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A multiple flame-retardant,early fire-warning,and highly sensitive thread-shaped all-fabric-based piezoresistive sensor
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作者 LI WeiBiao ZHANG Shuai +5 位作者 MA ShuQi WANG JiaCheng WANG Huan YANG QiRong SONG YongTao ZHU Jie 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第4期1151-1159,共9页
In the artificial intelligence age,multifunctional and intelligent fireproof fabric-based electronics are urgently needed.Herein,a novel thread-shaped all-fabric-based piezoresistive sensor(denoted as TAFPS)with prope... In the artificial intelligence age,multifunctional and intelligent fireproof fabric-based electronics are urgently needed.Herein,a novel thread-shaped all-fabric-based piezoresistive sensor(denoted as TAFPS)with properties such as flame retardancy,firewarning,and piezoresistivity is proposed,which is composed of an inner nickel-plated fabric electrode,a multifunctional double helix fabric,and an external flame-retardant encapsulation fabric.Owing to the multiple flame-retardant properties of glass fiber tubular fabric,aminated carbon nanotubes(ACNTs),and ammonium polyphosphate,the char residue of the TAFPS reaches40.3 wt%at 800℃.In addition,the heat-sensitive effect of ACNTs during combustion causes a rapid decrease in the TAFPS resistance,triggering the fire alarm system within 2 s.Additionally,benefiting from the force-sensitive behavior of the double helix layer and tightly wrapped pattern of the external heat-shrinkable tubular fabric,TAFPS demonstrated a high sensitivity of4.40 kPa^(-1)(0–5.81 k Pa)and good stability for 10000 s.Considering its excellent flame resistance,high sensitivity,and agreeable stability,the developed TAFPS can be integrated into fire suits to monitor the exercise training process and the external fire environment.This work offers a novel approach for fabricating all-fabric-based piezoresistive sensors in the future for fire prevention and fire alarms,with promising applications in fire protection,the Internet of Things,and smart apparel. 展开更多
关键词 all-fabric piezoresistive sensor multiple flame retardancy agile fire-warning high sensitivity
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A novel micro-accelerometer with adjustable sensitivity based on resonant tunnelling diodes 被引量:4
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作者 熊继军 毛海央 +1 位作者 张文栋 王楷群 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2009年第3期1242-1247,共6页
