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Design and implementation of GM- APD array readout circuit for infrared imaging
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作者 吴金 袁德军 +3 位作者 王灿 陈浩 郑丽霞 孙伟锋 《Journal of Southeast University(English Edition)》 EI CAS 2016年第1期11-15,共5页
Based on an avalanche photodiode( APD) detecting array working in Geiger mode( GM-APD), a high-performance infrared sensor readout integrated circuit( ROIC) used for infrared 3D( three-dimensional) imaging is ... Based on an avalanche photodiode( APD) detecting array working in Geiger mode( GM-APD), a high-performance infrared sensor readout integrated circuit( ROIC) used for infrared 3D( three-dimensional) imaging is proposed. The system mainly consists of three functional modules, including active quenching circuit( AQC), time-to-digital converter( TDC) circuit and other timing controller circuit. Each AQC and TDC circuit together constitutes the pixel circuit. Under the cooperation with other modules, the current signal generated by the GM-APD sensor is detected by the AQC, and the photon time-of-flight( TOF) is measured and converted to a digital signal output to achieve a better noise suppression and a higher detection sensitivity by the TDC. The ROIC circuit is fabricated by the CSMC 0. 5 μm standard CMOS technology. The array size is 8 × 8, and the center distance of two adjacent cells is 100μm. The measurement results of the chip showthat the performance of the circuit is good, and the chip can achieve 1 ns time resolution with a 250 MHz reference clock, and the circuit can be used in the array structure of the infrared detection system or focal plane array( FPA). 展开更多
关键词 infrared 3D(three-dimensional) imaging readout integrated circuit(roic Geiger mode avalanche photodiode active quenching circuit(AQC) time-to-digital converter(TDC)
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高光谱应用的带可调复位时间CDS的低噪声红外焦平面读出电路
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作者 吴双 梁清华 +1 位作者 陈洪雷 丁瑞军 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第2期268-278,共11页
低辐射量的高光谱应用对红外焦平面读出电路(ROIC)提出了低噪声的设计要求。相关双采样(CDS)是常用的减少噪声的结构。本文通过调节钳位和采样保持之间的时间间隔来改进CDS,可灵活消除低频噪声。采用180 nm CMOS工艺设计和制造了640... 低辐射量的高光谱应用对红外焦平面读出电路(ROIC)提出了低噪声的设计要求。相关双采样(CDS)是常用的减少噪声的结构。本文通过调节钳位和采样保持之间的时间间隔来改进CDS,可灵活消除低频噪声。采用180 nm CMOS工艺设计和制造了640×512规模、15μm像元中心距的读出电路。输入级集成了低噪声CTIA与本文提出的可调复位时间CDS(AICDS),所设计的时序产生器使CDS复位时间可以延长0~270个时钟周期。通过延长复位时间减少这个时间间隔,噪声电子数可以由39 e^(-)减少到18.3 e^(-)。SPECTRE仿真结果和实验测试结果证实了提出的AICDS结构可以提升高光谱应用读出电路的噪声性能,因此可以广泛应用。 展开更多
