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Effect of Oxygen Partial Pressure on Epitaxial Growth and Properties of Laser-Ablated AZO Thin Films
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作者 王传彬 LUO Sijun +1 位作者 SHEN Qiang 张联盟 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2016年第1期27-30,共4页
Al-doped ZnO(AZO) thin films were grown on c-sapphire substrates by laser ablation under different oxygen partial pressures(P_(O2)).The effect of P_(O2) on the crystal structure,preferred orientation as well a... Al-doped ZnO(AZO) thin films were grown on c-sapphire substrates by laser ablation under different oxygen partial pressures(P_(O2)).The effect of P_(O2) on the crystal structure,preferred orientation as well as the electrical and optical properties of the films was investigated.The structure characterizations indicated that the as-grown films were single-phased with a wurtzite ZnO structure,showing a significant c-axis orientation.The films were well crystallized and exhibited better crystallinity and denser texture when deposited at higher P_(O2).At the optimum oxygen partial pressures of 10- 15 Pa,the AZO thin films were epitaxially grown on c-sapphire substrates with the(0001) plane parallel to the substrate surface,i e,the epitaxial relationship was AZO(000 1) // A1_2O_3(000 1).With increasing P_(O2),the value of Hall carrier mobility was increased remarkably while that of carrier concentration was decreased slightly,which led to an enhancement in electrical conductivity of the AZO thin films.All the films were highly transparent with an optical transmittance higher than 85%. 展开更多
关键词 AZO thin films epitaxial growth laser ablation oxygen partial pressure electrical and optical properties
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Effects of oxygen partial pressure on optical properties of NiO_x films deposited by reactive DC-magnetron sputtering 被引量:2
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作者 周莹 耿永友 顾冬红 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2006年第11期678-681,共4页
The influence of oxygen partial pressure on the optical properties of NiOx thin films deposited by reactive DC-magnetron sputtering from a nickel metal target in a mixture gas of oxygen and argon was presented. With t... The influence of oxygen partial pressure on the optical properties of NiOx thin films deposited by reactive DC-magnetron sputtering from a nickel metal target in a mixture gas of oxygen and argon was presented. With