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EFFECT OF HEAT TREATMENTS ON THE MICROSTRUCTURE AND TRANSFORMATION CHARACTERISTICS OF TiNiPd SHAPE MEMORY ALLOY THIN FILMS
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作者 C.C. Zhang C.S. Yang +2 位作者 G.F. Ding S. Q. Qian J.S. Wu 《Acta Metallurgica Sinica(English Letters)》 SCIE EI CAS CSCD 2005年第6期707-713,共7页
Microstructure and phase transformation behaviors of the film annealed at different temperatures were studied by X-ray diffractometry (XRD), transmission electron microscopy and differential scanning calorimeter (... Microstructure and phase transformation behaviors of the film annealed at different temperatures were studied by X-ray diffractometry (XRD), transmission electron microscopy and differential scanning calorimeter (DSC). Also tensile tests were examined. For increasing annealed temperature, multiple phase transformations, transformations via a B19-phase or direct martensite/austenite transformtion are observed. The TiNiPd thin film annealed at 750℃ had relatively uniform martensite/austenite transformtion and shape memory effect. Martensite/austenite transformtion was also found in strain-temperature curves. Subsequent annealing at 450℃ had minor effect on transformation temperatures of Ti-Ni-Pd thin films but resulted in more uniform transformation and improved shape memory effect. 展开更多
关键词 Ti-Ni-pd thin films MICROSTRUCTURE martensitic phase transformation shape memory effect
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光纤氢气传感器氢敏钯(Pd)薄膜材料的制备
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作者 杨孟宇 江新峰 +4 位作者 葛琪 李宝峰 黄浩然 郑高凯 李金希 《电工材料》 CAS 2024年第4期25-28,共4页
提出了化学镀法制备以光纤包层为基底的钯薄膜材料。经过反复多次试验,优化了化学镀钯的试验方案,在镀膜前对光纤包层进行清洗,预先进行敏化活化(S&A)能够增强非金属基底材料与钯薄膜的附着力,增强机械强度。采用光学显微镜(OM)、... 提出了化学镀法制备以光纤包层为基底的钯薄膜材料。经过反复多次试验,优化了化学镀钯的试验方案,在镀膜前对光纤包层进行清洗,预先进行敏化活化(S&A)能够增强非金属基底材料与钯薄膜的附着力,增强机械强度。采用光学显微镜(OM)、扫描电镜(SEM)和能谱仪(EDS)对薄膜的物相结构、表面形貌、元素组成与含量进行了详细的表征和分析,结果显示:薄膜表面呈花菜状,增大了薄膜的表面积,加快了吸收氢气的速率;EDS分析所镀钯薄膜钯元素含量约76%~99%,镀膜效果较好。 展开更多
关键词 氢敏材料 钯(pd)薄膜 制备工艺 性能
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工作温度对Pd-Ni合金薄膜电阻氢敏性能的影响
3
作者 谢贵久 杨斌 +2 位作者 张月鑫 张璐 季惠明 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第4期381-389,共9页
