可达 6960 cm2 / V· s及电子浓度 1 .3 3 E1 7cm- 3。其次 ,经过优化结构参数 ,低噪声 Al0 .48In0 .52 As/ Ga0 .47In0 .53As/ In P HEMT结构材料的 Hall参数达到μ30 0 K≥ 1 0 0 0 0 cm2 / V· s、2 DEG≥ 2 .5 E1 2 cm- 2 。最后 ,在此基础之上 ,降低 spacer的厚度、在 Ga0 .47In0 .53As沟道内插入 Si平面掺杂层并增加势垒层的掺杂浓度获得了功率 Al0 .48In0 .52 As/ Ga0 .47In0 .53As/ In PHEMT结构材料 ,其 Hall参数达到μ30 0 K≥ 80 0 0 cm2 / V· s、2 DEG≥ 4 .0 E1 2 cm- 2 。 展开更多
关键词 分子束外延 高电子迁移率晶体管 铝铟砷 铬铟砷 沟道掺杂 InP HEMT
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(311)A GaAs衬底掺Si GaAs/AlGaAs p沟HFET结构材料特性
10
作者 孙娟 谢自力 +1 位作者 邱凯 尹志军 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第S1期49-51,共3页
利用MBE技术在(311)A GaAs衬底上生长了Si掺杂GaAs/Al GaAs p沟道HFET结构材料。通过控制V/Ⅲ束流和其他生长参数,优化了材料的生长条件。通过Si掺杂获得p型GaAs和Al GaAs材料,研制生长了微波毫米波器件应用的HFET器件结构材料。Hall测... 利用MBE技术在(311)A GaAs衬底上生长了Si掺杂GaAs/Al GaAs p沟道HFET结构材料。通过控制V/Ⅲ束流和其他生长参数,优化了材料的生长条件。通过Si掺杂获得p型GaAs和Al GaAs材料,研制生长了微波毫米波器件应用的HFET器件结构材料。Hall测试表明该结构材料具有很好的特性。 展开更多
关键词 分子束外延 硅掺杂 P沟道 异质结构效应晶体管
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深亚微米槽栅PMOSFET短沟道效应的模拟研究
11
作者 任红霞 马晓华 郝跃 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期149-152,共4页
基于流体动力学能量输运模型 ,首先研究了槽栅器件对短沟道效应的抑制作用 ,接着研究了不同衬底和沟道杂质浓度的深亚微米槽栅PMOSFET对短沟道效应抑制的影响 ,同时与相应平面器件的特性进行了对比 .研究结果表明 ,槽栅器件在深亚微米... 基于流体动力学能量输运模型 ,首先研究了槽栅器件对短沟道效应的抑制作用 ,接着研究了不同衬底和沟道杂质浓度的深亚微米槽栅PMOSFET对短沟道效应抑制的影响 ,同时与相应平面器件的特性进行了对比 .研究结果表明 ,槽栅器件在深亚微米和超深亚微米区域能够很好地抑制短沟道效应 ,且随着衬底和沟道掺杂浓度的升高 ,阈值电压升高 ,对短沟道效应的抑制作用增强 ,但槽栅器件阈值电压变化较平面器件小 .最后从内部物理机制上对研究结果进行了分析和解释 . 展开更多
关键词 深亚微米 槽栅PMOSFET 短沟道效应 场效应晶体管
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分子束外延生长InGaAs/GaAs异质结及其在独特场效应晶体管中的应用(英文)
12
作者 谢自力 邱凯 +3 位作者 尹志军 方小华 王向武 陈堂胜 《电子器件》 CAS 2000年第4期258-261,共4页
用分子束外延技术生长了 In Ga As/Ga As异质结材料 ,并用 HALL效应法和电化学 C- V分布研究其特性。讨论了 In Ga As/Ga As宜质结杨效应晶体管 ( HFET)的优越性。和 Ga As MESFETS或 HEMT相比 ,由于 HFET没有 Al组份 ,具有低温特性好 ... 用分子束外延技术生长了 In Ga As/Ga As异质结材料 ,并用 HALL效应法和电化学 C- V分布研究其特性。讨论了 In Ga As/Ga As宜质结杨效应晶体管 ( HFET)的优越性。和 Ga As MESFETS或 HEMT相比 ,由于 HFET没有 Al组份 ,具有低温特性好 ,低噪声和高增益等特点。本文研究了具有 In Ga As/Ga As双沟道和独特掺杂分布的低噪声高增益 HFET。 展开更多
关键词 场效应晶体管 分子束外延生长 INGAAS/GAAS 异质结
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GaAs MISFET制备中的选择性腐蚀研究
13
作者 陈宏江 杨瑞霞 +1 位作者 武一宾 杨克武 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第10期22-25,共4页