Resonant tunnelling diodes (RTDs) have negative differential resistance effect, and the current-voltage characteristics change as a function of external stress, which is regarded as mesc-piezoresistance effect of RT... Resonant tunnelling diodes (RTDs) have negative differential resistance effect, and the current-voltage characteristics change as a function of external stress, which is regarded as mesc-piezoresistance effect of RTDs. In this paper, a novel micro-accelerometer based on AlAs/GaAs/In0.1Ga0.9As/GaAs/AlAs RTDs is designed and fabricated to be a four-beam-mass structure, and an RTD-Wheatstone bridge measurement system is established to test the basic properties of this novel accelerometer. According to the experimental results, the sensitivity of the RTD based micro-accelerometer is adjustable within a range of 3 orders when the bias voltage of the sensor changes. The largest sensitivity of this RTD based miero-accelerometer is 560.2025 mV/g which is about 10 times larger than that of silicon based micro piezoresistive accelerometer, while the smallest one is 1.49135 mV/g. 展开更多
关键词 MICRO-ACCELEROMETER piezoresistance effect resonant tunnelling diode (RTD) sensitivity
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一种压阻式传感器信号调理电路的设计 被引量:1
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作者 李艳 石云波 +1 位作者 赵锐 张志峰 《工业仪表与自动化装置》 2024年第2期10-14,共5页
由于压阻式MEMS传感器输出信号极其微弱,极易受到测试环境的噪声干扰,还需要外接调理电路,为了提升信号的采集精度,提出一种压阻式传感器信号ASIC调理电路的设计方案,实现输出信号的放大、滤波功能。测试结果表明,调理电路可以在10~200... 由于压阻式MEMS传感器输出信号极其微弱,极易受到测试环境的噪声干扰,还需要外接调理电路,为了提升信号的采集精度,提出一种压阻式传感器信号ASIC调理电路的设计方案,实现输出信号的放大、滤波功能。测试结果表明,调理电路可以在10~200倍的范围内调节增益,-0.5 dB截止频率调节范围覆盖0.1~20 kHz;低频范围内,芯片的等效噪声为45 nV/√Hz。将调理电路与传感器相结合,改进的测试系统响应速度快,滤波效果更好,测试精度优于5%,传感器非线性为5.4%。同时,调理电路的大小和体积也很小,功耗低,对后续继续研究传感器测试系统有重要意义。 展开更多
关键词 压阻式 信号调理 放大 滤波 灵敏度
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硅基MEMS梁-复合膜-岛压阻式压力传感器设计研究 被引量:1
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作者 江浩 黄晶 +3 位作者 袁宇鹏 李春洋 苗晋威 李光贤 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第1期118-123,共6页
针对微机电系统(MEMS)压力传感器灵敏度与非线性度难以兼顾的问题,提出了一种梁-复合膜-岛压力传感结构,运用有限元仿真软件优化整体结构尺寸以得到最大纵横应力差、挠度,并设计压阻条压敏电阻掺杂类型、掺杂浓度、结构尺寸及分布位置... 针对微机电系统(MEMS)压力传感器灵敏度与非线性度难以兼顾的问题,提出了一种梁-复合膜-岛压力传感结构,运用有限元仿真软件优化整体结构尺寸以得到最大纵横应力差、挠度,并设计压阻条压敏电阻掺杂类型、掺杂浓度、结构尺寸及分布位置。将梁-复合膜-岛结构与传统结构的输出进行仿真对比,由仿真结果可知,梁-复合膜-岛结构在0~60 kPa压力范围内灵敏度较相关结构提升7%以上,较E型结构提升2倍,非线性度为0.029%FSS,满足MEMS微压压力传感器的高灵敏度、高线性度等要求,可支撑医疗领域相关应用研究。 展开更多
关键词 压阻式压力传感器 压敏电阻 高灵敏度 微压
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压敏结构对柔性传感器性能增强的仿真分析
5
作者 魏国 廖宁波 章城 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第3期26-30,共5页