目的 围绕氢气传感器在航天领域生命保障系统、氢燃料电池汽车领域能源供给系统等领域氢气泄露检测的迫切需求,针对在实际工况下工作温度对Pd-Ni合金薄膜电阻氢敏性能影响尚不清楚的问题,研究不同应用场景下工作温度对Pd-Ni合金氢敏电... 目的 围绕氢气传感器在航天领域生命保障系统、氢燃料电池汽车领域能源供给系统等领域氢气泄露检测的迫切需求,针对在实际工况下工作温度对Pd-Ni合金薄膜电阻氢敏性能影响尚不清楚的问题,研究不同应用场景下工作温度对Pd-Ni合金氢敏电阻的灵敏度、响应-恢复时间以及回零特性影响。方法 将氢敏电阻分别置于80、90、100、110℃等不同工作温度,采用一定流量的动态气体测试方法,通入不同氢气浓度的测试气体,通过数据采集系统实时测量其电阻变化曲线,并评价其氢气敏感特性。结果 通过提高工作温度,在2%H_(2)/N_(2)和4%H_(2)/N_(2)氢气浓度下,110℃下的灵敏度相比80℃近线性降低约28%,80℃下2个浓度点的响应-恢复时间分别从16.5、12.9 s降低至110℃下的12.5、9.5 s,灵敏度的降低幅度与响应-恢复时间的加快幅度在100~110℃趋于平缓;在氮气气氛或空气气氛下,其零点电阻存在差异或未恢复至绝对零点,不影响氢气浓度测量的绝对值。结论 工作温度升高会降低氢敏灵敏度,但能提升其响应与恢复时间,也能加速其零点电阻的恢复,100~110℃工作温度下综合性能较佳。测试氢气浓度越高,其响应恢复时间越快。同时也发现“假零点”现象,可以指导在实际场景中如何有效更优使用。 展开更多
关键词 工作温度 薄膜氢气 氢敏 pd-Ni合金 假零点
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Pd-Ni合金氢气传感器抗干扰性能提升研究
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作者 薛勇 张浩 +4 位作者 张月鑫 陈唯捷 林章程 肖彩丽 禹宇 《测试技术学报》 2023年第5期386-393,共8页
设计了一种Pd_(90)Ni_(10)薄膜电阻型氢气传感器,在Pd_(90)Ni_(10)薄膜表面覆盖一层保护膜以提高传感器在不同环境气体中的抗干扰性能。首先,研究了HfO_(2)、聚四氟乙烯(PTFE)、SiO_(2)、Al_(2)O_(3)4种不同材料对传感器抗干扰性能的提... 设计了一种Pd_(90)Ni_(10)薄膜电阻型氢气传感器,在Pd_(90)Ni_(10)薄膜表面覆盖一层保护膜以提高传感器在不同环境气体中的抗干扰性能。首先,研究了HfO_(2)、聚四氟乙烯(PTFE)、SiO_(2)、Al_(2)O_(3)4种不同材料对传感器抗干扰性能的提升影响,试验发现Al_(2)O_(3)保护膜对提升传感器抗干扰性能的效果最佳。其次,对Al_(2)O_(3)保护膜的厚度进行了优化,将Pd_(90)Ni_(10)薄膜氢气传感器的抗干扰性能进一步提升。最后,对传感器的零点电阻稳定性、氢气响应重复性、梯度响应等性能进行测试,得到了适用于Pd_(90)Ni_(10)薄膜氢气传感器的保护膜优化条件,使传感器的抗干扰等性能得到了提升。 展开更多
关键词 氢气传感器 pd-Ni 抗干扰 薄膜
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Pd/SnO_2/SiO_2/Si集成薄膜的结构与气敏性能 被引量:2
5
作者 王磊 杜军 +2 位作者 毛昌辉 杨志民 熊玉华 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期2084-2087,2091,共5页
采用磁控溅射技术制备Pd/SnO2/SiO2/Si集成薄膜.研究退火处理对薄膜微观结构和表面形貌的影响,进而测试了相关的气敏性能.实验证明,经过氧化性退火处理,集成薄膜中的SiO2层厚度从3nm增长到50nm左右,形成Pd/SnO2/SiO2/Si结构,SnO2薄膜形... 采用磁控溅射技术制备Pd/SnO2/SiO2/Si集成薄膜.研究退火处理对薄膜微观结构和表面形貌的影响,进而测试了相关的气敏性能.实验证明,经过氧化性退火处理,集成薄膜中的SiO2层厚度从3nm增长到50nm左右,形成Pd/SnO2/SiO2/Si结构,SnO2薄膜形成金红石结构的多孔柱状晶.气敏测试表明,Pd/SnO2/SiO2/Si集成薄膜在低温区对H2、CH4、CO和C2H5OH敏感性较高,另外,随着H2气体浓度的增加,相应灵敏度从35递增至73.5. 展开更多
关键词 SNO2 pd 薄膜 溅射 气体敏感
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Pd-Cr薄膜应变计的研制 被引量:3
6
作者 周勇 李超 +1 位作者 宋阳 蒋书文 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2014年第10期105-107,共3页
