期刊文献+
共找到243篇文章
< 1 2 13 >
每页显示 20 50 100
Method Investigation for Fabricating Micro-Optical Elements by Use of Half Tone Masks
1
作者 Tong-Kai Zhao Qin Feng 《Journal of Electronic Science and Technology》 CAS 2010年第2期131-134,共4页
Several approaches to fabricate micro optical elements by use of half tone masks are studied and compared. It is shown that half tone masks employed in filtering image systems can obtain gray patterns with considerabl... Several approaches to fabricate micro optical elements by use of half tone masks are studied and compared. It is shown that half tone masks employed in filtering image systems can obtain gray patterns with considerably high precision, but it is hard to operate from the viewpoint of operation. The method using contacting lithography technology or laser ablation can be easily operated with the cost of reducing fabrication precision and the trouble of choosing appropriate materials. For all of these methods, the coding of half tone masks with corrections for the nonlinear characteristics of coding, imaging and photoresist is recommended. 展开更多
关键词 Index Terms --Contacting lithography half tone masks micro-optical elements optical filtering systems.
下载PDF
基于长度可变密钥的光学图像加密方法
2
作者 杨晓云 石峰 《激光杂志》 CAS 北大核心 2024年第2期107-112,共6页
为提升光学图像加密效果,设计了一种基于长度可变密钥的光学图像加密方法。基于混沌方程构成混沌序列均匀化普适算法,运用该算法生成均匀化伪随机序列,以此作为长度可变密钥,经空间光调制器调制后,转换此类密钥为伪随机相位掩模(PRPM),... 为提升光学图像加密效果,设计了一种基于长度可变密钥的光学图像加密方法。基于混沌方程构成混沌序列均匀化普适算法,运用该算法生成均匀化伪随机序列,以此作为长度可变密钥,经空间光调制器调制后,转换此类密钥为伪随机相位掩模(PRPM),运用两个转换后PRPM双重随机相位编码初始光学图像,并结合变形分数傅里叶变换(AFrFT),相位转换编码后光学图像,获得加密光学图像,完成光学图像加密。实验结果显示,该方法可针对不同光学图像生成敏感性与唯一性密钥,实现不同光学图像的加密处理,加密效果显著,加密光学图像的像素频数分布均匀,且解密后光学图像与初始光学图像几乎一致,整体加解密效果理想,可有效保障光学图像的安全性,而且本方法可以在最短3 s的时间内完成光学图像的加密和解密,加解密效率更高,综合效果更佳。 展开更多
关键词 长度可变密钥 光学图像加密 混沌序列 相位掩模 随机相位编码 傅里叶变换
下载PDF
大幅面3D打印边缘能量均匀化畸变消除
3
作者 张露 王宜怀 +1 位作者 施连敏 李春亭 《计算机工程与设计》 北大核心 2024年第2期491-499,共9页
