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铝硅合金膜在MEMS电容式开关中的应用 被引量:3
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作者 忻佩胜 丁玲 +2 位作者 石艳玲 朱自强 赖宗声 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2001年第12期75-77,共3页
对几种可用于MEMS电容式开关中的弹性薄膜材料进行了分析,含硅4%的轻质量铝合金具有较佳的性能。应用该弹性膜制备了微波MEMS电容式开关,实验结果表明,开关具有较低的激励电压,约为28V,在10GHz处的隔离度大于1... 对几种可用于MEMS电容式开关中的弹性薄膜材料进行了分析,含硅4%的轻质量铝合金具有较佳的性能。应用该弹性膜制备了微波MEMS电容式开关,实验结果表明,开关具有较低的激励电压,约为28V,在10GHz处的隔离度大于15dB。 展开更多
关键词 mems开关 铝硅合金膜 电容式开关 微电子
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微尺度下新型MEMS滤波器的研究 被引量:2
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作者 赵继德 李应良 马传龙 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第6期632-635,共4页
分析了MEMS共面波导结构,在MEMS共面波导的基础上设计了一种MEMS滤波器,研究了它的电磁学、热应力等微尺度效应。在这些微尺度条件下分析了器件的相关性能,这些参数为获取实际的MEMS滤波器提供了一些有意义的数据。若改变设计参数,可获... 分析了MEMS共面波导结构,在MEMS共面波导的基础上设计了一种MEMS滤波器,研究了它的电磁学、热应力等微尺度效应。在这些微尺度条件下分析了器件的相关性能,这些参数为获取实际的MEMS滤波器提供了一些有意义的数据。若改变设计参数,可获取其它同类型的带阻、带通滤波器件,为无线通信中的MEMS器件研究在材料选择、器件设计等方面提供了一些理论依据及其实际经验。 展开更多
关键词 微尺度 微机械技术 滤波器 共面波导
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翘板式射频MEMS开关的研究 被引量:1
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作者 刘茂哲 李全宝 +4 位作者 焦斌斌 高超群 罗小光 景玉鹏 叶甜春 《微纳电子技术》 CAS 2008年第5期282-286,共5页
提出了一种新型的翘板式静电射频微系统开关,给出了理论模拟,结构分析结果和工艺制作方法。该结构采用了5μm厚的无应力单晶硅作为开关的可动部分,可以缓解薄膜应力变形。翘板式结构解决了传统静电设计中动作力弱的问题,并且通过调... 提出了一种新型的翘板式静电射频微系统开关,给出了理论模拟,结构分析结果和工艺制作方法。该结构采用了5μm厚的无应力单晶硅作为开关的可动部分,可以缓解薄膜应力变形。翘板式结构解决了传统静电设计中动作力弱的问题,并且通过调整支点解决了开关回复力不可调的难题。利用该结构可以在保持高隔离度的同时使驱动电压降低,有限元理论模拟驱动电压为5~10V;采用翘板式结构增加了开关的使用周期,而且结构自身具有单刀双掷特点,可以直接应用于高频通信的频道选择。给出了开关共面波导传输线的测试结果和设计讨论。 展开更多
关键词 射频开关 单晶硅 微机电系统(mems) 静电驱动 驱动电压 共面波导(cpw)
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斜拉梁结构的RF-MEMS开关制作研究 被引量:2
4
作者 宣云 刘泽文 +2 位作者 雷啸锋 李志坚 刘理天 《微细加工技术》 EI 2005年第3期48-52,共5页
介绍了一种新型斜拉梁结构的电容耦合式开关的制作。该开关的上电极采用斜拉梁支撑结构以提高上电极的平整性和开关整体的可靠性,通过优化开关的结构,将开关的谐振点频率降低到20 GHz附近。制作过程中将平面工艺和垂直喷镀工艺相结合,... 介绍了一种新型斜拉梁结构的电容耦合式开关的制作。该开关的上电极采用斜拉梁支撑结构以提高上电极的平整性和开关整体的可靠性,通过优化开关的结构,将开关的谐振点频率降低到20 GHz附近。制作过程中将平面工艺和垂直喷镀工艺相结合,获得了较厚的共面波导传输线。开关的驱动电压为20 V,在20 GHz下,“开”态插入损耗为1.03 dB,“关”态隔离度为26.5 dB。 展开更多
关键词 开关 射频微机电系统 共面波导
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基于MEMS开关的射频衰减器的设计制作 被引量:2
5
作者 贾志浩 段俊萍 +5 位作者 王伟 毛静 崔建利 赵龙 王明焕 张斌珍 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2015年第3期162-166,203,共6页
