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Thin Film Chip Resistors with High Resistance and Low Temperature Coefficient of Resistance 被引量:5
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作者 王秀宇 张之圣 +1 位作者 白天 刘仲娥 《Transactions of Tianjin University》 EI CAS 2010年第5期348-353,共6页
High resistance thin film chip resistors(0603 type) were studied,and the specifications are as follows:1 k? with tolerance about ±0.1% after laser trimming and temperature coefficient of resistance(TCR) less than... High resistance thin film chip resistors(0603 type) were studied,and the specifications are as follows:1 k? with tolerance about ±0.1% after laser trimming and temperature coefficient of resistance(TCR) less than ±15×10-6/℃.Cr-Si-Ta-Al films were prepared with Ar flow rate and sputtering power fixed at 20 standard-state cubic centimeter per minute(sccm) and 100 W,respectively.The experiment shows that the electrical properties of Cr-SiTa-Al deposition films can meet the specification requirements of 0603 ty... 展开更多
关键词 thin film chip resistor high resistance low temperature coefficient of resistance alloy target magnetic sputtering Cr-Si-Ta-Al film
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Interaction of RuO<sub>2</sub>and Lead-Silicate Glass in Thick-Film Resistors 被引量:3
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作者 Gulmurza Abdurakhmanov Gulbahor S. Vakhidova Lutfullo X. Tursunov 《World Journal of Condensed Matter Physics》 2011年第1期1-5,共5页
Results of investigation of X-ray diffraction, infrared and optical spectra of powders of the ruthenium dioxide, lead-silicate glass as well as their mixture before and after sintering are reported. Sintering conditio... Results of investigation of X-ray diffraction, infrared and optical spectra of powders of the ruthenium dioxide, lead-silicate glass as well as their mixture before and after sintering are reported. Sintering conditions typical for thick film resistors were used. Intensity of main lines of RuO2 in X-ray diffraction patterns of sintered mixtures decreases and they slightly shift towards small angles. No new reflexes appear in these patterns. Absorbance of RuO2 in the range of 2.5-100 μm is proportional to and featureless. Infrared spectrum of lead-silicate glass has absorption bands of [SiO4]4- tetrahedra and Pb-O bonds only. Optical spectrum of RuO2 has wide absorption bands at 950 and 370 nm. Spectra of the mixture of RuO2 and glass powders before and after sintering are different indicating that there is interaction between them during the sintering process. Concentration of free charge carriers estimated from the optical spectra is about 1021 cm-3. 展开更多
关键词 Ruthenium Dioxide Lead-Silicate Glass Thick film resistorS Infra Red And Optical Spectra X-Ray Diffraction
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Preparation of Lead-free Thick-film Resistor Pastes
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作者 LUO Hui LI Shihong +3 位作者 LIU Jisong CHEN Liqiao YING Xingang WANG Ke 《贵金属》 CAS CSCD 北大核心 2012年第A01期111-116,共6页