研究了体积比为1:1到10:1的50%柠檬酸/双氧水溶液对GaAs/AlxGa(?)-xAs结构腐蚀的选择特性, 用α台阶仪、原子力显微镜(AFM)等方法研究了腐蚀样品表面的微观形貌。利用这种选择腐蚀技术制备了undoped-GaAs/n-GaAs调制掺杂沟道金属-绝缘体... 研究了体积比为1:1到10:1的50%柠檬酸/双氧水溶液对GaAs/AlxGa(?)-xAs结构腐蚀的选择特性, 用α台阶仪、原子力显微镜(AFM)等方法研究了腐蚀样品表面的微观形貌。利用这种选择腐蚀技术制备了undoped-GaAs/n-GaAs调制掺杂沟道金属-绝缘体-半导体场效应晶体管,获得了很好的器件特性参数,证明了这种腐蚀溶液适合于器件制备中的栅挖槽工艺。 展开更多
关键词 选择湿法腐蚀 柠檬酸 调制掺杂沟道 金属-绝缘体-半导体场效应晶体管
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SOIMOSFET寄生双极晶体管效应的研究
14
作者 赵洪辰 海潮和 +1 位作者 韩郑生 钱鹤 《电子器件》 CAS 2004年第4期575-577,共3页
研究了硅膜掺杂浓度、厚度和硅化物厚度等工艺条件对 SOI MOSFET寄生双极晶体管增益的影响。提高体区掺杂浓度、增加硅膜和硅化物厚度能够减小增益。原因是 :1基区杂质浓度增加 ,减弱了发射极向基区注入多子 ,增强了基区向发射区的少子... 研究了硅膜掺杂浓度、厚度和硅化物厚度等工艺条件对 SOI MOSFET寄生双极晶体管增益的影响。提高体区掺杂浓度、增加硅膜和硅化物厚度能够减小增益。原因是 :1基区杂质浓度增加 ,减弱了发射极向基区注入多子 ,增强了基区向发射区的少子注入 ;2增加硅化物厚度会增加其横向扩展 。 展开更多
关键词 :寄生双极晶体管 增益 掺杂浓度 硅膜厚度 硅化物
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深亚微米沟道δ掺杂NMOSFET结构特性和设计
15
作者 刘卫东 李志坚 +1 位作者 刘理天 余志平 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第5期21-24,共4页
利用能量输运模型(ETM)系统研究了沟道δ掺杂分布对深亚微米MOSFET结构特性的影响;发现δ掺杂结构不仅能够有效地抑制短沟道效应,而且可以获得较高的驱动速度,改善了掺杂容限特性;只要δ掺杂峰值浓度离界面保持一定距离... 利用能量输运模型(ETM)系统研究了沟道δ掺杂分布对深亚微米MOSFET结构特性的影响;发现δ掺杂结构不仅能够有效地抑制短沟道效应,而且可以获得较高的驱动速度,改善了掺杂容限特性;只要δ掺杂峰值浓度离界面保持一定距离,则热电子产生率无明显增长;提出的δ掺杂分布适用于0.1μmMOSFET,与均匀掺杂相比,它具有较高的综合品质因子. 展开更多
关键词 Δ掺杂 品质因子 短沟道效应 MOSFET 半导体技术
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新型吸附材料除湿轮传递过程及性能优化
16
作者 丁云飞 丁静 +2 位作者 方玉堂 杨建平 杨晓西 《化学工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期13-16,28,共5页
陶瓷纤维纸经水玻璃、铝盐溶液等浸渍及调节溶液pH值得到新型高吸附性能Al3+掺杂硅胶吸附材料。文中建立了除湿轮传热传质数学模型和实验装置,通过模拟结果和实验数据对Al3+掺杂硅胶除湿轮的吸附性能进行了研究,分析了转速、解吸角及通... 陶瓷纤维纸经水玻璃、铝盐溶液等浸渍及调节溶液pH值得到新型高吸附性能Al3+掺杂硅胶吸附材料。文中建立了除湿轮传热传质数学模型和实验装置,通过模拟结果和实验数据对Al3+掺杂硅胶除湿轮的吸附性能进行了研究,分析了转速、解吸角及通道尺寸对除湿轮吸附性能的影响。结果显示,在综合考虑传递单元数及空气流通阻力后,通道尺寸最优值为1.34 mm×4.35 mm;除湿轮的最佳转速取决于其厚度,而与解吸角无关,当厚度为0.15—0.3 m时,其最佳转速为10 r/h;对厚度为0.2 m的除湿轮,优化后转速及解吸角分别为10 r/h和90°。在上述优化的参数下,新型吸附材料除湿轮显示出较好的工作性能。 展开更多
关键词 Al^3+掺杂硅胶 除湿轮 转速 通道尺寸 解吸角
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高压VDMOS器件的SP ICE模型研究
17
作者 赵野 孙伟锋 +2 位作者 易扬波 鲍嘉明 时龙兴 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2005年第3期410-415,共6页
