磁控溅射沉积薄膜预溅射时间的光谱诊断

利用Omni-λ300系列光栅光谱仪、CCD数据采集和处理系统以及光纤导光系统等构成的等离子体光谱分析系统,实现了实时获取射频磁控溅射过程中等离子体光谱,分别对NiTa,TiAl陶瓷靶,NiAl,TiAl合金靶四种靶材的磁控溅射过程产生的等离子体进行监测,以TaⅡ333.991nm,NiⅠ362.473nm,AlⅠ396.153nm和TiⅠ398.176nm为分析线,获得了分析谱线强度随时间的变化规律,并以此为依据确定了预溅射时间,同时研究了不同溅射功率和压强对预溅射时间的影响。

分段扫描在VG9000型辉光放电质谱中的应用

采用VG9000型辉光放电质谱(GDMS)测定样品时,在不同预溅射时间和不同质量分辨率的情况下,对高纯样品中的杂质元素进行分段扫描测定。本法可有效的缩短样品的测定时间及提高测定结果的准确性。