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Real-time and high-transmission middle-infrared optical imaging system based on a pixel-wise metasurface micro-polarization array
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作者 马丽凤 杜杉 +6 位作者 常军 陈蔚霖 武楚晗 石鑫鑫 黄翼 钟乐 穆全全 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第8期304-309,共6页
Real-time polarization medium-wave infrared(MIR)optical imaging systems enable the acquisition of infrared and polarization information for a target.At present,real-time polarization MIR devices face the following pro... Real-time polarization medium-wave infrared(MIR)optical imaging systems enable the acquisition of infrared and polarization information for a target.At present,real-time polarization MIR devices face the following problems:poor real-time performance,low transmission and high requirements for fabrication and integration.Herein,we aim to improve the performance of real-time polarization imaging systems in the MIR waveband and solve the above-mentioned defects.Therefore,we propose a MIR polarization imaging system to achieve real-time polarization-modulated imaging with high transmission as well as improved performance based on a pixel-wise metasurface micro-polarization array(PMMPA).The PMMPA element comprises several linear polarization(LP)filters with different polarization angles.The optimization results demonstrate that the transmittance of the center field of view for the LP filters is up to 77%at a wavelength of4.0μm and an extinction ratio of 88 d B.In addition,a near-diffraction-limited real-time MIR imaging optical system is designed with a field of view of 5°and an F-number of 2.The simulation results show that an MIR polarization imaging system with excellent real-time performance and high transmission is achieved by using the optimized PMMPA element.Therefore,the method is compatible with the available optical system design technologies and provides a way to realize real-time polarization imaging in MIR wavebands. 展开更多
关键词 REAL-TIME middle infrared optical imaging system metasurface polarization array
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一种新颖的基于MEMS技术的光读出热成像系统性能分析与制作 被引量:6
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作者 冯飞 焦继伟 +1 位作者 熊斌 王跃林 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期125-130,共6页