关键词 高光谱成像 读出电路 可调时间间隔 CTIA CDS 低噪声
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适用于像素CZT辐射探测器ROIC的高精度S/H电路(英文) 被引量:1
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作者 潘银松 李向全 +1 位作者 汪瑛 张流强 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第9期1261-1265,共5页
为了提高像素CZT辐射探测器读出电路的精度,用Cadence的Spectre工具基于GSMC0.18μm工艺模型模拟仿真,设计了一种适用于像素CZT辐射探测器读出电路的高精度双相采样保持电路。首先,用两个电流脉冲信号源建立了前置放大器的输出信号模型... 为了提高像素CZT辐射探测器读出电路的精度,用Cadence的Spectre工具基于GSMC0.18μm工艺模型模拟仿真,设计了一种适用于像素CZT辐射探测器读出电路的高精度双相采样保持电路。首先,用两个电流脉冲信号源建立了前置放大器的输出信号模型,它包括高频噪声和幅度为0.28mV有用信号。然后,设计了一个用于高精度采样保持电路的高性能运算放大器。经过模拟仿真得到其共模输入范围为0.6~1.4V,直流增益为74~80dB,相位裕度大于60°。最后完成了高精度双相采样保持电路的设计,仿真结果显示它能很好的跟随输入信号的形状并且能在信号幅度达到相对误差为0.35%的采样保持精度。 展开更多
关键词 像素CZT探测器 读出电路 运放 采样保持电路
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SOT-MRAM读电路泄电结构优化
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作者 王超 吴晨烨 +3 位作者 叶海波 陆楠楠 李嘉威 孙杰杰 《中国集成电路》 2024年第6期43-47,共5页
自旋轨道矩磁性随机存储器(SOT-MRAM)作为第四代磁随机存储器广受关注。SOT-MRAM为三端结构,应用于2T2R结构时,不对称写入容易导致电荷积累,从而对读产生影响,甚至导致读取错误的发生。因此研究针对SOT-MRAM特点的读电路泄电结构,减小... 自旋轨道矩磁性随机存储器(SOT-MRAM)作为第四代磁随机存储器广受关注。SOT-MRAM为三端结构,应用于2T2R结构时,不对称写入容易导致电荷积累,从而对读产生影响,甚至导致读取错误的发生。因此研究针对SOT-MRAM特点的读电路泄电结构,减小写入对读取通路的影响具有重要意义。本文针对SOT-MRAM写入不对称导致电荷积累问题,对比了两种泄电电路结构,有效降低了首个读周期的读取时间延迟。研究了引入的泄电结构对位线电容的容忍度的影响。分析了位线电容差异导致读取不对称的机理,结合首个读周期读取时间延迟问题,提出了适合SOT-MRAM特点的读取电路泄电结构。本文的研究为SOT-MRAM读取电路的设计提供了新思路。 展开更多
关键词 自旋轨道矩磁随机存储器 读电路 泄电
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软击穿对压控磁各向异性磁隧道结及其读电路性能影响
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作者 金冬月 曹路明 +4 位作者 王佑 张万荣 贾晓雪 潘永安 邱翱 《北京工业大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第1期10-17,共8页
为了解决软击穿导致的压控磁各向异性磁隧道结(voltage-controlled magnetic anisotropy magnetic tunnel junction,VCMA-MTJ)及其读电路性能下降的问题,在对VCMA-MTJ软击穿机理深入分析的基础上,修正了VCMA-MTJ的电学模型,设计了一种... 为了解决软击穿导致的压控磁各向异性磁隧道结(voltage-controlled magnetic anisotropy magnetic tunnel junction,VCMA-MTJ)及其读电路性能下降的问题,在对VCMA-MTJ软击穿机理深入分析的基础上,修正了VCMA-MTJ的电学模型,设计了一种具有固定参考电阻的VCMA-MTJ读电路和一种具有参考电阻调控单元的VCMA-MTJ读电路,研究了软击穿对VCMA-MTJ电阻R_(t)、隧穿磁阻比率M、软击穿时间T_(s)以及VCMA-MTJ读电路读错误率的影响。结果表明:软击穿的出现会导致R_(t)和M均随应力时间t的增加而降低,T_(s)随氧化层厚度t_(ox)的增大而缓慢增加,却随脉冲电压V_(b)的增大而迅速减少,与反平行态相比,平行态的T_(s)更短且M降低50%所需时间更少;具有固定参考电阻的VCMA-MTJ读电路可有效避免读“0”错误率的产生,但读“1”错误率却随t的增加而上升,而具有参考电阻调控单元的VCMA-MTJ读电路可在保持读“0”正确率的同时,对读“1”错误率改善达54%,在一定程度上削弱了软击穿对VCMA-MTJ读电路的影响。 展开更多
关键词 压控磁各向异性 磁隧道结 软击穿 应力时间 读电路 参考电阻调控单元