The preparation of lead-free thick-film resistors are reported:using RuO 2 and ruthenates as conductive particles,glass powders composed of B 2 O 3,SiO 2,CaO and Al2 O 3 as insulating phase,adding organic matter which... The preparation of lead-free thick-film resistors are reported:using RuO 2 and ruthenates as conductive particles,glass powders composed of B 2 O 3,SiO 2,CaO and Al2 O 3 as insulating phase,adding organic matter which mainly consists of ethyl cellulose and terpineol to form printable pastes.Resistors were fabricated and sintered by conventional screen-printing on 96%Al 2 O 3 substrates,and then sintering in a belt furnace.X-ray diffraction(XRD) and electron scanning microscopy(SEM) have been used to characterize the conductive particles.The resistors exhibit good refiring stability and low temperature coefficient of resistance.Sheet resistance spans from about 80Ω/□ to 600Ω/□.The resistors prepared are qualified for common use. 展开更多
关键词 LEAD-FREE RUO2 THICK-film resistor pastes
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On the Conduction Mechanism of Silicate Glass Doped by Oxide Compounds of Ruthenium (Thick Film Resistors)
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作者 Gulmurza Abdurakhmanov 《World Journal of Condensed Matter Physics》 2011年第2期19-23,共5页
The results of the investigation of conduction mechanism of silicate glass doped by oxide compounds of ruthenium (thick film resistor) are reported. The formation of diffusion zones in the softened glass during firing... The results of the investigation of conduction mechanism of silicate glass doped by oxide compounds of ruthenium (thick film resistor) are reported. The formation of diffusion zones in the softened glass during firing process of the mixture of the glass and the dopant powders is considered. As the result the doping glass becomes conductive. These diffusion zones have higher conductivity and act as percolation levels for the free charge carriers. The effect of tem-perature and duration of firing process on the conductivity of doped glass is considered. Experimental results are in a good agreement with the model. 展开更多
关键词 Lead-Silicate Glass Thick film resistorS PERCOLATION Levels Doping Conductivity FIRING Conditions
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On the Conduction Mechanism of Silicate Glass Doped by Oxide Compounds of Ruthenium (Thick Film Resistors). 3. The Minimum of Temperature Dependence of Resistivity
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作者 Gulmurza Abdurakhmanov 《World Journal of Condensed Matter Physics》 2014年第3期166-178,共13页
