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High precise control method for a new type of Piezoelectric electro-hydraulic servo valve 被引量:2
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作者 周淼磊 田彦涛 +1 位作者 高巍 杨志刚 《Journal of Central South University of Technology》 EI 2007年第6期832-837,共6页
A new type of piezoelectric electro-hydraulic servo valve system was proposed. And then multilayer piezoelectric actuator based on new piezoelectric ceramic material was used as the electricity-machine converter of th... A new type of piezoelectric electro-hydraulic servo valve system was proposed. And then multilayer piezoelectric actuator based on new piezoelectric ceramic material was used as the electricity-machine converter of the proposed piezoelectric electro-hydraulic servo valve. The proposed piezoelectric electro-hydraulic servo valve has ascendant performance compared with conventional ones. But the system is of high nonlinearity and uncertainty, it cannot achieve favorable control performance by conventional control method. To develop an efficient way to control piezoelectric electro-hydraulic servo valve system, a high-precise fuzzy control method with hysteresis nonlinear model in feedforward loop was proposed. The control method is separated into two parts: a feedforward loop with Preisach hysteresis nonlinear model and a feedback loop with high-precise fuzzy control. Experimental results show that the hysteresis loop and the maximum output hysteresis by the PID control method are 4.22% and 2.11 μm, respectively; the hysteresis loop and the maximum output hysteresis by the proposed control method respectively are 0.74% and 0.37 μm, respectively; the maximum tracking error by the PID control method for sine wave reference signal is about 5.02%, the maximum tracking error by the proposed control method for sine wave reference signal is about 0.85%. 展开更多
关键词 piezoelectric electro-hydraulic servo valve hysteresis nonlinearity Preisach model fuzzy control
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Characteristics Prediction Method of Electro-hydraulic Servo Valve Based on Rough Set and Adaptive Neuro-fuzzy Inference System 被引量:11
2
作者 JIA Zhenyuan MA Jianwei WANG Fuji LIU Wei 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第2期200-208,共9页