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Impact of multiplexed reading scheme on nanocrossbar memristor memory's scalability 被引量:2
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作者 朱玄 唐玉华 +2 位作者 吴纯青 吴俊杰 易勋 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第2期552-556,共5页
Nanocrossbar is a potential memory architecture to integrate memristor to achieve large scale and high density mem- ory. However, based on the currently widely-adopted parallel reading scheme, scalability of the nanoc... Nanocrossbar is a potential memory architecture to integrate memristor to achieve large scale and high density mem- ory. However, based on the currently widely-adopted parallel reading scheme, scalability of the nanocrossbar memory is limited, since the overhead of the reading circuits is in proportion with the size of the nanocrossbar component. In this paper, a multiplexed reading scheme is adopted as the foundation of the discussion. Through HSPICE simulation, we reanalyze scalability of the nanocrossbar memristor memory by investigating the impact of various circuit parameters on the output voltage swing as the memory scales to larger size. We find that multiplexed reading maintains sufficient noise margin in large size nanocrossbar memristor memory. In order to improve the scalability of the memory, memristors with nonlinear I-V characteristics and high LRS (low resistive state) resistance should be adopted. 展开更多
关键词 nanocrossbar MEMRISTOR MULTIPLEXING reading circuit voltage swing
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SPAD阵列读出电路关键技术与发展趋势(特邀) 被引量:1
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作者 郑丽霞 吴金 +4 位作者 孙伟锋 万成功 刘高龙 王佳琦 顾冰清 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2023年第3期43-51,共9页
首先针对SPAD阵列读出电路的特点,将电路主要分成接口电路与信号处理电路两大部分,其次根据单光子雪崩光电探测器的阵列的不同应用场景,阐述了集成读出电路中核心电路模块设计的关键技术。分别从SPAD的接口电路设计、两种典型应用成像模... 首先针对SPAD阵列读出电路的特点,将电路主要分成接口电路与信号处理电路两大部分,其次根据单光子雪崩光电探测器的阵列的不同应用场景,阐述了集成读出电路中核心电路模块设计的关键技术。分别从SPAD的接口电路设计、两种典型应用成像模式(光子计时、光子计数)中核心电路的设计方面,详细分析此类电路的关键技术以及国内外研究团队在此类电路的研究进展与存在的问题。最后根据目前国内外研究的进展情况,分析了SPAD阵列集成读出电路的发展趋势以及各类电路存在的设计重点与难点,为SPAD阵列读出电路的设计提供一些参考。 展开更多
关键词 读出电路 淬灭电路 飞行时间 光子计数
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基于LC谐振的柔性无源无线压力传感器系统设计 被引量:3
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作者 闫金礼 聂宝清 +1 位作者 刘杰 陈新建 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2023年第1期27-30,53,共5页