the oxygen ratio increasing, the reflectivity of the as-deposited films decreased, and optical band gap increased. Thermogravimetric analysis (TGA) showed that the decompose temperature of the films was above 250℃. After annealed at 400℃, only films deposited at 5% O2/Ar ratio showed high optical contrast which was about 52%. Scanning electron microscope (SEM) results revealed that the changes of surface morphology were responsible for the optical property variations of the films after annealing. Its thermal stability and high optical contrast before and after annealing made it a good potential write-once optical recording medium. OCIS codes: 310.6860, 310.3840, 210.4810, 300.6470. 展开更多
关键词 ANNEALING Magnetron sputtering Morphology optical properties optical recording partial pressure REFLECTION Scanning electron microscopy Thermodynamic stability Thermogravimetric analysis Thin films
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Optical properties of Al_(x)Ga_(1-x)As/GaAs Woods-Saxon quantum well in the presence of hydrostatic pressure and applied electric field
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作者 Zhi-Hai Zhang Yi-Sheng Shi Jian-Hui Yuan 《Communications in Theoretical Physics》 SCIE CAS CSCD 2022年第6期143-151,共9页
The third harmonic generation(THG),linear and nonlinear optical absorption coefficients(OACs),and refractive index changes(RICs)are investigated in a Woods-Saxon quantum well(QW)modulated by the hydrostatic pressure a... The third harmonic generation(THG),linear and nonlinear optical absorption coefficients(OACs),and refractive index changes(RICs)are investigated in a Woods-Saxon quantum well(QW)modulated by the hydrostatic pressure and applied electric field.The effect of non-uniform aluminum doping(position-dependent effective mass(PDEM))on the mass of the system is discussed,and further to explore the influence of PDEM on the nonlinear THG,OACs,and RICs of the Woods-Saxon QW.These nonlinear optical properties above are obtained using the compact-density matrix formalism.The electron states in a Woods-Saxon QW under the constant effective mass(CEM)and PDEM are calculated by solving the Schr?dinger equation via the finite difference technique.The contributions from competing effects of the hydrostatic pressure and applied electric field to the nonlinear optical properties with CEM and PDEM are reported,as well as the comparison with each other.The observations reveal that the regulation of external fields and the influence of PDEM play an important role in the photoelectric properties of QW. 展开更多