在基于掩膜投影的CLIP型3D打印工艺中,通过平铺多台投影设备扩大成型幅面时,重叠区域像素亮度的叠加产生的光学接缝会导致模型实体在该处产生畸变,影响成型质量。针对该问题提出一种边缘能量均匀化方案,通过非线性衰减的方式设计一组对... 在基于掩膜投影的CLIP型3D打印工艺中,通过平铺多台投影设备扩大成型幅面时,重叠区域像素亮度的叠加产生的光学接缝会导致模型实体在该处产生畸变,影响成型质量。针对该问题提出一种边缘能量均匀化方案,通过非线性衰减的方式设计一组对称灰度虚拟掩膜,与相邻设备的切分掩膜图像相融合,矫正重叠区域的紫外光强,使整个印刷平面获得均匀且统一的紫外曝光能。实际打印结果表明,该方案能够有效改善模型实体在光固化成型中切片薄层固化厚度不均和拼接处易断裂的问题,模型实体整体质量有明显提高。 展开更多
关键词 连续无分层液体界面提取技术 大幅面 光学接缝 灰度虚拟掩膜 非线性衰减 3D打印 畸变消除
下载PDF
波前编码红外成像系统的温度梯度适应能力探究
4
作者 盛婧 蔡怀宇 +1 位作者 汪毅 陈晓冬 《天津大学学报(自然科学与工程技术版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第5期521-529,共9页
利用波前编码技术为红外光学系统进行无热化设计可提高其在不同均匀工作温度下的适应能力,但针对温度突变、成像系统内温度分布不均情况,波前编码技术是否能正常进行成像及其适用的温度范围还有待进一步研究.为简化分析流程,采用温度梯... 利用波前编码技术为红外光学系统进行无热化设计可提高其在不同均匀工作温度下的适应能力,但针对温度突变、成像系统内温度分布不均情况,波前编码技术是否能正常进行成像及其适用的温度范围还有待进一步研究.为简化分析流程,采用温度梯度模型来仿真非稳态下的温度变化.利用温度梯度模型来定性分析光学系统在轴向、径向温度梯度为系统引入的附加像差.计算两个方向下的光程差变化来比较两种温度梯度环境下系统的成像性能差异.在此基础上,为非稳态温度环境下红外光学系统的设计建立了结合光/机/热分析的无热化设计流程,通过ZEMAX设计了一套最大轴向尺寸为85 mm、最大径向尺寸为25 mm的红外光学系统,通过SolidWorks加载轴向和径向的热形变,探究所设计的系统能够适用的温度梯度范围.结果表明,结合光/机/热分析的无热化设计流程可以有效表明系统在非稳态温度下的成像情况.对上述采用三次相位板进行无热化设计的红外光学系统,在非稳态温度下可以适应±10℃的轴向温差范围,但是仅可以适应±1℃的径向温差范围.因此在进行红外波前编码光学系统的无热化设计时,需要对径向方向进行重点优化. 展开更多
关键词 波前编码技术 红外光学成像系统 温度梯度 三次相位板
下载PDF
一种基于IC电路设计的多次图形化方法
5
作者 王雷 张顾斌 张雪 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第8期713-718,共6页
集成电路光刻工艺中的多次图形化技术在版图拆分时着重强化图形分辨率,而非考虑电路复杂程度带来的图形复杂度和拆分难度,拆分后的版图依然包含多个电路设计单元,具有多种复杂结构,不利于光刻条件的进一步优化。以存储器为例,提出了一... 集成电路光刻工艺中的多次图形化技术在版图拆分时着重强化图形分辨率,而非考虑电路复杂程度带来的图形复杂度和拆分难度,拆分后的版图依然包含多个电路设计单元,具有多种复杂结构,不利于光刻条件的进一步优化。以存储器为例,提出了一种基于电路设计的多次图形化方法,根据电路功能单元或器件工作电压对设计版图进行识别分组。将版图进行重新布局拆分,使拆分后图形具备类似的空间周期和图形特征,克服了传统光刻工艺需要兼顾各种图形带来的缺陷。对图形结构空间周期进行全周期优化和最大化优化,降低了对光刻设备的依赖程度,为多次图形化技术提供了一种新的思路和可行性方案。 展开更多
关键词 多次图形化 版图拆分 存储器 光罩 工艺窗口 光学临近效应修正(OPC)
下载PDF
基于数据隐私保护机制的光学图像加密研究 被引量:1
6
作者 王雪飞 王鹏 《激光杂志》 CAS 北大核心 2023年第2期102-107,共6页
为提高光学图像信息的安全性,研究基于数据隐私保护机制的光学图像加密方法。采用Logistic映射的输出序列生成光学图像的混沌掩码,将其与螺旋相位掩码相结合,形成混合相位掩码,经希尔伯特变换和波带片相位模型调和后获取调和掩码,校正... 为提高光学图像信息的安全性,研究基于数据隐私保护机制的光学图像加密方法。采用Logistic映射的输出序列生成光学图像的混沌掩码,将其与螺旋相位掩码相结合,形成混合相位掩码,经希尔伯特变换和波带片相位模型调和后获取调和掩码,校正光学装置光轴;采用相位复用算法中的杨-顾算法,依据调和掩码将光学图像加密成实值光学图像,将线性滤波引入到解密光学图像中,提高解密光学图像质量与加密光学图像的数量,实现高容量的多光学图像加密。实验表明,该方法可压缩加密光学图像,并提高解密光学图像质量,加密质量系数为0.9,加密信息熵值平均为8.999 6。 展开更多