Synthesis characteristics of the electro-hydraulic servo valve are key factors to determine eligibility of the hydraulic production. Testing all synthesis characteristics of the electro-hydraulic servo valve after ass... Synthesis characteristics of the electro-hydraulic servo valve are key factors to determine eligibility of the hydraulic production. Testing all synthesis characteristics of the electro-hydraulic servo valve after assembling leads to high repair rate and reject rate, so accurate prediction for the synthesis characteristics in the industrial production is particular important in decreasing the repair rate and the reject rate of the product. However, the research in forecasting synthesis characteristics of the electro-hydraulic servo valve is rare. In this work, a hybrid prediction method was proposed based on rough set(RS) and adaptive neuro-fuzzy inference system(ANFIS) in order to predict synthesis characteristics of electro-hydraulic servo valve. Since the geometric factors affecting the synthesis characteristics of the electro-hydraulic servo valve are from workers' experience, the inputs of the prediction method are uncertain. RS-based attributes reduction was used as the preprocessor, and then the exact geometric factors affecting the synthesis characteristics of the electro-hydraulic servo valve were obtained. On the basis of the exact geometric factors, ANFIS was used to build the final prediction model. A typical electro-hydraulic servo valve production was used to demonstrate the proposed prediction method. The prediction results showed that the proposed prediction method was more applicable than the artificial neural networks(ANN) in predicting the synthesis characteristics of electro-hydraulic servo valve, and the proposed prediction method was a powerful tool to predict synthesis characteristics of the electro-hydraulic servo valve. Moreover, with the use of the advantages of RS and ANFIS, the highly effective forecasting framework in this study can also be applied to other problems involving synthesis characteristics forecasting. 展开更多
关键词 characteristics prediction rough set adaptive neuro-fuzzy inference system electro-hydraulic servo valve artificial neural networks
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Refined modeling and experimental verification of a torque motor for an electro-hydraulic servo valve 被引量:1
3
作者 Zhichuang CHEN Shenghong GE +2 位作者 Yulei JIANG Wenhao CHENG Yuchuan ZHU 《Chinese Journal of Aeronautics》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第6期302-317,共16页