提出了一种基于微机电系统(MEMS)开关的射频衰减器的设计方案。首先在DC^20 GHz内,以10 dB衰减量为目标,对整体电路结构进行设计,选择以共面波导(CPW)为传输线,接触式MEMS开关作为控制器件,同时以开关中的电容作为断路时的平衡器件进行... 提出了一种基于微机电系统(MEMS)开关的射频衰减器的设计方案。首先在DC^20 GHz内,以10 dB衰减量为目标,对整体电路结构进行设计,选择以共面波导(CPW)为传输线,接触式MEMS开关作为控制器件,同时以开关中的电容作为断路时的平衡器件进行电路匹配;然后按所需衰减量计算T型网络中各个电阻大小;按照计算值,在CST微波工作室中建模仿真得到工艺加工需要的尺寸;最后结合UV-LIGA工艺对衰减器进行了样片试制并对其性能进行了测试。测试结果显示,在DC^20 GHz内,目标衰减量为10 dB时,最大偏差可以控制在2 dB之内。结果表明,以MEMS开关为基础的衰减器,可以在宽频带内实现更加稳定的衰减。 展开更多
关键词 mems开关 共面波导(cpw) 射频衰减器 UV-LIGA 宽频带
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一种新型MEMS可调滤波器的设计 被引量:2
6
作者 李世峰 刘锋 +1 位作者 王高峰 叶双莉 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2010年第11期696-700,共5页
提出了一种采用非均匀分布MEMS结构的可调滤波器设计方案。基于这种新型结构,讨论了一个中心频率为20GHz的二阶带通可调滤波器模型。通过HFSS对该二阶带通滤波器模型进行了全波分析。仿真结果表明:通过分别改变共面波导结构上方不同部... 提出了一种采用非均匀分布MEMS结构的可调滤波器设计方案。基于这种新型结构,讨论了一个中心频率为20GHz的二阶带通可调滤波器模型。通过HFSS对该二阶带通滤波器模型进行了全波分析。仿真结果表明:通过分别改变共面波导结构上方不同部分的MEMS电容高度,该滤波器中心频率在18.71-20.62GHz连续可调,相应的3dB带宽值为2.36GHz和2.94GHz。该滤波器9.5%的可调率相比于同类型均匀分布式滤波器的可调范围增加了大约18.6%(300MHz)。通过分析可知,采用非均匀分布MEMS结构的可调滤波器不仅结构更紧凑合理,而且获得了比均匀结构更大的调节范围,极大地增加了设计的灵活性。 展开更多
关键词 微机电系统(mems) 滤波器 共面波导 连续可调 非均匀分布
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一款基于MEMS工艺的超宽带八边形缝隙柔性天线 被引量:1
7
作者 黄成远 张斌珍 +2 位作者 段俊萍 王雄师 白琼 《微纳电子技术》 北大核心 2017年第11期760-765,共6页
设计了一款小型超宽带(UWB)共面波导(CPW)馈电的八边形缝隙柔性天线,可应用于超宽带无线通信系统。该天线采用了新兴柔性材料聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为介质基板,并在PDMS介质基板的一侧单面覆铜,设计了八边形辐射单元结构和具有八边形... 设计了一款小型超宽带(UWB)共面波导(CPW)馈电的八边形缝隙柔性天线,可应用于超宽带无线通信系统。该天线采用了新兴柔性材料聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为介质基板,并在PDMS介质基板的一侧单面覆铜,设计了八边形辐射单元结构和具有八边形缝隙的金属地。为降低工艺难度、简化工艺流程,采用了共面波导进行馈电,并设计了具有阻抗线性渐变功能的梯形结构的信号导带。利用电磁仿真软件对天线进行仿真优化,基于微电子机械系统(MEMS)工艺对天线进行加工制作,并进行了测试。结果表明,所设计的天线带宽达到了11.40 GHz(3.10~14.50 GHz),阻抗相对带宽约为130%,频带内电压驻波比小于2,阻抗匹配良好。测试结果与仿真结果基本一致,天线实现了超宽带工作性能。 展开更多
关键词 超宽带(UWB) 共面波导(cpw) 八边形缝隙天线 柔性 微电子机械系统(mems)
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基于共面波导的RF MEMS可调带阻滤波器
8
作者 李建军 奚野 汪群 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2016年第9期120-122,共3页
文中介绍了一种新型的RF MEMS可调帯阻滤波器。该滤波器是通过在共面波导地结构上刻蚀出缺陷地结构,形成基本谐振单元;再通过加入RF MEMS开关,实现可调滤波器。分析了滤波器的结构参数和RF MEMS开关与竖向槽的关系。可调帯阻滤波器制作... 文中介绍了一种新型的RF MEMS可调帯阻滤波器。该滤波器是通过在共面波导地结构上刻蚀出缺陷地结构,形成基本谐振单元;再通过加入RF MEMS开关,实现可调滤波器。分析了滤波器的结构参数和RF MEMS开关与竖向槽的关系。可调帯阻滤波器制作在高阻硅(εr=11.9)基板上,厚度为460μm;表面金属材料为铝,厚度为2μm。该滤波器实现了14-18 GHz可调,可调范围约为30%;中心频点处对应的回波损耗大于-2 d B,插入损耗小于-35 d B;10 d B带宽大于8.6 GHz。 展开更多
关键词 RF mems mems开关 KU波段 可调帯阻滤波器 共面波导
