大行程高分辨率微定位机构的设计分析

压电驱动器的位移输出能力有限,因此通常借助于柔性机构对其位移量进行放大。对常用的柔性放大机构的性能进行了分析。提出一种柔性八杆放大机构,并对其进行有限元分析和理论计算。为了提高放大率,提出两级串连式机构。机构整体具有结构紧凑、放大效率较高的优点。