This article is the final part of the investigation of conduction mechanism of silicate glass doped by oxide compounds of ruthenium (thick film resistors). In the first part [1], the formation of percolation levels du... This article is the final part of the investigation of conduction mechanism of silicate glass doped by oxide compounds of ruthenium (thick film resistors). In the first part [1], the formation of percolation levels due to diffusion of dopant atoms into the glass has been considered. The diffusion mechanism allowed us to explain shifting of the percolation threshold towards to lower value and the effect of firing conditions as well as the components composition on the electrical conduction of the doped glass. The coexistence of thermal activation and localization of free charge carriers as the result of nanocrystalline structure of the glass was the subject of the second part [2]. Because of it, the resistivity of the doped silicate glass is proportional to exp (–aT–ζ) at low temperatures (T 50 K), 0.4 ζ < 0.8. Structural transitions of nanocrystals take place at high temperatures (T > 800 K) and the conductivity of the doped silicate glass decreases sharply. We consider the origin of the minimum in the temperature dependence of resistivity of the doped silicate glass here. It is shown that the minimum arises from merge of impurity band into the valence band of glass at temperature high enough, so thermal activation of charge carriers as well as its hopping are failed, and scattering of free charge carriers become predominant factor in the temperature dependence of the resistivity. 展开更多
关键词 Lead-Silicate Glass Thick film resistorS Minimum of RESISTIVITY Doping Energy Bands Conductivity Thermal Activation HOPPING
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PF/EP/Nano-SiO_2 Composite Paint for Resistor 被引量:1
6
作者 王秀宇 张之圣 +3 位作者 白天 孙谷清 王金龙 黄翔东 《Transactions of Tianjin University》 EI CAS 2009年第4期283-287,共5页
Phenolic resin(PF) and nano-SiO2 were used to improve the curing property and high humidity resistance of epoxy resin (EP) and methyl nadic anhydride (MNA) resistor paint, respectively. Hydrogen bonds, formed between ... Phenolic resin(PF) and nano-SiO2 were used to improve the curing property and high humidity resistance of epoxy resin (EP) and methyl nadic anhydride (MNA) resistor paint, respectively. Hydrogen bonds, formed between phenolic resin and nano-SiO2 in alcohol, made nano-SiO2 disperse easily in EP/MNA paint through phenolic resin without being treated by supersonic vibration. When the mass ratio of PF to EP in paint is 3:7, the formed composite paint film can be cured in 2 min at 170 ℃ . When the mass ratio of nano-SiO2 to PF in paint is 3:100, the property of high humidity resistance of the composite paint is the best, meeting the requirement of varying ratio of resistance less than 0.1% after experiment on high humidity resistance. SEM analysis shows the surface of the composite paint film is smooth, glassy, tight and homogeneous, without acicular air holes. 展开更多
关键词 phenolic resin epoxy resin nano-SiO.~ paint for metal film resistor curing time high humidity resistance
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Failure Behaviors and Mechanisms of High-Ohmic Resistors Protected by PF/EP Paint in Heat and Humid Environment 被引量:1
