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Numerical simulation of mechanics of electron beam physical vapour deposition Ni/Ni_3Al microlaminates
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作者 李垚 张小朋 赵奕杰 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 2005年第S3期221-226,共6页
The rupture behavior of electron beam physical vapour deposition(EBPVD) Ni/Ni3Al microlaminates composites subjected to tensile load were studied through the numerical method of finite element. 2D model and 3D model... The rupture behavior of electron beam physical vapour deposition(EBPVD) Ni/Ni3Al microlaminates composites subjected to tensile load were studied through the numerical method of finite element. 2D model and 3D model of EBPVD Ni/Ni3Al microlaminates with a centre crack were built respectively. A new scheme for building 3D crack point models was proposed and different types of elements were used. And stress intensity factors around the tip of the crack were obtained correspondingly. The results indicate that the key of the stress intensity factor for 2D model is presumably the average of the keys for 3D model in thickness and the key at the interface is the biggest, which suggests the propagation of the crack greatly likely happen at the interface. 展开更多
关键词 microlaminates FINITE element method stress INTENSITY factor electron beam physical vapour deposition
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Characteristic Length of Metallic Nanorods under Physical Vapor Deposition
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作者 Kai Jun Bo-Jun Wang Hai-Yuan Chen 《Journal of Electronic Science and Technology》 CAS CSCD 2020年第4期350-357,共8页
By using physical vapor deposition(PVD)to grow metallic nanorods,the characteristic length is controllable,which can be identified by two different growth modes:Mode I and Mode II.In Mode I,the growth of metallic nano... By using physical vapor deposition(PVD)to grow metallic nanorods,the characteristic length is controllable,which can be identified by two different growth modes:Mode I and Mode II.In Mode I,the growth of metallic nanorods is dominated by the monolayer surface steps.Whereas in Mode II,the growth mechanism is mainly determined by the multilayer surface steps.In this work,we focused on the analysis of the physical process of Mode I,in which the adatoms diffuse on the monolayer surface at beginning,then diffuse down to the next monolayer surface,and finally result in the metallic nanorods growth.Based on the physical process,both the variations of the characteristic length and the numerical solutions were theoretically proposed.In addition,the twodimensional(2 D)lattice kinetic Monte Carlo simulations were employed to verify the theoretical derivation of the metallic nanorods growth.Our results pay a new way for modifying the performance of metallic nanorods-based applications and devices. 展开更多