采用射频磁控溅射法在镍基高温合金拉伸件上制备Pd-Cr薄膜应变计.研究了800℃大气退火对Pd-Cr薄膜结构、表面形貌、方决电阻的影响,并且测试了Pd-Cr薄膜应变计的电学及应变性能.结果表明:Pd-Cr薄膜是一种结构为面心立方的单相材料.800... 采用射频磁控溅射法在镍基高温合金拉伸件上制备Pd-Cr薄膜应变计.研究了800℃大气退火对Pd-Cr薄膜结构、表面形貌、方决电阻的影响,并且测试了Pd-Cr薄膜应变计的电学及应变性能.结果表明:Pd-Cr薄膜是一种结构为面心立方的单相材料.800℃大气退火后,Pd-Cr薄膜表面生成一层致密的Cr2O3,且薄膜方阻减小.在20~400℃范围内,应变计电阻同温度呈线性变化,电阻温度系数(TCR)约为230 ~ 260 ppm/℃.室温和300℃下的灵敏系数(GF)分别为1.97和2.63. 展开更多
关键词 磁控溅射 pd—Cr 薄膜应变计 灵敏系数 电阻温度系数
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掺Pd的SnO_2介孔薄膜的气敏特性研究 被引量:2
7
作者 张锦瑞 许军娜 凌云汉 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2010年第7期7-9,共3页
采用蒸发诱导自组装工艺制备了Pd-SnO2介孔金属氧化物薄膜。采用静态配气法,研究了Pd掺杂量对SnO2元件气敏性的影响,并通过测定电化学阻抗谱,分析了介孔金属氧化物的气敏机理。结果表明:Pd掺杂降低了SnO2元件对氢气初始响应温度,并提高... 采用蒸发诱导自组装工艺制备了Pd-SnO2介孔金属氧化物薄膜。采用静态配气法,研究了Pd掺杂量对SnO2元件气敏性的影响,并通过测定电化学阻抗谱,分析了介孔金属氧化物的气敏机理。结果表明:Pd掺杂降低了SnO2元件对氢气初始响应温度,并提高了元件对氢气灵敏度;Pd掺杂量为0.5%时,SnO2元件对氢气的气敏性最好;温度为175℃时,0.5%Pd-SnO2对体积分数为1 000×10-6氢气灵敏度为22.6;阻抗分析表明,通入还原性气体后,氧化物的晶界电阻明显减小。 展开更多
关键词 介孔 pd-SnO2薄膜 蒸发诱导自组装 气敏
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Pd/Ag双层膜系统扩散过程的XRD结构深度分布分析 被引量:1
8
作者 陶琨 李彬 骆建 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1997年第7期742-748,共7页
研究了X射线衍射的结构深度分布分析新方法该方法以不同的入射角入射,测量各物相的衍射谱,进而解出各确定深度处薄层的X射线衍射谱,从而可无损和定量地得到各深度处的衍射线的角度位置、强度和线型等全部结构信息此方法可得到各确定... 研究了X射线衍射的结构深度分布分析新方法该方法以不同的入射角入射,测量各物相的衍射谱,进而解出各确定深度处薄层的X射线衍射谱,从而可无损和定量地得到各深度处的衍射线的角度位置、强度和线型等全部结构信息此方法可得到各确定深度处的结构信息,而不是由表面到某深度处的平均结构信息;并且适用于具有择优取向的样品和吸收系数随深度而变化的样品.用此方法研究了Pd/Ag双层膜的退火过程,发现在互扩散的过程中,平行于初始界面的薄层中的结构不是微观均匀的,而是由两种具有不同点阵参数的固溶体构成的.结果证实该方法的可行性和有效性。 展开更多
关键词 结构深度分布 X射线衍射 薄膜 双层膜 XRD
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钯–硅(Pd-Si)薄膜表面偏析研究
9
作者 陈煜 黄立豪 +3 位作者 杨士栋 邹永恒 姜国利 王江涌 《材料科学》 2016年第6期334-345,共12页
本文应用修正的Darken模型,结合考虑薄膜尺寸效应的约束条件,对PdSi、Pd2Si、Pd3Si、Pd9Si2、Pd5Si合金薄膜的平衡态及动态表面偏析进行了模拟计算,其中,偏析参数,即偏析能ΔG和相互作用系数Ω,分别由Miedema模型和相图计算方法获得。... 本文应用修正的Darken模型,结合考虑薄膜尺寸效应的约束条件,对PdSi、Pd2Si、Pd3Si、Pd9Si2、Pd5Si合金薄膜的平衡态及动态表面偏析进行了模拟计算,其中,偏析参数,即偏析能ΔG和相互作用系数Ω,分别由Miedema模型和相图计算方法获得。结果表明:尺寸效应对Pd-Si合金薄膜体系偏析的影响不是很明显。 展开更多
关键词 表面偏析 修正的Darken模型 尺寸效应 pd-Si薄膜 pd-Si二元合金
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金(Au)/钯(Pd)复合膜表面等离子共振氢敏传感器基因优化 被引量:2
10
作者 吕卓 胡建东 《传感技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期53-56,共4页