在压阻层引入压敏结构是提高压阻传感器灵敏度的有效方法,但是压敏结构的形变在实际实验中难以直接观察,使得微结构的形变、电阻变化等机制尚不明确。为此,采用有限元仿真分析软件,模拟不同载荷大小和不同敏感结构对石墨烯基柔性传感器... 在压阻层引入压敏结构是提高压阻传感器灵敏度的有效方法,但是压敏结构的形变在实际实验中难以直接观察,使得微结构的形变、电阻变化等机制尚不明确。为此,采用有限元仿真分析软件,模拟不同载荷大小和不同敏感结构对石墨烯基柔性传感器压敏结构的作用机制,揭示了压敏结构对传感器形变、电阻变化的影响。结果显示,方柱和圆柱压敏结构的传感器形变程度小,但电阻和应力变化区域大,而金字塔和半圆球压敏结构的传感器形变程度较大,但电阻和应力变化区域较小。 展开更多
关键词 柔性 压阻传感器 压敏结构 有限元分析
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硅压阻式压力敏感芯体应变电阻失效分析
6
作者 徐振忠 闫云龙 +3 位作者 尤佳 朱乾龙 马丽娜 吴佐飞 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第6期38-41,共4页
通过对硅压阻式压力敏感芯体内部应变电阻失效故障的排查及定位分析,确立了应变电阻缺陷造成传感器失效机理,总结激发应变电阻缺陷暴露的检测方法,确定对压力敏感芯体进行1200 h常温电老炼的筛选方案。筛选试验结果表明:增加1200 h常温... 通过对硅压阻式压力敏感芯体内部应变电阻失效故障的排查及定位分析,确立了应变电阻缺陷造成传感器失效机理,总结激发应变电阻缺陷暴露的检测方法,确定对压力敏感芯体进行1200 h常温电老炼的筛选方案。筛选试验结果表明:增加1200 h常温电老炼后,可剔除由于应变电阻缺陷造成敏感芯体输出漂移的失效元件。 展开更多
关键词 硅压阻式 压力敏感芯体 应变电阻 失效机理
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随钻冲激声源深探测接收换能器参数模拟
7
作者 路媛 尚海燕 +2 位作者 吴莎 杜许龙 赵凯雄 《现代制造技术与装备》 2024年第1期54-56,共3页
近年来,随钻冲激声源深探测技术成为石油钻井领域的重要技术之一。接收换能器是随钻冲激声源深探测仪器的重要组成部分,其接收灵敏度不仅影响冲激声源深探测数据的准确性,还影响钻井、测井的可靠性。基于此,文章从接收换能器的结构参数... 近年来,随钻冲激声源深探测技术成为石油钻井领域的重要技术之一。接收换能器是随钻冲激声源深探测仪器的重要组成部分,其接收灵敏度不仅影响冲激声源深探测数据的准确性,还影响钻井、测井的可靠性。基于此,文章从接收换能器的结构参数入手,利用有限元分析法,研究了圆形叠片压电换能器结构参数的变化对其接收灵敏度的影响规律。研究表明:增加换能器半径可以增大灵敏度平均值;压电陶瓷片厚度越大灵敏度越高;金属基片厚度变化对灵敏度影响不大。期望本研究的数值模拟计算可为冲激声源深探测接收换能器设计、研制提供技术数据和参考。 展开更多
关键词 冲激声源深探测 压电换能器 接收灵敏度 有限元分析法
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脂蛋白相关磷脂酶A2和高敏C反应蛋白联合检测对冠状动脉粥样硬化性心脏病的诊断价值
8
作者 林召 李志榕 +2 位作者 叶玉玲 欧阳国 李映瑶 《中国当代医药》 CAS 2024年第6期108-111,共4页
目的探讨脂蛋白相关磷脂酶A2(Lp-PLA2)和高敏C反应蛋白(hs-CRP)联合检测对冠状动脉粥样硬化性心脏病(简称“冠心病”)的诊断价值。方法选择2022年4月至2023年4月就诊于东莞市中西医结合医院的52例冠心病患者设为病例组(病变程度:轻度16... 目的探讨脂蛋白相关磷脂酶A2(Lp-PLA2)和高敏C反应蛋白(hs-CRP)联合检测对冠状动脉粥样硬化性心脏病(简称“冠心病”)的诊断价值。方法选择2022年4月至2023年4月就诊于东莞市中西医结合医院的52例冠心病患者设为病例组(病变程度:轻度16例,中度20例,重度16例),52例健康体检者设为参考组。采集所有受检者3 ml外周血液,检测hs-CRP、Lp-PLA2。比较两组hs-CRP、Lp-PLA2检测值差异,并分析hs-CRP、Lp-PLA2单一与联合检测诊断冠心病的价值。结果病例组的hs-CRP、Lp-PLA2检测值高于参考组,差异有统计学意义(P<0.05);重度组患者的hs-CRP、Lp-PLA2检测值高于中度组和轻度组,且中度组的hs-CRP、Lp-PLA2检测值高于轻度组,差异有统计学意义(P<0.05)。hs-CRP、Lp-PLA2联合检测诊断冠心病的曲线下面积(AUC)为0.880(95%CI:0.815~0.944),灵敏度为0.904,特异度为0.732,约登指数为0.636,均高于单一检测。结论hs-CRP、Lp-PLA2均是诊断冠心病的有效指标,两者联合检测可提高诊断准确性,为临床治疗提供参考依据。 展开更多
关键词 冠状动脉粥样硬化性心脏病 高敏C反应蛋白 脂蛋白相关磷脂酶A2 受试者工作特征曲线
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影响射频接收灵敏度测试的研究
9
作者 陈家心 李越鳌 +3 位作者 林晓基 梁翠芸 钟智晖 刘诗蔚 《日用电器》 2024年第5期121-125,共5页
