70mm平行束卡夫曼源的设计

本文介绍一种出口束径为￠70mm的平行束离子源的设计原理,结构特点及离子源工作性能.当加束电压为1200V,孤流为4A时,净加速束流超过100mA.可用于微细加工中离子束清洗和离子束蚀刻.

兰州重离子加速器放射性次级束流线的改进与发展

介绍了兰州重离子加速器放射性次级束流线(RIBLL)投入运行以来的若干改进和发展。改进后的RIBLL的整体性能明显改善,提高了RIBLL分析放射性次级束流(RIB)的能力和精度,并使得RIBLL运行操作简便快捷、安全可靠。

现代离子注入机的机械扫描技术

简单介绍了典型离子注入机的组成,分析了离子注入机中扫描技术的重要性。随着集成电路工艺技术的提高,对离子注入提出更高的要求,传统的批注入已不能满足当前的工艺,从而开发出了适应当前工艺的单晶片注入的机械扫描技术。这种注入技术解决了技术上的难题,也很好地控制了成本风险,同时具有更高精度、更少污染等一系列优点,成为当前高端离子注入机机械扫描技术的首选。本文对国内外技术进行了对比,对国内离子注入机机械扫描技术的发展进行了展望。

平行束磁透镜的研究

离子注入机单纯的静电扫描造成注入角度的不一,已经不能满足器件性能的一致性要求,所以产生平行的离子束就很重要,为此介绍一种均匀磁场下的平行束磁透镜,可以产生近似平行的离子束;获得离子束的平行度小于0.43°,满足大规模集成电路制造生产线的使用要求。