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Neutrino Masses and See-Saw Mechanism
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作者 Ahmad Tarhini Mohamad Mrad 《Journal of High Energy Physics, Gravitation and Cosmology》 2020年第2期274-281,共8页
A neutrino is a subatomic particle that is very similar to an electron, but has no electrical charge and a very small mass. Neutrinos are one of the most abundant particles in the universe. Because they have very litt... A neutrino is a subatomic particle that is very similar to an electron, but has no electrical charge and a very small mass. Neutrinos are one of the most abundant particles in the universe. Because they have very little interaction with matter, however, they are incredibly difficult to detect. We present a study of the physics of neutrinos using the Dirac lagrangian. Based on Lorentz invariance we introduce the notion of Majorana spinor. Then we derive the mass terms for both Dirac and Majorana neutrinos. We further discuss the general framework of the See-Saw mechanism considering a simplification of the problem. 展开更多
关键词 NEUTRINOS LAGRANGIAN and DIRAC Equation MAJORANA SPINORS Massive NEUTRINOS See-saw mechanism
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THEWEARMODESANDMECHANISMSOFDIAMO 被引量:1
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作者 Wang Dianjiang(Department of Geology, Central South University of Technology,Changsha 410083, China) 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS 1996年第1期98-100,共3页
THEWEARMODESANDMECHANISMSOFDIAMONDSINSAWINGHARDSTONEWangDianjiang(DepartmentofGeology,CentralSouthUniversity... THEWEARMODESANDMECHANISMSOFDIAMONDSINSAWINGHARDSTONEWangDianjiang(DepartmentofGeology,CentralSouthUniversityofTechnology,Chan... 展开更多
关键词 DIAMOND WEAR saw BLADE WEAR mechanism〖J
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国产BE100和国外Wikus硬质合金带锯条背材的性能对比分析
3
作者 黎豪杰 赵玉萍 +5 位作者 储爱民 吴海江 邹利华 陈友明 董泽熙 李滔 《材料热处理学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第2期148-155,共8页
