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基于柔性铰链结构的大口径压电快摆镜
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作者 王强 时运来 +2 位作者 孙海超 李兴 刘伟 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第1期73-78,共6页
为了解决压电作动器驱动的快速反射镜因压电作动器伸长量较小,导致快速反射镜偏转角过小的问题,该文提出了一款新型快速反射镜设计方案。采用三级杠杆式柔性铰链放大机构实现压电作动器位移的放大,采用柔性轴承作为快摆镜的运动关节实... 为了解决压电作动器驱动的快速反射镜因压电作动器伸长量较小,导致快速反射镜偏转角过小的问题,该文提出了一款新型快速反射镜设计方案。采用三级杠杆式柔性铰链放大机构实现压电作动器位移的放大,采用柔性轴承作为快摆镜的运动关节实现快摆镜的大角度定轴偏转。通过理论推导和有限元仿真对快摆镜的最大偏转角度、等效应力、谐振频率以及振型进行分析。实验结果表明,所设计的快摆镜可以实现大于2 mrad的镜面偏转,满足大范围、高精度的光束定位要求。 展开更多
关键词 柔性铰链 逆压电效应 压电作动器 大口径压电快摆镜 位移放大机构
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高带宽压电片变形镜的动力学仿真与优化方法研究
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作者 杨开科 罗俊鹏 +3 位作者 马文静 耿远超 王德恩 袁强 《工程设计学报》 CSCD 北大核心 2024年第1期130-136,共7页
为进一步提高压电波前校正器的响应速度和轻量化程度,对面向高动态形状控制的压电片变形镜的动力学仿真与优化方法进行了研究。首先,基于压电片变形镜的参数化有限元模型,提出了高效、高精度的电-力耦合动力学仿真分析方法。然后,通过... 为进一步提高压电波前校正器的响应速度和轻量化程度,对面向高动态形状控制的压电片变形镜的动力学仿真与优化方法进行了研究。首先,基于压电片变形镜的参数化有限元模型,提出了高效、高精度的电-力耦合动力学仿真分析方法。然后,通过正交遍历多维设计参数(光学反射镜与压电陶瓷的材料类型、几何尺寸和固定方式等),探究了不同参数对压电片变形镜动态形状控制性能的影响规律。最后,优化得到具有预期响应带宽和驱动位移性能的压电片变形镜设计方案,并通过制备压电片变形镜的原理样件来验证其性能。实验结果表明,所研制的压电片变形镜的固有频率和镜面驱动位移幅值符合预期,验证了所提出的动力学仿真与优化方法的有效性,这可为高带宽压电片变形镜的高效研制提供科学的理论方法。 展开更多
关键词 高带宽压电片变形镜 电-力耦合动力学仿真 正交遍历 多维设计参数
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一种高密度压电变形镜驱动电源的设计
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作者 徐兴 邵蒙 李洪文 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第4期491-495,504,共6页
压电变形镜是自适应光学系统的执行机构。针对压电变形镜高精度、高动态应用的问题,设计了一款新型的压电陶瓷驱动电源,同时采取线性校正网络确保了放大电路的稳定性,并对影响输出精确度及非线性失真的原因进行了分析。实验结果表明,当... 压电变形镜是自适应光学系统的执行机构。针对压电变形镜高精度、高动态应用的问题,设计了一款新型的压电陶瓷驱动电源,同时采取线性校正网络确保了放大电路的稳定性,并对影响输出精确度及非线性失真的原因进行了分析。实验结果表明,当驱动容性负载为0.33μF时,该驱动电源的大信号带宽可达3 kHz,阶跃响应的上升时间优于80μs,下降时间优于130μs,输出线性度为99.6%。 展开更多
关键词 压电陶瓷 驱动电源 压电变形镜 相位补偿 容性负载
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抗拉可压型压电陶瓷性能测试及疲劳试验 被引量:1
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作者 李国会 李国荣 +5 位作者 徐宏来 张秋实 杜应磊 时雪 向振佼 吴晶 《强激光与粒子束》 CAS CSCD 北大核心 2023年第10期54-59,共6页
压电陶瓷是自适应光学系统中的核心器件变形镜的主要作动元件,其性能的好坏直接影响变形镜甚至自适应光学系统校正能力。开展了加载电压为±350 V、外形尺寸为5 mm×5 mm×38 mm的抗拉可压型压电陶瓷的性能测试,包括位移、... 压电陶瓷是自适应光学系统中的核心器件变形镜的主要作动元件,其性能的好坏直接影响变形镜甚至自适应光学系统校正能力。开展了加载电压为±350 V、外形尺寸为5 mm×5 mm×38 mm的抗拉可压型压电陶瓷的性能测试,包括位移、迟滞、电容、阻抗和热膨胀系数等,对压电陶瓷的抗拉能力进行了考核,获得三个样品抗拉能力均大于250 N。采用疲劳测试仪对同批次生产的压电陶瓷进行疲劳试验,在此过程中获得了压电陶瓷的压电效应并对试验数据进行了分析,最后对5#样品进行了1000万次疲劳试验(±150 N@5 Hz正弦载荷),试验后压电陶瓷的位移减小约5%,其他指标变化较小。通过抗拉能力测试和疲劳试验,初步考核了该型压电陶瓷的抗拉压特性和疲劳特性以及压电陶瓷的使用寿命,为变形镜的研制提供一定的数据支撑。 展开更多