关键词 optical properties position dependent effective mass hydrostatic pressure electric field
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Preparation and optoelectronic properties of a-IGZO thin films deposited by RF magnetron sputtering at different working pressures 被引量:2
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作者 Rui-Xin Ma Yu-Qin Xiao +3 位作者 Shi-Na Li Yuan-Yuan Wang Dong-Ran Li Liang-Wei He 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第7期599-603,共5页
Transparent oxide semiconductor, a-IGZO, thin films were prepared by high-vacuum RF magnetron sputtering at different working pressures. The effect of working pressure on crystal structure, surface morphology, and ele... Transparent oxide semiconductor, a-IGZO, thin films were prepared by high-vacuum RF magnetron sputtering at different working pressures. The effect of working pressure on crystal structure, surface morphology, and electrical and optical properties of the films was studied. The highest ball mobility of 17.45 cmZ-V-l.s- 1 is obtained at 0.3 Pa with annealing at 200 ℃, while the highest carrier concentration of 2.32×10^20 cm^-3 and the lowest resistivity of 0.001568 Ω.cm are obtained at 0.45 Pa with annealing. The highest transmittance of 90.9 % is obtained at 0.9 Pa with annealing treatment. A "blue shift" of UV absorption edge is observed with the increase of working press ure. 展开更多
关键词 A-IGZO Thin film RF magnetron sputtering Working pressure optical electrical properties
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氧分压对直流磁控溅射制备ZnO:Ga透明导电薄膜特性的影响 被引量:23
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作者 马全宝 叶志镇 +3 位作者 何海平 朱丽萍 张银珠 赵炳辉 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期1113-1116,共4页
通过直流反应磁控溅射法在玻璃衬底上制备了掺镓ZnO(znO:Ga)透明导电薄膜,研究了氧分压对ZnO:Ga透明导电薄膜结构和电光学性能的影响.X射线衍射结果表明所制备的薄膜具有c轴择优取向的六角多晶结构.ZnO:Ca透明导电薄膜的晶粒尺寸强烈依... 通过直流反应磁控溅射法在玻璃衬底上制备了掺镓ZnO(znO:Ga)透明导电薄膜,研究了氧分压对ZnO:Ga透明导电薄膜结构和电光学性能的影响.X射线衍射结果表明所制备的薄膜具有c轴择优取向的六角多晶结构.ZnO:Ca透明导电薄膜的晶粒尺寸强烈依赖于氧分压的大小,随着氧分压的增大薄膜的晶粒尺寸先增大后减小,在氧分压为0.30 Pa时沉积的ZnO:Ga薄膜半高宽最小,晶粒尺寸最大.薄膜的电阻率随着氧分压的增大先减小后增大,沉积薄膜的最低电阻率可达3.50×10^(-4)Ω·cm.此外,所有ZnO:Ga薄膜在可见光范围内的平均透射率均超过90%. 展开更多
关键词 ZNO:GA 透明导电氧化物薄膜 磁控溅射 氧分压 光电特性
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氧分压对射频磁控溅射制备氧化锌薄膜光电学性质的影响 被引量:5
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作者 彭福川 林丽梅 +2 位作者 郑卫峰 盖荣权 赖发春 《福建师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2011年第1期52-56,共5页