关键词 Characteristic length metallic nanorods Monte Carlo physical vapor deposition(pvd)
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Preparation and mechanical properties of NiCoCrAlY/NiCr laminates by electron beam physical vapor deposition
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作者 韩杰才 李垚 +3 位作者 赫晓东 孟松鹤 曾岗 陈宏平 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 2005年第S3期53-56,共4页
Laminates with alternating layers of NiCoCrAlY and NiCr were fabricated by using electron beam physical vapor deposition (EB-PVD) method. The influence of the substrate temperature on morphology of the laminates was i... Laminates with alternating layers of NiCoCrAlY and NiCr were fabricated by using electron beam physical vapor deposition (EB-PVD) method. The influence of the substrate temperature on morphology of the laminates was investigated. The results show that in order to produce NiCoCrAlY/NiCr laminates with lower porosity, higher substrate temperature is required. The mechanical properties of the as-deposited samples and heat-treated samples were examined using tensile tests. The stress-strain curve of the as-deposited laminate shows a typical characteristic of multilayered materials and the fracture behavior is improved by annealing the samples at high temperatures. The tensile strength of the samples annealed at 760℃ is 658.4MPa, and the elongation reaches 6.2%. 展开更多
关键词 NiCoCrAlY/NiCr LAMINATE electron beam physical vapor deposition (EB-pvd) TENSILE test SUBSTRATE temperature
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Deposition of tungsten-titanium carbides on surface of diamond by reactive PVD 被引量:5
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作者 胡国荣 杨建红 +3 位作者 刘业翔 杨凯华 汤凤林 金继红 《中国有色金属学会会刊:英文版》 EI CSCD 1999年第4期838-841,共4页
The coatings of W-Ti carbides on the surface of diamond was obtained by using physical vapor deposition (PVD), during which WO3 powders pre-treated with hydrofluoric acid were reduced by titanium hydride in vacuum at ... The coatings of W-Ti carbides on the surface of diamond was obtained by using physical vapor deposition (PVD), during which WO3 powders pre-treated with hydrofluoric acid were reduced by titanium hydride in vacuum at 850 ℃. The resistance of diamond to corrosion at high-temperature was investigated. The formation of W-Ti carbides on the surface of diamond was verified by X-ray diffraction analysis, the