关键词 压电陶瓷 自适应光学 变形镜 疲劳特性 压电效应
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Influence of low temperature on the surface deformation of deformable mirrors
5
作者 尤俊成 官春林 周虹 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第5期215-223,共9页
The two factors which influence the low temperature performance of deformable mirrors(DMs) are the piezoelectric stroke of the actuators and the thermally induced surface deformation of the DM. A new theory was prop... The two factors which influence the low temperature performance of deformable mirrors(DMs) are the piezoelectric stroke of the actuators and the thermally induced surface deformation of the DM. A new theory was proposed to explain the thermally induced surface deformation of the DM: because the thermal strain between the actuators and the base leads to an additional moment according to the theory of plates, the base will be bent and the bowing base will result in an obvious surface deformation of the facesheet. The finite element method(FEM) was used to prove the theory. The results showed that the thermally induced surface deformation is mainly caused by the base deformation which is induced by the coefficient of thermal expansion(CTE) mismatching; when the facesheet has similar CTE with the actuators, the surface deformation of the DM would be smoother. Then an optimized DM design was adopted to reduce the surface deformation of the DMs at low temperature. The low temperature tests of two 61-element discrete PZT actuator sample deformable mirrors and the corresponding optimized DMs were conducted to verify the simulated results. The results showed that the optimized DMs perform well. 展开更多
关键词 mirrors thermally actuator piezoelectric verify explain interferometer compensate hollow Diameter
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应用于激光微显示中高速扫描的压电MEMS微镜
6
作者 李浩祥 沈文江 余晖俊 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第12期59-68,共10页
设计并制作了一款直径为1.1 mm、频率为31.11 kHz的MEMS压电微镜,用于需要高速扫描且小尺寸的应用场景。该器件所需模态为扭转模态,与其他模态分离情况好,不会出现耦合。实验结果显示,电压为32 V时光学扫描角40.66°,品质因子1155... 设计并制作了一款直径为1.1 mm、频率为31.11 kHz的MEMS压电微镜,用于需要高速扫描且小尺寸的应用场景。该器件所需模态为扭转模态,与其他模态分离情况好,不会出现耦合。实验结果显示,电压为32 V时光学扫描角40.66°,品质因子1155。改变PZT极性,实验得到了薄膜材料的铁电性质影响。另外,完成了MEMS微镜在0℃~100℃不同温度下角度的变化实验,偏离不超过±1°。仿真模拟、实验结果和理论计算结果三者拟合情况好,表明该设计的微镜具有较高的可控性和稳定性,为实现高精度扫描提供了有力支持。该MEMS压电微镜在AR/VR等领域中具有潜在的应用前景。 展开更多
