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MEMS的概念及其国内外的研究状况 被引量：4
1
作者 刘文耀 杜君文 应济 《机械工程师》 2001年第2期8-10,共3页
介绍了ＭＥＭＳ的原理及有关技术，论述了该技术在国内外的研究状况及发展前景。
关键词 MEMS 微型机器人 压电微电机 微电子机械系统
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