关键词 数据隐私保护 光学图像加密 LOGISTIC映射 混合相位掩码 光轴校准 解密光学图像
下载PDF
Computational Creation of Hollow Mask Type Illusionary Solids with Shading Effect
7
作者 TOMOEDA Akiyasu SUGIHARA Kokichi 《Computer Aided Drafting,Design and Manufacturing》 2015年第4期8-12,共5页
"Hollow mask illusion" is an optical illusion and appears due to an error in the process of reconstructing the three-dimensional objects from our two-dimensional retinal image. In this paper, we present a computatio... "Hollow mask illusion" is an optical illusion and appears due to an error in the process of reconstructing the three-dimensional objects from our two-dimensional retinal image. In this paper, we present a computational method to create "Hollow mask" type new illusionary solid by calculating the hollow structure and its shading. The straight line Voronoi diagram for a given shape obtains the three-dimensional vertices of the hollow structure and the shading effect on each surface is calculated under the assumption that each surface has diffusely reflecting surface(Lambertian reflectance). We also show two examples of our new illusionary solid works. 展开更多
关键词 optical illusion hollow mask illusion depth inversion "light-from-above" hypothesis
下载PDF
基于SGRT表面引导技术的自制开放式面罩在颅脑肿瘤放疗中的可行性研究 被引量:1
8
作者 张扬帆 刘明 +1 位作者 郑多林 聂弘 《中国医疗设备》 2023年第2期36-40,共5页
目的对传统封闭式面罩进行开窗改造,以满足AlignRT光学表面监测系统使用要求。方法回顾性选取中国科学技术大学附属第一医院合肥离子医学中心20例行颅内肿瘤放疗治疗患者,10例患者使用传统封闭式面罩固定(A组),10例患者使用自制开放式... 目的对传统封闭式面罩进行开窗改造,以满足AlignRT光学表面监测系统使用要求。方法回顾性选取中国科学技术大学附属第一医院合肥离子医学中心20例行颅内肿瘤放疗治疗患者,10例患者使用传统封闭式面罩固定(A组),10例患者使用自制开放式面罩固定(B组),所有患者分次治疗前进行锥形束CT扫描,配准移床后得到摆位误差值,比较2组摆位误差,同时通过Bland-Altman法进行一致性检验。结果B组在平移方向腹背(Vrt)、头脚(Lng)、左右(Lat)的摆位误差均显著低于A组(P<0.05);B组旋转方向俯仰角(Pitch)、翻滚角(Roll)、偏转角(Rtn)的摆位误差均低于A组,两组除Pitch方向差异不显著(P>0.05),其余各方向均差异显著(P<0.05);Bland-Altman一致性检验显示,大部分散点在Vrt、Lng、Lat、Pitch、Roll和Rtn方向上的95%置信区间内,说明2种面罩固定的摆位误差具有高度一致性,且临床应用中可接受该差异。结论自制开放式面罩在各个方向上的摆位误差均优于封闭式面罩,满足AlignRT光学表面监测系统使用要求,可明显提高摆位精准度和舒适度。 展开更多