提出了一种新颖的基于波长调制的Au/Pd复合膜SPR氢敏传感器结构,采用遗传基因算法对Au/Pd复合膜氢敏传感器的灵敏度进行了数值计算和优化,优化结果表明Au(2nm)/Pd(27nm)结构的复合膜氢敏传感器可获得最佳的灵敏度,与通常使用的单一纯Pd(... 提出了一种新颖的基于波长调制的Au/Pd复合膜SPR氢敏传感器结构,采用遗传基因算法对Au/Pd复合膜氢敏传感器的灵敏度进行了数值计算和优化,优化结果表明Au(2nm)/Pd(27nm)结构的复合膜氢敏传感器可获得最佳的灵敏度,与通常使用的单一纯Pd(20nm)膜氢敏传感器相比,不仅氢敏传感器的敏感膜的稳定性得到改善,而且灵敏度也提高了近3倍。 展开更多
关键词 表面等离子共振 基因算法 氢敏感 pd/Au复合膜
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掺Pd二氧化锡薄膜结构表征 被引量:1
11
作者 曹晓平 曹立礼 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1997年第2期73-78,共6页
利用X射线光电子谱(XPS)、扫描俄歇微探针(SAM)、X射线衍射(XRD)和差热-热重(DTA-TG)等多种分析技术,对由溶胶凝胶(Sol-Gel)法制备的Pd-SnO2薄膜试样的结构作了综合表征,系统地研究了热处理过程中试样结构及试样中Pd和Sn... 利用X射线光电子谱(XPS)、扫描俄歇微探针(SAM)、X射线衍射(XRD)和差热-热重(DTA-TG)等多种分析技术,对由溶胶凝胶(Sol-Gel)法制备的Pd-SnO2薄膜试样的结构作了综合表征,系统地研究了热处理过程中试样结构及试样中Pd和Sn元素化学状态的变化规律。 展开更多
关键词 掺杂 薄膜 溶胶凝胶法 结构分析 二氧化锡
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Pd-Ni合金薄膜氢气传感器中隔离膜性能与机理研究 被引量:1
12
作者 谢贵久 张璐 +1 位作者 季惠明 张浩 《载人航天》 CSCD 北大核心 2022年第3期338-343,共6页
针对Pd-Ni合金薄膜氢气传感器的响应特性与零点稳定性受氧气氛影响的问题,分别用离子束溅射技术和原子层沉积技术制备了100 nm Pd-Ni合金薄膜氢气敏感电阻和10 nm Al;O;/SiO;/Al;O;复合隔离膜,并测试对比了有隔离膜和无隔离膜样品的氢... 针对Pd-Ni合金薄膜氢气传感器的响应特性与零点稳定性受氧气氛影响的问题,分别用离子束溅射技术和原子层沉积技术制备了100 nm Pd-Ni合金薄膜氢气敏感电阻和10 nm Al;O;/SiO;/Al;O;复合隔离膜,并测试对比了有隔离膜和无隔离膜样品的氢敏响应特性和零点稳定性,分析了氧气氛影响氢敏特性与隔离膜阻氧透氢的机理。结果表明:复合隔离膜对灵敏度影响极小,起到了较好的透氢阻氧作用,大大改善了空气作为背景气体的氢敏响应特性和零点稳定性,但隔离膜对Pd-Ni合金薄膜氢气传感器的响应时间和恢复时间有负面影响。 展开更多
关键词 薄膜 氢气传感器 隔离膜 pd-Ni合金 透氢 阻氧
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Optical switching properties of Pd-Ni thin-film top-capped switchable mirrors
13
作者 Xiao-Li ZHANG Shan-Hu BAO +1 位作者 Xun CAO Ping JIN 《Frontiers of Materials Science》 SCIE CSCD 2015年第3期227-233,共7页
Switchable mirrors based on magnesium-nickel alloy thin films capped with catalytic Pd-Ni alloy thin films were prepared by a DC magnetron sputtering method. Their composition, structure and surface morphology were st... Switchable mirrors based on magnesium-nickel alloy thin films capped with catalytic Pd-Ni alloy thin films were prepared by a DC magnetron sputtering method. Their composition, structure and surface morphology were studied by XPS, XRD and AFM. Herein, the optical switching properties and durability of the switchable mirrors were investigated by varying the Ni content in the Pd-Ni alloys. Comparing