The Permanent Magnet Torque Motor(PMTM)is the key electro-mechanical conversion device in an Electro-Hydraulic Servo Valve(EHSV).In this work,a refined model of a PMTM is developed,considering the non-working air-gaps... The Permanent Magnet Torque Motor(PMTM)is the key electro-mechanical conversion device in an Electro-Hydraulic Servo Valve(EHSV).In this work,a refined model of a PMTM is developed,considering the non-working air-gaps between the upper or lower yoke and the armature,the fringing effect at the limiting holes,and the nonlinear permeability of soft magnetic material.Based on the refined model,the influences of various factors on the calculation accuracy of the magnetic flux at the pole surfaces of the armature and the output torque are investigated.For verifying the validity of the refined model,a Finite Element Analysis(FEA)of the PMTM is conducted,and a test platform is constructed.Compared with existing models,the refined model can better reveal the intrinsic mechanism of the PMTM,and its calculations are more consistent with the FEA results.The experimental results of the armature deflection displacement show that the refined model can accurately describe the output characteristics of the PMTM. 展开更多
关键词 Calculation accuracy electro-hydraulic servo valve Experimental verification Finite element analysis Refined model Torque motor
原文传递
Static Characteristics of the New Type Nozzle Flapper Amplifier for Double Nozzle Flapper Electro-Hydraulic Servo Valve 被引量:1
4
作者 ZHOU Miao-lei GAO Wei YANG Zhi-gang 《Journal of Iron and Steel Research International》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第S2期617-620,共4页
A new type nozzle flapper amplifier for double nozzle flapper electro-hydraulic servo valve is proposed in the paper.The electro-mechanical converter of new type nozzle flapper amplifier is designed by using the piezo... A new type nozzle flapper amplifier for double nozzle flapper electro-hydraulic servo valve is proposed in the paper.The electro-mechanical converter of new type nozzle flapper amplifier is designed by using the piezoelectric bimorph and beryllium-bronze materials.The structure and working principle of the new type nozzle flapper amplifier are introduced.Pressure characteristic and flowrate characteristic are analyzed by experimental method.The research results show that pressure characteristic has large amplification factor and output pressure;flowrate characteristic has large linear range and output flowrate. 展开更多
关键词 nozzle flapper amplifier electro-hydraulic servo valve static characteristics piezoelectric bimorph
原文传递
新型直动式压电伺服阀 被引量:19
5
作者 沈传亮 程光明 +2 位作者 杨志刚 鄂世举 周淼磊 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第9期125-128,共4页
提出一种新型压电驱动单级电液伺服阀,其特点是可以提供比传统电磁式电液伺服阀更高的频宽与分辨率,而且结构紧凑、抗污染能力强。该阀采用大行程的压电叠堆(积层式压电驱动器)作为驱动元件直接驱动滑阀,通过基于弹性变形原理的弹性板机... 提出一种新型压电驱动单级电液伺服阀,其特点是可以提供比传统电磁式电液伺服阀更高的频宽与分辨率,而且结构紧凑、抗污染能力强。该阀采用大行程的压电叠堆(积层式压电驱动器)作为驱动元件直接驱动滑阀,通过基于弹性变形原理的弹性板机构,结合电阻应变式微位移传感器,实现机构及检测一体化。应用有限元法对弹性板机构进行分析优化,试制了直动式压电伺服阀样机并对样机进行了试验研究,得出该阀的频宽约为1kHz。新型伺服阀可以应用于振动试验台、疲劳试验台及需要快速反应的流体控制系统中,提高系统的响应特性。 展开更多