关键词 表面引导放疗技术 摆位误差 开放式面罩 光学表面引导 颅内肿瘤
下载PDF
光电协同技术联合中药面膜治疗轻中度玫瑰痤疮的疗效及安全性分析 被引量:3
9
作者 王璐 王永琴 +2 位作者 毛颖 张伟 张蕊 《中国现代医学杂志》 CAS 北大核心 2023年第4期62-65,共4页
目的探究光电协同技术联合中药面膜治疗轻中度玫瑰痤疮的疗效及安全性。方法选取2021年3月—2022年1月齐齐哈尔医学院附属第二医院收治的68例玫瑰痤疮患者作为研究对象。将患者随机分为研究组和对照组,各34例。对照组予以光电协同技术治... 目的探究光电协同技术联合中药面膜治疗轻中度玫瑰痤疮的疗效及安全性。方法选取2021年3月—2022年1月齐齐哈尔医学院附属第二医院收治的68例玫瑰痤疮患者作为研究对象。将患者随机分为研究组和对照组,各34例。对照组予以光电协同技术治疗,研究组在对照组基础上联合中药面膜治疗,两组均于治疗9周后评估临床疗效、中医证候积分、面部功能、情绪,并记录治疗期间不良反应发生情况。结果研究组临床疗效优于对照组(P<0.05)。研究组治疗前后主证、次证积分的差值高于对照组(P<0.05)。两组患者治疗前后pH值的差值比较,差异无统计学意义(P>0.05)。研究组治疗前后红斑量、角质层含水率、经皮水分流失量的差值高于对照组(P<0.05)。研究组治疗前后HAMA评分、HAMD评分的差值高于对照组(P<0.05)。两组患者不良反应率比较,差异无统计学意义(P>0.05)。结论中药面膜应用于轻中度玫瑰痤疮治疗中临床疗效好,可有效改善皮肤功能,安全性良好,有助于消除患者焦虑等负面情绪。 展开更多
关键词 玫瑰痤疮 光电协同技术 中药面膜 安全性 情绪
下载PDF
基于混沌与菲涅尔变换的多彩色图像加密算法 被引量:2
10
作者 李德新 王锐 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第6期928-936,共9页
针对常见的基于混沌系统的多图像光学加密存在密钥敏感性不强、加密方法安全性不高等问题,设计了基于混沌Chen系统和菲涅尔变换的多彩色图像光学加密方法。首先,每幅彩色图像均被分解为R、G和B通道,并对每个通道的幅值独立进行归一化处... 针对常见的基于混沌系统的多图像光学加密存在密钥敏感性不强、加密方法安全性不高等问题,设计了基于混沌Chen系统和菲涅尔变换的多彩色图像光学加密方法。首先,每幅彩色图像均被分解为R、G和B通道,并对每个通道的幅值独立进行归一化处理,得到归一化图像。其次,设定混沌系统初始值和控制参数,利用Chen混沌系统生成三个高维混沌相位掩码,分别对每幅图像的三通道相位信息进行调制处理,然后将调制后的R、G、B通道分别进行叠加重组。并对重组后的通道图像分别进行菲涅尔变换处理,得到相应的通道密文。最后,将通道密文重新融合,得到最终的密文图像。数值仿真结果表明,与现有的基于混沌系统的加密算法相比,所提算法具备更高的密钥敏感性,以及更高的抵抗各种攻击的能力,熵值达到了7.996,稳定的NPCR和UACI分别为99.84%、35.63%。 展开更多
关键词 信息处理 多彩色图像光学加密 混沌Chen系统 高维混沌相位掩码 菲涅尔变换 密钥敏感性 抗攻击性能
下载PDF
聚合物阵列波导光栅复用器关键技术的研究 被引量:5
11
作者 赵禹 马春生 +5 位作者 张大明 陈开鑫 王菲 崔占臣 刘式墉 衣茂斌 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期417-420,共4页
介绍了阵列波导光栅 (AWG)复用器的工作原理 ;运用光栅衍射理论和马卡提里近似法 ,对中心波长为 1.5 5 μm ,波长间隔为 1.6nm的聚合物AWG进行参量设计 ,通过数值模拟验证了设计的正确性 用甲基丙烯酸甲酯类聚合物对AWG的制备工艺进行... 介绍了阵列波导光栅 (AWG)复用器的工作原理 ;运用光栅衍射理论和马卡提里近似法 ,对中心波长为 1.5 5 μm ,波长间隔为 1.6nm的聚合物AWG进行参量设计 ,通过数值模拟验证了设计的正确性 用甲基丙烯酸甲酯类聚合物对AWG的制备工艺进行了研究 ,用铝作掩模制作了聚合物光波导 ,测试结果表明在 1.5 5 展开更多