利用射频磁控溅射在石英基片上沉积ZnO薄膜.为了研究氧分压对ZnO薄膜的结构和光电学性质的影响,在氧分压0.00,2.54,5.06,7.57 mPa的条件下制备了4个样品.样品的微结构、表面形貌和光电学性质分别用X射线衍射仪、原子力显微镜、分光光度... 利用射频磁控溅射在石英基片上沉积ZnO薄膜.为了研究氧分压对ZnO薄膜的结构和光电学性质的影响,在氧分压0.00,2.54,5.06,7.57 mPa的条件下制备了4个样品.样品的微结构、表面形貌和光电学性质分别用X射线衍射仪、原子力显微镜、分光光度计和Van der Pauw方法进行测量.结果表明,所有样品的主要衍射峰为(002)峰,随氧分压的增加,(002)峰的强度降低,且出现了(101)面的衍射峰.氧分压的升高,薄膜的表面粗糙度和载流子浓度减小,迁移率增大,电阻率从氧分压为0时的0.2Ωcm增加到7.57 mPa时的1 400Ωcm.所有样品在可见光区的平均透过率都大于83%,薄膜的折射率随氧分压的增加而增大,而消光系数和光学带隙则减小. 展开更多
关键词 氧化锌薄膜 射频磁控溅射 氧分压 光电学性质
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柔性基片上In_2O_3:Sn和ZnO:Al薄膜的制备及其电学和光学特性 被引量:6
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作者 陈猛 白雪冬 +1 位作者 黄荣芳 闻立时 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1999年第4期443-448,共6页
利用直流磁控反应溅射钢锡合金靶和锌铝合金靶,在软基片上低温沉积了In2O3:Sn(ITO)和ZnO:Al(ZAO)透明导电薄膜.结果表明,ITO和ZAO薄膜均出现晶格畸变:柔性基片上低温沉积薄膜的电阻率对氧分压的依赖... 利用直流磁控反应溅射钢锡合金靶和锌铝合金靶,在软基片上低温沉积了In2O3:Sn(ITO)和ZnO:Al(ZAO)透明导电薄膜.结果表明,ITO和ZAO薄膜均出现晶格畸变:柔性基片上低温沉积薄膜的电阻率对氧分压的依赖性远低于硅和玻璃衬底;尺度效应对薄膜电阻率有重要的影响实验测得ITO薄膜在60nm厚时获得最低电阻率为4.23×10-4·cm,ZAO薄膜在20nm厚时获得最低电阻率为8.09×10-4·cm.无论ITO或是ZAO,其可见光区的平均透射率均大于75%基于薄膜吸收系数的研究表明,ITO薄膜的光学直接能隙在3.65-4.00eV之间,间接跃迁在2.50—275eV之间ZZAO薄膜的光学直接能隙在3.20—3;60eV之间,间接跃迁在250—2. 展开更多
关键词 柔性基片 光学能隙 半导体薄膜 制备 ITO ZAO
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射频磁控溅射法制备SnO_2∶Sb透明导电薄膜的光电性能研究 被引量:9
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作者 陈甲林 赵青南 张君 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2005年第5期406-411,共6页
采用射频磁控溅射法在载波片玻璃衬底上制备了锑掺杂二氧化锡(SnO2∶Sb)透明导电薄膜。利用霍耳效应实验、紫外可见光光谱仪、n(折射率)k(消光系数)d(薄膜厚度)光谱仪对该导电薄膜的光电性能进行了测试。讨论了氧气分压对样品光电性能... 采用射频磁控溅射法在载波片玻璃衬底上制备了锑掺杂二氧化锡(SnO2∶Sb)透明导电薄膜。利用霍耳效应实验、紫外可见光光谱仪、n(折射率)k(消光系数)d(薄膜厚度)光谱仪对该导电薄膜的光电性能进行了测试。讨论了氧气分压对样品光电性能的影响,增加氧气分压,薄膜的厚度减小、吸收边和截止波长蓝移,光学带隙增大,并且氧气分压对薄膜电阻率、载流子浓度和霍耳迁移率的影响不是线性的,而是存在一个最佳值。当氧气分压为0.10 Pa时,薄膜的光电性能最佳,此时膜厚为399 nm,可见光平均透过率为70%,电阻率为2.5×10-3Ω.cm,载流子浓度为1.2×1021cm-3,载流子霍耳迁移率为2.04 cm2.V-1.s-1,其光电特性已达到了TFT-LCD透明电极的要求。 展开更多
关键词 射频磁控溅射 透明导电薄膜 光电性能 氧气分压
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反应合成制备Ag-Sn-O系电接触材料热力学分析 被引量:9
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作者 张昆华 孙加林 +3 位作者 管伟明 陈敬超 周晓龙 杜焰 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第10期1581-1585,共5页
运用GibbsHelmholtz方程进行了反应合成法制备AgSnO2复合材料的热力学计算和数据分析。结果表明:当反应温度小于505K时,反应合成属于固-固间的置换反应;当反应温度大于505K时,反应合成属于固-气间的氧化反应。通过计算500K^1200K范围内... 运用GibbsHelmholtz方程进行了反应合成法制备AgSnO2复合材料的热力学计算和数据分析。结果表明:当反应温度小于505K时,反应合成属于固-固间的置换反应;当反应温度大于505K时,反应合成属于固-气间的氧化反应。通过计算500K^1200K范围内生成物SnO,SnO2单位体积生成自由能和分解氧分压,确定以Ag2O,Ag,Sn等为原料,反应合成的最终产物为Ag和SnO2,不存在SnO相。通过数据分析为制定反应合成法制备AgSnO2复合材料的工艺参数提供了理论依据。 展开更多