提出了一种新颖的光读出红外热成像系统设计 .该系统利用光学读出技术将红外图像直接转化为可见光图像 ,其核心部件是一个基于微电子机械技术 (MEMS)制作的法布里 泊罗 (Fabry Perot)微腔红外探测器列阵 (F PMCIRDA) .通过对Au/SiNx双... 提出了一种新颖的光读出红外热成像系统设计 .该系统利用光学读出技术将红外图像直接转化为可见光图像 ,其核心部件是一个基于微电子机械技术 (MEMS)制作的法布里 泊罗 (Fabry Perot)微腔红外探测器列阵 (F PMCIRDA) .通过对Au/SiNx双材料体系的理论分析 ,得出了可动微镜的最大热 机械灵敏度、机械 光灵敏度及其温度响应分别为 6 .4 7× 10 -9m/K、1.5 3× 10 8m-1、2 .0 5× 10 -4.对系统噪声分析表明 :在目前的设计中 ,系统的噪声等效温差 (NETD)为 5 .1K ,而其极限值有望达到 5 8mK .采用体硅MEMS工艺 ,制作出了 5 0× 5 0的Fabry Perot微腔列阵 .实验表明 ,在红外辐射作用下 ,可动微镜有明显的位移 。 展开更多
关键词 徽电子机械技术 法布里-泊罗微腔红外探测器列阵 噪声等效温差 光读出热成像 机械-光灵敏度 热-机械灵敏度
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一种非致冷光读出红外成像阵列器件的设计 被引量:2
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作者 杨广立 冯飞 +1 位作者 熊斌 王跃林 《半导体光电》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期327-330,337,共5页
提出了一种具有“双材料梁-微镜一体化”特征结构的光读出红外成像阵列器件。该特征结构集成了红外敏感、调制和输出读出可见光信号的双重功能。通过研究相关性能,完成了像素单元尺寸的优化设计。理论计算表明,其关键性能指标的热-机械... 提出了一种具有“双材料梁-微镜一体化”特征结构的光读出红外成像阵列器件。该特征结构集成了红外敏感、调制和输出读出可见光信号的双重功能。通过研究相关性能,完成了像素单元尺寸的优化设计。理论计算表明,其关键性能指标的热-机械灵敏度和噪声等效温差分别为2.14×10-3rad/K和2.94 mK。 展开更多
关键词 双材料梁-微镜一体化 热-机械灵敏度 热时间常数 噪声等效温差 光读出红外成像阵列器件
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8~12μm红外图像生成装置 被引量:1
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作者 王宏杰 钱丽勋 +2 位作者 李卓 王欣 林栩凌 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第4期466-470,共5页
介绍了一种将可见光图像转换为红外图像的装置.装置的核心器件是利用MEMS工艺制作的可见光/红外图像转换芯片.红外图像生成装置包括可见光图像生成系统、可见光/红外图像转换系统以及红外图像投影光学系统三部分.红外图像生成装置产生... 介绍了一种将可见光图像转换为红外图像的装置.装置的核心器件是利用MEMS工艺制作的可见光/红外图像转换芯片.红外图像生成装置包括可见光图像生成系统、可见光/红外图像转换系统以及红外图像投影光学系统三部分.红外图像生成装置产生的红外图像辐射波段覆盖8~12μm,分辨率达到了20 lp/mm,可模拟温度范围为20~150℃,图像非均匀性小于5%,几何畸变小于3%. 展开更多
关键词 红外图像生成技术 半实物仿真 光学微电子机械加工器件
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人眼光焦度客观式测量的图像采集处理研究 被引量:5
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作者 赵俊奇 陈安世 +2 位作者 阎洁 李斌 郭雁文 《光学技术》 EI CAS CSCD 2002年第4期293-295,共3页
描述了人眼光焦度的测量原理。设计了一套光焦度测量采集处理系统。该系统是以一束红外脉冲光射入眼底 ,由CCD接受反射的眼底图像 ,将CCD图像进行数字化处理并存入SRAM。CPU采用重心法计算图像环中心坐标 ,以扫描法计算图像环的长、短... 描述了人眼光焦度的测量原理。设计了一套光焦度测量采集处理系统。该系统是以一束红外脉冲光射入眼底 ,由CCD接受反射的眼底图像 ,将CCD图像进行数字化处理并存入SRAM。CPU采用重心法计算图像环中心坐标 ,以扫描法计算图像环的长、短轴 ,最后计算出人眼的光焦度值。研究结果表明 ,光焦度测量采集处理系统工作可靠、实用 。 展开更多
关键词 面阵CCD 光焦度测量 高速图像采集处理 光电脉冲法 验光 人眼