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Ultra-Wideband Log Periodic Dipole Antenna (LPDA) for Wireless Communication Applications
9
作者 Dalia N. Elsheakh Esmat A. Abdallah 《Journal of Electromagnetic Analysis and Applications》 2018年第6期119-129,共11页
This paper proposes a printed log-periodic dipole antenna (LPDA) for ultra wide bandwidth (UWB) applications. The antenna comprises of cascading four U shaped elements of different line lengths with balun circuit to i... This paper proposes a printed log-periodic dipole antenna (LPDA) for ultra wide bandwidth (UWB) applications. The antenna comprises of cascading four U shaped elements of different line lengths with balun circuit to improve the antenna impedance matching. The proposed antenna dimensions are 50 × 50 mm2 with FR4 substrate thickness 0.8 mm. Full-wave EM solver HFSS (High Frequency Structure Simulator) is used for modeling the proposed antenna. The pulse distortion is verified by the measured the proposed antenna performance with virtually steady group delay. The simulation and experimental results show that the proposed antenna exhibits good impedance matching, stable radiation patterns throughout the whole operating frequency bands, acceptable gain and stable group delay over the entire operating band. An UWB extended from 1.85 GHz to 11 GHz is obtained, and the average antenna gain is about 5.5 dBi over the operating band with peak gain around 6.5 dBi and 70% average radiation efficiency. 展开更多
关键词 High Frequency Structure Simulation (HFSS) DIPOLE Antenna Log periodic coplanar waveguide (cpw) Ultra Wideband (UWB) RADIATION Pattern RADIATION Efficiency Group Delay
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微机电微波/射频开关的力学分析及其工艺研究 被引量:7
10
作者 茅惠兵 忻佩胜 +1 位作者 胡梅丽 赖宗声 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期273-275,共3页
 文章主要讨论了微机电微波/射频开关的原理、制备工艺和特性测试。微机电接触式微波/射频开关的关键结构是悬臂梁,当控制电压大于吸合电压时,悬臂梁发生吸合,使开关导通。考虑到微机电制备工艺的兼容性,选择PECVD生长的氮化硅作悬臂梁...  文章主要讨论了微机电微波/射频开关的原理、制备工艺和特性测试。微机电接触式微波/射频开关的关键结构是悬臂梁,当控制电压大于吸合电压时,悬臂梁发生吸合,使开关导通。考虑到微机电制备工艺的兼容性,选择PECVD生长的氮化硅作悬臂梁,聚酰亚胺作牺牲层。测试结果表明,研制的微机电开关在0.5~5GHz的范围内插入损耗为2dB,隔离度达30~50dB。 展开更多
关键词 射频开关 微机电微波 力学分析 共平面波导 悬管梁 插入损耗 隔离度 制备工艺
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射频微机械共面波导开关测试技术研究 被引量:1
11
作者 张正元 肖坤光 +3 位作者 徐世六 张正璠 欧益宏 温志渝 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2003年第1期12-14,18,共4页