以国产BE100和国外Wikus两种硬质合金带锯条背材为研究对象,采用光学显微镜、扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)和维氏硬度计等研究了背材的微观组织、物相及硬度,使用拉伸试验机和疲劳试验机测试其拉伸性能和疲劳性能,对比研究了两种背... 以国产BE100和国外Wikus两种硬质合金带锯条背材为研究对象,采用光学显微镜、扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)和维氏硬度计等研究了背材的微观组织、物相及硬度,使用拉伸试验机和疲劳试验机测试其拉伸性能和疲劳性能,对比研究了两种背材的微观组织和力学性能。结果表明:两种背材的主要成分Fe、Cr和Ni均以单相固溶体存在,且背材中形成的碳化物均为非晶态;相比BE100背材,Wikus背材采用高温淬火和低温回火的热处理工艺,产生了马氏体固溶强化效果,获得了更高的硬度;BE100和Wikus背材的微观组织分别由回火索氏体和回火屈氏体组成,Wikus背材微观组织的均匀性更好;拉伸初始时BE100背材的塑性优于Wikus背材,但随应变量增至10%则低于Wikus背材,BE100背材比Wikus背材更早出现颈缩现象;此外,Wikus背材比BE100背材具有更好的疲劳稳定性。 展开更多
关键词 硬质合金带锯条 背材 微观组织 力学性能 热处理工艺
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基于锯泥固废协同复合材料力学性能研究
4
作者 李玉莹 程钰 +1 位作者 靳露 程冠军 《山东化工》 CAS 2024年第3期30-33,共4页
为了处理堆积的锯泥,实现固废资源化利用,实验研究复合材料力学性能,试验工程应用。以水泥、石灰、粉煤灰作为改性材料,研究复合材料掺量和配合比对改性锯泥强度的影响。根据锯泥物理特性和化学特性,通过对锯泥掺入不同配比复合材料的... 为了处理堆积的锯泥,实现固废资源化利用,实验研究复合材料力学性能,试验工程应用。以水泥、石灰、粉煤灰作为改性材料,研究复合材料掺量和配合比对改性锯泥强度的影响。根据锯泥物理特性和化学特性,通过对锯泥掺入不同配比复合材料的方式对其进行改良,在浸水和不浸水条件下进行养护,测试不同方案的无侧限抗压强度。研究表明掺入复合材料可以有效提高锯泥强度,能够达到工程应用的技术要求,复合材料掺量为6%时,既符合规范要求,且成本较低。 展开更多
关键词 锯泥 改性 复合材料 力学性能
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SAW-CA传感器对甲基膦酸二甲酯的检测研究
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作者 吕晖 梁坚 +2 位作者 丁学全 骆国芳 曹丙庆 《现代科学仪器》 2008年第1期53-56,共4页
选择阃苯二酚杯[4]芳烃硫醚衍生物(CA)作为声表面波(SAW)化学传感器敏感膜材料,结合分子印迹技术(MIT),在传感器金延迟线上以自组装(SA)的方法制作对有机膦化合物有选择性吸附能力的敏感膜,探讨了SAW-CA传感器检测甲基膦酸二甲酯(DMMP)... 选择阃苯二酚杯[4]芳烃硫醚衍生物(CA)作为声表面波(SAW)化学传感器敏感膜材料,结合分子印迹技术(MIT),在传感器金延迟线上以自组装(SA)的方法制作对有机膦化合物有选择性吸附能力的敏感膜,探讨了SAW-CA传感器检测甲基膦酸二甲酯(DMMP)过程中敏感膜的吸附机理。 展开更多
关键词 芳烃硫醚衍生物(CA) 声表面波(saw) 自组装技术(SA) 分子印迹技术(MIT) 吸附机理
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基片表面力负载对SAW谐振器的特性影响研究 被引量:1
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作者 孙雪梅 李平 +2 位作者 文玉梅 陈雨 郑敏 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第5期753-756,共4页
分析了SAW谐振器表面力负载对谐振器谐振频率和机械损耗产生的影响。进行了两种表面力加载方式的实验研究,对比实验结果表明:基片底面固定时,表面力负载对SAW谐振器谐振频率的影响主要与负载在基片表面产生的应力大小有关,而谐振器的机... 分析了SAW谐振器表面力负载对谐振器谐振频率和机械损耗产生的影响。进行了两种表面力加载方式的实验研究,对比实验结果表明:基片底面固定时,表面力负载对SAW谐振器谐振频率的影响主要与负载在基片表面产生的应力大小有关,而谐振器的机械损耗主要与力在基片表面的分布有关。实验结果为SAW力传感器的结构设计提供了参考。 展开更多
关键词 saw谐振器 表面力负载 谐振频率 机械损耗
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Research on Cutting Force of Ultrasonic Diamond Wire Saw 被引量:5
7
作者 张辽远 李鑫 《Defence Technology(防务技术)》 SCIE EI CAS 2010年第2期114-118,共5页