关键词 电接触材料 热力学计算 反应合成法 银二氧化锡 Gibbs体积生成自由能 氧分压
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基底温度和氧分压对直流磁控溅射制备的ZnO∶Al薄膜性能的影响 被引量:5
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作者 余志明 伍水平 +4 位作者 魏秋平 牛仕超 彭传才 李京增 魏敏 《真空》 CAS 北大核心 2006年第6期11-14,共4页
利用直流磁控溅射法在玻璃衬底上制备了ZnO:A l(ZAO)透明导电薄膜。详细研究了沉积时的基片温度、氧分压强对膜的透光率和电阻率的影响。结果表明:ZAO薄膜具有六角纤锌矿结构且呈c轴择优取向,晶粒垂直于衬底方向柱状生长;衬底温度和氧... 利用直流磁控溅射法在玻璃衬底上制备了ZnO:A l(ZAO)透明导电薄膜。详细研究了沉积时的基片温度、氧分压强对膜的透光率和电阻率的影响。结果表明:ZAO薄膜具有六角纤锌矿结构且呈c轴择优取向,晶粒垂直于衬底方向柱状生长;衬底温度和氧分压对薄膜的电阻率有很大影响;基底温度对薄膜的可见光透过率影响不大,但随氧分压的增大而增大;在衬底温度为250℃、氧分压为1%时,薄膜有最优化的电阻率和平均透光率,分别达到8.35×10-4Ω.cm和85.2%。 展开更多
关键词 ZAO薄膜 氧分压 直流磁控溅射 电阻率 透过率
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磁控溅射气体参数对氧化铟薄膜特性的影响 被引量:3
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作者 才玺坤 原子健 +3 位作者 朱夏明 张兵坡 邱东江 吴惠桢 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第1期17-21,共5页
采用射频磁控溅射法生长氧化铟薄膜,研究了溅射气压和溅射气体对氧化铟薄膜结构及光电特性的影响。X射线衍射结果表明制得的薄膜为立方结构的多晶体,随着溅射气压的升高,薄膜晶粒尺寸变大。1 Pa下沉积的氧化铟薄膜具有最大的迁移率和最... 采用射频磁控溅射法生长氧化铟薄膜,研究了溅射气压和溅射气体对氧化铟薄膜结构及光电特性的影响。X射线衍射结果表明制得的薄膜为立方结构的多晶体,随着溅射气压的升高,薄膜晶粒尺寸变大。1 Pa下沉积的氧化铟薄膜具有最大的迁移率和最小的载流子浓度,分别为15.2 cm^2/V.s和1.19×10^19cm^-3。用O2溅射的氧化铟薄膜载流子浓度降至4.39×1013cm^-3,在红外区(1.5-5.5μm)的平均透射率为85%,高于Ar溅射的薄膜,这可能是由于O2的加入减少了氧空位,降低了载流子浓度,使得自由载流子对红外光的吸收减弱。 展开更多
关键词 IN2O3 磁控溅射 溅射气压 电学特性 氧空位
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氧分压对铟镓锌氧化物薄膜晶体管性能的影响 被引量:3
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作者 刘媛媛 童杨 +3 位作者 王雪霞 王昆仑 宋淑梅 杨田林 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第12期3108-3112,共5页
室温下,利用射频磁控溅射技术在p型<100>硅衬底上,不同氧分压下制备了铟镓锌氧化物薄膜晶体管(IGZO TFT)。结果表明,不同氧分压的IGZO薄膜呈非晶态;随着氧分压的增大其光学带隙先增大后减小;IGZO TFT场效应迁移率先增大后减小,器... 室温下,利用射频磁控溅射技术在p型<100>硅衬底上,不同氧分压下制备了铟镓锌氧化物薄膜晶体管(IGZO TFT)。结果表明,不同氧分压的IGZO薄膜呈非晶态;随着氧分压的增大其光学带隙先增大后减小;IGZO TFT场效应迁移率先增大后减小,器件由耗尽型转变为增强型。当氧分压为7.47%时,IGZO TFT电学性能最好,场效应迁移率为4.44 cm2/(V·s),亚阈值摆幅的值是2.1 V/decade,电流开关比大于105。 展开更多
关键词 射频磁控溅射 氧分压 光学带隙 IGZO TFT
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薄膜厚度和工作压强对室温制备AZO薄膜性能的影响 被引量:6
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作者 张俊双 叶勤 +1 位作者 曾富强 王权康 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第12期45-48,共4页
采用射频磁控溅射法在室温下、普通玻璃基片上制备了AZO透明导电薄膜。用X射线衍射仪、原子力显微镜、紫外-可见分光光度计和四探针测量了不同薄膜厚度和不同工作压强下所得样品的结构、电学和光学性能,结果表明,所制备的AZO薄膜均具有... 采用射频磁控溅射法在室温下、普通玻璃基片上制备了AZO透明导电薄膜。用X射线衍射仪、原子力显微镜、紫外-可见分光光度计和四探针测量了不同薄膜厚度和不同工作压强下所得样品的结构、电学和光学性能,结果表明,所制备的AZO薄膜均具有六角纤锌矿结构,沿c轴择优取向生长;在可见光范围内,薄膜平均透过率约为80%;随着薄膜厚度的增加和工作压强的降低,薄膜的电阻率呈下降趋势;得到的薄膜最低方块电阻为7.5Ω/□。 展开更多