为了能够增强LC传感器测量的实时性,提出了一种无源无线压力传感器系统的设计方法。系统包括LC柔性无线压力传感器、信号读取电路和数据接收上位机。LC无线压力传感器由天线、织物和铁氧体膜构成,具备高柔性。当受到外界压力信号时,无... 为了能够增强LC传感器测量的实时性,提出了一种无源无线压力传感器系统的设计方法。系统包括LC柔性无线压力传感器、信号读取电路和数据接收上位机。LC无线压力传感器由天线、织物和铁氧体膜构成,具备高柔性。当受到外界压力信号时,无线信号读取电路将传感器谐振频率的变化量转换成电压的输出量,并通过蓝牙传输到上位机进行实时数据处理和显示。实验验证了传感器系统在0~15 kPa的压强范围内具有1.97×10^(-2)kPa^(-1)的高灵敏度,且在实时监测人体生理活动信号方面具有良好的稳定性和适用性。 展开更多
关键词 LC谐振 无线压力传感器 铁氧体 电磁耦合 信号读取电路 实时处理
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边积分边读出低噪声红外焦平面读出电路研究 被引量:11
9
作者 黄张成 黄松垒 +2 位作者 张伟 陈郁 方家熊 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期297-300,304,共5页
设计了一款低噪声InGaAs焦平面读出电路.提出一种新型相关双采样电路结构,可在边积分边读出模式下有效抑制积分电容(0.15 pF)的KTC噪声.电路经0.5μm 5 V Nwell CMOS工艺流片,测试结果符合设计目标,在高帧频边积分边读出模式下工作状态... 设计了一款低噪声InGaAs焦平面读出电路.提出一种新型相关双采样电路结构,可在边积分边读出模式下有效抑制积分电容(0.15 pF)的KTC噪声.电路经0.5μm 5 V Nwell CMOS工艺流片,测试结果符合设计目标,在高帧频边积分边读出模式下工作状态良好,电路噪声约1.7×10-4 V,动态范围大于80 dB. 展开更多
关键词 红外焦平面 读出电路 边积分边读出 相关双采样
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红外焦平面读出电路片上驱动电路设计 被引量:3
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作者 黄张成 黄松垒 +2 位作者 张伟 陈郁 方家熊 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2011年第2期220-223,共4页
线列红外焦平面读出电路在正常工作时需要提供多路数字脉冲和多路直流偏置电压。本文基于0.5μm CMOS工艺设计了一款驱动电路芯片,为电容负反馈放大型(CTIA)读出电路(ROIC)提供驱动信号。电路芯片采用带隙基准电路产生低噪声低温漂的直... 线列红外焦平面读出电路在正常工作时需要提供多路数字脉冲和多路直流偏置电压。本文基于0.5μm CMOS工艺设计了一款驱动电路芯片,为电容负反馈放大型(CTIA)读出电路(ROIC)提供驱动信号。电路芯片采用带隙基准电路产生低噪声低温漂的直流偏置电压,采用数字逻辑电路生成CLK1,CLK2,RESET等八路数字脉冲。仿真及测试结果表明:驱动电路芯片输出的数字脉冲及偏置电压符合设计值,可驱动CTIA型线列红外焦平面读出电路稳定工作。 展开更多
关键词 红外焦平面 读出电路 片上驱动电路 带隙基准
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光电传感器读出电路的参数可调控制研究 被引量:4
11
作者 詹国钟 郭方敏 +1 位作者 黄静 朱荣锦 《红外技术》 CSCD 北大核心 2008年第8期485-488,共4页
基于电容反馈互导放大器和相关双采样结构的读出电路原理,分析了电路中控制信号的时序关系,设计了参数可调的时序控制电路。应用Cadence进行电路仿真和版图设计优化,通过流片、测试,证明参数可调的时序控制电路能有效调节参数,易于控制... 基于电容反馈互导放大器和相关双采样结构的读出电路原理,分析了电路中控制信号的时序关系,设计了参数可调的时序控制电路。应用Cadence进行电路仿真和版图设计优化,通过流片、测试,证明参数可调的时序控制电路能有效调节参数,易于控制,适用于具有该读出结构的读出电路。 展开更多
关键词 电容反馈互导放大器 相关双采样 光电探测器 读出电路 时序控制电路
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薄膜型热释电探测器红外响应模型分析 被引量:4
12
作者 白丕绩 太云见 +3 位作者 林猷慎 胡滨 鄢知权 李平 《红外技术》 CSCD 北大核心 2006年第3期129-133,共5页
在进行热释电焦平面探测器ROIC(读出电路)设计时,必须充分考虑热释电探测器的红外响应特性,并根据探测器等效电路的SPICE模型进行设计仿真。从热释电探测器的热平衡方程出发,在Matlab平台上分析模拟了探测器对脉冲函数调制状态下的瞬态... 在进行热释电焦平面探测器ROIC(读出电路)设计时,必须充分考虑热释电探测器的红外响应特性,并根据探测器等效电路的SPICE模型进行设计仿真。从热释电探测器的热平衡方程出发,在Matlab平台上分析模拟了探测器对脉冲函数调制状态下的瞬态响应,并根据提供的薄膜材料参数在具体应用中建立了热释电探测器的等效电路模型。把探测器等效电路模型与SFD(源跟随器)型输入单元读出电路连接后进行模拟仿真,分析了不同条件下热释电探测器/读出电路组件的响应特性。 展开更多
关键词 热释电探测器 输入单元读出电路 等效电路模型 模拟分析
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基于分时共享方案的640×512红外读出电路设计 被引量:3
