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晶圆针测技术的异常问题分析与研究
被引量:
1
1
作者
罗士凯
汪辉
《电子与封装》
2007年第9期1-3,共3页
在晶圆探针测试当中,常会由于测试环境或是针测机台参数的改变,使得针痕不正常偏移并打出开窗区,造成测试时的误宰,因而造成公司的损失。文章将就晶圆针测中,由于温度变化所造成的不正常针痕偏移进行分析与研究。
关键词
晶圆针测
误宰
针痕偏移
下载PDF
职称材料
题名
晶圆针测技术的异常问题分析与研究
被引量:
1
1
作者
罗士凯
汪辉
机构
上海交通大学微电子学院
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
出处
《电子与封装》
2007年第9期1-3,共3页
文摘
在晶圆探针测试当中,常会由于测试环境或是针测机台参数的改变,使得针痕不正常偏移并打出开窗区,造成测试时的误宰,因而造成公司的损失。文章将就晶圆针测中,由于温度变化所造成的不正常针痕偏移进行分析与研究。
关键词
晶圆针测
误宰
针痕偏移
Keywords
wafer probing
overkill
probe mark shift
分类号
TN305.94 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
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作者
出处
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1
晶圆针测技术的异常问题分析与研究
罗士凯
汪辉
《电子与封装》
2007
1
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