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红外目标模拟系统DMD成像非均匀性分析及校正 被引量:4
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作者 苏渝阳 王治乐 +1 位作者 陆敏 邹伟 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2020年第5期1074-1081,共8页
基于数字微镜阵列(DMD)的红外目标模拟系统具有高分辨率、高帧率和大温度范围等优点,能够经济、有效地检测和评估红外探测系统的工作性能。为了研究基于DMD的红外目标模拟系统中照明系统的结构设计对成像均匀性的影响并减小像面照度不... 基于数字微镜阵列(DMD)的红外目标模拟系统具有高分辨率、高帧率和大温度范围等优点,能够经济、有效地检测和评估红外探测系统的工作性能。为了研究基于DMD的红外目标模拟系统中照明系统的结构设计对成像均匀性的影响并减小像面照度不均匀性,提出了一种消除成像不均匀的方法,对DMD照明系统的结构参数进行了分析和设计,以成像光束截面积之比作为相对照度指标,建立了数学模型,用软件进行数值仿真,得到了能消除因渐晕导致的照度不均匀现象的结构参数和像面各点相对照度分布在88.75%~1;并用TracePro验证了理论分析的结果,得到像面各点相对照度分布在90.91%~1,与理论分析结果相符,证明了在DMD照明系统结构参数设计合理的情况下,该方法可以有效降低因渐晕导致的像面照度不均匀性,为红外目标模拟系统结构参数的设计和像面照度分析提供了参考。 展开更多
关键词 数字微镜阵列 红外目标模拟 渐晕 成像均匀性 光学设计
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中红外波段超构透镜研究进展 被引量:2
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作者 李奥凌 段辉高 +2 位作者 贾红辉 李建华 胡跃强 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第19期2313-2331,共19页
中红外成像器件,特别是工作于大气窗口(3~5μm和8~12μm)的成像器件,在红外成像与探测方面具有重要应用。传统的中红外成像器件笨重、昂贵、工艺复杂,阻碍了未来轻量化和集成化的发展。由亚波长尺度的微纳米结构以周期或非周期的方式阵... 中红外成像器件,特别是工作于大气窗口(3~5μm和8~12μm)的成像器件,在红外成像与探测方面具有重要应用。传统的中红外成像器件笨重、昂贵、工艺复杂,阻碍了未来轻量化和集成化的发展。由亚波长尺度的微纳米结构以周期或非周期的方式阵列而成的超构透镜,具有轻薄、易集成、多功能化的特性,为未来微型化的需求提供了新的可能性。本文对中红外波段的超构透镜研究进展进行了综述,介绍了超构透镜的基本相位调控方式及其在中红外实现高聚焦效率、消除色差和单色像差的机理,并整理了中红外超构透镜的成像应用,包括偏振相关成像、可调及可重构成像与其他一些成像应用,最后讨论了这一新兴领域的挑战及未来的发展前景。 展开更多
关键词 光学成像 光学器件 中红外 超构透镜
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非制冷红外热像仪在便携式发射装置的应用
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作者 黄燕群 王枫 +1 位作者 杨博 赵德利 《弹箭与制导学报》 北大核心 2021年第1期36-39,共4页
文中研究一种利用1280×1024像素的非制冷探测器接收目标红外辐射能量,前端匹配红外变焦光学系统,便携式发射装置的非制冷红外热像仪;其变倍组和补偿组分别固定在丝杠上,由步进电机驱动丝杠导轨式移动改变两者的位置实现连续变焦;... 文中研究一种利用1280×1024像素的非制冷探测器接收目标红外辐射能量,前端匹配红外变焦光学系统,便携式发射装置的非制冷红外热像仪;其变倍组和补偿组分别固定在丝杠上,由步进电机驱动丝杠导轨式移动改变两者的位置实现连续变焦;与上位机用串口通讯设置亮度、对比度、极性、校正等图像的参数,用CameraLink方式输出数字视频信号,整机采用镂空结构支架固定;样机成像清晰、参数可调,满足要求,适于便携式发射装置应用。 展开更多
关键词 便携式发射装置 非制冷红外热像仪 连续变焦光学系统
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基于哈特曼波前传感器的非制冷红外成像光学读出系统 被引量:6
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作者 马晓燠 樊志华 +2 位作者 饶长辉 钱见 史海涛 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期490-495,共6页