关键词 压电微镜 压电陶瓷 微机电系统 激光光束扫描 AR/VR
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基于IDE-BPNN的快速反射镜迟滞建模
7
作者 陈子楠 秦文虎 姚红权 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第3期454-459,共6页
由压电陶瓷驱动的快速反射镜(FSM)现已被广泛用于自适应光学系统的执行环节,为了对其迟滞效应精确建模,该文提出了一种针对FSM的IDE-BPNN建模方法。基于Madelung法则以最小二乘法构建称迟滞算子作为迟滞运动的基本描述,扩展训练用的数据... 由压电陶瓷驱动的快速反射镜(FSM)现已被广泛用于自适应光学系统的执行环节,为了对其迟滞效应精确建模,该文提出了一种针对FSM的IDE-BPNN建模方法。基于Madelung法则以最小二乘法构建称迟滞算子作为迟滞运动的基本描述,扩展训练用的数据集,并采用改进的差分进化算法(IDE)对BP神经网络(BPNN)进行训练。实验表明,当输入30 Hz衰减的正弦信号时,IDE-BPNN模型的单轴最大误差为0.745μrad,归一化最大误差为0.87%,归一化均方根误差为0.36%。相较于最小二乘建模法,相对于最小二乘模型误差大幅缩小,有较好的使用价值。 展开更多
关键词 快速反射镜 压电陶瓷 迟滞效应 差分进化 神经网络
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矩形水冷压电变形镜的制备与表征
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作者 姚琪 罗帆 +1 位作者 俞历程 马剑强 《宁波大学学报(理工版)》 CAS 2023年第4期14-18,共5页
针对板条激光器射出激光束畸变问题,提出了一种边缘驱动的矩形水冷压电变形镜.首先建立有限元模型对变形镜校正性能和热性能进行仿真,结果显示在功率为10kW的激光照射下加载冷却条件,变形镜镜面温度降至45℃,冷却效果显著;然后通过实验... 针对板条激光器射出激光束畸变问题,提出了一种边缘驱动的矩形水冷压电变形镜.首先建立有限元模型对变形镜校正性能和热性能进行仿真,结果显示在功率为10kW的激光照射下加载冷却条件,变形镜镜面温度降至45℃,冷却效果显著;然后通过实验成功制备了60单元20 mm×4mm口径的变形镜样机,搭建了基于Shack-Hartman传感器的自适应光学测试系统,并对变形镜典型致动器影响函数、校正性能、频率响应特性进行了表征.测试结果显示:变形镜典型致动器在100V电压驱动下的变形量为1.0~1.5μm,能够较准确重构低阶正弦函数面形,一阶固有频率约为650Hz.该矩形水冷压电变形镜具备一定的校正能力,在低成本板条激光器校正领域具有一定的应用前景. 展开更多
关键词 自适应光学 水冷 压电变形镜 板条激光器
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Structural parameter design method for a fast-steering mirror based on a closed-loop bandwidth 被引量:2
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作者 Guozhen CHEN Pinkuan LIU Han DING 《Frontiers of Mechanical Engineering》 SCIE CSCD 2020年第1期55-65,共11页
When a fast-steering mirror(FSM)system is designed,satisfying the performance requirements before fabrication and assembly is vital.This study proposes a structural parameter design approach for an FSM system based on... When a fast-steering mirror(FSM)system is designed,satisfying the performance requirements before fabrication and assembly is vital.This study proposes a structural parameter design approach for an FSM system based on the quantitative analysis of the required closed-loop bandwidth.First,the open-loop transfer function of the FSM system is derived.In accordance with the transfer function,the notch filter and proportional-integral(PI)feedback controller are designed as a closed-loop controller.The gains of the PI controller are determined by maximizing the closed-loop bandwidth while ensuring the robustness