斜置式方形探针测量单晶断面电阻率分布mapping技术

介绍了一种应用斜置式方形探针测量单晶断面电阻率的测试方法 ,将Rymaszewski直线探针测试方法引入到方形探针测试 ,并对测试过程中产生的游移以及图像监控问题进行了讨论 .应用此测试方法得到了 75mm的全片电阻率分布的mapping图 ,测试结果表明该方法可以在测量区域明显减小的同时保证测量的精确性 。

无测试图形薄层电阻测试仪及探针定位

研制出检测 U L SI芯片的薄层电阻测试仪 ,可用于测试无图形样片电阻率的均匀性 ,用斜置的方形四探针法 ,经显微镜、摄像头及通信口接入计算机 ,从计算机显示器观察 ,用程序及伺服电机控制平台和探针移动 ,使探针处于规定的位置 ,实现自动调整、测试 ;对测试系统中的探针游移造成的定位误差进行分析 ,推导出探针游移产生误差的计算公式 ,绘制了理论及实测误差分布图 ;测出无图形 10 0 m m样品电阻率 ,并绘制成等值线 Mapping图 .

探针游移对方形四探针测试仪测量硅片薄层电阻的影响分析

分析方形四探针探针游移对其测量微区薄层电阻的影响,完成了测试薄层电阻的公式的推导,对游移后产生的误差影响进行了统计数据分析,得出了测试结果满足测试误差要求的结论。

心智游移的经验取样法中探针刺激对记忆任务表现的影响

目的:结合工作记忆实验范式和探针式经验采样法,探讨探针对任务表现的影响及其特性。方法:采用变化觉察任务(CDT)和全部报告任务(WRT),考察两种实验范式下探针对任务表现的影响。结果:CDT范式下发现,探针插入后影响局部任务表现出现位置效应,即插入探针前心智游移影响记忆任务表现,而插入探针后记忆任务表现差异不显著;WRT范式下不仅发现局部的位置效应,还存在整体的有无效应,即有探针插入的条件记忆任务表现更优。结论:研究表明心智游移的经验取样法适用于不同记忆任务,探针可中断正在发生的心智游移,有助于唤醒个体的元认知,对任务表现存在提升作用。