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圆刻机智能控制系统
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作者 陈林 叶林 《光学仪器》 1993年第4期16-20,共5页
应用计算机技术,对圆计量光栅刻划过程的自动控制进行研究,介绍了微机控制细分刻划的原理和该智能控制系统的结构。并且叙述了多种任意等分光栅盘的刻划方法。
关键词 任意等分 圆光栅 光刻机 控制系统
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