interface state between diamond and matrix in metaLbase diamond composite was observed by scanning electron microscope. The results showed that the carbide coating is easy to be formed at low deposition temperature on the surface of diamond, while the resistance of diamond to corrosion at highutemperature and the strength of bonding between diarnond and metal matrix are effectively improved. 展开更多
关键词 DIAMOND physical vapor deposition (pvd) TUNGSTEN carbides TUNGSTEN
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PS-PVD制备YSZ热障涂层的CMAS腐蚀行为研究 被引量:1
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作者 严刚 刘伟 +4 位作者 罗俊辉 谷凯凯 李聪 杨丽 周益春 《航空制造技术》 CSCD 北大核心 2023年第17期57-63,共7页
热障涂层(TBCs)广泛应用于先进航空发动机热端部件,有效延长了发动机热端部件的服役寿命,成为先进航空发动机必不可少的热防护材料。但在服役过程中一些大气沉积物CMAS加热后变为熔融体吸附在热障涂层表面,并沿着孔隙和裂纹等缺陷渗透... 热障涂层(TBCs)广泛应用于先进航空发动机热端部件,有效延长了发动机热端部件的服役寿命,成为先进航空发动机必不可少的热防护材料。但在服役过程中一些大气沉积物CMAS加热后变为熔融体吸附在热障涂层表面,并沿着孔隙和裂纹等缺陷渗透至涂层内部,诱导涂层过早失效。采用等离子-物理气相沉积技术(PS-PVD)制备YSZ热障涂层,利用XRD、SEM等表征手段,对不同腐蚀时间的涂层物相成分、微观结构进行了表征。研究结果表明,YSZ涂层在1250℃下经过CMAS腐蚀后发生了相变;随着腐蚀时间的增加,CMAS沉积物会沿着热障涂层类柱状晶间隙渗透至内部,导致涂层结构出现疏松,并且在陶瓷层上部区域出现了类柱状晶断裂现象,涂层宏观表现为部分陶瓷层剥落;腐蚀8 h后陶瓷层部分区域出现了类柱状晶从粘结层上整体剥离;CMAS渗透深度随腐蚀时间的增加不断加大,在腐蚀3 h内其渗透速度相对较快,腐蚀3 h以后其渗透速度会相对变得缓慢。 展开更多
关键词 等离子喷涂-物理气相沉积(PS-pvd) 热障涂层(TBCs) CMAS腐蚀 渗透速度 失效行为
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The effect of deposition temperature on the intermixing and microstructure of Fe/Ni thin film 被引量:1
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作者 陈尚达 王涛 +1 位作者 郑德立 周益春 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第12期400-404,共5页
The physical vapour deposition of Ni atoms on α-Fe(001) surface under different deposition temperatures were simulated by molecular dynamics to study the intermixing and microstructure of the interracial region. Th... The physical vapour deposition of Ni atoms on α-Fe(001) surface under different deposition temperatures were simulated by molecular dynamics to study the intermixing and microstructure of the interracial region. The results indicate that Ni atoms hardly penetrate into Fe substrate while Fe atoms easily diffuse into Ni deposition layers. The thickness of the intermixing region is temperature-dependent, with high temperatures yielding larger thicknesses. The deposited layers are mainly composed of amorphous phase due to the abnormal deposition behaviour of Ni and Fe. In the deposited Ni-rich phase, the relatively stable metallic compound B2 structured FeNi is found under high deposition temperature conditions. 展开更多
关键词 molecular dynamics physical vapour deposition Ni/Fe thin film temperature effect