of the system.Then,the two unknown variables of rotational radius and stiffness in the open-loop transfer function are optimized,considering the bandwidth as a constraint condition.Finally,the structural parameters of the stage are determined on the basis of the optimized results of rotational radius and stiffness.Simulations are conducted to verify the theoretical analysis.A prototype of the FSM system is fabricated,and corresponding experimental tests are conducted.Experimental results indicate that the bandwidth of the proposed FSM system is 117.6 Hz,which satisfies the minimum bandwidth requirement of 100 Hz. 展开更多
关键词 fast-steering mirror structural parameter PI controller BANDWIDTH NOTCH filter
原文传递
Design and performance test of a two-axis fast steering mirror driven by piezoelectric actuators 被引量:4
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作者 方楚 郭劲 +3 位作者 杨国庆 姜振华 徐新行 王挺峰 《Optoelectronics Letters》 EI 2016年第5期333-336,共4页
A novel design of a two-axis fast steering mirror(FSM) with piezoelectric actuators is proposed for incoherent laser beam combination. The mechanical performance of the FSM is tested. The results show that the tilting... A novel design of a two-axis fast steering mirror(FSM) with piezoelectric actuators is proposed for incoherent laser beam combination. The mechanical performance of the FSM is tested. The results show that the tilting range of the mirror is about 4 mrad, and the 1st-order resonance frequency is about 250 Hz. A self-designed grating encoder is taken as the sensor, which ensures the optimal precision of 10 μrad. The novel mechanical design can meet the requirement of engineering in incoherent laser beam combination. 展开更多
关键词 mirror piezoelectric grating steering encoder requirement scanner absolute elliptical inertia
原文传递
200单元硅基单压电变形镜的设计与测试 被引量:10
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作者 马剑强 刘莹 +2 位作者 陈俊杰 李保庆 褚家如 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第8期2047-2053,共7页
针对天文望远镜对变形镜的需求,设计了200单元级硅基单压电变形镜并对其进行了性能测试。首先,通过有限元方法对单压电变形镜进行结构建模,分析比较了电极排列形式和边界支撑方式对变形镜性能的影响。然后,制备了3款200单元变形镜样机(... 针对天文望远镜对变形镜的需求,设计了200单元级硅基单压电变形镜并对其进行了性能测试。首先,通过有限元方法对单压电变形镜进行结构建模,分析比较了电极排列形式和边界支撑方式对变形镜性能的影响。然后,制备了3款200单元变形镜样机(环形简支,环形固支,六边形简支)。最后,利用干涉仪测量了变形镜的影响函数,并通过激光多普勒测振仪测量其频响特性。仿真与实验结果表明:致动器在50V电压下变形量可达1μm,固支条件下谐振频率在1kHz左右,对前100项Zernike像差具有良好的校正能力。该变形镜在低成本天文自适应光学系统中具有应用潜力。 展开更多
关键词 压电变形镜 硅基变形镜 自适应光学 天文望远镜