Based on impulse and vibration machining theories,a mathematical model of cutting force for the electroplated diamond ultrasonic wire saw was established using superposition principle.The differences between the cutti... Based on impulse and vibration machining theories,a mathematical model of cutting force for the electroplated diamond ultrasonic wire saw was established using superposition principle.The differences between the cutting forces with and without ultrasonic effect were analyzed theoretically and experimentally.The results indicate that the cutting force of diamond wire increases along with the spindle speed decrease and the lateral pressure increase.The force in ultrasonic vibration cutting is about 20% to 30% less than that in conventional cutting.Also,the cutting trajectory of single diamond grit in sawing process is simulated,and the reason that the ultrasonic vibration can reduce the cutting force is explained further. 展开更多
关键词 machinofature technique and equipment mechanics manufacturing process hard and brittle material electroplated diamond wire saw ultrasonic machining
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射频SAW器件非线性信号的测量及产生机制分析
8
作者 李百川 罗阳 +2 位作者 傅肃磊 王为标 张巧珍 《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第5期682-686,共5页
射频前端的高度集成和高能量密度使声表面波(SAW)器件的非线性问题愈发严重。该文搭建了射频SAW器件非线性信号的测量系统,对SAW谐振器的二次谐波(H2)和三次谐波(H3)信号进行了准确测量。分析测量结果,讨论了非线性谐波信号的产生机制,... 射频前端的高度集成和高能量密度使声表面波(SAW)器件的非线性问题愈发严重。该文搭建了射频SAW器件非线性信号的测量系统,对SAW谐振器的二次谐波(H2)和三次谐波(H3)信号进行了准确测量。分析测量结果,讨论了非线性谐波信号的产生机制,并通过非线性有限元(FEM)模型仿真结果与测量结果拟合对比,验证了介电非线性和声应变的非线性效应对谐波产生的影响,为进一步研究非线性抑制方法,设计高线性度SAW器件提供了重要支撑。 展开更多
关键词 声表面波(saw)器件 非线性 测量系统 谐波信号 产生机制
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ErAlN/蓝宝石基SAW谐振器制备与性能研究
9
作者 张必壮 葛澍蔚 +1 位作者 许绍俊 杨成韬 《压电与声光》 CAS 北大核心 2019年第5期631-634,638,共5页
采用Er镶嵌靶,以射频(RF)反应磁控溅射法,在蓝宝石衬底上制备出了c轴取向的Er 0.11 Al 0.89 N z压电薄膜。运用正交设计实验优化后,Er 0.11 Al 0.89 N z薄膜的膜厚、表面粗糙度分别为1.20μm和1.0 nm,光学介电常数从4.19增大到4.29。Er ... 采用Er镶嵌靶,以射频(RF)反应磁控溅射法,在蓝宝石衬底上制备出了c轴取向的Er 0.11 Al 0.89 N z压电薄膜。运用正交设计实验优化后,Er 0.11 Al 0.89 N z薄膜的膜厚、表面粗糙度分别为1.20μm和1.0 nm,光学介电常数从4.19增大到4.29。Er 0.11 Al 0.89 N z/蓝宝石基声表面波(SAW)谐振器的中心频率和品质因数Q值相较于纯AlN降低,有效机电耦合系数比AlN z/蓝宝石基SAW谐振器提高了20%,达到1.80%。研究结果表明,Er掺杂AlN后晶格常数比值c/a基本保持不变,但晶体中离子键成分的上升使晶体结构软化,从而导致器件频率下降,有效机电耦合系数增加。 展开更多
关键词 镶嵌靶 ErAlN压电薄膜 声表面波(saw)谐振器 有效机电耦合系数 晶体结构软化
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贯通型锯齿状节理岩体的剪切力学行为 被引量:1