随着移动通信技术的飞速发展,LTE技术已成为全球移动网络运营商的主流选择之一其高速数据传输、低延迟、高网络容量以及广域覆盖等特点备受青睐。然而,LTE系统的性能受到诸多因素影响,比如天线设计、信号波束宽度以及小区参数等。因此,... 随着移动通信技术的飞速发展,LTE技术已成为全球移动网络运营商的主流选择之一其高速数据传输、低延迟、高网络容量以及广域覆盖等特点备受青睐。然而,LTE系统的性能受到诸多因素影响,比如天线设计、信号波束宽度以及小区参数等。因此,如何有效测量LTE系统的灵敏度并深入理解相关影响因素,已成为网络性能测试与优化的重要课题。本文将测量LTE灵敏度的相关技术以及主要影响因素从理论和实验两个方面进行分析,希望能对LTE技术的应用与发展提供有益的参考。 展开更多
关键词 射频 接收性能 接收灵敏度 传导法
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车载轨道电路信息接收单元便携式测试装置的设计
10
作者 陈铮 张晓东 程亮 《铁道通信信号》 2024年第1期106-110,共5页
为完善列控车载设备关键部件之一轨道电路信息接收单元的测试项目,提高作业效率,设计了一款可以测试轨道电路信息接收单元相关性能指标的装置。该装置由车载和轨旁两部分设备组成,通过循环发送轨道电路信息,由各模块采集DMI图像和感应... 为完善列控车载设备关键部件之一轨道电路信息接收单元的测试项目,提高作业效率,设计了一款可以测试轨道电路信息接收单元相关性能指标的装置。该装置由车载和轨旁两部分设备组成,通过循环发送轨道电路信息,由各模块采集DMI图像和感应接收线圈电压、阻抗等参数,以无线通信方式传送给检测主机进行处理,最终实现对轨道电路信息接收单元解码灵敏度、解码时间和感应电压值等指标的测试。该测试装置具有便于携带、兼容性强、自动检测等特点,能够满足现场维护人员在列控车载设备二级修、高级修、故障处置等场景下的作业需求,可以有效提高列控车载设备的运用质量和作业效率。 展开更多
关键词 列控车载设备 轨道电路 信息接收单元 灵敏度 检测
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一种机载甚高频数据广播(VDB)接收机射频前端设计
11
作者 贺星 任晓波 朱成辉 《现代导航》 2024年第2期110-113,共4页
设计了一种甚高频(VHF)波段接收机,并对接收机的功能性能指标进行优化设计,着重分析了接收通道的动态范围、灵敏度以及本振信号和自动增益控制(AGC)响应时间。测试结果表明,接收机的技术指标与设计结果基本相符,达到了预期要求,具有一... 设计了一种甚高频(VHF)波段接收机,并对接收机的功能性能指标进行优化设计,着重分析了接收通道的动态范围、灵敏度以及本振信号和自动增益控制(AGC)响应时间。测试结果表明,接收机的技术指标与设计结果基本相符,达到了预期要求,具有一定的工程实用价值。 展开更多
关键词 甚高频波段接收机 动态范围 灵敏度 自动增益控制响应时间
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鼓泡流化床焚烧炉的热力学稳定性评估及市政污泥的入炉策略
12
作者 叶新国 陈锐海 温巧贤 《工业锅炉》 2024年第2期7-11,21,共6页
市政污泥成分复杂,脱水后的市政污泥性质通常呈现一定的波动性,并影响市政污泥焚烧炉运行的稳定性。通过建立绝热型鼓泡流化床焚烧炉的热量平衡,从污泥热值及含水率波动、燃尽率、停留时间、焚烧炉自身抗热值波动能力、流化风温度和进... 市政污泥成分复杂,脱水后的市政污泥性质通常呈现一定的波动性,并影响市政污泥焚烧炉运行的稳定性。通过建立绝热型鼓泡流化床焚烧炉的热量平衡,从污泥热值及含水率波动、燃尽率、停留时间、焚烧炉自身抗热值波动能力、流化风温度和进料负荷的调节潜力等多个方面分析了市政污泥焚烧炉的热力学稳定性,结果表明,市政污泥焚烧炉对进料污泥性质较为敏感,而焚烧炉的自身稳定性相对有限,对热值的适应弹性空间约为6%。对于来源复杂的市政污泥,以收到基热值为基准,采取炉前分类及炉内混合对于达到相对稳定的进泥条件是必要的。 展开更多
关键词 市政污泥 鼓泡流化床焚烧炉 敏感系数 收到基低位热值
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Enhanced piezoresistivity in Ni-silicone rubber composites 被引量:1
13
作者 常方高 杨枫 +2 位作者 王少祥 张娜 宋桂林 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2009年第2期652-657,共6页
This paper reports that the nickel-silicone rubber composites with enhanced piezoresistivity were synthesized with much reduced nickel concentration. A large piezosensitivity of 0.716/kPa and a gauge factor of 600 hav... This paper reports that the nickel-silicone rubber composites with enhanced piezoresistivity were synthesized with much reduced nickel concentration. A large piezosensitivity of 0.716/kPa and a gauge factor of 600 have been obtained for a composite sample with filler-polymer ratio of 2.7:1 by weight. Measurements of resistance as a function of uniaxial force reveal that the piezoresistance arises predominantly from the internal