热超声倒装键合过程中的非线性动力学行为

在作为微器件电气互连主要手段的热超声键合工艺中,微细键合区域内金属变形/变性/互连所需的能量,来自于超声波功率源通过换能系统所施加的微幅压剪动载.对热超声倒装键合过程的研究说明,PZT换能系统在热超声倒装键合工艺过程中的非线性动力学行为,如换能系统启动后的初值敏感性和不确定性,键合工具与换能杆之间的不稳定动力耦合,倒装芯片运动的奇异相轨线等,是深入研究键合机理以及提高工艺可靠性的重要关键.

模锻装备复杂锻造过程两环控制方法

高品质锻件的成形需要模锻装备具有稳定运行的能力,然而锻造液压驱动过程的强非线性使其难以实现精确控制。针对这一问题,提出了一种基于非线性动态分析的两环控制方法,与现有的专门针对某种特定锻件的控制方法不同,该控制方法可以有效地用于不同锻件的锻造过程。首先推导了闭环锻造系统的非线性数学模型,并提出一种该模型的求解方法,针对该模型的解进一步分析了闭环锻造系统的动力学特性,推导出系统稳定运行的条件以及控制器参数与约束条件之间的关系。通过对几种典型锻件的仿真试验,验证了分析结果的正确性和所设计控制器的有效性,结果表明新的控制方法具有更好的控制效果。