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A perspective of microplasma oxidation (MPO) and vapor deposition coatings in surface engineering of aluminum alloys 被引量:1
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作者 AWAD Samir Hamid 《Journal of Chongqing University》 CAS 2004年第2期4-11,共8页
Over the past years, great achievements have been made in the development of coating technologies for surface improvement of aluminum alloys. Despite these achievements, the role in the market strongly depends on the ... Over the past years, great achievements have been made in the development of coating technologies for surface improvement of aluminum alloys. Despite these achievements, the role in the market strongly depends on the ability of surface coating technology under technical and economic considerations to meet the increased demands for heavy tribological applications of aluminum alloys. Microplasma oxidation (MPO) technology has recently been studied as a novel and effective means to provide thick and hard ceramic coating with improved properties such as excellent load-bearing and wear resistance properties on aluminum alloys. The present work covers the evaluation of the performances of current single and duplex coatings combining MPO, physical vapor deposition (PVD), and plasma assisted chemical vapor deposition (PACVD) coatings on aluminum alloys. It suggests that the MPO coating is a promising candidate for design engineers to apply aluminum alloys to heavy load-bearing applications. The prospective future for the research on MPO coatings is introduced as well. 展开更多
关键词 aluminum alloys microplasma oxidation (MPO) duplex coating physical vapor deposition (pvd) plasma assisted chemical vapor deposition (PACVD)
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PS-PVD热障涂层柱状结构沉积调控及表面改性 被引量:1
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作者 姚梦晨 黄璐 +1 位作者 刘梅军 杨冠军 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第7期50-60,共11页
等离子-物理气相沉积(PS-PVD)具有涂层多结构调控的特性,为高隔热、长寿命热障涂层的制备提供可能,是实现未来高性能航空发动机发展的关键技术之一。PS-PVD柱状结构涂层独特的微观结构使其兼具高隔热和热循环寿命长的双重优势,在航空发... 等离子-物理气相沉积(PS-PVD)具有涂层多结构调控的特性,为高隔热、长寿命热障涂层的制备提供可能,是实现未来高性能航空发动机发展的关键技术之一。PS-PVD柱状结构涂层独特的微观结构使其兼具高隔热和热循环寿命长的双重优势,在航空发动机热障涂层领域有着广阔的应用前景。但PS-PVD柱状结构涂层工艺调控是在大量的实验基础上实现的,缺少相关的理论研究,而且高孔隙率的柱状结构涂层面临的CaO-MgO-Al 2O 3-SiO 2(CMAS)腐蚀失效问题仍然限制着涂层的使用。本文从涂层结构特征入手,阐述了沉积单元相态对涂层结构的影响规律,揭示了柱状结构涂层的气相沉积机理。在此基础上分析了涂层结构的工艺影响,并基于涂层材料在射流内的相态转变,从理论层面阐明了工艺参数调控的本质。此外,分析了PS-PVD柱状结构涂层CMAS腐蚀失效机理,阐述了表面镀铝改性对涂层抗CMAS腐蚀性能的影响机制,并对PS-PVD涂层结构调控和性能提升以及PS-PVD技术在环境障涂层和功能薄膜等领域的应用进行了展望。 展开更多
关键词 等离子-物理气相沉积(PS-pvd) 沉积机理 结构调控 表面改性 CMAS腐蚀
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团聚粉末粒度对PS-PVD制备GYbZ热障涂层的性能影响