关键词 压电驱动 弹性板机构 直动式 电液伺服阀
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基于液压微位移放大结构的新型压电陶瓷直接驱动阀设计及仿真 被引量:37
6
作者 俞军涛 焦宗夏 吴帅 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期151-158,共8页
研制一种基于液压微位移放大结构的压电陶瓷直接驱动伺服阀,实现大流量高频响的要求。针对压电陶瓷输出力大但输出位移小的特点,设计出一种新型的液压微位移放大结构,由柔性铰链膜片式大活塞、密闭容腔、小活塞及压力调节和测量装置构... 研制一种基于液压微位移放大结构的压电陶瓷直接驱动伺服阀,实现大流量高频响的要求。针对压电陶瓷输出力大但输出位移小的特点,设计出一种新型的液压微位移放大结构,由柔性铰链膜片式大活塞、密闭容腔、小活塞及压力调节和测量装置构成。采用叠堆式压电陶瓷驱动大活塞,改变密闭容腔内油液的体积形态,放大小活塞端输出位移,驱动滑阀阀芯运动。大活塞采用膜片结构,降低压电陶瓷叠堆的负载,提高密封性能。针对刚性膜片刚度和强度矛盾的问题,设计柔性铰链膜片,对该膜片结构的刚度进行理论分析和数值计算验证。应用有限元方法对结构及各参数进行优化设计,并对最终结构进行刚度和强度分析。基于试制原理样机参数,建模仿真表明液压位移放大倍数9倍,阀芯位置控制误差小于1%。频宽超过550 Hz。试验测得流量曲线,7 MPa压力下,控制流量达到17 L/min。 展开更多
关键词 压电陶瓷 液压位移放大 直接驱动阀 柔性铰链 有限元法
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压电直接驱动式伺服阀 被引量:3
7
作者 董云峰 曲兴田 +2 位作者 沈传亮 董景石 吴博达 《吉林大学学报(工学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期678-680,共3页
介绍了一种利用压电陶瓷直接驱动的压电伺服阀,其机械结构简单、抗干扰能力强,具有高于传统电磁式伺服阀的频宽和分辨率。应用有限元法分析了柔性铰链的结构特性,对压电叠堆的静、动态特性进行了理论分析,并制造了压电直接驱动式伺服阀... 介绍了一种利用压电陶瓷直接驱动的压电伺服阀,其机械结构简单、抗干扰能力强,具有高于传统电磁式伺服阀的频宽和分辨率。应用有限元法分析了柔性铰链的结构特性,对压电叠堆的静、动态特性进行了理论分析,并制造了压电直接驱动式伺服阀样机,进行了静、动态性能测试。测试结果表明:该压电伺服阀可以满足现代精密高速控制系统的需要。 展开更多
关键词 流体传动与控制 压电伺服阀 压电叠堆 柔性铰链 有限元法
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高速精密压电型电液伺服阀及其控制方法 被引量:3
8
作者 周淼磊 杨志刚 +3 位作者 高巍 田彦涛 程光明 沈传亮 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第9期160-163,共4页
为了提高电液伺服阀的静、动态性能,采用压电叠堆执行器作为电液伺服阀的前置驱动级,提出了一种新型高速精密压电型电液伺服阀.针对系统的非线性和不确定性,提出一种改进的自调整函数模糊控制方法,将系统偏差和偏差变化量在同一闭区间... 为了提高电液伺服阀的静、动态性能,采用压电叠堆执行器作为电液伺服阀的前置驱动级,提出了一种新型高速精密压电型电液伺服阀.针对系统的非线性和不确定性,提出一种改进的自调整函数模糊控制方法,将系统偏差和偏差变化量在同一闭区间内分成若干等级完成归一模糊量化,将调整因子变为调整函数,并对比例因子进行自调整,从而避免迟滞非线性带来的系统振荡问题,提高模糊控制器精度.实验结果表明,新型压电型电液伺服阀的静态迟滞环<0.1%,分辨率优于0.03%,闭环控制时,幅频宽>700 Hz. 展开更多
关键词 模糊控制 非线性 电液伺服阀 压电叠堆执行器
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新型直动式压电电液伺服阀复合控制方法 被引量:4
9
作者 周淼磊 田彦涛 +2 位作者 高巍 杨志刚 沈传亮 《吉林大学学报(工学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期1386-1391,共6页
设计了一种新型直动式压电电液伺服阀。该阀采用压电叠堆执行器作为电-机械转换器,提高了电液伺服阀的性能。并针对压电叠堆执行器固有的迟滞和蠕变非线性使得压电型电液伺服系统的输出精度降低,传统的控制方法难以得到很好的控制效果... 设计了一种新型直动式压电电液伺服阀。该阀采用压电叠堆执行器作为电-机械转换器,提高了电液伺服阀的性能。并针对压电叠堆执行器固有的迟滞和蠕变非线性使得压电型电液伺服系统的输出精度降低,传统的控制方法难以得到很好的控制效果的问题。提出了基于动态Preisach模型的前馈控制和PID反馈控制的一种复合控制方法。实验结果表明,该方法能有效改善新型直动式压电电液伺服阀的输出精度。 展开更多
关键词 自动控制技术 压电电液伺服阀 复合控制 动态Preisach模型 非线性
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基于模糊PID控制的新型压电型电液伺服阀研究 被引量:3
10
作者 周淼磊 杨志刚 +3 位作者 田彦涛 程光明 鄂世举 沈传亮 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2006年第2期218-220,共3页
