自动周期选取的DFT方法在TFT-LCD平板检测中的应用

在TFT-LCD平板表面缺陷检测中,一维DFT方法非常有效,空间域图像中周期Δx作为关键参数之一,需要准确地获取。传统的Δx的获取是通过人工手动计算得到的,为了自动获取Δx,设计了自动周期选取算法,利用数学统计对一维无缺陷图像进行处理,通过提取峰值位置、排序、计算间距和统计次数,得到准确的Δx。搭建了TFT-LCD平板检测实验系统,实验对不同长度(N=256、320和400)、不同分辨率(8.1、9.5和10.7μm/像素)、不同光照下的图像进行处理,能够准确地获取Δx,准确率达100%。将选取的Δx应用于缺陷检测中,系统可以准确检测出缺陷区域,证明了该选取方法具有良好的实用性和鲁棒性。