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作者 杨朔 毛杰 +3 位作者 邓子谦 胡方 邓春明 邓畅光 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第2期395-403,共9页
目的探究不同粒度的微米级团聚粉末对等离子喷涂–物理气相沉(PS-PVD)制备GYbZ热障涂层性能的影响。方法以微米团聚的(Gd_(0.9)Yb_(0.1))_(2)Zr_(2)O_(7)(GYbZ)粉末为原料,通过PS-PVD工艺在镍基高温合金表面用3种不同粒径团聚粉末制备G... 目的探究不同粒度的微米级团聚粉末对等离子喷涂–物理气相沉(PS-PVD)制备GYbZ热障涂层性能的影响。方法以微米团聚的(Gd_(0.9)Yb_(0.1))_(2)Zr_(2)O_(7)(GYbZ)粉末为原料,通过PS-PVD工艺在镍基高温合金表面用3种不同粒径团聚粉末制备GYbZ热障涂层。采用扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射(XRD)分析GYbZ热障涂层的微观结构及相组成,采用电子万能试验机测试涂层的结合强度,采用自动水淬机对涂层的抗热震性能进行测试。结果随着团聚粉末粒度的减小,团聚粉末的球形度会变低,且粉末的孔隙率逐渐变大,团聚粉末粒度越小,喷涂的气化率越高,涂层中未熔粒子越少,涂层羽–柱状结构越明显。D50=13μm的团聚粉末在喷涂时,因粉末粒度过小,以及流动性较差,送粉过程中部分粉末未能顺利地通过喷嘴到达等离子焰流的中心,涂层的沉积率会略微降低。GYbZ团聚粉末衍射图呈现出Gd_(2)Zr_(2)O_(7)与Yb_(2)O_(3)这2种相的堆叠,而GYbZ涂层衍射图呈现单一的缺陷萤石结构。同时随着团聚粉末粒度的减小,制备出相应涂层的力学性能和抗热震性能有着明显的提高。结论采用D50=13μm的团聚粉末制备的涂层具有完整的羽毛–柱状结构,且拥有最高的结合强度及最好的抗热震性能。 展开更多
关键词 粉末粒径 等离子喷涂–物理气相沉积 GYbZ 热障涂层
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EB-PVD热障涂层对高温合金基体断裂特征影响的研究 被引量:10
10
作者 张东博 郭洪波 +1 位作者 宫声凯 徐惠彬 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 2001年第3期273-276,共4页
采用EB -PVD方法在K3合金上 (包括铸态和经标准热处理两种状态 )沉积了由NiCoCrAlY金属粘结层和YSZ涂层顶层组成的双层结构的热障涂层 .对未涂层和涂层试样的拉伸性能进行了评估 ,并分析了涂层的制备和中间处理过程中基体的微观结构的变... 采用EB -PVD方法在K3合金上 (包括铸态和经标准热处理两种状态 )沉积了由NiCoCrAlY金属粘结层和YSZ涂层顶层组成的双层结构的热障涂层 .对未涂层和涂层试样的拉伸性能进行了评估 ,并分析了涂层的制备和中间处理过程中基体的微观结构的变化 .结果表明 ,在热障涂层的沉积以及中间处理过程中 (真空前处理及后处理 ) ,基体的铸态组织得到改善 ,产生了析出强化 ,使得在铸态K3合金基体上沉积热障涂层后基体的拉伸强度由 80 0MPa提高到 10 5 0MPa 。 展开更多
关键词 电子束物理气相沉积 热障涂层 铸态合金 燃气涡轮机 叶片材料 高温合金 断裂特征 力学性能
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EB-PVD梯度热障涂层的热循环失效机制 被引量:10
11
作者 郭洪波 徐惠彬 +1 位作者 宫声凯 刘福顺 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期151-155,共5页
研究了一种新型梯度结构的EB-PVD(电子束物理气相沉积)热障涂层的热循环性能,并分析了涂层的失效机制结果表明,由于NICoCrAlY粘结层以及在粘结层上形成的 NisAl薄层发生了选择性氧化,从而在粘结层和梯度过渡... 研究了一种新型梯度结构的EB-PVD(电子束物理气相沉积)热障涂层的热循环性能,并分析了涂层的失效机制结果表明,由于NICoCrAlY粘结层以及在粘结层上形成的 NisAl薄层发生了选择性氧化,从而在粘结层和梯度过渡层之间形成了一层Al2O3层、随着热循环时间增长, Al2O3层不断增厚,而且在热循环应力作用下,涂层最终沿Al2O3层内部断裂失效. 展开更多
关键词 EB-pvd 梯度热障涂层 热循环 过渡层 失效机制
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电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术研究及应用进展 被引量:7
12
作者 刘景顺 曾岗 +2 位作者 李明伟 杨森 郭洪飞 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第F11期246-248,255,共4页
概述了近几年来快速发展的新兴材料加工工艺技术——电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术的研究及应用现状,着重阐述了电子束物理气相沉积(EB-PVD)过程的主要工艺参数和制备高温合金板材显微组织的形成机理。
关键词 电子束物理气相沉积(EB-pvd) 应用 工艺参数 形成机理
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微叠层结构EB-PVD热障涂层 被引量:12
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作者 牟仁德 贺世美 +1 位作者 何利民 许振华 《航空材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期55-60,共6页