 通过对射频微机械共面波导(CPW)开关的工作原理进行分析,提出了一种测试射频微机械开关的电路结构。根据Cadence工作站的模拟,验证了该方案的可行性,并获得了该测试结构的优化电参数条件,为射频微机械CPW开关的测试和应用打下了基础。
关键词 射频微机械 共面波导开关 金属膜 cpw 工作原理
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基于共平面波导的可调低通滤波器的设计和制作
12
作者 刘蕾 郭兴龙 +1 位作者 欧阳炜霞 赖宗声 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第6期1020-1024,共5页
介绍了一种使用多触点MEMS开关实现的新型可调微波MEMS低通滤波器,应用MEMS制作工艺在石英衬底上实现滤波器结构.滤波器基于慢波共平面波导周期性结构,具有尺寸小、插损低、可与单片微波集成电路工艺兼容等优点。滤波器截止频率的大小... 介绍了一种使用多触点MEMS开关实现的新型可调微波MEMS低通滤波器,应用MEMS制作工艺在石英衬底上实现滤波器结构.滤波器基于慢波共平面波导周期性结构,具有尺寸小、插损低、可与单片微波集成电路工艺兼容等优点。滤波器截止频率的大小取决于MEMS开关的状态。实验结果表明,当MEMS开关受到激励时,低通滤波器的3-dB截止频率从12.5GHz转换至6.1GHz,带内纹波小于0.5dB,带外抑制大于40dB,开关的驱动电压在25V左右。 展开更多
关键词 微机械系统(mems) 可调滤波器 共平面波导(cpw)结构 多触点mems开关
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C波段大动态小步进数控衰减器设计 被引量:1
13
作者 李志强 《计算机与网络》 2012年第16期56-58,共3页
为了实现C波段大动态小步进数控衰减器的设计目的,提出了一种设计方法,详细介绍了利用I2C总线来控制一个数控衰减器单片和一个数控开关,数控衰减器单片来实现小步进控制,数控开关配合实现大动态的功率控制的原理.基于大量的仿真设计和... 为了实现C波段大动态小步进数控衰减器的设计目的,提出了一种设计方法,详细介绍了利用I2C总线来控制一个数控衰减器单片和一个数控开关,数控衰减器单片来实现小步进控制,数控开关配合实现大动态的功率控制的原理.基于大量的仿真设计和多次实际试验结果,分析了采用共面波导射频电路来改善驻波,减少插损,采用隔离器来改善2级数控衰减器阻抗匹配的设计步骤。最后给出一个设计实例,测试结果表明,这种设计方法思路简单,设计效率高。 展开更多
关键词 C波段 大动态 小步进 数控衰减 数控开 共面波导
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单向宽带毫米波平面缝隙天线的设计与仿真 被引量:3
14
作者 陈伟强 丁桂甫 黎滨洪 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期625-628,633,共5页
设计了一种基于MEMS微加工技术制作的共面波导馈电的单向宽带毫米波平面缝隙天线.采用平面矩形缝隙辐射单元,可实现约80%的阻抗带宽(驻波比≤2).通过增加波束引导缝隙和多层反射截止缝隙,可实现缝隙天线单向辐射,天线增益可由原来的3.8... 设计了一种基于MEMS微加工技术制作的共面波导馈电的单向宽带毫米波平面缝隙天线.采用平面矩形缝隙辐射单元,可实现约80%的阻抗带宽(驻波比≤2).通过增加波束引导缝隙和多层反射截止缝隙,可实现缝隙天线单向辐射,天线增益可由原来的3.8 dB提高到6.8 dB左右.采用Ansoft HFSS有限元仿真软件对设计进行仿真优化,并用CST微波工作室仿真软件对仿真优化进行验证,结果表明,两种仿真结果一致. 展开更多
关键词 毫米波天线 缝隙天线 共面波导 微机电系统
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用于5G毫米波波段通信的倒梯形柔性天线
15
作者 张众贺 张斌珍 +1 位作者 段俊萍 刘瑞 《微纳电子技术》 北大核心 2020年第11期889-893,共5页
设计了一款用于5G毫米波波段通信的柔性天线,其具有结构紧凑、质量轻、机械性能好、可共形的特点。该天线以柔性材料聚二甲基硅氧烷(PDMS)为基底、以金属铜作为接地板和辐射贴片的材料,利用有限元电磁仿真软件ANSYS HFSS对天线进行了仿... 设计了一款用于5G毫米波波段通信的柔性天线,其具有结构紧凑、质量轻、机械性能好、可共形的特点。该天线以柔性材料聚二甲基硅氧烷(PDMS)为基底、以金属铜作为接地板和辐射贴片的材料,利用有限元电磁仿真软件ANSYS HFSS对天线进行了仿真和优化,设计了倒梯形辐射贴片和对称结构的矩形金属地。为了简化工艺步骤、降低工艺成本,采用了共面波导(CPW)进行馈电,并基于微电子机械系统(MEMS)工艺进行基板改性处理和磁控溅射。仿真结果表明,在26 GHz时回波损耗为-50.58 dB,电压驻波比低于2,有良好的阻抗匹配特性和稳定的远场辐射模式。在弯曲和未弯曲条件下进行了测试,测试的频点为25.7 GHz,回波损耗为-39 dB。测试结果与仿真结果基本一致,说明该柔性天线有良好的共形能力,且工作频点和性能都符合要求,这使其适用于现代柔性电子系统集成。 展开更多
关键词 5G 柔性天线 共面波导(cpw) 聚二甲基硅氧烷(PDMS) 微电子机械系统(mems)
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