heterogeneity of the material and the effect of geometrical changes of samples under pressure is negleetably small. The nonlinear current-voltage characteristic of the composite depends strongly on the filler content, the initial compression and the electrical current flowing in the sample. Ohmic behaviour has been observed only in the highly compressed samples. The breakdown strength decreases with increasing filler content of the composite. Both I - V and R - f characteristics indicates that the resistivity of the composites decreases with electrical field, suggesting that the composite may also be used to make voltage sensitive resistors for protecting circuits. All the experimental results favour a quantum tunnelling mechanism of conductivity. It finds that the concept 'negative resistance', often used to describe the phenomena that current decreases with increasing voltage, is not appropriate and should be avoided. 展开更多
关键词 piezoresistIVITY quantum tunnelling I - V characteristics voltage sensitive resistors
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Sensitivity optimization of a monolithic high-shock three-axis piezoresistive accelerometer with single sensing element 被引量:2
14
作者 SONG Ping LI QingZhou LI KeJie 《Chinese Science Bulletin》 SCIE EI CAS 2009年第19期3600-3607,共8页
There exist several difficulties in the design of monolithic high-shock three-axis accelerometer, such as high g overload, transverse overload and the cross coupling in three dimensions, etc. It is necessary to optimi... There exist several difficulties in the design of monolithic high-shock three-axis accelerometer, such as high g overload, transverse overload and the cross coupling in three dimensions, etc. It is necessary to optimize the sensitivity to improve the performance of the accelerometer. For the monolithic high-shock three-axis accelerometer, the complexity of the sensitivity optimization is that it should consider not only the sensitivity difference between different axes but also the elimination of cross-coupling outputs, together with the natural frequency, structural integrity and high g overload. In this paper, the optimization process for decreasing the difference of the sensitivities between different axes of a monolithic high-shock three-axis piezoresistive accelerometer with single sensing element is established. The optimization is conducted in the condition of 100000 g acceleration by two methods-the method based on the optimization module of ANSYS and the ACO (ant colony optimization) method. The