关键词 聚合物阵列波导光栅复用器 工作原理 参量设计 数值模拟 聚合物光波导 单模传输 光纤通信 铝掩膜
下载PDF
基于模型的光学校正系统的设计与实现 被引量:6
12
作者 王国雄 严晓浪 +1 位作者 史峥 陈志锦 《浙江大学学报(工学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期521-524,548,共5页
为了使光刻结果更好地符合版图设计,保证在硅片上制造出的电路在功能上与设计电路一致,提出了一种对掩模进行自动补偿的系统性技术.根据光刻机和光刻胶特性,模拟了实际的光刻过程.校正处理的核心是基于模型的掩模图形优化模块,通过调用... 为了使光刻结果更好地符合版图设计,保证在硅片上制造出的电路在功能上与设计电路一致,提出了一种对掩模进行自动补偿的系统性技术.根据光刻机和光刻胶特性,模拟了实际的光刻过程.校正处理的核心是基于模型的掩模图形优化模块,通过调用光刻模拟器直接对输入待校正的掩模图形进行优化.最后通过对掩模版图的验证,保证校正后的掩模图形满足成像图形的精度要求.应用实例证明,该系统准确实现了版图的精确设计与校正. 展开更多
关键词 光刻模拟 光学邻近校正 移相掩模
下载PDF
相位掩膜生成光纤布拉格光栅的研究 被引量:2
13
作者 裴丽 江中澳 +2 位作者 宁提纲 谢增华 简水生 《铁道学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第3期58-61,共4页
介绍了相位掩膜法制作光纤光栅的近场理论分析和相关实验。在最佳实验条件下 ,制作出高质量的啁啾光纤光栅 ,中心波长为 15 46 .9nm,带宽 0 .849nm,功率波动小于 1d B,时延波动小于 30 ps,用该光栅对 10Gb/ s,10 0 km G.6 5 2光纤的色... 介绍了相位掩膜法制作光纤光栅的近场理论分析和相关实验。在最佳实验条件下 ,制作出高质量的啁啾光纤光栅 ,中心波长为 15 46 .9nm,带宽 0 .849nm,功率波动小于 1d B,时延波动小于 30 ps,用该光栅对 10Gb/ s,10 0 km G.6 5 2光纤的色散补偿取得了很好的效果 ,色散补偿量大于 98%。 展开更多
关键词 相位掩膜 光纤光栅 色散补偿 光纤通信 光纤布拉格光栅
下载PDF
MEMS的微细加工技术 被引量:6
14
作者 戴亚春 周建忠 +1 位作者 王匀 马欣涛 《机床与液压》 北大核心 2006年第5期15-19,共5页
介绍了目前比较前沿的几种微型腔的机械加工方法:光刻掩模、高能束刻蚀(激光刻蚀)和LIGA技术等加工方法。对这些技术的发展趋势进行了展望。指出微器件的推广和应用,是和微器件的加工方法密不可分的,特别是随着激光加工技术在微机械加... 介绍了目前比较前沿的几种微型腔的机械加工方法:光刻掩模、高能束刻蚀(激光刻蚀)和LIGA技术等加工方法。对这些技术的发展趋势进行了展望。指出微器件的推广和应用,是和微器件的加工方法密不可分的,特别是随着激光加工技术在微机械加工领域的推广和应用,微器件的加工工艺水平和加工质量会有更大的提高。 展开更多
关键词 微型机械 微成形 MEMS 光刻掩模 激光刻蚀 LIGA 激光加工技术
下载PDF
光学遥感影像的自动匀光处理及应用 被引量:86
15
作者 李德仁 王密 潘俊 《武汉大学学报(信息科学版)》 EI CSCD 北大核心 2006年第9期753-756,共4页
针对光学遥感获取的影像存在一幅影像内部以及区域范围内多幅影像之间的色彩不平衡现象,提出了自动匀光处理方法和处理流程,通过影像匀光软件GeoDodging 4.0对原理和流程进行了实现,并结合实际工程应用取得了良好的效果。
关键词 光学遥感影像 匀光处理 mask WALLIS 分裂合并
下载PDF
低陡度光刻胶光栅槽形研究 被引量:4
16
作者 刘全 万华 +2 位作者 吴建宏 陈新荣 李朝明 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第7期1401-1405,共5页
为控制全息光刻胶光栅槽形,从研究显影时间、显影液温度等对光刻胶特性曲线的影响出发,采用计算机模拟和实验方法,制作出底部占宽比30%左右,陡度65°左右的低陡度光刻胶光栅掩模.研究发现:启动曝光量随显影时间的延长而减小,光刻胶... 为控制全息光刻胶光栅槽形,从研究显影时间、显影液温度等对光刻胶特性曲线的影响出发,采用计算机模拟和实验方法,制作出底部占宽比30%左右,陡度65°左右的低陡度光刻胶光栅掩模.研究发现:启动曝光量随显影时间的延长而减小,光刻胶特性曲线线性部分的斜率随着显影时间的增加而增加;显影液温度高的光刻胶启动曝光量大,其特性曲线线性部分的斜率也较大.这决定了制作低陡度光刻胶光栅掩模需要使用非1∶1的干涉曝光,以及必须采用较低温度的显影液进行显影处理.最终选用1∶7的干涉曝光和15℃的显影液. 展开更多
