激光散斑测位移实验中参数的分析与模拟

对激光散斑测定位移实验中的相关参数进行了分析,针对不同散斑特征尺寸对应的二次曝光散斑图的逐点再现过程进行了详细的计算机模拟。模拟结果显示,同一散斑图错开散斑平均尺寸的1～6倍距离叠加,在满足菲涅耳近似条件的衍射距离下用细激光束逐点再现,可得到理想的干涉条纹。