基于高压VDMOS器件的物理机理和特殊结构,对非均匀掺杂沟道、漂移区非线性电阻及非线性寄生电容效应进行分析,用多维非线性方程组描述了器件特性与各参数之间的关系,建立了精确的高压六角型元胞VDMOS器件三维物理模型,并用数值方法求解... 基于高压VDMOS器件的物理机理和特殊结构,对非均匀掺杂沟道、漂移区非线性电阻及非线性寄生电容效应进行分析,用多维非线性方程组描述了器件特性与各参数之间的关系,建立了精确的高压六角型元胞VDMOS器件三维物理模型,并用数值方法求解.基于该物理模型提出的等效电路,在SPICE中准确地模拟了高压VDMOS的特性,包括准饱和特性和瞬态特性.在全电压范围内(0~100 V),直流特性与测试结果、瞬态特性(频率≤5 MHz)与MEDICI模拟结果相差均在5%以内,能够满足HVIC CAD设计的需要. 展开更多
关键词 SPICE模型 高压集成电路 非均匀沟道 纵向双扩散金属氧化物半导体 漂移区
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掺杂浓度对槽栅nMOSFET特性的影响研究
18
作者 童建农 邹雪城 沈绪榜 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期510-513,共4页
 讨论了槽栅结构nMOSFET的掺杂浓度对器件特性的影响,并通过二维器件仿真程序PISCES-II进行了计算模拟比较。结果表明,提高衬底掺杂浓度,能使源漏区与沟道之间的拐角效应增大,对热载流子效应抑制的作用明显;提高沟道掺杂浓度,能减小沟...  讨论了槽栅结构nMOSFET的掺杂浓度对器件特性的影响,并通过二维器件仿真程序PISCES-II进行了计算模拟比较。结果表明,提高衬底掺杂浓度,能使源漏区与沟道之间的拐角效应增大,对热载流子效应抑制的作用明显;提高沟道掺杂浓度,能减小沟道电荷的调制效应,使阈值电压更好。调节沟道掺杂浓度比调节衬底掺杂浓度对器件的影响更大。 展开更多
关键词 槽栅MOSFET 掺杂 短沟道效应 热载流子退化
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新型非均匀沟道掺杂恒流二极管结构及输出特性研究
19
作者 王智永 周波 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2021年第7期675-682,共8页
依据电参数指标和实测的输出特性曲线,利用Silvaco-TCAD半导体器件仿真软件对水平沟道恒流二极管输出特性和结构参数进行研究。为了改善常规恒流二极管的恒流值(I_(H))、夹断电压(V_(P))、阻断电压(V_(R))、恒流值高低温变化率对沟道结... 依据电参数指标和实测的输出特性曲线,利用Silvaco-TCAD半导体器件仿真软件对水平沟道恒流二极管输出特性和结构参数进行研究。为了改善常规恒流二极管的恒流值(I_(H))、夹断电压(V_(P))、阻断电压(V_(R))、恒流值高低温变化率对沟道结构参数要求的矛盾关系,提出了一种新型的非均匀沟道掺杂的恒流二极管器件结构,并对新型结构的沟道结构参数进行了优化。研究表明:对于常规恒流二极管,采用掺杂浓度较高且宽度较窄的沟道结构,虽然有利于降低恒流二极管恒流值高低温变化率,但器件阻断电压很难满足指标要求。提出的新型非均匀掺杂沟道结构能够优化沟道内及沟道边缘电场分布,较低的沟道顶部掺杂浓度降低了沟道顶部峰值电场强度,显著增大了恒流二极管阻断电压。在较窄沟道条件下,较高的沟道底部掺杂浓度使得恒流值满足指标要求,并显著降低了恒流值高低温变化率。 展开更多
关键词 恒流二极管 沟道 非均匀 掺杂 仿真 工艺 优化
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一种改善器件性能的Halo工艺
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作者 徐政 李红征 赵文彬 《电子与封装》 2016年第9期35-39,共5页
短沟效应是MOS器件特征尺寸缩小面对的关键挑战之一。Halo结构能够有效抑制短沟效应,合理的Halo区掺杂分布可以改善小尺寸器件性能。在对Halo注入条件进行优化的过程中,不仅考虑了Halo注入倾角和注入能量对器件常温特性和高低温特性的影... 短沟效应是MOS器件特征尺寸缩小面对的关键挑战之一。Halo结构能够有效抑制短沟效应,合理的Halo区掺杂分布可以改善小尺寸器件性能。在对Halo注入条件进行优化的过程中,不仅考虑了Halo注入倾角和注入能量对器件常温特性和高低温特性的影响,还考虑到工艺波动,比较了多晶条宽变化对器件参数的影响。为了增加不同条件的可比性,以室温下的饱和电流作为基准,通过调节注入剂量,使不同Halo注入条件在室温下的饱和电流都相等。结果表明,对于130 nm多晶栅长,注入倾角60°,注入能量100 Ke V时器件特性有最好的温度稳定性和工艺容宽。 展开更多
关键词 HALO 短沟效应 离子注入 掺杂分布 多晶条宽
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