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作者 Wang Xiuyu Cheng Qiang +5 位作者 Ma Xiaopin Zhang Hao Li Mingxiu Chen Tongning Zhang Ping Li Zhixun 《Transactions of Tianjin University》 EI CAS 2016年第5期388-395,共8页
Phenolic formaldehyde(PF)and epoxy(EP)resins are commonly used in electronic packaging. In this paper, high-ohmic resistors(2.2 M?, ±0.5%,)with Cr-Si film were coated by PF/EP paint, and the resulting coated resi... Phenolic formaldehyde(PF)and epoxy(EP)resins are commonly used in electronic packaging. In this paper, high-ohmic resistors(2.2 M?, ±0.5%,)with Cr-Si film were coated by PF/EP paint, and the resulting coated resistors were used for heat and humid(HH)experiments. The experimental results show that the corrosion of bandlike resistive films is selective and isotropic, and that the corrosion spots in resistive films all form along grooves and extend in the same direction. It is revealed that OH^- ions are generated due to the electrochemical reactions of resistive film in HH experiments, so a NaOH aqueous solution with pH about 10 was used to study the effects of absorbed water and OH^- ions on PF/EP polymer film. The results indicates that the color of some part on PF/EP polymer film changes due to corrosion, and that the corrosion part of the polymer film is easy to be peeled off. It can be inferred that OH^- ions generated in HH experiments may play a catalytic role in the chemical reactions between polymer film and the absorbed water, which accelerates the degradation of PF/EP protection film for a resistor. 展开更多
关键词 Cr-Si film protection film humid ENVIRONMENT polymer degradation resistor failure
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基于石英薄膜工艺的D波段固定衰减器设计及实现
8
作者 宗原 杨笔帆 +2 位作者 成海峰 赵亮 郭健 《固体电子学研究与进展》 CAS 2024年第4期295-301,共7页
薄膜电阻具有较为精确的电阻值,可用于微波固定衰减器设计。然而随着工作频率的升高,薄膜电阻的寄生参数随之增大,影响固定衰减器的衰减精度及回波性能。本文基于传统微波频段薄膜电阻等效电路模型,提出了一种十四元件等效电路模型。采... 薄膜电阻具有较为精确的电阻值,可用于微波固定衰减器设计。然而随着工作频率的升高,薄膜电阻的寄生参数随之增大,影响固定衰减器的衰减精度及回波性能。本文基于传统微波频段薄膜电阻等效电路模型,提出了一种十四元件等效电路模型。采用Ansys HFSS软件对薄膜电阻进行三维电磁场仿真并提取其S参数,通过S参数曲线拟合,最终确定各元件参数值。仿真结果表明,该等效电路模型在0.1~180.0 GHz可有效表征薄膜电阻的电气特性。在此基础上,采用石英薄膜工艺研制了三款不同衰减值的D波段(110~170 GHz)固定衰减器,并通过在片匹配电路补偿键合金丝和薄膜电阻寄生参量的影响。此外,还设计了波导-微带转换电路,将微带模式转换为标准波导模式进行衰减器性能的测量。测试结果表明,在110~170 GHz频带内,3 dB衰减器的衰减典型值为4 dB,回波损耗大于13.3 dB;6 dB衰减器的衰减典型值为5.5 dB,回波损耗大于11.4 dB;9 dB衰减器的衰减典型值为8 dB,回波损耗大于11.4 dB。研制的固定衰减器可将现有固定衰减器的工作频率拓宽至110 GHz以上,用于信号功率调节及改善器件级间回波的影响。 展开更多
关键词 太赫兹 固定衰减器 石英薄膜工艺 薄膜电阻 等效电路模型
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一种高精度快速激光修调方案设计
9
作者 贾晨强 李文昌 +2 位作者 阮为 刘剑 张天一 《半导体技术》 北大核心 2024年第2期171-177,共7页
在激光修调过程中,激光的修调路径和控制策略是影响修调精度和修调速度的关键因素,而常规激光修调方案难以同时满足高精度和快速修调。因此,提出了一种高精度快速激光修调方案,使用“离散+连续”结构的金属薄膜电阻图形提高修调效率和... 在激光修调过程中,激光的修调路径和控制策略是影响修调精度和修调速度的关键因素,而常规激光修调方案难以同时满足高精度和快速修调。因此,提出了一种高精度快速激光修调方案,使用“离散+连续”结构的金属薄膜电阻图形提高修调效率和可靠性;利用阶梯形的激光修调路径提升修调精度;采用动态测试步长的控制策略提高修调速度。采用上述方案对60个金属薄膜电阻样品进行激光修调,结果表明:修调精度可达0.004%,平均测试步长为2.53,验证了所提出的修调方案可有效提升修调精度和修调速度。进一步将该方案应用在200个温度传感器芯片的校准中,结果表明200个温度传感器芯片的测温误差均校准至±0.2℃以内,平均测试步长为6.29。 展开更多