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两维高速压电倾斜反射镜 被引量:24
12
作者 凌宁 陈东红 +2 位作者 官春林 饶学军 邓建明 《光电工程》 EI CAS CSCD 1995年第1期51-60,共10页
介绍了两维高速压电倾斜反射镜(以下简称倾斜镜)的性能分析、工作原理和我们研制的各种倾斜镜。
关键词 倾斜镜 压电驱动器 两维 高速压电 反射镜
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压电式快速控制反射镜的迟滞特性及线性化 被引量:8
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作者 袁刚 张小波 +1 位作者 王代华 陈敏 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第6期1650-1656,共7页
针对压电式快速控制反射镜(Fast Steering Mirror,FSM)的迟滞问题,分析了压电式FSM的工作原理和迟滞特性,建立了基于Bouc-Wen算子的压电式FSM的数学模型及其参数辨识方法。通过Bouc-Wen算子模拟压电式FSM输出镜面偏转角度中的迟滞分量,... 针对压电式快速控制反射镜(Fast Steering Mirror,FSM)的迟滞问题,分析了压电式FSM的工作原理和迟滞特性,建立了基于Bouc-Wen算子的压电式FSM的数学模型及其参数辨识方法。通过Bouc-Wen算子模拟压电式FSM输出镜面偏转角度中的迟滞分量,并根据在两个相位相同的输入驱动电压信号下压电式FSM的输出镜面偏转角度曲线辨识Bouc-Wen算子的全部参数。在此基础上,提出了压电式FSM的前馈线性化方法。为了验证提出的数学模型和线性化方法的原理,建立了压电式FSM及其线性化控制器的快速原型系统和Bouc-Wen算子参数辨识实验装置。实验结果表明:本文提出的参数辨识方法能够准确辨识压电式FSM的Bouc-Wen算子参数,提出的前馈线性化方法能够将压电式FSM的输出镜面偏转角度与输入控制电压的线性度提高到2.3%,迟滞误差减小到±0.5%,满足实际应用对精确控制压电式FSM的要求。 展开更多
关键词 快速控制反射镜 压电陶瓷叠堆执行器 倾斜镜 迟滞 线性化
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基于改进PI模型的压电陶瓷迟滞特性补偿控制 被引量:32
14
作者 于志亮 刘杨 +2 位作者 王岩 李松 谭久彬 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第1期129-135,共7页
压电陶瓷执行器的迟滞特性会降低星间激光通信精瞄系统的定位精度,对信标光的捕获以及链路的稳定性造成影响。针对这一问题,通过分析压电陶瓷执行器迟滞特性产生机理,提出一种基于PLAY迟滞算子的改进(Prandtl-Ishlinskii,PI)数学模型及... 压电陶瓷执行器的迟滞特性会降低星间激光通信精瞄系统的定位精度,对信标光的捕获以及链路的稳定性造成影响。针对这一问题,通过分析压电陶瓷执行器迟滞特性产生机理,提出一种基于PLAY迟滞算子的改进(Prandtl-Ishlinskii,PI)数学模型及其辨识方法,并利用该模型对压电陶瓷执行器迟滞特性进行前馈线性化逆补偿。并通过实验来验证数学模型和线性化的有效性,实验结果表明,通过对系统输入不同频率下等幅和减幅正弦控制信号来验证前馈逆补偿性能时,改进的模型最大拟合误差均在1%之内,通过前馈模型逆补偿的控制方法可使压电陶瓷驱动的线性度误差由5%减小到1%以内,并且改进PI模型在计算复杂度上由O(n)简化为O(1)。 展开更多
关键词 快速倾斜镜 压电陶瓷执行器 迟滞特性 改进PI模型
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抑制光束抖动的压电倾斜镜高带宽控制 被引量:14
15
作者 凡木文 黄林海 +1 位作者 李梅 饶长辉 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第2期154-161,共8页
提出了一种抑制光束平台抖动和压电倾斜镜机械谐振的方法从而提高系统校正带宽和跟瞄精度.通过分析双二阶滤波器参数对频率特性的影响,提出了一种双二阶滤波器的设计方法,并把这种设计方法结合比例积分(PI)控制算法用于抑制光束平台抖... 提出了一种抑制光束平台抖动和压电倾斜镜机械谐振的方法从而提高系统校正带宽和跟瞄精度.通过分析双二阶滤波器参数对频率特性的影响,提出了一种双二阶滤波器的设计方法,并把这种设计方法结合比例积分(PI)控制算法用于抑制光束平台抖动和压电倾斜镜机械谐振.最后,对经典PI控制算法和增加了双二阶滤波器的PI控制算法进行了实验比较,在相同的条件下,增加了双二阶滤波器的PI控制带宽比经典PI控制带宽提高了近1倍,对平台抖动控制精度提高了5倍以上.实验结果表明:增加了双二阶滤波器的PI控制算法对抑制光束平台抖动和压电倾斜镜机械谐振简单有效,可以提高系统校正带宽和跟瞄精度. 展开更多
关键词 自适应光学 光束抖动 压电倾斜镜 滤波器
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相位检测法定镜自适应校正技术 被引量:11
16
作者 于立民 代作晓 +1 位作者 王模昌 施志华 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2003年第5期448-452,共5页
