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基于半导体和金属相变的热光效应光调制器
被引量:
3
1
作者
李毅
易新建
张天序
《华中科技大学学报(自然科学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第4期11-14,共4页
基于二氧化钒薄膜在约68℃半导体和金属间的可逆相变,通过控制温度来实现高透过率到高反射率的转换,实现对光的调制作用.通过表面微机械低热质单元来实现隔热,保证各单元在无串扰的情况下具有独立的开关功能.在工作过程中,单元的温度通...
基于二氧化钒薄膜在约68℃半导体和金属间的可逆相变,通过控制温度来实现高透过率到高反射率的转换,实现对光的调制作用.通过表面微机械低热质单元来实现隔热,保证各单元在无串扰的情况下具有独立的开关功能.在工作过程中,单元的温度通过单元上的集成电阻或空间寻址热辐射源来控制.采用微机械工艺成功制备出32×32二氧化钒热光效应光调制器阵列,该热光效应调制器由于没有可移动的部件,其最大的优点就是高可靠性和低制造成本.
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关键词
光调制器
微光电机系统
二氧化钒薄膜
相变
热光效应
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职称材料
题名
基于半导体和金属相变的热光效应光调制器
被引量:
3
1
作者
李毅
易新建
张天序
机构
华中科技大学控制科学与工程系
华中科技大学光电子科学与工程学院
华中科技大学图像识别与人工智能研究所
华中科技大学光电子科学与工程学院
出处
《华中科技大学学报(自然科学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第4期11-14,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(60477040).
文摘
基于二氧化钒薄膜在约68℃半导体和金属间的可逆相变,通过控制温度来实现高透过率到高反射率的转换,实现对光的调制作用.通过表面微机械低热质单元来实现隔热,保证各单元在无串扰的情况下具有独立的开关功能.在工作过程中,单元的温度通过单元上的集成电阻或空间寻址热辐射源来控制.采用微机械工艺成功制备出32×32二氧化钒热光效应光调制器阵列,该热光效应调制器由于没有可移动的部件,其最大的优点就是高可靠性和低制造成本.
关键词
光调制器
微光电机系统
二氧化钒薄膜
相变
热光效应
Keywords
light modulator
micro-optical-electrical-mechanical system (MOEMS)
VO2 thin film
phase transitionl thermo-optical effect
分类号
TB43 [一般工业技术]
TN213 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于半导体和金属相变的热光效应光调制器
李毅
易新建
张天序
《华中科技大学学报(自然科学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
3
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