基于静电驱动的平行平板型微反射镜的研制

设计了一种基于静电驱动的平行平板型微反射镜,主要由镜面、下电极、支柱和玻璃基板构成。通过有限元模拟分析得到的仿真结果表明,带孔结构的微镜模型模拟位移量是传统双横梁支撑结构微镜模型的1.5倍,确定了制备的微镜装置结构。在制备过程中只采用了溅射、光刻、机械切割及反应离子刻蚀等工艺,简化了工艺流程,降低了制备成本。使用反应离子刻蚀(RIE)去除牺牲层,为了克服光刻胶OFPR800灰化速度慢、灰化时间过长会损伤器件的问题,提出添加氟类气体的解决方法。实验结果表明,使用O_(2)和SF_(6)混合气体作为刻蚀气体刻蚀牺牲层后,射频(RF)溅射成的铝膜平均表面粗糙度为5.33 nm,均方根粗糙度为7.44 nm,在250~850 nm的波长范围内能够得到70%以上的反射率,并且无光刻胶的残留,刻蚀效果最理想,因此采用了O_(2)/SF_(6)RIE工艺去除牺牲层。针对仿真中出现镜面层厚度变化影响驱动位移的现象,制备了镜面层厚度分别为0.5和0.8μm两种微镜样品进行了测试。实验结果表明:0.5μm厚的样品不能承受自重而凹陷,0.8μm厚的样品镜面驱动位移接近0.1μm,符合设计要求。

基于平行玻璃板的半导体激光器阵列光束整形

为得到质量均衡的大功率激光束,分别以条形和面阵半导体激光器为模型,基于平行玻璃板对光束的偏移作用,对准直后激光束进行分割和重排,并在Zemax软件中进行了仿真。条形半导体激光器初始发散角为40°和10°,整形前已准直光束快慢轴方向的光参数积分别为0.455 2mm·mrad和20.484mm·mrad,光束质量相差较大,整形后快慢轴方向光参数积分别为2.731 2mm·mrad和3.414 0mm·mrad,实现了快慢轴方向光束质量均衡。利用平行玻璃板消除面阵半导体激光器中存在的"发光死区",整形后快慢轴方向光参数积分别为7.002mm·mrad和10.242mm·mrad,整形系统耦合效率为90.13%。

高浓度玻璃纤维增强对聚丙烯黏弹性的影响

采用玻璃纤维对聚丙烯(PP)M30RH进行增强改性,得到玻璃纤维体积分数7.11%的GFPP18和玻璃纤维体积分数11.30%的GFPP27。通过平行板旋转流变仪动态应变扫描和动态频率扫描研究了它们的黏弹性变化。表观剪切黏度与剪切频率的变化关系显示添加玻璃纤维可提高PP的黏度,添加量越高,其零剪切黏度提高越多,并会出现显著的二次剪切变稀现象。剪切模量与剪切频率的变化关系显示添加玻璃纤维可提高PP的剪切模量,尤其是代表弹性的储能模量。Han曲线显示玻璃纤维添加越多对PP弹性的影响比对黏性的影响更显著。Cole-Cole图显示GFPP18和GFPP27出现了两个松弛阶段,高频区的因分子解缠导致,低频区因玻璃纤维约束周围的PP大分子链导致。

基于平行玻璃板阵列的二极管激光线阵光束整形

二维轴向光束质量的不均衡是二极管激光线阵应用的最大瓶颈,但利用光束整形技术可加以改善。基于平行玻璃板对光束的偏移作用,设计一种以线阵中独立发光单元作为整形对象的平行玻璃板阵列光束整形方法,可减小整形中慢轴光束能量损失,实现二维轴向光束质量的高效率调整。针对12个发光单元的短二极管激光线阵开展验证实验,结果表明,整形效果符合模拟结果,整形效率达93.62%。

平行玻璃板对105 keV Ar^(7+)离子的导向效应

研究了平行玻璃板对高流强(约80nA)105keV Ar7+离子的导向效应,利用一维位置灵敏探测器测量了不同倾斜角下出射离子的强度及角分布。实验结果表明,平行玻璃板对Ar7+离子有导向作用。与离子在微孔膜中的导向效应不同,从平行玻璃板出射的Ar离子角分布的FWHM随着倾斜角的改变而改变,并且出射离子角分布最大值处对应的观察角不等于倾斜角。