关键词 衍射光学 全息 光刻胶光栅掩模 槽形控制
下载PDF
一种二元光学元件阵列微芯模的工艺设计研究 被引量:4
17
作者 龚勇清 刘智怀 +2 位作者 高益庆 罗宁宁 李平贵 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期304-308,共5页
提出一种二元光学元件微型芯模的工艺设计方法,该方法利用了数字调制器件(DMD芯片)的空间光调制特性。首先通过编程设计出二元光学器件的相关软件,以实现菲涅耳透镜、达曼光栅、龙基光栅等各种矢量图形,经过14倍精缩光学系统,将由DMD芯... 提出一种二元光学元件微型芯模的工艺设计方法,该方法利用了数字调制器件(DMD芯片)的空间光调制特性。首先通过编程设计出二元光学器件的相关软件,以实现菲涅耳透镜、达曼光栅、龙基光栅等各种矢量图形,经过14倍精缩光学系统,将由DMD芯片生成的二元光学器件图像成像在涂有光刻胶的基板上。经显影、定影和坚膜后,再利用电化学蚀刻,得到一种二元光学阵列的微芯模。这种二元光学的芯模制作方法可以方便、高效、低成本地用于制作微光学器件。 展开更多
关键词 光刻技术 数字掩膜 二元光学元件 蚀刻
下载PDF
一种结合随机模板编码的虚拟光学三维数字水印系统 被引量:10
18
作者 张鹏 彭翔 牛憨笨 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第8期1220-1223,共4页
基于虚拟光学信息隐藏理论提出了一种三维空间数字水印算法.该数字水印算法能成为一种多媒体数据产权保护的有效方案.对算法的测试结果表明,该算法对于噪音叠加、剪切、旋转、有损压缩等常见的图像处理操作具有较高的鲁棒性.由于引入了... 基于虚拟光学信息隐藏理论提出了一种三维空间数字水印算法.该数字水印算法能成为一种多媒体数据产权保护的有效方案.对算法的测试结果表明,该算法对于噪音叠加、剪切、旋转、有损压缩等常见的图像处理操作具有较高的鲁棒性.由于引入了虚拟光学信息隐藏思想,将虚拟光路的几何结构参数作为密钥,设计出了多重“锁”和多重“密钥”.随机模板编码技术的引入,更进一步提高了数字水印系统的密钥空间.仿真实验结果表明该算法具有很好的安全性. 展开更多
关键词 信息光学 虚拟光学 数字水印 随机模板 版权保护
下载PDF
大口径光学元件薄膜厚度均匀性修正 被引量:14
19
作者 王长军 熊胜明 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第7期1153-1157,共5页
研究了2.2 m高真空箱式镀膜机镀膜时的实际膜厚分布情况。对非球面和平面光学元件,分别采用行星夹具和平面公转夹具并利用修正板调节膜厚均匀性。从实验上实现了大口径薄膜均匀性的调节,并获得较为理想的结果。口径在700 mm范围内,对于... 研究了2.2 m高真空箱式镀膜机镀膜时的实际膜厚分布情况。对非球面和平面光学元件,分别采用行星夹具和平面公转夹具并利用修正板调节膜厚均匀性。从实验上实现了大口径薄膜均匀性的调节,并获得较为理想的结果。口径在700 mm范围内,对于凹面均匀性可以控制在0.7%以内,平面均匀性在1%以内;口径在1 200 mm范围内凹面元件均匀性可控制在1%以内,平面1 300 mm口径以内窗口均匀性可控制在1%以内。镀制了口径在400~1 300 mm的多种天文观测上使用的反射镜、增透膜等,获得了理想的光谱曲线与较好的使用效果。 展开更多
关键词 大口径光学元件 薄膜 均匀性 修正板 修正
下载PDF
ISI-2802激光直写系统及其应用 被引量:6
20
作者 侯德胜 杜春雷 +1 位作者 邱传凯 白临波 《光电工程》 CAS CSCD 1997年第S1期27-31,共5页
介绍中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室引进的国内首台激光直写系统的工作模式、基本结构、主要性能和应用范围等,并给出用这台设备已经作出的一些掩模图形的样品。
关键词 激光直写 掩模 二元光学 激光光刻机
下载PDF
上一页 1 2 13 下一页 到第
使用帮助 返回顶部