pure Pd catalyst with Pd-Ni top-capped switchable mirrors, the latter show better hydrogenation and dehydrogenation kinetics, and the speed of hydrogen desorption is obviously improved with increasing Ni content in the Pd-Ni alloy. The Pd-Ni capped switchable mirrors also have better optical switching durability. The catalytic Pd layer with the addition of Ni does not influence the transmittance (hydride state) and reflectance (metallic state) of the switchable mirrors. In addition, replacing Pd with Pd-Ni alloy decreases the cost of the switchable mirrors: employing nickel in the alloy Pd89.2Ni10.8 can save about 11% use of Pd. Therefore, the Pd-Ni alloy can provide a cheaper catalytic thin film, and it is expected to have applications in energy-saving windows, hydrogen sensors and hydrogen storage materials. 展开更多
关键词 magnesium alloy thin film hydrogen storage material pd-Ni alloy smart window energy-saving material
原文传递
钯铬合金电阻氢气传感器研究 被引量:7
14
作者 肖友文 谢贵久 +4 位作者 王玉明 谢利华 曾固 钱力 宋祖殷 《载人航天》 CSCD 2012年第5期78-81,96,共5页
采用钯铬合金作为氢敏材料,利用离子柬技术制备薄膜式氢气传感器。测试了传感器对0-4%浓度范围氢气的敏感特性,结果显示,传感器对0-4%氢气浓度具有良好的线性输出特性,并表现出较高的响应灵敏度和较好的响应重复性,传感器响应信... 采用钯铬合金作为氢敏材料,利用离子柬技术制备薄膜式氢气传感器。测试了传感器对0-4%浓度范围氢气的敏感特性,结果显示,传感器对0-4%氢气浓度具有良好的线性输出特性,并表现出较高的响应灵敏度和较好的响应重复性,传感器响应信号相对强度随着温度升高减小,传感器响应时间随着温度升高而减小。 展开更多
关键词 薄膜 钯铬 氢气传感器
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表面等离子共振氢敏传感器理论和模拟 被引量:2
15
作者 胡建东 文泓桥 林志立 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期85-88,共4页
提出了一种钯(Pd)膜氢敏感表面等离子共振传感器结构,该传感器以镀在棱镜端面的 Pd作为氢敏感膜。Pd 膜吸氢以后发生化学反应,生成的 PdHx使折射率发生变化,同时,它作为金属膜产生 SPW,当折射率变化时又在金属和介质表面产生表面等离子... 提出了一种钯(Pd)膜氢敏感表面等离子共振传感器结构,该传感器以镀在棱镜端面的 Pd作为氢敏感膜。Pd 膜吸氢以后发生化学反应,生成的 PdHx使折射率发生变化,同时,它作为金属膜产生 SPW,当折射率变化时又在金属和介质表面产生表面等离子共振。利用 Fortran 语言程序进行了表面等离子共振氢敏传感器的 Pd 膜厚度和传感器灵敏度数值模拟。氢气浓度的变化引起折射率的变化,数值模拟表明,表面等离子共振氢敏传感器的灵敏度与 Pd 膜厚度有关,当 Pd膜的厚度在 10-30nm 时,氢气浓度在 1%-10%范围内具有较高的灵敏度。这种传感器结构将用于监测氢气作燃料的商用和军用机车的氢气泄漏。 展开更多
关键词 氢传感器 表面等离子共振 数值模拟 pd
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薄膜型钯-铬合金氢气传感器技术研究 被引量:4
16
作者 肖友文 景涛 +3 位作者 谢贵久 张建国 王玉明 章良 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2012年第11期7-9,共3页
文中介绍了采用Pd-Cr合金作为氢敏材料,利用MEMS加工技术制备薄膜型氢气传感器。测试了传感器对0~4%浓度范围氢气的敏感特性,结果显示,传感器对0~4%氢气浓度具有良好的线性输出特性,并表现出较高的响应灵敏度和较好的响应重复性。