采用EB-PVD非连续沉积工艺制备了微叠层结构热障涂层,对涂层结构和晶体形貌进行了SEM观察和分析,采用激光脉冲法测定了涂层的热扩散系数,并采用增重法研究了涂层的氧化动力学特征,分析了氧化后的元素扩散情况。结果表明,非连续EB-PVD沉... 采用EB-PVD非连续沉积工艺制备了微叠层结构热障涂层,对涂层结构和晶体形貌进行了SEM观察和分析,采用激光脉冲法测定了涂层的热扩散系数,并采用增重法研究了涂层的氧化动力学特征,分析了氧化后的元素扩散情况。结果表明,非连续EB-PVD沉积工艺制备的涂层具有明显的层状特征,常规EB-PVD热障涂层的柱状晶结构被周期性地打破;但在每一层中,柱状晶结构得以保留,且晶粒更加细化。微叠层热障涂层的热扩散系数比常规热障涂层降低20%-30%,涂层热扩散系数的降低主要与层间界面和晶粒的细化减小了声子的平均自由程有关。微叠层结构热障涂层的氧化增重速率明显低于常规试样,遵循典型的抛物线规律,垂直于元素扩散方向的层间界面和细晶更有效地降低或阻止了O、Al、Ni、Cr等元素的扩散,可能是氧化增重速率较低的主要原因。 展开更多
关键词 热障涂层 微叠层 电子束物理气相沉积 热扩散系数 激光脉冲
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垂直裂纹对EB-PVD热障涂层热循环失效模式的影响 被引量:10
14
作者 陈立强 宫声凯 徐惠彬 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第9期979-984,共6页
对电子束物理气相沉积(EB-PVD)双层结构热障涂层在热循环过程中形成的陶瓷层垂直裂纹对涂层失效模式的影响进行了研究.结果表明,陶瓷层表面垂直裂纹出现在热循环初期,但并未造成涂层的早期剥落;随着热循环次数增加,垂直裂纹网格变密.有... 对电子束物理气相沉积(EB-PVD)双层结构热障涂层在热循环过程中形成的陶瓷层垂直裂纹对涂层失效模式的影响进行了研究.结果表明,陶瓷层表面垂直裂纹出现在热循环初期,但并未造成涂层的早期剥落;随着热循环次数增加,垂直裂纹网格变密.有限元计算表明,垂直裂纹的形成在试样中部产生了类似于试样边缘的剪应力集中效应.经过长时间热循环后,当陶瓷层等轴晶区的强度或者热氧化生长层(TGO)的强度小于边缘效应产生的剪应力对,涂层在试样的中部以垂直裂纹网格形状发生剥落失效. 展开更多
关键词 热障涂层 电子束物理气相沉积 热循环 失效模式
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EB—PVD梯度热障涂层的制备及其热疲劳性能 被引量:6
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作者 郭洪波 宫声凯 +1 位作者 徐惠彬 刘福顺 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2000年第7期703-706,共4页
采用 EB—PVD的方法,连续蒸发按一定组分比混合的 A1+Al2O3+ZrO2混合源,在 Ni基高温合金基体上制备了一种新型结构的热障涂层,SEM和EDS的观察、分析表明,这种涂层实现了由金属粘结层向陶瓷顶层的微观结... 采用 EB—PVD的方法,连续蒸发按一定组分比混合的 A1+Al2O3+ZrO2混合源,在 Ni基高温合金基体上制备了一种新型结构的热障涂层,SEM和EDS的观察、分析表明,这种涂层实现了由金属粘结层向陶瓷顶层的微观结构的梯度过渡和化学成分的连续变化.涂层的基本结构为 NiCoCrAlY/ Ni3Al/ Ni3Al+Al2O3/ Al2O3/ Al2O3+ ZrO2/ ZrO2这种梯度热障涂层在1050℃的抗高温氧化性能优于传统的二层结构的热障涂层经1050℃保温30 min,迅速冷却至室温的热循环测试300次后,涂层没有发生剥落。 展开更多
关键词 梯度热障涂层 EB-pvd 热疲劳性能 制备
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基体温度对TC11钛合金EB-PVD修复层组织及振动疲劳寿命的影响 被引量:4
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作者 孙刚 陈学明 +2 位作者 马国佳 马江宁 崔向中 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期59-64,共6页
为了研究温度对修复层性能的影响,采用电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术在TC11平板试样上制备了修复层,利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和能谱仪(EDS)研究了不同温度下修复层的成分及组织形貌变化,并通过振动疲劳试... 为了研究温度对修复层性能的影响,采用电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术在TC11平板试样上制备了修复层,利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和能谱仪(EDS)研究了不同温度下修复层的成分及组织形貌变化,并通过振动疲劳试验等方法研究了温度对修复层振动疲劳寿命的影响。结果表明:在600~800℃进行修复时,修复层为柱状晶组织。修复层的致密性随温度升高而变大,这种变化也会影响修复后试片的振动疲劳性能,修复层柱状晶结构间隙处形成的裂纹源会造成试片疲劳性能的下降。 展开更多
关键词 电子束物理气相沉积(EB-pvd) 温度 修复层 振动疲劳寿命
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EB-PVD制备NiCrCoAl薄板800℃热处理微观组织研究 被引量:2
17
作者 刘景顺 曾岗 +2 位作者 李明伟 韩杰才 曾松岩 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第7期1234-1236,共3页