提出一种新型的直动式一级压电型电液伺服阀,并对其特性进行了分析。针对系统的非线性和不确定性,提出了自适应模糊PID控制方法,有效地满足了实际系统对滑阀位置控制的要求。实验结果表明了新型电液伺服阀相对于传统的电液伺服的性能有... 提出一种新型的直动式一级压电型电液伺服阀,并对其特性进行了分析。针对系统的非线性和不确定性,提出了自适应模糊PID控制方法,有效地满足了实际系统对滑阀位置控制的要求。实验结果表明了新型电液伺服阀相对于传统的电液伺服的性能有了很大的改善。 展开更多
关键词 压电叠堆执行器 电液伺服阀 模糊PID 非线性
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压电型电液伺服阀控制方法研究 被引量:2
11
作者 曹锋 焦宗夏 +3 位作者 刘光聪 梁磊 刘小旭 张睿 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2008年第6期692-695,共4页
由于压电型电液伺服阀的阀芯采用两个对顶压电驱动器驱动,且压电驱动器固有的迟滞非线性,使两压电驱动器的输出具有很强的耦合作用,不能同步,从而使阀芯的运动速度、精度和平稳性降低。采用单纯的PID控制可以在一定程度上实现解耦控制,... 由于压电型电液伺服阀的阀芯采用两个对顶压电驱动器驱动,且压电驱动器固有的迟滞非线性,使两压电驱动器的输出具有很强的耦合作用,不能同步,从而使阀芯的运动速度、精度和平稳性降低。采用单纯的PID控制可以在一定程度上实现解耦控制,但其控制精度较低。提出了一种基于DRNN网络整定的PID控制器,它根据DRNN网络辨识的被控对象的Jacobian信息,在线调整PID控制器的比例、积分和微分参数,从而使DRNN网络整定的PID控制器很好地实现了阀芯的解耦同步控制。实验结果表明DRNN网络整定PID控制的综合性能优于常规PID控制。 展开更多
关键词 压电型电液伺服阀 压电驱动器 Jacobian信息 DRNN
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一种新型电液伺服阀 被引量:3
12
作者 鄂世举 杨志刚 +2 位作者 曲兴田 吴博达 程光明 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期377-379,385,共4页
研制了一种新型的直动式电液伺服阀 ,伺服阀的驱动器由压电元件实现。该伺服阀采用电反馈原理 ,利用位移传感器将位置信号反馈给伺服放大器 ,与伺服阀的压电驱动器形成一个闭环位置系统 ,提高了伺服阀的动静态性能。该文对伺服阀样机的... 研制了一种新型的直动式电液伺服阀 ,伺服阀的驱动器由压电元件实现。该伺服阀采用电反馈原理 ,利用位移传感器将位置信号反馈给伺服放大器 ,与伺服阀的压电驱动器形成一个闭环位置系统 ,提高了伺服阀的动静态性能。该文对伺服阀样机的静态特性进行了测试 ,分析了特性曲线上所表征的性能指标及其影响因素 ;依据实验曲线获得静态特性参数 ,与北京机床研究所生产的 QDY - D4 0型电磁驱动直动式电液伺服阀进行比较 ,指出了该阀的优点和不足 。 展开更多
关键词 电液伺服阀 压电元件 静态特性
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压电驱动式高频电液伺服阀实验研究 被引量:2
13
作者 沈传亮 程光明 +4 位作者 曾平 杨志刚 鄂世举 周淼磊 李欣欣 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1443-1446,共4页
为了提高电液伺服阀的频率响应特性,采用响应速度快、输出力大、刚性好的积层式压电驱动器作为伺服阀的前置级电-机械转换器.采用杠杆放大的方式对压电驱动器的输出位移进行放大,保证足够的流量输出;采用直接驱动阀芯的方式增强了抗污... 为了提高电液伺服阀的频率响应特性,采用响应速度快、输出力大、刚性好的积层式压电驱动器作为伺服阀的前置级电-机械转换器.采用杠杆放大的方式对压电驱动器的输出位移进行放大,保证足够的流量输出;采用直接驱动阀芯的方式增强了抗污染能力以及动态响应特性;功率级滑阀采用内置方式,用单个压电叠堆实现了滑阀的双向控制.试制了压电伺服阀的样机,并对样机进行了静、动态测试.得出该阀的频宽大于1.2 kHz,流量为5.7 L/m in,抗污染能力达到ISO 4406 18/15. 展开更多
关键词 压电驱动 高频 伺服阀 杠杆放大
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杠杆放大型直动式压电伺服阀动态特性 被引量:2
14
作者 沈传亮 杨志刚 +2 位作者 程光明 曾平 李鹏 《吉林大学学报(工学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第S1期103-106,共4页
提出一种基于杠杆放大原理的直动式压电伺服阀。该阀采用大行程的压电叠堆作为驱动元件,经杠杆放大后的位移直接驱动功率级滑阀。采用解析法建立了阀芯运动机构的动力学模型,并对其进行了仿真分析。试制了杠杆放大型直动式压电伺服阀样... 提出一种基于杠杆放大原理的直动式压电伺服阀。该阀采用大行程的压电叠堆作为驱动元件,经杠杆放大后的位移直接驱动功率级滑阀。采用解析法建立了阀芯运动机构的动力学模型,并对其进行了仿真分析。试制了杠杆放大型直动式压电伺服阀样机,并对样机的动态特性进行了试验测试。结果表明,该阀正向阶跃响应时间为0.54 ms,负向阶跃响应时间为1.08 ms,频宽约为1 kHz。新型伺服阀可以应用于振动试验台、疲劳试验台及需要快速反应的流体控制系统中,可提高系统的快速响应特性。 展开更多
关键词 机械设计 压电驱动 杠杆放大 直动式 电液伺服阀 动态特性
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新型功能材料驱动的高性能电液伺服阀 被引量:5
15