comparison between un-optimized and optimized models proves the efficiency of the optimization methods. In addition, the optimization results show that the ACO method combined with the FEA (finite element analysis) is much more efficient than the method based on the optimization module of ANSYS for the structural optimization problem. And the ACO method can be widely used in the optimization problem of the sensing elements with complicated structure. 展开更多
关键词 单片电路 最佳化 设计 研究 ACO
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Research for the Dynamic Range and Its Extension of Digital Intermediate Frequency Receiver
15
作者 曹鹏 齐伟 费元春 《Journal of Beijing Institute of Technology》 EI CAS 2004年第4期381-384,共4页
For the optimization of dynamic range and bandwidth of digital intermediate frequency receiver(DIFR), main factors affecting them and their relationships are studied. Firstly, the DIFR sensitivity, bandwidth, noise fa... For the optimization of dynamic range and bandwidth of digital intermediate frequency receiver(DIFR), main factors affecting them and their relationships are studied. Firstly, the DIFR sensitivity, bandwidth, noise factor of radio frequency (RF) analog front-end (RFAF), and processing gain of intermediate frequency(IF) sampling are analyzed. Secondly, the constraint relationship of the noise factor of RFAF, the signal-to-noise ratio of ADC and the dynamic range of DIFR are studied. The relationship between the dynamic range and the RFAF gain, and that of the extended dynamic range and the RF AGC(automatic gain control) step are educed and simulated. These results can be used as theory foundations and design references for the implementation and optimization of the large dynamic range and wideband DIFR. 展开更多
关键词 BROADBAND sensitivity dynamic range digital intermediate frequency receivers(DIFR)
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深空探测器间通信技术发展概述 被引量:1
16
作者 李雄飞 董超 +1 位作者 翟盛华 田嘉 《空间电子技术》 2023年第1期1-8,共8页
器间通信技术能够确保遥控指令可靠到达探测器,并将探测器的科学探测数据回传给地面,在深空探测中发挥着重要作用。介绍了美国和中国的月球探测、火星探测工程中器间通信技术发展现状和工程应用情况,分析总结了深空探测器间通信技术的... 器间通信技术能够确保遥控指令可靠到达探测器,并将探测器的科学探测数据回传给地面,在深空探测中发挥着重要作用。介绍了美国和中国的月球探测、火星探测工程中器间通信技术发展现状和工程应用情况,分析总结了深空探测器间通信技术的主要特点,并针对未来深空探测器间通信需求,提出了需要迫切解决的关键技术,为我国后续深空探测工程的实施提供支持。 展开更多
关键词 深空探测 器间通信 UHF频段 高灵敏度接收机
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PI-RADS v2评分联合表观扩散系数在前列腺癌中的诊断价值分析
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作者 刘婷婷 潘锋 +3 位作者 李昊 王晓辉 王洪兴 高成林 《临床误诊误治》 CAS 2023年第10期54-58,共5页