13
作者 梁清华 蒋大钊 +1 位作者 陈洪雷 丁瑞军 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2017年第10期239-246,共8页
大规模、高集成度的红外焦平面器件是实现高空间分辨率红外成像的核心。针对高集成度的红外焦平面技术发展,文中设计了一款15μm中心距640×512的红外焦平面读出电路。为提升器件信噪比和积分时间,提出了一种2×2四个像元分时... 大规模、高集成度的红外焦平面器件是实现高空间分辨率红外成像的核心。针对高集成度的红外焦平面技术发展,文中设计了一款15μm中心距640×512的红外焦平面读出电路。为提升器件信噪比和积分时间,提出了一种2×2四个像元分时复用积分电容共享技术方案,单元采用直接注入(DI)结构作为输入级,使得读出电路最大电荷容量可达20 Me-/像元。电路有两档电荷容量可选,可满足不同光电流信号的读出要求。为了减小噪声的注入及提高缓冲器偏置电流的精度,为信号传输链路设计了相应的偏置电路。电路仿真结果表明,电路帧频108 Hz,功耗低于110 m W,线性度可高达99.99%。电路采用了CSMC 0.18μm 1P4M 3.3 V工艺加工流片,常温测试结果显示电路工作电流正常,偏置开关可控,功能正常。 展开更多
关键词 红外焦平面 读出电路 电容共享 电荷容量 偏置电路
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采用红外通信的智能化抄表器电路设计 被引量:8
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作者 傅文渊 王爽 +1 位作者 李国刚 凌朝东 《华侨大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2012年第4期384-387,共4页
基于红外通信原理,设计智能电表的红外通信抄表器电路.在其发射电路中,采用两个红外发射管串联,以减小红外发射电路中的反馈电阻和并联一个小电容的方法来增大发射强度;而在其接收电路中,PIN型光电二极管接收光信号后直接进入带通滤波器... 基于红外通信原理,设计智能电表的红外通信抄表器电路.在其发射电路中,采用两个红外发射管串联,以减小红外发射电路中的反馈电阻和并联一个小电容的方法来增大发射强度;而在其接收电路中,PIN型光电二极管接收光信号后直接进入带通滤波器,然后依次进入限幅放大器和前置放大器,以避免周边环境光使前置放大器进入饱和区或者截止区,增大红外传输距离.测试结果表明:红外通信距离在5m内,抄表数据的相对误差低于0.85%. 展开更多
关键词 抄表器 智能电表 红外通信 电路设计 智能电网
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第二语言阅读“熔断”假说的认知心理证据:在线篇章处理的范式 被引量:6
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作者 吴诗玉 张宇英 胡青青 《心理学报》 CSSCI CSCD 北大核心 2017年第3期285-295,共11页
本研究以认知心理学的结构建造理论为实验框架,模拟学习者母语及外语在线篇章处理的过程,从而获取第二语言阅读"熔断"假说以及"门槛"效应的认知心理证据。英语水平差别显著的高低两组共60名被试参加了英、汉语故事... 本研究以认知心理学的结构建造理论为实验框架,模拟学习者母语及外语在线篇章处理的过程,从而获取第二语言阅读"熔断"假说以及"门槛"效应的认知心理证据。英语水平差别显著的高低两组共60名被试参加了英、汉语故事理解加工实验,考察他们如何对故事的人物角色进行持续跟踪,以厘清故事内的"因果链"。结果发现:(1)高水平组成功地把他们的母语故事理解加工能力迁移到第二语言的故事理解加工,而低水平组则迁移失败;(2)理解加工能力的迁移与被试心理表征建构能力以及抑制机制的效率紧密关联,高水平组被试能有效地利用抑制机制来管理他们第二语言的结构建造过程,从而建立对故事的连贯心理表征,而低水平组则不能。在分析上述结果的基础上,文章提出第二语言阅读"熔断"假说的认知心理证据就是第二语言心理表征建构与抑制机制的作用问题;要成功地进行第二语言篇章理解,读者必须要使其二语潜在的能力(如词汇效率等)发展到某个点上,使得与抑制(结构建造的关键)相关的许多无意识的决定过程能够高度自动化。 展开更多
关键词 篇章 理解加工 “熔断”假说 抑制 心理表征
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SQUID读出电路的仿真及其调试电路的设计 被引量:3
16
作者 王永良 王会武 谢晓明 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第A04期457-460,共4页
超导量子干涉器件(SQUID)配合其读出电路可实现极其微弱磁场的测量,设计低噪声高性能的读出电路是SQUID应用中的一个重要工作。本文介绍了根据电路数学模型进行电路行为仿真的方法,对电路进行模块划分,建立各模块的数学模型,通过仿真分... 超导量子干涉器件(SQUID)配合其读出电路可实现极其微弱磁场的测量,设计低噪声高性能的读出电路是SQUID应用中的一个重要工作。本文介绍了根据电路数学模型进行电路行为仿真的方法,对电路进行模块划分,建立各模块的数学模型,通过仿真分析影响电路性能的关键参数,进而指导具体电路的设计实现,同时介绍了一种调试电路的研制,可实现基于交流调制的磁通锁定式读出电路在常温下的调试。 展开更多