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作者 刘新荣 曾夕 +3 位作者 许彬 周小涵 刘馨琳 王继文 《土木与环境工程学报(中英文)》 CSCD 北大核心 2023年第5期1-9,共9页
为探究一阶起伏角和法向应力对贯通型锯齿状节理岩体剪切强度及变形的影响规律,在不同法向应力作用下对含不同一阶起伏角的锯齿节理试样进行室内直剪试验,建立一个贯通型锯齿状节理岩体剪切强度估算公式并进行验证。结果表明:相同法向... 为探究一阶起伏角和法向应力对贯通型锯齿状节理岩体剪切强度及变形的影响规律,在不同法向应力作用下对含不同一阶起伏角的锯齿节理试样进行室内直剪试验,建立一个贯通型锯齿状节理岩体剪切强度估算公式并进行验证。结果表明:相同法向应力作用下,根据其形态特征的不同,剪切应力-位移曲线分为滑动型曲线、滑动-峰值型曲线和峰值型曲线3类,滑动型曲线和滑动-峰值型曲线可分为非线性缓慢上升阶段、线性陡升阶段“、上凸形”缓慢上升阶段、近似平直阶段和平直阶段,峰值型曲线可分为非线性缓慢上升阶段、线性陡升阶段、“微凸型”上升阶段、脆性跌落阶段和波动缓降阶段;根据起伏角的不同,锯齿节理岩体的破坏模式可概化为滑移破坏、爬坡破坏和爬坡啃断破坏,每种破坏模式下节理损伤演化过程均可分为3个阶段,即滑移破坏模式可分为压密阶段、克服摩擦阶段和滑移阶段,爬坡破坏模式可分为压密阶段、爬坡滑移阶段和塑性流动阶段,爬坡啃断破坏模式可分为压密爬坡阶段、爬坡啃断阶段和啃断滑移阶段;含不同一阶起伏角的锯齿节理岩体剪切强度均随法向应力和起伏角的增加而增大,其计算表达式仍然遵循M-C准则。 展开更多
关键词 锯齿状节理 直剪试验 剪切力学行为 破坏模式 剪切强度
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基于IDTs电极分层布局结构的瑞利波器件特性研究
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作者 袁宇鑫 武庆鹏 +2 位作者 孙立 孙科学 王艳 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第1期11-17,共7页
现代科技的发展对高频声表面波(SAW)器件的需求不断增加,对其工作频率也提出了更高的要求。为了提高SAW器件的频率,该文构建了一种IDTs电极分层布局的器件模型,即IDTs/AlN/IDTs/R-sapphire结构,并采用有限元法分析其声学性能,包括导纳... 现代科技的发展对高频声表面波(SAW)器件的需求不断增加,对其工作频率也提出了更高的要求。为了提高SAW器件的频率,该文构建了一种IDTs电极分层布局的器件模型,即IDTs/AlN/IDTs/R-sapphire结构,并采用有限元法分析其声学性能,包括导纳、相速度、机电耦合系数等。结果表明,IDTs/AlN/IDTs/R-sapphire结构可激发出瑞利波,且当AlN压电薄膜厚度h_(AlN)=0.4λ(λ为器件周期),水平中心距P_(b)=4μm时,其工作频率为692 MHz,传统的IDTs/AlN/R-sapphire结构器件提高了近1倍(356 MHz),而此时机电耦合系数K^(2)为0.3%,比传统结构高。另外,通过优化IDTs电极的结构参数可进一步改善、调制瑞利波器件的性能。当IDTs的上层铜电极和下层铝电极厚度之比Δh=1.2,P_(b)=4μm,h_(AlN)/λ=0.5时,瑞利波器件的谐振频率为657.9 MHz,K^(2)=1.27%;当P b=6μm时,瑞利波的工作频率为461 MHz,机电耦合系数达到最大(K^(2)_(max)=1.34%),较传统IDTs单层布局结构瑞利波器件分别提升了30%和300%。结果表明,IDTs电极分层布局结构不仅可有效地提高SAW器件的工作频率和机电耦合系数,也可以降低高频SAW器件的制备难度。 展开更多
关键词 声表面波 叉指换能器 有限元分析 机电耦合系数 瑞利波
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SA517 Gr.B埋弧自动焊焊接性能研究
12
作者 李娟 张佩瑶 +2 位作者 王刚 刘山 丁严广 《电焊机》 2023年第12期28-32,112,共6页
对SA517 Gr.B采用埋弧自动焊(SAW)的焊接接头进行力学性能、组织结构分布特征分析研究。研究结果表明,采用F76A2-EG-M4埋弧焊材,匹配适当的焊接工艺参数,结合焊前预热、后热等工艺措施,焊接接头力学性能优良;显微硬度最低点位于热影响区... 对SA517 Gr.B采用埋弧自动焊(SAW)的焊接接头进行力学性能、组织结构分布特征分析研究。研究结果表明,采用F76A2-EG-M4埋弧焊材,匹配适当的焊接工艺参数,结合焊前预热、后热等工艺措施,焊接接头力学性能优良;显微硬度最低点位于热影响区,说明受焊接热循环的作用热影响区出现了明显的软化现象,接头淬硬倾向不明显;焊缝和热影响区冲击断裂特征主要为剪切断裂,韧窝形貌,剪切断面率分别为90%和80%;焊缝组织以细小的针状铁素体为主,而热影响区组织以回火索氏体为主,析出了大量的碳化物,导致了冲击韧性下降。 展开更多
关键词 SA517 Gr.B 焊接接头 saw 力学性能 组织结构