关键词 激光修调 修调精度 修调速度 金属薄膜电阻 阶梯形修调路径 动态测试步长
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某电路模块厚膜电阻硫化故障分析及预防措施
10
作者 吴柯锐 崔雅萌 +2 位作者 段炼 樊虎 高婕 《质量与可靠性》 2024年第4期31-35,共5页
通过某电子产品自检异常问题的排故处理,研究了片式厚膜电阻被硅橡胶覆盖后硫化失效问题,发现电阻硫化的主要原因是端电极被硅橡胶覆盖,硅橡胶的多孔结构易吸附周围环境中的硫元素,高浓度的硫化气体通过端电极金属镀层与包覆层间的缝隙... 通过某电子产品自检异常问题的排故处理,研究了片式厚膜电阻被硅橡胶覆盖后硫化失效问题,发现电阻硫化的主要原因是端电极被硅橡胶覆盖,硅橡胶的多孔结构易吸附周围环境中的硫元素,高浓度的硫化气体通过端电极金属镀层与包覆层间的缝隙进入电阻内部,与银电极发生硫化腐蚀,导致产品故障。针对该问题,提出了改进工艺使硅橡胶避开电阻端电极,以及选用防硫化电阻、涂覆更抗硫化的三防漆和灌封胶等预防措施,以有效提高该类电子产品的抗硫化能力。 展开更多
关键词 电阻硫化 硅橡胶 厚膜电阻
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EMI滤波器和DC/DC电源模块失效案例分析
11
作者 许艳君 符佳佳 +2 位作者 闫玉波 李智 吴生虎 《电子产品可靠性与环境试验》 2024年第5期31-36,共6页
混合集成EMI滤波器和DC/DC电源模块广泛地应用于军工领域。由于电源需要连续运行,同时经受恶劣环境条件考验,EMI滤波器和电源模块失效情况时有发生。针对某装备中滤波模块和电源模块的失效案例开展分析,详细地介绍了该类混合电路失效分... 混合集成EMI滤波器和DC/DC电源模块广泛地应用于军工领域。由于电源需要连续运行,同时经受恶劣环境条件考验,EMI滤波器和电源模块失效情况时有发生。针对某装备中滤波模块和电源模块的失效案例开展分析,详细地介绍了该类混合电路失效分析方法,提出了混合电路失效分析的思路,找到了滤波模块和电源模块的失效原因和机理,并给出了相应的改进措施,为电源模块的失效分析开展提供了参考。经失效分析,发现滤波模块和电源模块的失效原因为电源模块内部电阻受损,使用过程中微裂纹扩展,电阻开路,导致与之相连的MOSFET过功率烧毁,电源模块输入和输入地短路失效。电源模块短路失效,导致滤波模块的输出与输出地短路,从而形成大电流,导致基板过温,部分元器件焊点脱落,最终导致滤波模块无输出。 展开更多
关键词 EMI滤波器 DC/DC电源模块 失效分析 厚膜电阻
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压力传感器温度补偿薄膜电阻器手工焊接失效分析
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作者 林昕怡 周富强 +1 位作者 赵彦龙 高德亮 《传感器世界》 2024年第4期11-13,27,共4页
压力传感器主要有应变式、谐振式和硅压阻式(MEMS)等类型。航空发动机主要以硅压阻式为主,硅压阻式压力传感器受温度影响非常大,一般不能直接使用,需要串并联温度补偿电阻进行温度补偿后才能使用。模拟焊接出现电阻焊接后浮高、偏移不良... 压力传感器主要有应变式、谐振式和硅压阻式(MEMS)等类型。航空发动机主要以硅压阻式为主,硅压阻式压力传感器受温度影响非常大,一般不能直接使用,需要串并联温度补偿电阻进行温度补偿后才能使用。模拟焊接出现电阻焊接后浮高、偏移不良,通过手工焊接修复后,因反复焊接导致电阻电极损伤,经高低温和振动试验后电阻失效。文章介绍了应用于航空发动机上的压力传感器工作原理,就温度补偿电阻器手工焊接失效原因进行了分析,并提出了改进措施,为压力传感器在生产制造过程中提高可靠性提供了参考。 展开更多
关键词 薄膜电阻器 手工焊接 失效分析
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一种32MHz低温漂高精度张弛型振荡器的设计
13
作者 梁国辉 《集成电路应用》 2024年第6期6-7,共2页
阐述基于0.18μmCMOS工艺设计的一种低温漂张弛型振荡器。该张弛型振荡器在使用平均周期反馈控制的基础上采用金属薄膜电阻和金属-绝缘体-金属电容作为振荡单元,可以实现温度从-40~125℃变化时1%的频率漂移。
关键词 张弛型振荡器 高精度 低温漂 金属薄膜电阻
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基于柔性MEMS皮肤技术温度传感器阵列的研究 被引量:22
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作者 肖素艳 车录锋 +1 位作者 李昕欣 王跃林 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期674-680,共7页
采用MEMS皮肤技术,在聚酰亚胺柔性衬底上成功研制出8×8阵列铂薄膜热敏电阻温度传感器。实验采用热氧化硅片为机械载体,以便于旋涂液态聚酰亚胺柔性衬底上器件的加工。最后用湿法腐蚀方法将柔性器件从载体上释放下来。试验表明聚酰... 采用MEMS皮肤技术,在聚酰亚胺柔性衬底上成功研制出8×8阵列铂薄膜热敏电阻温度传感器。实验采用热氧化硅片为机械载体,以便于旋涂液态聚酰亚胺柔性衬底上器件的加工。最后用湿法腐蚀方法将柔性器件从载体上释放下来。试验表明聚酰亚胺衬底上的铂薄膜热敏电阻与温度的变化具有良好的线性,其电阻温度系数达0.0023/℃。与固态聚酰亚胺膜衬底相比,采用旋涂液态聚酰亚胺解决了制备中遇到的两大主要困难:其一,消除了涂聚酰亚胺衬底与载体界面之间的气泡,聚酰亚胺衬底表面能保持良好平整度;其二,制备过程中由于热循环而使柔性衬底产生的热膨胀明显减小。这种柔性温度传感器阵列易贴于高曲率物体表面以探测小面积温度场分布。 展开更多
关键词 皮肤技术 聚酰亚胺 柔性衬底 铂薄膜电阻 温度传感器
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厚膜电阻的研究现状及发展趋势 被引量:15
15
作者 李强 谢泉 +1 位作者 马瑞 黄晋 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第7期31-38,共8页
首先描述了厚膜电阻的基本结构,介绍了制作厚膜电阻的各种材料,然后详细地阐述了厚膜电阻的制备工艺,探讨了厚膜电阻的导电机理和近年来的发展趋势。