关键词 薄膜 钯铬 氢气传感器
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导波光学氢敏传感器研究进展 被引量:3
17
作者 胡建东 文泓桥 《传感技术学报》 CAS CSCD 2004年第2期349-354,共6页
为了了解光学氢敏传感器研究与现状 ,我们介绍了导波光学氢敏传感器的主要应用场合和氢敏感膜的结构与镀膜工艺 ,对有代表性的光纤微透镜型、表面等离子共振光纤型、光纤倏逝波场型、光纤光栅和集成波导型氢敏传感器的结构及性能做了详... 为了了解光学氢敏传感器研究与现状 ,我们介绍了导波光学氢敏传感器的主要应用场合和氢敏感膜的结构与镀膜工艺 ,对有代表性的光纤微透镜型、表面等离子共振光纤型、光纤倏逝波场型、光纤光栅和集成波导型氢敏传感器的结构及性能做了详细的分析 ,并对导波光学氢敏传感器的未来发展做了展望。 展开更多
关键词 导波光学 氢敏感 光纤光栅 微透镜 pd
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基于声表面波的氢气传感器
18
作者 王文 梅盛超 +3 位作者 薛蓄峰 梁勇 潘勇 雷刚 《应用声学》 CSCD 北大核心 2018年第5期758-764,共7页
将钯基材料对氢气分子的特异选择性吸附能力与声表面波的快速响应特点相结合,可实现一种快速、高灵敏和低功耗的氢气检测与报警技术。传感器由双通道差分式振荡器与沉积在传感器件表面的声表面波传播路径上的钯基气敏薄膜组成。为提升... 将钯基材料对氢气分子的特异选择性吸附能力与声表面波的快速响应特点相结合,可实现一种快速、高灵敏和低功耗的氢气检测与报警技术。传感器由双通道差分式振荡器与沉积在传感器件表面的声表面波传播路径上的钯基气敏薄膜组成。为提升传感器响应速度,该文探讨了采用钯镍合金薄膜与钯铜纳米线作为气敏材料的氢气传感器响应特性,通过对气敏材料制备方法及参数的优化,研制了两种沉积不同钯基气敏材料的氢气传感器件,并对其性能进行了评测。实验测试结果表明:钯铜纳米线气敏材料由于具有大体积表面积比和多孔结构,大幅提高了SAW氢气传感器响应速度,针对浓度为10%、4%以及0.5%的氢气响应时间可达~2s。 展开更多
关键词 声表面波 氢气传感器 钯镍合金薄膜 钯铜纳米线 差分振荡器
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采用钯镍薄膜的声表面波氢气传感器研究 被引量:1
19
作者 梅盛超 王文 雷刚 《压电与声光》 CAS 北大核心 2019年第1期1-3,共3页
该文对采用钯镍薄膜作为敏感膜的声表面波氢气传感器开展研究,以实现快速的氢气检测。传感器采用双通道差分振荡器结构,其中在传感通道器件声表面波传播路径上以磁控溅射法沉积钯镍薄膜,通过钯镍薄膜对氢气的快速和可逆物理吸附引起声... 该文对采用钯镍薄膜作为敏感膜的声表面波氢气传感器开展研究,以实现快速的氢气检测。传感器采用双通道差分振荡器结构,其中在传感通道器件声表面波传播路径上以磁控溅射法沉积钯镍薄膜,通过钯镍薄膜对氢气的快速和可逆物理吸附引起声表面波传播速度的变化,进而以差分振荡器频率信号来表征待测氢气浓度。通过传感实验以确定获得快速响应的钯镍的优化厚度。结果表明,在钯镍厚为40nm时,传感器获得的响应幅度与响应速度分别达5kHz和5s。 展开更多
关键词 钯镍薄膜 声表面波 氢气传感器 振荡器
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介孔二氧化锡薄膜的制备及其氢敏性能研究 被引量:1
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作者 章石赟 殷晨波 +1 位作者 杨柳 韩忠俊 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2019年第9期13-16,共4页
以三嵌段共聚物F127为模板剂,加入浓盐酸抑制水解,通过溶剂挥发诱导自组装,旋涂后在高湿度下干燥制备介孔SnO 2薄膜,并通过掺Pd进一步提高其氢敏性能。利用X射线衍射(XRD)、比表面积与孔径分析和透射电镜(TEM)研究材料的结构与形貌,通... 以三嵌段共聚物F127为模板剂,加入浓盐酸抑制水解,通过溶剂挥发诱导自组装,旋涂后在高湿度下干燥制备介孔SnO 2薄膜,并通过掺Pd进一步提高其氢敏性能。利用X射线衍射(XRD)、比表面积与孔径分析和透射电镜(TEM)研究材料的结构与形貌,通过恒流配气法,测试其氢敏性能。结果表明:介孔SnO2粒径约为6.38 nm,比表面积为84.62 m^2/g,孔容为0.174 cm^3/g,平均孔径为5.6 nm。在200℃,对体积分数2×10^-3的H2灵敏度为76,掺杂Pd后提高至191.6,具有优秀的氢敏性能。 展开更多
关键词 介孔材料 溶剂挥发诱导自组装 SNO 2薄膜 pd掺杂 氢敏性能
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