作者 刘国华 花蓉 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期45-48,共4页
与传统伺服阀相比,以新型功能材料为电-机械转换器的电液伺服阀,具有高频响、高精度和易于微型化等优点。介绍了几种基于新型功能材料(超磁致伸缩材料GMM、电致伸缩材料PMN和形状记忆合金SMA等)的电液伺服阀的结构组成和工作原理,并对... 与传统伺服阀相比,以新型功能材料为电-机械转换器的电液伺服阀,具有高频响、高精度和易于微型化等优点。介绍了几种基于新型功能材料(超磁致伸缩材料GMM、电致伸缩材料PMN和形状记忆合金SMA等)的电液伺服阀的结构组成和工作原理,并对它们的各自特点进行了对比分析。最后对新型功能材料,特别是超磁致伸缩材料GMM,在高性能电液伺服阀的应用现状进行了展望。 展开更多
关键词 电液伺服阀 功能材料 超磁致伸缩 压电元件 形状记忆合金
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压电型电液伺服阀控制参数优化 被引量:1
16
作者 鄂世举 杨志刚 +1 位作者 程光明 周淼磊 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第7期208-211,共4页
根据伺服阀工作特点、设计及调试的需要,以积分分离PID作为控制算法,优选了伺服阀伺服控制系统的控制参数,构建了数字控制器。通过实验对控制效果进行了验证,分析了控制器控制参数对其性能的影响,给出了选择原则。通过试凑法,当取比例... 根据伺服阀工作特点、设计及调试的需要,以积分分离PID作为控制算法,优选了伺服阀伺服控制系统的控制参数,构建了数字控制器。通过实验对控制效果进行了验证,分析了控制器控制参数对其性能的影响,给出了选择原则。通过试凑法,当取比例系数为5.3、积分时间常数为0.35、微分时间常数为3.0时,阀芯位移的上升时间小于6 ms,得到较好的控制效果。 展开更多
关键词 压电型电液伺服阀 数字控制器 控制参数 优化
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伺服阀用压电型驱动器研究 被引量:2
17
作者 高春甫 鄂世举 杨志刚 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第16期1431-1434,共4页
研制了一种压电驱动的电-机械转换器,用于构造电液伺服阀;介绍了电-机械转换器的工作原理;优选了结构型式及尺寸,并对其动静态特性进行了测试.测试结果表明,所设计的电-机械转换器有较好的静态特性及动态特性.在开环方式反向控制算法下... 研制了一种压电驱动的电-机械转换器,用于构造电液伺服阀;介绍了电-机械转换器的工作原理;优选了结构型式及尺寸,并对其动静态特性进行了测试.测试结果表明,所设计的电-机械转换器有较好的静态特性及动态特性.在开环方式反向控制算法下,静态特性中的非线性度小于1.6%,在电压范围为0~70V内的滞环小于2.3%,动态响应频宽达1.0kHz以上.由此可见,所设计的电-机械转换器有望替代现有的电磁力矩马达. 展开更多
关键词 电液伺服阀 压电元件 电-机械转换器 动静态特性
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基于新型功能材料的高频响电液伺服阀 被引量:2
18
作者 王传礼 丁凡 《矿冶工程》 CAS CSCD 北大核心 2002年第4期79-81,共3页
介绍了几种基于新型功能材料 (超磁致伸缩材料GMM和电致伸缩材料PMN等 )的电液伺服阀的结构组成和工作原理 ,并对它们的各自特点进行了对比分析。综合对比表明 :与传统伺服阀相比 ,以新型功能材料为电 机械转换器的电液伺服阀具有高频... 介绍了几种基于新型功能材料 (超磁致伸缩材料GMM和电致伸缩材料PMN等 )的电液伺服阀的结构组成和工作原理 ,并对它们的各自特点进行了对比分析。综合对比表明 :与传统伺服阀相比 ,以新型功能材料为电 机械转换器的电液伺服阀具有高频响、高精度、大输出力等优异性能。 展开更多
关键词 电液伺服阀 功能材料 超磁致伸缩 电致伸缩 压电元件
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基于AMESim的压电式水压伺服阀的研究 被引量:2
19
作者 朱耿寅 罗璟 +3 位作者 袁锐波 吴松涛 赵德新 袁玉比 《机械与电子》 2011年第8期24-27,共4页
首先对水压伺服阀的智能驱动器压电驱动器作了介绍,建立压电驱动器的数学模型,并在Simulink中建立仿真模型,分析其动态响应性能;然后设计一种压电式水压伺服阀,在AMESim中建立其模型,并进行了仿真分析。
关键词 水压伺服阀 压电驱动器 SIMULINK仿真 AMESIM仿真
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新型压电叠堆驱动式射流管伺服阀的参数优化 被引量:3
20
作者 胡良谋 李曙光 +3 位作者 方鸽 曹克强 谢志刚 曹伟 《机床与液压》 北大核心 2019年第5期15-19,共5页
针对目前航空工业对高频响、高精度的射流管伺服阀需求,设计了一款压电叠堆驱动式射流管伺服阀,分析了其工作原理,对其动态特性进行了分析。为进一步提高其性能,提出了一种采用正交因素分析确定关键参数合理范围,并进行响应面寻优的优... 针对目前航空工业对高频响、高精度的射流管伺服阀需求,设计了一款压电叠堆驱动式射流管伺服阀,分析了其工作原理,对其动态特性进行了分析。为进一步提高其性能,提出了一种采用正交因素分析确定关键参数合理范围,并进行响应面寻优的优化方法。采用该方法对压电叠堆驱动式射流管伺服阀的结构参数进行了最优参数的确定。仿真试验结果表明,优化后的伺服阀的性能得到了较大提升。 展开更多
关键词 压电叠堆驱动式射流管伺服阀 动态特性 参数优化
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