目的探究前列腺影像报告和数据系统第二版(PI-RADS v2)评分联合表观扩散系数(ADC)对前列腺癌的诊断价值。方法选取2017年7月—2021年7月治疗的80例前列腺疾病患者为研究对象,根据前列腺穿刺活检结果分为前列腺癌组51例和非前列腺癌组29... 目的探究前列腺影像报告和数据系统第二版(PI-RADS v2)评分联合表观扩散系数(ADC)对前列腺癌的诊断价值。方法选取2017年7月—2021年7月治疗的80例前列腺疾病患者为研究对象,根据前列腺穿刺活检结果分为前列腺癌组51例和非前列腺癌组29例。所有患者在病情稳定状况下进行MRI平扫,测量ADC值,进行PI-RADS v2评分。比较2组PI-RADS v2评分及ADC值,采用受试者工作特征曲线评估PI-RADS v2评分联合ADC值对前列腺癌的诊断效能。结果前列腺癌组PI-RADS v2评分明显高于非前列腺癌组,ADC值明显低于非前列腺癌组(P<0.01)。PI-RADS v2评分(阈值为4分)诊断前列腺癌的敏感度为82.35%,特异度为75.86%,准确度为80.00%,曲线下面积(AUC)为0.829;ADC值(阈值为850×10^(-6)mm^(2)/s)诊断前列腺癌的敏感度为78.43%,特异度为79.31%,准确度为78.75%,AUC为0.816;二者联合诊断前列腺癌的敏感度为92.16%,特异度为89.66%,准确度为91.23%,AUC为0.868。二者联合诊断前列腺癌的AUC明显大于PI-RADS v2评分和ADC值单独诊断(P<0.05)。结论PI-RADS v2评分联合ADC值对前列腺癌有较好的诊断价值,且较单一检测的准确度更高。 展开更多
关键词 前列腺肿瘤 PI-RADS v2 表观扩散系数 磁共振成像 特异度 敏感度 诊断 受试者工作特征
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高灵敏度接收机通道特性分析
18
作者 司圣平 郭强 +2 位作者 杨琳 周春 王瑞 《空天防御》 2023年第1期78-84,共7页
针对组批投产的高灵敏度接收机性能稳定性是否有保证的疑问,根据高灵敏度接收机的遥测参数特性,分析选取了对环境特性敏感的通道AGC和SNR参数,利用环境试验规范规定的试验得到的不同条件下的试验数据,分析了接收通道性能一致性。对地面... 针对组批投产的高灵敏度接收机性能稳定性是否有保证的疑问,根据高灵敏度接收机的遥测参数特性,分析选取了对环境特性敏感的通道AGC和SNR参数,利用环境试验规范规定的试验得到的不同条件下的试验数据,分析了接收通道性能一致性。对地面环境试验数据和在轨数据的分析结果表明:两种不同环境下接收机的通道性能表现横向一致。高灵敏度接收机通道性能稳定,保证了去型号化产品的广阔适应性。 展开更多
关键词 组批投产 去型号化接收机 高灵敏度接收机 接收通道
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压敏电阻的热应力分析及结构优化 被引量:2
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作者 王婧 雷程 +2 位作者 梁庭 王丙寅 陈国锋 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2023年第2期44-49,共6页
为解决SOI压阻式压力传感器敏感芯片上电阻条因热应力堆积导致的断裂问题,通过在电阻条上容易堆积应力的弯折处建立平滑倒角的方式来降低热应力堆积,提高电阻条的热稳定性。利用多物理场耦合分析软件对有无倒角的2种结构进行仿真分析,... 为解决SOI压阻式压力传感器敏感芯片上电阻条因热应力堆积导致的断裂问题,通过在电阻条上容易堆积应力的弯折处建立平滑倒角的方式来降低热应力堆积,提高电阻条的热稳定性。利用多物理场耦合分析软件对有无倒角的2种结构进行仿真分析,仿真结果表明:在常压450℃条件下,倒角的存在使得电阻条弯折处的应力比无倒角的结构降低了50%。在300℃测试环境下无倒角电阻发生断裂,而有倒角电阻在300℃测试以及之后的温度测试中结构完好,电压输出正常,表明倒角的设计有助于提高敏感芯片的耐温性,从而提高传感器的热稳定性。 展开更多
关键词 压阻式压力传感器 热应力 敏感芯片 电阻条 耦合仿真 优化设计
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高低温环境对三轴高g值加速度传感器灵敏度变化影响研究 被引量:1
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作者 乔诗翔 李豪杰 +1 位作者 于航 陈志鹏 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第5期240-248,共9页
针对高低温环境对高g值加速度传感器灵敏度影响机理不清的问题,通过建立两端固支的敏感单元数学模型,得到了传感器灵敏度与敏感单元纵向应力、横向应力的关系。通过热-力耦合仿真分析得到了传感器灵敏度与温度间的关系,在-40℃~50℃范围... 针对高低温环境对高g值加速度传感器灵敏度影响机理不清的问题,通过建立两端固支的敏感单元数学模型,得到了传感器灵敏度与敏感单元纵向应力、横向应力的关系。通过热-力耦合仿真分析得到了传感器灵敏度与温度间的关系,在-40℃~50℃范围内,传感器灵敏度随温度的增加而减小,且在-40℃~20℃范围内灵敏度变化较快,在20℃~50℃范围内灵敏度变化较慢。通过传感器高低温试验得到高低温环境下传感器灵敏度数据,-40℃条件下灵敏度大小为0.523μV/g;50℃条件下灵敏度大小为0.516μV/g。与仿真结果进行对比,验证了温度变化对传感器灵敏度的影响规律,为提升高g值加速度传感器在高低温环境下测量精度具有理论参考意义。 展开更多
关键词 高g值加速度传感器 压阻式 高低温 灵敏度
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