关键词 厚膜电阻 制备工艺 导电机理
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薄膜转移工艺制备的128×128规模高架桥式电阻阵 被引量:5
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作者 程正喜 马斌 +3 位作者 刘强 张学敏 施永明 翟厚明 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2012年第3期559-562,共4页
采用新的薄膜转移工艺,成功制备了128×128规模的高架桥式电阻阵。电阻阵的单元尺寸为50μm×50μm,占空比50%。初步测试了该高架桥电阻阵的两个基本指标,微桥的热时间常数和最高等效黑体温度,并对该电阻阵进行了成像实验。采... 采用新的薄膜转移工艺,成功制备了128×128规模的高架桥式电阻阵。电阻阵的单元尺寸为50μm×50μm,占空比50%。初步测试了该高架桥电阻阵的两个基本指标,微桥的热时间常数和最高等效黑体温度,并对该电阻阵进行了成像实验。采用电学法测试单个微桥的时间常数τ约为4.5 ms,可在100Hz下工作。将整个面阵点亮,在8~12μm波段最高等效黑体温度达到250℃,推测在3~5μm波段最高等效黑体温度超过300±20℃。将整个器件全部点亮并驱动到最高温度时,器件的最大功率为30 W。该电阻阵可成功实现驱动显示成像。测试结果表明该高架桥式电阻阵初步满足红外景象产生器的要求。 展开更多
关键词 红外景象产生器 电阻阵 薄膜转移工艺 高架桥
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DC-18GHz微波功率薄膜电阻器的设计及制作 被引量:5
17
作者 司旭 张万里 +3 位作者 蒋洪川 彭斌 王超杰 李言荣 《微波学报》 CSCD 北大核心 2011年第1期74-77,共4页
设计并仿真了频率范围为DC-18GHz,功率负载为20W的微波功率薄膜电阻器,根据仿真结果,采用反应磁控溅射法制备了TaN微波功率薄膜电阻器。仿真结果表明,所设计的薄膜电阻器在DC-18GHz频率范围内,电压驻波比均小于1.2,加载20W微波功率时,... 设计并仿真了频率范围为DC-18GHz,功率负载为20W的微波功率薄膜电阻器,根据仿真结果,采用反应磁控溅射法制备了TaN微波功率薄膜电阻器。仿真结果表明,所设计的薄膜电阻器在DC-18GHz频率范围内,电压驻波比均小于1.2,加载20W微波功率时,薄膜电阻器表面的最高温度为108℃。实验结果表明,所制备的TaN薄膜电阻器在DC-18GHz频率范围内,电压驻波比小于1.25;加载20W直流功率96小时,电阻器的阻值变化小于2%,表面最高温度为105℃;在25-125℃温度范围内电阻器的温度电阻系数为-40ppm/℃。 展开更多
关键词 薄膜电阻器 驻波比 TaN薄膜
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镍薄膜电阻作为多功能传感器的温度敏感元件 被引量:7
18
作者 王蔚 刘晓为 +1 位作者 王喜莲 马战 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第3期378-380,共3页
为解决铝薄膜和银薄膜电阻率小、热敏电阻灵敏度低、耐腐蚀性差、工作温度低等问题 ,提出镍薄膜电阻可以作为温度敏感元件集成在压力传感器上 .对镍薄膜热敏电阻的制备方法、温度敏感特性进行了分析与实验研究 ,并将其集成在耐高温压力... 为解决铝薄膜和银薄膜电阻率小、热敏电阻灵敏度低、耐腐蚀性差、工作温度低等问题 ,提出镍薄膜电阻可以作为温度敏感元件集成在压力传感器上 .对镍薄膜热敏电阻的制备方法、温度敏感特性进行了分析与实验研究 ,并将其集成在耐高温压力传感器上 ,对制备的压力 -温度多功能传感器进行了测试 .结果表明传感器可在室温至 2 0 0℃温度范围工作并达到较高精度 ,可以推广使用 . 展开更多
关键词 镍薄膜电阻 温度敏感元件 多功能传感器
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6~18GHz超宽带微带均衡器设计与实现 被引量:9
19
作者 刘亚男 何庆国 +1 位作者 郝金中 王抗旱 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第1期23-26,共4页
6~18GHz超宽带微波组件幅频特性起伏比较大,采用幅度均衡器可有效改善增益平坦度,使其满足指标要求。根据谐振理论和传输线理论进行了6~18GHz超宽带微带幅度均衡器设计。利用ADS和HFSS仿真,采用λ/4的开路微带线和薄膜电阻构成谐振频... 6~18GHz超宽带微波组件幅频特性起伏比较大,采用幅度均衡器可有效改善增益平坦度,使其满足指标要求。根据谐振理论和传输线理论进行了6~18GHz超宽带微带幅度均衡器设计。利用ADS和HFSS仿真,采用λ/4的开路微带线和薄膜电阻构成谐振频率可调、品质因数可调、带宽可调以及均衡量可调的谐振单元,同时增加适当的调节块对谐振频率进行微调,设计出满足指标要求的小尺寸样件,得到了所需的均衡曲线。实验表明,可以在这个频段上高效、准确、灵活地设计出所需均衡器。 展开更多
关键词 幅度均衡器 品质因数 薄膜电阻 谐振器 微带
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GaAs MMIC用无源元件的模型 被引量:8
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作者 申华军 陈延湖 +5 位作者 严北平 杨威 葛霁 王显泰 刘新宇 吴德馨 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第10期1872-1879,共8页
制作了不同结构参数的GaAsMMIC无源元件,包括矩形螺旋电感、MIM电容和薄膜电阻,建立了无源元件的等效电路模型库,采用多项式公式表征无源元件的模型参数和性能参数,便于电路设计的应用.并提取得到MIM电容的单位面积电容值,约为195pF/mm2... 制作了不同结构参数的GaAsMMIC无源元件,包括矩形螺旋电感、MIM电容和薄膜电阻,建立了无源元件的等效电路模型库,采用多项式公式表征无源元件的模型参数和性能参数,便于电路设计的应用.并提取得到MIM电容的单位面积电容值,约为195pF/mm2,NiCr薄膜电阻的方块电阻约为16·1Ω/□.分析结构参数对螺旋电感性能的影响可知,减小线圈面积相关的寄生损耗有助于获得高品质的电感. 展开更多
关键词 MMIC 矩形螺旋电感 MIM电容 薄膜电阻 多项式拟合公式
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