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金刚石线锯锯切β-Ga_(2)O_(3)晶体应力场分析
13
作者 李宗平 程大猛 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2023年第8期1378-1385,共8页
作为典型的硬脆材料,氧化镓晶体(β-Ga_(2)O_(3))加工时易裂解。金刚石线锯是生产β-Ga_(2)O_(3)晶片的主要方式,切片加工过程中会在晶片表面产生微裂纹损伤层,应力作用下微裂纹会发生扩展,导致材料破碎和断裂。本文建立了金刚石线锯多... 作为典型的硬脆材料,氧化镓晶体(β-Ga_(2)O_(3))加工时易裂解。金刚石线锯是生产β-Ga_(2)O_(3)晶片的主要方式,切片加工过程中会在晶片表面产生微裂纹损伤层,应力作用下微裂纹会发生扩展,导致材料破碎和断裂。本文建立了金刚石线锯多线切割β-Ga_(2)O_(3)(010)晶面的有限元模型,研究了锯切过程中机械应力、热应力和热力耦合应力的分布变化规律,分析了锯丝速度、进给速度和恒速比下不同参数组合对热力耦合应力的影响。结果表明,锯切过程中锯切热产生的热应力占据热力耦合应力的主导地位,锯切力引起的机械应力占比较小,但机械应力会影响热力耦合应力的分布情况,锯丝速度和进给速度的增加会引起热力耦合应力的增加。 展开更多
关键词 β-Ga_(2)O_(3) 金刚石线锯 有限元分析 热力耦合应力 机械应力 热应力
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某旧桥拆除方案比选
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作者 杨庆华 《科技创新与应用》 2023年第22期70-73,共4页
该文以跨越某高速公路的斜腿刚构拱桥拆除为研究对象,首先对工程概况及周边环境进行介绍。在此基础上提出2种拆桥的施工方案,即机械拆除法和绳锯拆除法。对2种方法的施工工艺流程及要解决的关键问题进行详细阐述,最后对2种方案从工期、... 该文以跨越某高速公路的斜腿刚构拱桥拆除为研究对象,首先对工程概况及周边环境进行介绍。在此基础上提出2种拆桥的施工方案,即机械拆除法和绳锯拆除法。对2种方法的施工工艺流程及要解决的关键问题进行详细阐述,最后对2种方案从工期、经济性、安全风险3个方面进行比较,最终选择机械拆除法。该文可为同类工程提供参考借鉴。 展开更多
关键词 斜腿刚架桥 桥梁拆除 机械拆除法 绳锯拆除法 道路建设提档升级
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SA-335 P91马氏体耐热钢焊接工艺研究
15
作者 刘玉祥 张小丽 +1 位作者 杨云杰 匡启平 《大型铸锻件》 2023年第2期26-31,共6页
介绍了SA-335 P91马氏体耐热钢的化学成分及力学性能、冶金性能以及正火+回火热处理温度对材料性能的影响。对SA-335 P91钢的焊接性以及焊缝马氏体组织转变进行了分析。焊接工艺评定试验根据产品制造的需求,进行GTAW+SAW焊接试验,根据... 介绍了SA-335 P91马氏体耐热钢的化学成分及力学性能、冶金性能以及正火+回火热处理温度对材料性能的影响。对SA-335 P91钢的焊接性以及焊缝马氏体组织转变进行了分析。焊接工艺评定试验根据产品制造的需求,进行GTAW+SAW焊接试验,根据焊材熔敷金属中镍+锰元素的含量,确定合理的焊后热处理工艺,最终经力学性能试验,得到了力学性能良好的焊接接头,焊接接头硬度值满足标准的要求,焊缝微观组织为回火马氏体。 展开更多
关键词 SA-335 IXJI 焊接 GTAW+saw 焊后热处埋 力学性能 微观组织
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大口径管线钢管机械扩径工艺实验研究 被引量:17
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作者 金淼 郭宝锋 +8 位作者 任运来 吴鹏 聂绍珉 许文奎 于有冬 周晓平 王建新 龙友松 段新峰 《锻压技术》 CAS CSCD 北大核心 2001年第3期44-46,共3页
机械扩径是制造管线用大口径直缝焊管的一个重要工艺环节 ,也是提高管线用大口径螺旋焊管管端质量的重要保障。本文就采用机械扩径工艺对大口径直缝焊管分段扩径、螺旋焊管管端扩径进行了实验研究。研究结果对开发我国大口径焊管机械扩... 机械扩径是制造管线用大口径直缝焊管的一个重要工艺环节 ,也是提高管线用大口径螺旋焊管管端质量的重要保障。本文就采用机械扩径工艺对大口径直缝焊管分段扩径、螺旋焊管管端扩径进行了实验研究。研究结果对开发我国大口径焊管机械扩径技术与装备具有指导意义。 展开更多
关键词 管线钢管 机械扩径 直缝焊管 螺旋焊管 UOE 油气管
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金刚石绳锯的锯切轨迹及锯切机理研究 被引量:13
17