关键词 SQUID 读出电路 电路仿真 调试电路
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一种弱光成像用AlGaN APD阵列的读出电路设计 被引量:4
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作者 邓光平 刘昌举 +2 位作者 祝晓笑 熊平 吴治军 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2013年第4期569-572,575,共5页
设计了64×64 AlGaN雪崩光电二极管(APD)阵列的读出电路,该读出电路采用了具有稳定探测器偏压能力的电容跨阻抗放大器(CTIA)结构。利用APD的等效电路模型,推导了电荷-电压转换因子(CVF)与积分电容、放大器增益的关系。为增加最大探... 设计了64×64 AlGaN雪崩光电二极管(APD)阵列的读出电路,该读出电路采用了具有稳定探测器偏压能力的电容跨阻抗放大器(CTIA)结构。利用APD的等效电路模型,推导了电荷-电压转换因子(CVF)与积分电容、放大器增益的关系。为增加最大探测光电流、降低响应的非均匀性,利用上述关系得到积分电容为70fF,放大器增益为300。读出电路的地址选择采用移位寄存器来实现,并采用电压缓冲器实现信号的输出。 展开更多
关键词 读出电路 雪崩光电二极管 CTIA 电荷-电压转换因子
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高性能弹用碲镉汞红外焦平面读出电路 被引量:3
18
作者 李煜 王博 +6 位作者 白丕绩 李立华 刘会平 洪建堂 梁艳 李敏 胡彦博 《红外技术》 CSCD 北大核心 2014年第9期700-704,共5页
研制出一种高性能弹用凝视型碲镉汞(MCT)中波红外焦平面CMOS读出电路(ROIC)芯片。读出电路采用快照(Snapshot)积分模式,具有积分后读出(ITR)、积分同时读出(IWR)、长/短帧组合(COMBINED)积分和长/短帧插入(INTERLACED)积分4种模式可选功... 研制出一种高性能弹用凝视型碲镉汞(MCT)中波红外焦平面CMOS读出电路(ROIC)芯片。读出电路采用快照(Snapshot)积分模式,具有积分后读出(ITR)、积分同时读出(IWR)、长/短帧组合(COMBINED)积分和长/短帧插入(INTERLACED)积分4种模式可选功能,有效解决高灵敏度和大动态范围的矛盾;其他特征包括抗晕、多级增益可选、串口功能控制,以及全芯片电注入测试功能。该读出电路采用0.35?m DPTM标准CMOS工艺,工作电压5.0 V。测试结果体现了良好的性能:在77 K条件下,全帧频可到250 Hz(插入积分模式),功耗典型值为20 mW。 展开更多
关键词 弹用读出电路 组合积分 插入积分 快照模式
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ARL4460直读光谱仪电路板故障维修两例 被引量:2
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作者 王明利 杨毅 +2 位作者 刘晓光 杜士毅 孙娟 《分析仪器》 CAS 2015年第5期92-95,共4页
直读光谱仪是冶金行业常用的元素定量分析仪器,具有一次分析元素多、范围广、速度快、操作方便且检出限低、精确度高等优点,在国内大型钢企的炉前自动化快分系统中有着广泛的应用。本文介绍了Thermo fisher公司的ARL4460型直读光谱仪的... 直读光谱仪是冶金行业常用的元素定量分析仪器,具有一次分析元素多、范围广、速度快、操作方便且检出限低、精确度高等优点,在国内大型钢企的炉前自动化快分系统中有着广泛的应用。本文介绍了Thermo fisher公司的ARL4460型直读光谱仪的两个典型的电路板故障检查和处理方法,提供一种该仪器电路板故障修复的思路,供从事此项工作的专业人员参考。 展开更多
关键词 直读光谱仪 电路板故障 电路板修复
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薄膜体声波传感器及其读出电路进展 被引量:5
20
作者 高杨 何婉婧 +2 位作者 李君儒 黄振华 蔡洵 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2015年第2期187-192,196,共7页
薄膜体声波谐振器(FBAR)具有高灵敏度、高工作频率,低功耗,小尺寸及制造工艺IC兼容的特点,使其成为高效能换能器和传感器的理想技术。基于FBAR的传感器,如高灵敏度质量传感器、DNA和蛋白质探测器、气体传感器、水银离子探测器和微区质... 薄膜体声波谐振器(FBAR)具有高灵敏度、高工作频率,低功耗,小尺寸及制造工艺IC兼容的特点,使其成为高效能换能器和传感器的理想技术。基于FBAR的传感器,如高灵敏度质量传感器、DNA和蛋白质探测器、气体传感器、水银离子探测器和微区质量探测器,与采用其他微电子机械系统的同类传感器相比,已取得了更好的传感性能。该文综述了FBAR传感器的进展,特别是FBAR高灵敏度传感器、FBAR谐振式传感器及其高频读出电路;提出了采用六端口反射计实现FBAR换能器的射频频率偏移信号读出、基于单片微波集成电路或低温共烧陶瓷工艺制备的六端口网络构建集成FBAR传感器的原创设想。 展开更多
关键词 薄膜体声波谐振器 传感器 换能器 微机电系统(MEMS) 读出电路 六端口反射计
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