关键词 磁控溅射 AZO导电薄膜 薄膜厚度 工作压强 光电性能
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氧分压对直流磁控溅射IGZO薄膜特性的影响 被引量:2
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作者 李玲 薛涛 +2 位作者 宋忠孝 张小宁 刘纯亮 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第10期1254-1258,共5页
在室温下,利用直流磁控反应溅射法分别在硅片和石英玻璃上制备IGZO薄膜。通过控制溅射时氧分压的不同,研究其制备IGZO薄膜的微结构、表面形貌及其元素结合能及电学与光学特性。结果表明,在不同的氧分压下,薄膜始终保持稳定的非晶结构,... 在室温下,利用直流磁控反应溅射法分别在硅片和石英玻璃上制备IGZO薄膜。通过控制溅射时氧分压的不同,研究其制备IGZO薄膜的微结构、表面形貌及其元素结合能及电学与光学特性。结果表明,在不同的氧分压下,薄膜始终保持稳定的非晶结构,并且在可见光区域的透光率超过80%。随着氧分压的增加,薄膜的表面粗糙度增加,沉积速率下降。通过X射线光电子谱分析随氧分压的增大,氧空位的增加,从而引起薄膜的电阻率增大,光学禁带宽度逐渐由3.58减小到3.50e V。氧分压是磁控溅射IGZO薄膜的关键因素。 展开更多
关键词 IGZO薄膜 氧分压 薄膜特性 磁控溅射
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In_2O_3:W薄膜的制备及光电性能研究 被引量:5
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作者 李渊 王文文 张俊英 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第8期1457-1460,共4页
采用直流磁控溅射法制备了掺钨氧化铟(In2O3:W,IWO)薄膜,研究了制备工艺对薄膜表面形貌和光电性能的影响。结果表明薄膜的表面形貌与其光电性能有着紧密联系。氧分压显著影响薄膜的表面形貌进而对薄膜的光电性能产生影响,同时溅射时间... 采用直流磁控溅射法制备了掺钨氧化铟(In2O3:W,IWO)薄膜,研究了制备工艺对薄膜表面形貌和光电性能的影响。结果表明薄膜的表面形貌与其光电性能有着紧密联系。氧分压显著影响薄膜的表面形貌进而对薄膜的光电性能产生影响,同时溅射时间的变化也显著影响薄膜的光电性能:随着氧分压以及溅射时间的升高,薄膜的电阻率均呈现先减小后增大的变化规律,在氧分压为2.4×10-1Pa条件下,制备样品的表面晶粒排布最细密,其电阻率达到6.3×10-4Ω.cm,载流子浓度为2.9×1020cm-3,载流子迁移率为34cm2/(V.s),可见光平均透射率约为85%,近红外光平均透射率>80%。 展开更多
关键词 In2O3∶W薄膜 直流磁控溅射 氧分压 溅射时间 表面形貌 光电性能
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Al_2O_3掺量及氧气分压对直流磁控溅射法制备铝掺杂氧化锌薄膜性能的影响 被引量:5
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作者 余俊 赵青南 赵修建 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第10期1241-1245,共5页
制备了掺杂质量数为1%,2%,3%和4%Al2O3的ZnO靶材。用直流磁控溅射法在玻璃衬底上制备了ZnO∶Al(ZAO)透明导电薄膜试样。用X射线衍射和扫描电镜分析了薄膜的物相及表面形貌。用四探针法测试了薄膜的电性能。用紫外可见光谱仪测试了试样... 制备了掺杂质量数为1%,2%,3%和4%Al2O3的ZnO靶材。用直流磁控溅射法在玻璃衬底上制备了ZnO∶Al(ZAO)透明导电薄膜试样。用X射线衍射和扫描电镜分析了薄膜的物相及表面形貌。用四探针法测试了薄膜的电性能。用紫外可见光谱仪测试了试样的可见光透过率。结果表明:溅射气氛中氧气的存在降低薄膜的电导率,对薄膜试样的可见光透过率影响不大;用含3%Al2O3的ZnO靶材制备的薄膜的电导率最高。讨论了氧气分压和Al2O3的掺杂量对ZAO薄膜的结构和性能的影响。 展开更多
关键词 铝掺杂氧化锌薄膜 电导率 直流磁控溅射
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超快速反应聚合物光纤氧测定装置及其用于活体动物机械通气下动脉血氧分压连续动态变化的初步实验报告 被引量:6
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作者 孙兴国 陈荣声 +11 位作者 王桂芝 杨希营 赵晓勇 于剑锋 张蕊 冀玉萍 李军 李浩 张也 马铭欣 陈荣 邹昱馨 《中国应用生理学杂志》 CAS CSCD 北大核心 2021年第1期104-112,共9页