作者 刘宝昌 张祖培 +1 位作者 孙友宏 王建阳 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2002年第6期17-20,共4页
本文从理论上分析了金刚石绳锯的锯切轨迹及锯切机理 ,并对大理石和花岗石进行了锯切试验 ,以验证理论分析的结果。理论分析和锯切试验均表明 :(1)金刚石绳锯的锯切轨迹近似为圆的渐开线 ,锯切过程中单位长度绳锯对石材的压力、绳锯张... 本文从理论上分析了金刚石绳锯的锯切轨迹及锯切机理 ,并对大理石和花岗石进行了锯切试验 ,以验证理论分析的结果。理论分析和锯切试验均表明 :(1)金刚石绳锯的锯切轨迹近似为圆的渐开线 ,锯切过程中单位长度绳锯对石材的压力、绳锯张紧力决定了该渐开线的形状 ;(2 )金刚石绳锯锯切线速度高 ,锯切过程中单颗粒金刚石施加在石材上的压力很小 ,不足以使石材产生体积破碎 ,切屑细小。其主要碎岩方式是赫兹破碎 (Hert zianfracture) ,通过高速磨削实现锯切。根据金刚石绳锯的碎岩机理 ,锯切时应适当控制绳锯拉力和绳锯线速度 ,选用耐磨蚀性好的金刚石和胎体 ,保证良好冷却 ,以提高锯切速度 ,延长绳锯寿命。 展开更多
关键词 金刚石绳锯 天然石材 锯切轨迹 锯切机理
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固结磨粒金刚石线锯的研究进展 被引量:25
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作者 王美娟 王日初 +2 位作者 彭超群 冯艳 张纯 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第5期1368-1379,共12页
总结固结磨粒金刚石线锯的制备方法,主要有钎焊法、树脂结合剂粘结法和电镀法;分析金刚石表面金属化的原理和模型,比较金刚石表面金属化方法的优缺点;探讨复合电镀的共沉积机理,主要有吸附理论、力学理论和电化学理论;展望固结磨粒金刚... 总结固结磨粒金刚石线锯的制备方法,主要有钎焊法、树脂结合剂粘结法和电镀法;分析金刚石表面金属化的原理和模型,比较金刚石表面金属化方法的优缺点;探讨复合电镀的共沉积机理,主要有吸附理论、力学理论和电化学理论;展望固结磨粒金刚石线锯制备的发展方向。 展开更多
关键词 金刚石 线锯 固结磨粒 表面金属化 复合电沉积 沉积机理
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金刚石串珠绳锯锯切技术研究现状与发展 被引量:10
19
作者 王飞 张进生 王志 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2013年第1期36-42,共7页
简要回顾了金刚石串珠绳锯的发展。根据金刚石串珠锯加工原理及特点,总结金刚石串珠绳的制备工艺及分类,分析金刚石串珠锯锯切机理。分析了串珠的磨(破)损、锯切力与加工参数的关系,认为单载荷作用时串珠磨损取决于金刚石出刃、串珠组... 简要回顾了金刚石串珠绳锯的发展。根据金刚石串珠锯加工原理及特点,总结金刚石串珠绳的制备工艺及分类,分析金刚石串珠锯锯切机理。分析了串珠的磨(破)损、锯切力与加工参数的关系,认为单载荷作用时串珠磨损取决于金刚石出刃、串珠组分与锯切参数;锯切力随着进给速度与锯切长度增大而增大,随着串珠绳线速度增加而降低。最后,指出金刚石串珠绳锯亟待解决的问题,并对该领域的发展提出自己的观点。 展开更多
关键词 金刚石串珠绳 多绳锯 串珠 锯切机理
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SiC单晶生长及其晶片加工技术的进展 被引量:17
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作者 姜守振 徐现刚 +6 位作者 李娟 陈秀芳 王英民 宁丽娜 胡小波 王继杨 蒋民华 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期810-814,共5页
回顾了SiC单晶的发展历史,总结了目前的发展状况,同时介绍了SiC单晶生长所需要的温场和生长工艺,最后介绍了SiC单晶的加工技术.通过模拟计算与具体实验相结合的方法,调整坩埚在系统中的位置及优化坩埚设计可以得到理想温场.近平微凸的... 回顾了SiC单晶的发展历史,总结了目前的发展状况,同时介绍了SiC单晶生长所需要的温场和生长工艺,最后介绍了SiC单晶的加工技术.通过模拟计算与具体实验相结合的方法,调整坩埚在系统中的位置及优化坩埚设计可以得到理想温场.近平微凸的温场有利于晶体小面的扩展,进而有利于减少缺陷提高晶体的质量.由于SiC硬度非常高,对单晶后续的加工造成很多困难,包括切割和磨抛.研究发现利用金刚石线锯切割大尺寸SiC晶体,可以得到低翘曲度、低表面粗糙度的晶片;采用化学机械抛光法,可以有效地去除SiC表面的划痕和研磨引入的加工变质层,加工后的SiC晶片粗糙度可小于1nm. 展开更多
关键词 升华法 SIC 模拟 温场 金刚石线切割 化学机械抛光
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