提出了一种新的基于哈特曼波前传感器(SHWS)的光学读出系统。该系统利用SHWS探测焦平面阵列(FPA)单元在受热前后反射波前斜率的变化量重构被探测物体的红外辐射图像。在理论上详细讨论其成像性能后,实验获得了单元尺寸为60μm×60... 提出了一种新的基于哈特曼波前传感器(SHWS)的光学读出系统。该系统利用SHWS探测焦平面阵列(FPA)单元在受热前后反射波前斜率的变化量重构被探测物体的红外辐射图像。在理论上详细讨论其成像性能后,实验获得了单元尺寸为60μm×60μm,阵列大小为34 pixel×38 pixel的高温物体红外图像,其噪声等效温度差(NETD)约为3.8 K。优化系统参数设计,可以提高哈特曼波前传感器对到达角的测量精度进而获得更小的噪声等效温度差。 展开更多
关键词 光学器件 哈特曼波前传感器 光学读出 非制冷红外成像
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大角度双波段探测成像分光器件的研制 被引量:1
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作者 付秀华 刘瑞奇 +4 位作者 朱忠尧 韩克旭 王奔 刘俊岐 刘海成 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第14期63-70,共8页
在微光夜视与红外成像融合的光学系统中,光通过55°放置的分光镜分成两束光,其中反射光被微光探测器接收进行微光夜视成像,透射光被红外探测器接收进行红外成像,通过图像融合技术来提高系统的成像分辨率。针对分光镜的参数要求,笔... 在微光夜视与红外成像融合的光学系统中,光通过55°放置的分光镜分成两束光,其中反射光被微光探测器接收进行微光夜视成像,透射光被红外探测器接收进行红外成像,通过图像融合技术来提高系统的成像分辨率。针对分光镜的参数要求,笔者选用Ge、ZnS和YbF3作为沉积材料,采用离子源辅助沉积技术在多光谱ZnS基底上制备了0.6~0.9μm波段高反、3.7~4.8μm波段高透的分光膜。通过对膜系结构的优化以及沉积工艺参数的调整,解决了膜层牢固度和面形精度等问题,实现了0.6~0.9μm波段反射率为90.77%、3.7~4.8μm波段透射率为91.15%的分光指标。附着力测试、摩擦力测试、高低温测试、恒温恒湿测试结果显示所制备的双面膜可以满足使用要求,但该膜的短波反射率和长波透过率仍有一定的提升空间。 展开更多
关键词 光学器件 分光镜 微光夜视 中波红外成像 面形精度
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带温度补偿结构的高灵敏度光读出红外成像阵列器件设计
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作者 李珂 冯飞 +1 位作者 熊斌 王跃林 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期46-52,共7页
本文提出了一种光读出红外成像阵列器件的结构设计,该设计提高了器件的热-机械灵敏度,同时能有效降低周围环境温度变化所带来的影响。理论计算表明,该阵列器件的关键性能指标热-机械灵敏度和噪声等效温差分别为2.39×10-3和2.42,此... 本文提出了一种光读出红外成像阵列器件的结构设计,该设计提高了器件的热-机械灵敏度,同时能有效降低周围环境温度变化所带来的影响。理论计算表明,该阵列器件的关键性能指标热-机械灵敏度和噪声等效温差分别为2.39×10-3和2.42,此外,ANSYS模拟仿真的结果验证了该设计能抑制周围环境温度波动对器件红外目标探测的影响。 展开更多
关键词 光读出红外成像阵列器件 热-机械灵敏度 噪声等效温差 温度补偿
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中波红外傅里叶变换成像光谱仪后置成像系统分析与设计
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作者 王文丛 梁静秋 +4 位作者 梁中翥 吕金光 秦余欣 田超 王维彪 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第6期238-244,共7页
提出了一种基于多级微反射镜的静态化新型红外傅里叶变换成像光谱仪结构。系统不含狭缝和可动部件,因此光通量大、结构稳定。介绍了该成像光谱仪的工作原理和光程差的产生方式。根据系统原理对后置成像光学系统进行了分析与设计。结果... 提出了一种基于多级微反射镜的静态化新型红外傅里叶变换成像光谱仪结构。系统不含狭缝和可动部件,因此光通量大、结构稳定。介绍了该成像光谱仪的工作原理和光程差的产生方式。根据系统原理对后置成像光学系统进行了分析与设计。结果表明:在-20℃~60℃的温度范围内,系统成像质量良好。全视场传递函数在CCD奈奎斯特频率17lp/mm处大于0.6。系统的均方根(RMS)最大光斑直径小于12μm,系统单个像元能量集中度大于80%,冷光阑匹配效率接近100%。以RMS光斑直径变化为标准,计算了系统的公差灵敏度矩阵,计算结果表明,后置成像系统0视场光斑尺寸小于16μm的可能性为97.7%。 展开更多
关键词 光学器件 傅里叶变换成像光谱仪 光学系统分析与设计 多级微反射镜 中波红外
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