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基于液相外延生长的集成式微探尖
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作者 梁秀萍 张红治 +1 位作者 孙晓娟 胡礼中 《集美大学学报（自然科学版）》 CAS 2005年第4期356-359,共4页
阐述了用于超高密度光存储的集成式扫描近场光学显微术(SNOM)微探尖的液相外延选择生长方案,并给出了实验结果.此种微探尖,可直接生长在微型集成式SNOM传感器的垂直腔表面发射激光器(VCSEL)晶片出光口上,避免了探尖转移带来的探尖损坏... 阐述了用于超高密度光存储的集成式扫描近场光学显微术(SNOM)微探尖的液相外延选择生长方案,并给出了实验结果.此种微探尖,可直接生长在微型集成式SNOM传感器的垂直腔表面发射激光器(VCSEL)晶片出光口上,避免了探尖转移带来的探尖损坏、难以对准等技术难题.该制作过程具有重复性较好,设备简单、经济,实用价值较高等优点. 展开更多
关键词 近场光存储 集成式SNOM 液相外延 选择生长 金字塔微探尖
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