目的:我们在中国尝试使用超快反应聚合物光纤氧感受器置入整体活体动物动脉血管,再通过光电转换测定系统以记录活体动物颈动脉PO_(2)(PaO_(2))连续动态的快速变化,为完善整体整合生理学理论体系中循环参与呼吸调控和呼吸循环代谢一体化... 目的:我们在中国尝试使用超快反应聚合物光纤氧感受器置入整体活体动物动脉血管,再通过光电转换测定系统以记录活体动物颈动脉PO_(2)(PaO_(2))连续动态的快速变化,为完善整体整合生理学理论体系中循环参与呼吸调控和呼吸循环代谢一体化调控提供实验依据。方法:①超快反应氧感受器制作、性能及其测定系统标定:在实验室加热总长2 m光纤的远端5 mm部分,拉动直到它成锥形尖端,清洁并干燥后,将1 mm锥形光纤尖端浸涂到发光体掺杂聚合物溶液中,在溶剂快速蒸发同时将其缓慢抽出来形成氧气感测尖端,室温干燥24 h。对完成制作的感受器进行性能标定,并于第37日重复标定。②动物实验:在潍坊医学院实验室对山羊全麻气管插管氧气机械通气下,切皮暴露双颈动脉和左侧股动脉,分别把超快反应氧传感器直接插入动脉中,通过光导纤维、激发与检测Y型光纤耦合器经光电转换连接到个人电脑,实现机械通气下活体山羊颈动脉PaO_(2)的连续动态反应,主要分析PaO_(2)的呼吸间波浪式交替升降和肺-颈动脉时间延迟。结果:该置入式超快反应氧传感器在液相的响应时间为100 ms。活体山羊实验40%~60%氧气机械通气心率和血压稳定,左和右颈动脉PaO_(2)随着呼吸机的吸气和呼气呈现波浪式上升和下降的呼吸交替现象,幅度高达15 mmHg;左侧股动脉位置记录的信息噪音显著干扰PaO_(2)变化。肺-颈动脉时间延迟是在吸气和呼气开始后1.5~1.7 s左侧和右侧颈动脉PaO_(2)都开始上升和下降;即肺通气开始后3次心跳,左心室可把肺毛细血管后动脉化的肺静脉血液送到外周化学感受器位置中断吸气切换为呼气和中断呼气切换为吸气,如此实现吸呼周而复始。结论:活体动物置入动脉的超快反应氧传感器及其测定系统可测定PaO_(2)生理性波浪式变化,能为整体整合生理学医学新理论体系中解释吸气和呼气相互切换的机制提供实验依据。 展开更多
关键词 超快反应聚合物光纤氧传感器 整体整合生理学医学 活体整体动物 动脉血氧分压波动幅度 肺-动脉时间延迟 呼吸调节控制信号 吸气和呼气相互切换机制
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溅射氩气压对射频磁控溅射制备ZnO∶Al薄膜性能的影响 被引量:2
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作者 刘超英 陈玮 +3 位作者 徐志伟 付静 左岩 马眷荣 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第7期7052-7055,共4页
采用磁控溅射方法在玻璃衬底上使用掺杂3%(质量分数)Al2 O 3的 ZnO 陶瓷靶材制备出了掺铝氧化锌(ZnO ∶ Al,AZO)透明导电薄膜.分别用XRD、SEM、四探针测试仪、紫外-可见分光光度计对薄膜的性能进行了表征和分析.研究了溅射过程中... 采用磁控溅射方法在玻璃衬底上使用掺杂3%(质量分数)Al2 O 3的 ZnO 陶瓷靶材制备出了掺铝氧化锌(ZnO ∶ Al,AZO)透明导电薄膜.分别用XRD、SEM、四探针测试仪、紫外-可见分光光度计对薄膜的性能进行了表征和分析.研究了溅射过程中不同氩气压强(0.3-1.2 Pa)对薄膜结构、形貌及光电性能的影响.XRD 测试结果表明,所制备的薄膜均具有呈c 轴择优取向的纤锌矿结构.当氩气压强为0.3 Pa时,AZO 薄膜的电阻率最低为6.72×10^-4Ω·cm.所有样品在可见光波段的平均透过率超过85%. 展开更多
关键词 氩气压力 射频磁控溅射 AZO 薄膜 光电性能
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氧分压对Cu掺杂ZnO薄膜的结构及光学特性的影响 被引量:1
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作者 马书懿 尚小荣 +1 位作者 马李刚 苏畅 《西北师范大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2011年第3期15-20,共6页
采用射频磁控溅射方法在玻璃衬底上制备了不同氧分压的Cu掺杂ZnO(ZnO∶Cu)薄膜.利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、紫外-可见分光光度计和光致荧光发光(PL)等表征技术,研究了不同氧分压对ZnO∶Cu薄膜的微观结构和光学特性的影响.... 采用射频磁控溅射方法在玻璃衬底上制备了不同氧分压的Cu掺杂ZnO(ZnO∶Cu)薄膜.利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、紫外-可见分光光度计和光致荧光发光(PL)等表征技术,研究了不同氧分压对ZnO∶Cu薄膜的微观结构和光学特性的影响.研究结果显示,随着氧分压的增加,薄膜的(002)衍射峰先增强后减弱,同时(100)(、101)和(110)衍射峰在(002)衍射峰增加时减小,表明氧分压可以影响ZnO∶Cu薄膜的结晶取向.薄膜在紫外-可见光范围的透过率超过70%,同时随着氧分压的增加,薄膜的光学带隙值先增大后减小.通过对光致发光的研究表明,射频磁控溅射法在低氧和高氧环境条件下都可制得好的发光薄膜. 展开更多
关键词 ZnO∶Cu薄膜 氧分压 磁控溅射 光学特性
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Ti-Nb系复合氧化物的氧敏特性 被引量:3
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作者 彭军 刘笃仁 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第1期110-112,共3页
由具有氧敏特性的TiO2与Nb2O5形成的不含贵金属催化剂的复合材料,其氧分压特性、空燃比特性及温度特性的比单纯材料有明显改善.
关键词 氧敏特性 空气过剩率 复合材料 氧敏材料
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