对采用电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术制备Ni基高温合金薄板800℃真空保温过程中微观组织结构与硬度进行了研究。结果表明:制备态NiCrCoAl合金组织为γ-Ni固溶体,组织均匀细化、无沉淀析出相、无位错,存在孪晶,晶粒中出现大量应变条纹... 对采用电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术制备Ni基高温合金薄板800℃真空保温过程中微观组织结构与硬度进行了研究。结果表明:制备态NiCrCoAl合金组织为γ-Ni固溶体,组织均匀细化、无沉淀析出相、无位错,存在孪晶,晶粒中出现大量应变条纹;在热处理态800℃,5×10-3Pa真空保温过程中,合金组织相结构未发生变化,合金的平面和截面组织呈现层片状结构,存在大量亚结构缺陷——孪晶、少量位错,在800℃保温16h,有少量碳化物沉淀析出物;随着合金保温时间的延长,应变条纹随之消除,沿(220)晶面的晶粒择优取向迅速长大。同时,显微硬度随之降低。 展开更多
关键词 电子束物理气相沉积(EB-pvd) 热处理 微观组织 NiCoCrAl薄板
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EB-PVD制备Ni-20.3Cr-4.6Co-2.1Al薄板微观组织结构研究 被引量:2
18
作者 刘景顺 曾岗 +3 位作者 李明伟 刘向东 郝新 车广东 《铸造技术》 EI CAS 北大核心 2006年第12期1322-1325,共4页
对采用电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术制备Ni-20.3Cr-4.6Co-2.1Al高温合金薄板的微观组织结构进行了研究。结果表明:制备态合金薄板相组成为-γNi基固溶体,不存在第二相。合金在制备过程中的宏观、微观应力以及晶粒细化作用,导致相同... 对采用电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术制备Ni-20.3Cr-4.6Co-2.1Al高温合金薄板的微观组织结构进行了研究。结果表明:制备态合金薄板相组成为-γNi基固溶体,不存在第二相。合金在制备过程中的宏观、微观应力以及晶粒细化作用,导致相同位置衍射峰叠加,产生衍射峰宽化现象,具有不对称性。在OM和SEM下观察组织致密均匀、晶粒细化,晶粒间耐蚀程度存在差异;TEM观察其组织结构,存在应变条纹,亚结构缺陷主要为孪晶;AFM三维形貌图反映出晶粒光整、没有棱面,说明合金蒸气在结晶时,发生由气相→液相→固相的转变过程。 展开更多
关键词 电子束物理气相沉积(E&pvd) 制备态 组织结构 Ni-20.3Cr-4.6Co-2.1Al薄板
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淬火硬度场数值模拟与PVD技术在牙轮钻头轴承套中的应用 被引量:4
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作者 何畏 熊尉伶 +2 位作者 李波 张志魁 胡玉茂 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2015年第12期182-186,共5页
建立了轴承套在淬火冷却过程中的有限元模型,分析了硬度场变化规律和分布状态。模拟结果表明:轴承套硬度值沿径向分布从外表面向内表面逐渐递减,满足了轴承套内柔外刚的要求。将模拟硬度值与实测硬度值进行比较,一致性较好,证明所建模... 建立了轴承套在淬火冷却过程中的有限元模型,分析了硬度场变化规律和分布状态。模拟结果表明:轴承套硬度值沿径向分布从外表面向内表面逐渐递减,满足了轴承套内柔外刚的要求。将模拟硬度值与实测硬度值进行比较,一致性较好,证明所建模型的有效性。同时,利用PVD技术试制镀TiN涂层轴承套式滑动轴承牙轮钻头,进行台架试验以及现场实钻对比试验,试验结果表明:镀TiN涂层轴承套式滑动轴承牙轮钻头比原牙轮钻头耐磨性好,工作效率和寿命均有较大的提高。 展开更多
关键词 轴承套 硬度场 数值模拟 台架试验 现场实钻对比试验 pvd
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热处理GaSb衬底对近距离升华法制备CdZnTe外延膜的影响
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作者 李阳 曹昆 介万奇 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2024年第10期1705-1711,共7页
衬底的表面质量对生长膜层的质量有重要影响,衬底表面的粗糙度、均匀性、附着物残留及氧化层均是其表面质量的评价标准。本文报道了一种热处理方法,通过近距离升华设备原位去除GaSb(001)衬底上的氧化层后用于制备CdZnTe外延膜。通过控... 衬底的表面质量对生长膜层的质量有重要影响,衬底表面的粗糙度、均匀性、附着物残留及氧化层均是其表面质量的评价标准。本文报道了一种热处理方法,通过近距离升华设备原位去除GaSb(001)衬底上的氧化层后用于制备CdZnTe外延膜。通过控制热处理的温度和时间,获得洁净且平整的较优衬底状态。利用原子力显微镜和X射线光电子能谱表征了热处理对GaSb衬底形貌和成分的影响,采用双晶X射线摇摆曲线对经过热处理后的GaSb衬底上生长的CdZnTe外延膜的结晶质量进行了评价。为了深入研究这种异质界面附近微观缺陷的性质和外延形成机制,还对CdZnTe/GaSb截面进行了TEM分析研究。GaSb衬底在600℃经过180 s热处理后,可以去除衬底表面大部分氧化物且相对平整,提高了CdZnTe外延膜的结晶质量,在双晶X射线摇摆曲线中的半峰全宽为94″,接近已报道的块体CdZnTe晶体的结晶质量。 展开更多
关键词 CDZNTE GASB 外延生长 薄膜 物理气相沉积 热处理 半导体
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