为保持傅里叶变换光谱仪在动镜运动和外界震动等恶劣条件下动镜和定镜间的准直性,采用了相位检测法检测准直性误差的定镜自适应校正技术。介绍了相位检测法的基本原理和实现自适应校正的途径以及自适应校正系统的基本结构。采用高速压... 为保持傅里叶变换光谱仪在动镜运动和外界震动等恶劣条件下动镜和定镜间的准直性,采用了相位检测法检测准直性误差的定镜自适应校正技术。介绍了相位检测法的基本原理和实现自适应校正的途径以及自适应校正系统的基本结构。采用高速压电倾斜镜作为驱动补偿元件,分析了相位检测精度对校正精度的影响。实验结果表明,采用自适应校正后系统干涉效率明显提高。 展开更多
关键词 相位检测 自适应校正 准直性 高速压电倾斜镜 傅里叶变换光谱仪
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快速偏转反射镜研究现状及关键技术 被引量:25
17
作者 徐飞飞 纪明 赵创社 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2010年第5期847-850,共4页
快速偏转反射镜作为目标和接收器之间控制光束方向的反射镜装置已广泛应用于天文望远镜、激光通讯、图像稳定系统、自适应光学系统和激光武器等系统中。介绍国内外研制快速偏转镜的现状,在此基础上,对快速偏转镜的驱动、控制及检测等关... 快速偏转反射镜作为目标和接收器之间控制光束方向的反射镜装置已广泛应用于天文望远镜、激光通讯、图像稳定系统、自适应光学系统和激光武器等系统中。介绍国内外研制快速偏转镜的现状,在此基础上,对快速偏转镜的驱动、控制及检测等关键技术进行讨论,指出实现反射镜机构及其驱动、控制、检测系统的集成化、小型化和智能化是快速偏转反射镜的发展趋势。 展开更多
关键词 快速偏转反射镜 压电陶瓷 音圈电机 微位移
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精密光路偏转及焦距调整机构的发展 被引量:10
18
作者 朱华征 范大鹏 +1 位作者 张智永 范世珣 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2009年第10期1028-1033,共6页
介绍了压电陶瓷和音圈电机在精密光路偏转和焦距调整机构的原理和发展状况;分析了偏转与调焦机构的主要结构形式、驱动特点及其在精密偏转与调焦机构中的应用前景;指出了需要进一步开展研究的关键技术。
关键词 快速反射镜 偏转机构 压电陶瓷 调焦机构 直线电机
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四束激光光轴高精度稳定控制技术 被引量:4
19
作者 李国会 杨媛 +6 位作者 何忠武 向汝建 吴晶 徐宏来 颜宏 卢飞 胡平 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第3期50-54,共5页
介绍了压电陶瓷快速倾斜镜以及相应的反馈和控制系统研制过程,并对快速倾斜镜进行了详细的性能测试,包括响应速度、动态范围以及闭环分辨率等重要参数。在此基础上,完成了4束激光相干合成时光轴稳定闭环控制实验。实验结果表明:系统闭... 介绍了压电陶瓷快速倾斜镜以及相应的反馈和控制系统研制过程,并对快速倾斜镜进行了详细的性能测试,包括响应速度、动态范围以及闭环分辨率等重要参数。在此基础上,完成了4束激光相干合成时光轴稳定闭环控制实验。实验结果表明:系统闭环控制时,4束激光光轴的均方根抖动均小于1.5μrad,与开环状态相比,光轴抖动量减小了80%。通过对开闭环控制结果的对比分析发现,远场光斑平均帧峰值提高了3.8倍。 展开更多
关键词 相干合成 快速倾斜镜 压电陶瓷 响应速度
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舰载激光武器稳定平台粗精复合控制 被引量:14
20
作者 赵磊 纪明 +2 位作者 赵振海 王虎 马优恒 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2019年第1期86-92,共7页
为了实现舰载激光武器在复杂作战环境中对目标的精确毁伤,提出一种基于快速反射镜的粗精复合稳定平台,用以控制激光光束的稳定精度。首先,介绍了系统组成及工作原理,设计了压电陶瓷驱动的全柔性精级快速反射镜,并且分析了该快速反射镜... 为了实现舰载激光武器在复杂作战环境中对目标的精确毁伤,提出一种基于快速反射镜的粗精复合稳定平台,用以控制激光光束的稳定精度。首先,介绍了系统组成及工作原理,设计了压电陶瓷驱动的全柔性精级快速反射镜,并且分析了该快速反射镜的性能特点。然后,设计了粗精复合控制系统,在此基础上探讨了粗精复合稳定平台各组成单元之间的相互影响因素。最后,通过理论计算推导了粗精复合控制系统的误差传递函数,并搭建了实验平台,进行了稳定精度测试实验。实验结果表明:在四级海况摇摆扰动条件下,相较于传统粗级稳定平台,方位复合平台的稳定精度从191. 6μrad提高到6. 7μrad,提高了约27. 6倍,俯仰复合平台的稳定精度从121. 3μrad提高到4. 9μrad,提高了约23. 8倍;在各种外界摇摆扰动下,粗精复合平台对激光光束的稳定控制精度均≤10μrad。满足了舰载激光武器平台对激光光束高精度稳定控制的作战需求。 展开更多
关键词 舰载激光武器 快速反射镜 粗精复合稳定平台 稳定精度 压电陶瓷
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